CN109391169A - 振动波马达和使用振动波马达的电子设备 - Google Patents

Abstract

振动波马达和使用振动波马达的电子设备。所提供的是振动波马达，其包括：振动体；摩擦构件；加压构件，其被构造为朝向所述摩擦构件对所述振动体加压；基座构件，其被构造为固定所述摩擦构件；以及衰减构件，其被构造为使振动衰减，其中，所述振动体和所述摩擦构件被构造为彼此相对移动，所述摩擦构件包括：第一表面，其具有被保持为与所述振动体抵靠的第一区域；和第二表面，其为所述第一表面的背面，并且具有被保持为与所述基座构件抵靠的第二区域，所述第一表面和所述第二表面中的至少一者具有被保持为与所述衰减构件接触的第三区域，并且所述第一区域和所述第三区域在所述加压构件的加压方向上的位置彼此不同。

Description

振动波马达和使用振动波马达的电子设备

技术领域

本发明涉及振动波马达，更具体地，涉及包括板状弹性体的线性振动波马达，并且涉及被构造为使用线性振动波马达驱动从动构件的电子设备。

背景技术

至今，在用于例如摄像设备的镜筒的致动器中采用了具有小型轻量、高速驱动和低噪音驱动特征的超声波马达。存在着各种模式的超声波马达。在超声波马达中，日本特开2016-82802号公报中公开了用于线性驱动的超声波马达。日本特开2016-82802号公报中公开的超声波马达包括振子、摩擦构件(滑块)和加压弹簧。振子包括压电元件和振动板。摩擦构件被保持为与振子压接并且具有相对大且均匀的厚度。加压弹簧被构造为朝向摩擦构件对振子加压。在振子中产生高频振动，并且在形成于振子的突起部的各末端均产生椭圆运动，从而使振动体能够相对于摩擦构件移动。

发明内容

在日本特开2016-82802号公报中公开的超声波马达中，通过振动吸收构件抑制摩擦构件中产生的振动。另外，为了进一步减小尺寸和成本的目的，需要减小摩擦构件的厚度。然而，当摩擦构件的厚度减小时，共振频率的间隔变得较小，结果是易于在驱动频率带附近发生共振。存在这样的问题：共振引起摩擦构件的不必要振动的产生，从而引起超声波马达特性的降低和噪音的产生。

本发明的目的是提供一种振动波马达，其包括以减少摩擦构件的不必要振动为目的而设置的衰减构件(damping member)，从而抑制由摩擦构件的不必要振动引起的振动波马达的噪音并且实现尺寸和成本的降低。

为了解决上述问题，根据本发明的一个实施方式的振动波马达包括：振动体，所述振动体包括压电元件；摩擦构件，所述摩擦构件被保持为与所述振动体摩擦接触；加压构件，所述加压构件被构造为朝向所述摩擦构件对所述振动体加压；基座构件，所述基座构件被构造为固定所述摩擦构件；以及衰减构件，所述衰减构件被构造为使在所述摩擦构件中产生的振动衰减，其中，所述振动体和所述摩擦构件被构造为彼此相对移动，所述摩擦构件包括：第一表面，所述第一表面具有被保持为与所述振动体抵靠的第一区域；和第二表面，所述第二表面是所述第一表面的背面，并且所述第二表面具有被保持为与所述基座构件抵靠的第二区域，所述第一表面和所述第二表面中的至少一者具有被保持为与所述衰减构件接触的第三区域，并且所述第一区域和所述第三区域在所述加压构件的加压方向上的位置彼此不同。

一种电子设备，其包括：被驱动构件；和如上所述的振动波马达，其中，所述被驱动构件通过所述振动体和所述摩擦构件的相对移动而移动。

一种振动波马达，其包括：振动体，所述振动体包括压电元件，摩擦构件，所述摩擦构件被保持为与所述振动体摩擦接触；加压构件，所述加压构件被构造为朝向所述摩擦构件对所述振动体加压；基座构件，所述基座构件被构造为固定所述摩擦构件；以及衰减构件，所述衰减构件被构造为使在所述摩擦构件中产生的振动衰减，其中，所述振动体和所述摩擦构件被构造为彼此相对移动，在所述基座构件的被保持为与所述摩擦构件抵靠的表面中，所述基座构件具有多个凹部，所述多个凹部沿着相对移动方向形成，并且所述衰减构件布置到所述多个凹部中。

一种电子设备，其包括：被驱动构件；和如上所述的振动波马达，其中，所述被驱动构件通过所述振动体和所述摩擦构件的相对移动而移动。

根据本发明的一个实施方式，能够提供包括衰减构件的振动波马达，该衰减构件以减少摩擦构件的不必要振动为目的而设置，从而抑制了由摩擦构件中产生的不必要振动引起的振动波马达的噪音并且实现了尺寸和成本的降低。

从以下参照附图对示例性实施方式的说明，本发明的其它特征将变得明显。

附图说明

图1A和图1B均为用于示出本发明的第一实施方式中的振动体10的构造的图。

图2A和图2B均为用于示出根据第一实施方式的振动波马达110的构造的截面图。

图3A、图3B和图3C均为用于示出第一实施方式中的摩擦构件13和衰减构件15的构造的图。

图4A和图4B均为用于示出第一实施方式中的摩擦构件13的构造的立体图。

图5是用于示出根据本发明的第二实施方式的振动波马达120的构造的截面图。

图6A和图6B均为用于示出第二实施方式中的摩擦构件23的构造的立体图。

图7是用于示出根据本发明的第三实施方式的振动波马达130的构造的截面图。

图8A和图8B均为用于示出第三实施方式中的摩擦构件33的构造的立体图。

图9A和图9B均为用于示出第三实施方式中的摩擦构件33的共振频率fn的特性的图。

图10是用于示出根据本发明的第四实施方式的振动波马达140的构造的截面图。

图11A和图11B均为用于示出第四实施方式中的摩擦构件43的构造的立体图。

图12A和图12B均为用于示出根据本发明的第五实施方式的振动波马达150的构造的截面图。

图13A和图13B均为用于示出第五实施方式中的摩擦构件53的构造的立体图。

图14是用于示出由第五实施方式中的摩擦构件53的共振引起的振动的示意图。

图15是图12A的局部放大图。

图16A是用于示出根据本发明的应用例的透镜驱动装置200的主视图。

图16B是图16A的截面图。

具体实施方式

现在将参照附图详细地说明本发明的优选实施方式。

在附图中，相同的附图标记表示相同的构件。在说明书中，后述振动体10和后述摩擦构件13彼此相对移动的相对移动方向被称为“X方向”，振动体10对摩擦构件13加压的加压方向被称为“Z方向”。在Z方向上，从振动体10朝向摩擦构件13的方向被定义为“正Z方向”，从摩擦构件13朝向振动体10的方向被定义为“负Z方向”。此外，与X方向和Z方向正交的正交方向被称为“Y方向”。

图1A是本发明的实施方式中的振动体10的主视图。图1B是振动体10的仰视图。振动体10包括振动板11和压电元件12。振动板11包括具有矩形形状的平板部11b和形成于平板部11b的突起部11a。进行高频振动的压电元件12固定于振动板11。

通过对压电元件12施加具有处于超声波范围内的频率“f”的高频驱动电压，振动体10进行高频振动(超声波振动)以在作为纵向的X方向上和作为横向的Y方向上在各自的固有振动模式下共振。这样的共振在突起部11a的各末端处引起椭圆运动。振动体10对后述摩擦构件13(接触构件)加压，并在包括突起部11a和平板部11b的振动体10保持与摩擦构件13接触(摩擦接触)的状态下引起上述椭圆运动，从而能够通过摩擦力获得驱动力。该驱动力使振动体10相对于摩擦构件13移动。此外，振动板11包括保持部11c，该保持部11c被构造为将振动体10固定到后述的保持构件6。

接下来，对根据本发明的实施方式的振动波马达110的构造作出说明。图2A是用于示出根据实施方式的振动波马达110的、沿着通过加压构件16的中心的X-Z平面截取的截面图。图2B是用于示出振动波马达110的、沿着通过加压构件16的中心的Y-Z截面截取的截面图。

通过使保持构件6的保持轴6a与形成于振动板11的保持部11c的端部的保持孔11d接合而将振动体10固定于保持构件6。加压构件16是被构造为朝向摩擦构件13对振动体10加压的构件，并且作用于可动构件3和加压板5。加压板5通过缓冲构件4将由加压构件16产生的加压力施加到振动体10。通过加压板5的加压使加压力均匀地施加到压电元件12的表面。此外，通过缓冲构件4的加压使振动体10在抑制了振动体10的振动的衰减的情况下被加压。

可动构件3是被构造为将振动波马达110的驱动力传递到后述的透镜201的构件，并且可动构件3包括联接部3a，该联接部3a被构造为使透镜201和振动波马达110彼此联接。保持构件6和可动构件3经由两者之间的滚动构件7彼此联接。因此，当保持构件6在相对移动方向上移动时，可动构件3能够与保持构件6一体地移动。此外，通过滚动构件7的滚动，保持构件6和可动构件3能够在加压方向上相对于彼此移动。利用这样的构造，例如，即使当产生了部件的尺寸误差或组装误差时，也能够利用加压构件16的加压力使振动体10稳定地压靠摩擦构件13。

基座构件14是供摩擦构件13固定的构件。另外，盖构件9通过例如螺钉(未示出)固定于基座构件14。球构件8设置于可动构件3与盖构件9之间。当可动构件3在相对移动方向上移动时，球构件8滚动以减少由加压构件16的加压反作用力产生的滑动负荷。

如上所述，利用由高频振动产生的驱动力，振动体10能够相对于摩擦构件13移动。利用这样的驱动力，振动体10、保持构件6和可动构件3能够在相对移动方向上一体地移动。

接下来，对摩擦构件13的形状和用于摩擦构件13的固定方法作出说明。图3A至图3C均为用于示出摩擦构件13和衰减构件15的构造的图，并且均为仅示出摩擦构件13、基座构件14和衰减构件15的平面图。图4A和图4B是用于示出摩擦构件13在从不同角度观察时的立体图。摩擦构件13由减小了厚度的板状构件形成，并且摩擦构件13包括滑动侧面13f1和固定侧面13f2。滑动侧面13f1限定了第一表面，该第一表面是位于振动板11侧的表面并且被保持为与振动体10抵靠。固定侧面13f2限定了第二表面，该第二表面是第一表面的背面并且被保持为与基座构件14抵靠。第一表面具有滑动区域13a(第一区域)，该滑动区域13a被保持为与振动体10抵靠并且被形成为在相对移动方向上延伸。第二表面具有固定区域13b(第二区域)，该固定区域13b被保持为与基座构件14抵靠以固定摩擦构件13。

衰减构件15是被保持为与摩擦构件13接触的构件并且被构造为抑制摩擦构件13中产生的不必要振动。在图3A和图4A中示出的实施方式中，第一表面还具有衰减区域13c(第三区域)，该衰减区域13c被保持为与衰减构件15接触，并且衰减构件15被保持为与第一表面接触。然而，还能够实施被保持为与衰减构件15接触的第三区域形成于第二表面的另一实施方式。即，第三区域形成于第一表面和第二表面中的至少一者，使得通过衰减构件15减少在摩擦构件13中产生的不必要振动。

另外，摩擦构件13不是具有均匀厚度的平板，因而第一区域和第三区域能够位于在加压方向上不同的位置。利用这样的构造，能够防止衰减构件15与第一区域的干涉，并且能够实现装置的尺寸和成本的降低。

(第一实施方式)

参照图2B、图4A和图4B对本发明的第一实施方式作出说明。根据第一实施方式的用于振动波马达110的摩擦构件13包括滑动侧面13f1和固定侧面13f2，并且固定侧面13f2形成于滑动侧面13f1的背侧。在滑动侧面13f1侧，形成有被保持为与振动体10的突起部11a抵靠的滑动区域13a和被保持为与衰减构件15接触的衰减区域13c。与此同时，在固定侧面13f2，形成有固定区域13b，该固定区域13b被保持为与基座构件14的固定表面14a抵靠以固定摩擦构件13。衰减区域13c在相对移动方向上延伸，并且在滑动区域13a的两外侧被分开且形成为在正交方向(Y方向)上与滑动区域13a相邻。因而，在正交方向上而不是相对移动方向上，相对于滑动区域13a设置了衰减构件15。固定区域13b在固定侧面13f2的整体上延伸。滑动侧面13f1、固定侧面13f2、滑动区域13a、固定区域13b和衰减区域13c分别对应于本申请的方案中记载的第一表面、第二表面、第一区域、第二区域和第三区域。

在第一实施方式中的摩擦构件13不是具有均匀厚度的平板，而是减小了厚度的平板。具体地，在Z方向上，两个衰减区域13c的厚度均小于滑动区域13a的厚度，并且摩擦构件13具有T字形截面。换言之，滑动区域13a比两个衰减区域13c朝向振动体10侧突出，并且衰减区域13c相对于滑动区域13a位于正Z方向。因而，衰减区域13c被配置为在加压构件16的加压方向上比滑动区域13a远离振动体10。即，滑动区域13a和衰减区域13c的在加压构件16的加压方向上的位置不同。此外，衰减区域13c的表面粗糙度大于滑动区域13a的表面粗糙度。

第一实施方式中的基座构件14具有作为其平坦表面的固定表面14a，该固定表面14a被保持为与摩擦构件13的固定区域13b和衰减构件15抵靠。

第一实施方式中的衰减构件15均为粘接剂。在摩擦构件13的固定区域13b和基座构件14的固定表面14a被保持为彼此接触的状态下，将衰减构件15布置到衰减区域13c。然后，衰减构件15固化，使得摩擦构件13粘接并固定到基座构件14。液态的粘接剂固化以形成各衰减构件15，因而衰减构件15易于不均匀地形成于衰减区域13c。当衰减构件15蔓延到滑动区域13a时，突起部11a与衰减构件15接触，结果是驱动特性降低。然而，在第一实施方式中，滑动区域13a以在负Z方向上高于具有衰减构件15的衰减区域13c的方式配置。因此，即使当不均匀地形成衰减构件15时，也防止了衰减构件15蔓延到滑动区域13a。此外，如图3A所示，当布置了作为粘接剂的衰减构件15的面积大时，粘接剂固化时的收缩量变得较大，结果是残余应力变得较大。然而，如图3B所示，通过将布置有衰减构件15的区域分开而减少了收缩量，从而能够减小残余应力并改善粘接强度。此外，如图3C所示，在固有振动模式的波腹AN的位置局部地而不是在整个区域布置衰减构件15。借此，能够通过减少衰减构件15的量而降低成本，并且能够通过从上方压波腹AN来抑制振动。

接下来，对用于比较的现有技术示例的构造作出说明。日本特开2016-82802号公报的图1是用于示出现有技术示例的超声波马达的构造的图。在现有技术示例的超声波马达中，使用了具有相对大且均匀的厚度的滑块，并且滑块通过螺钉固定于基座构件。当超声波马达的基座构件固定于马达保持构件时，组装了被构造为用于吸收滑块中产生的振动的振动吸收构件。当超声波马达被驱动时，振子的高频振动被传递到滑块，并且在滑块中发生共振，但是振动吸收构件减少了由振子的影响引起的不必要振动。然而，当使滑块的厚度减小以进一步减小超声波马达的尺寸和成本时，共振频率的间隔变得较小，结果是易于在驱动频率带附近发生共振。这样的共振在滑块中引起不必要振动，并且阻碍了振子的振动。结果，产生了超声波马达的特性降低或者在滑块中产生噪音等的问题。

接下来，对第一实施方式的构造与现有技术示例的构造相比所能获得的效果作出说明。对于根据第一实施方式的振动波马达110，使用减小了厚度的摩擦构件13。即使利用这样的减小了厚度的摩擦构件13，滑动区域13a和衰减区域13c的厚度也不同。因此，防止了布置到衰减区域13c的衰减构件15蔓延到滑动区域13a。即，不使衰减构件15和突起部11a彼此接触，因而不降低驱动特性。衰减构件15被设置于摩擦构件13的滑动侧面13f1的衰减区域13c，并且衰减构件15被保持为与摩擦构件13接触。即，能够通过利用压力将摩擦构件13固定于基座构件14而使在减小了厚度的摩擦构件13中产生的不必要振动(表面外侧的振动)衰减。此外，被保持为与衰减构件15接触的衰减区域13c的范围大于突起部11a在滑动区域13a上滑动的范围，从而增强了衰减效果。衰减区域13c的表面粗糙度大于滑动区域13a的表面粗糙度，因而较不易产生在相对移动方向上的位置偏移。设置衰减构件15以减少摩擦构件13的不必要振动。结果，能够抑制振动波马达110的特性的降低以及噪音的产生。此外，在正交方向上而不是相对移动方向上，相对于滑动区域13a设置衰减构件15。因而，在相对移动方向上，振动波马达110整体上尺寸不增加。

在第一实施方式中，衰减构件15均为粘接剂并且被构造为固定摩擦构件13和衰减摩擦构件13的振动。然而，衰减构件15可以不是粘接剂并且可以由诸如硅橡胶或凝胶状材料等的发挥衰减效果的材料制成。例如，摩擦构件13的固定侧面13f2和基座构件14的固定表面14a可以通过诸如螺钉或粘接剂等其它固定手段而彼此完全固定，并且诸如硅橡胶或凝胶状材料等的发挥衰减效果的材料可以布置到摩擦构件13的周缘。即，利用发挥衰减效果的材料被保持为与衰减区域13c接触的构造，能够使在摩擦构件13中产生的不必要振动衰减。

(第二实施方式)

接下来，参照图5、图6A和图6B对本发明的第二实施方式作出说明。在第一实施方式中，摩擦构件13的固定侧面13f2的整体对应于固定区域13b，并且被保持为与基座构件14的固定表面14a接触。保持与衰减构件15接触的衰减区域13c仅形成于滑动侧面13f1侧。在第二实施方式中，减小了厚度的摩擦构件23的衰减区域23c不仅形成于滑动侧面23f1、而且形成于固定侧面23f2，并且在基座构件24中形成凹部24b。这些构造与第一实施方式中的构造不同。现在，对与第一实施方式中的构造不同的构造作出详细说明。

图5是用于示出根据本发明的第二实施方式的振动波马达120的构造的截面图，并且是对应于图2B的图示。图6A和图6B是用于示出根据第二实施方式的振动波马达120所使用的摩擦构件23在从不同的角度观察时的立体图。在摩擦构件23的滑动侧面23f1侧，形成有被保持为与振动体20的突起部21a抵靠的滑动区域23a和被保持为与衰减构件25接触的衰减区域23c。与此同时，在固定侧面23f2上，形成有固定区域23b和衰减区域23c。固定区域23b被保持为与基座构件24的固定表面24a抵靠以固定摩擦构件23。衰减区域23c形成于固定区域23b的两外侧并且形成为在正交方向(Y方向)上与固定区域23b相邻且与衰减构件25保持接触。即，在第二实施方式的摩擦构件23中，与衰减构件25保持接触的衰减区域23c被分开并且设置于滑动侧面23f1和固定侧面23f2两者。滑动侧面23f1、固定侧面23f2、滑动区域23a、固定区域23b和衰减区域23c分别对应于本申请的方案中记载的第一表面、第二表面、第一区域、第二区域和第三区域。

第二实施方式中的摩擦构件23的形状与第一实施方式中的摩擦构件13的形状相似，因而省略其说明。

第二实施方式中的基座构件24具有固定表面24a和凹部24b。固定表面24a被保持为与摩擦构件23的固定区域23b抵靠。凹部24b形成于固定表面24a的两外侧并且形成为在正交方向(Y方向)上与固定表面24a相邻。固定表面24a和凹部24b都在相对移动方向上延伸。衰减构件25布置到凹部24b中。

第二实施方式中的衰减构件25均为粘接剂。在摩擦构件23的固定区域23b和基座构件24的固定表面24a被保持为彼此接触的状态下，将衰减构件25布置到凹部24b中。然后，布置衰减构件25、直到衰减构件25与滑动侧面23f1和固定侧面23f2的各衰减区域23c接触。然后，使衰减构件25固化，使得摩擦构件23粘接并固定于基座构件24。在第二实施方式中，与第一实施方式相似的是，滑动区域23a配置为在负Z方向上高于滑动侧面23f1的供衰减构件25设置的衰减区域23c。因此，即使当不均匀地形成衰减构件25时，也防止了衰减构件25蔓延到滑动区域23a。

接下来，对利用第二实施方式的构造能够获得的效果作出说明。对于根据第二实施方式的振动波马达120，使用了减小了厚度的摩擦构件23。即使利用这样的减小了厚度的摩擦构件23，滑动侧面23f1的滑动区域23a和衰减区域23c的厚度也不同。因此，防止了布置到衰减区域23c的衰减构件25蔓延到滑动区域23a。即，不使衰减构件25和突起部21a彼此接触，因而驱动特性不会降低。衰减构件25设置于摩擦构件23的滑动侧面23f1和固定侧面23f2两者的衰减区域23c，并且衰减构件25被保持为与摩擦构件23接触。即，能够通过利用压力将摩擦构件23固定于基座构件24来使减小了厚度的摩擦构件23中产生的不必要振动(表面外侧的振动)衰减。此外，被保持为与衰减构件25接触的衰减区域23c的范围大于突起部21a在滑动区域23a上滑动的范围，从而增强了衰减效果。衰减区域23c的表面粗糙度大于滑动区域23a的表面粗糙度，因而较不易发生在相对移动方向上的位置偏移。设置衰减构件25以减少摩擦构件23的不必要振动。结果，能够抑制振动波马达120的特性的降低和噪音的产生。此外，在正交方向上而不是相对移动方向上，相对于滑动区域23a设置衰减构件25。因而，在相对移动方向上，振动波马达120整体上尺寸不增加。

在第二实施方式中，衰减区域23c形成于位于摩擦构件23两侧的表面，并且衰减构件25和摩擦构件23之间的接触面积大。因此，存在这样的优势：增强了利用衰减构件25获得的衰减效果。另外，固定区域23b形成在如下加压力的延长线上：该加压力由加压构件26施加以相对于摩擦构件23对振动体20加压。因此，当加压力施加到摩擦构件23时不产生摩擦构件23塑性变形的问题。另外，衰减构件25均为粘接剂。然而，如同在第一实施方式中，衰减构件25可以不是粘接剂并且可以由诸如硅橡胶或凝胶状材料等的发挥衰减效果的材料制成。

(第三实施方式)

接下来，参照图7至图9A和图9B对本发明的第三实施方式作出说明。在第二实施方式中，摩擦构件23具有T字形截面，并且滑动区域23a相对于衰减区域23c朝向振动体20侧突出以防止衰减构件25蔓延到滑动区域23a。在第三实施方式中，使具有均匀厚度的薄板形状的摩擦构件33弯折，使得滑动区域33a相对于衰减区域33c朝向振动体30侧突出。即，第三实施方式与第二实施方式不同之处在于，摩擦构件33不具有T字状截面。现在，对与第二实施方式的构造不同的构造作出详细说明。

图7是用于示出根据第三实施方式的振动波马达130的构造的截面图，并且是对应于图2B的图示。图8A和图8B是用于示出根据第三实施方式的振动波马达130所使用的摩擦构件33在从不同角度观察时的立体图。在摩擦构件33的滑动侧面33f1侧，形成有被保持为与振动体30的突起部31a抵靠的滑动区域33a和被保持为与衰减构件35接触的衰减区域33c。与此同时，在固定侧面33f2上，形成有固定区域33b和衰减区域33c。固定区域33b被保持为与基座构件34的固定表面34a抵靠以固定摩擦构件33。衰减区域33c形成于固定区域33b的两外侧并且形成为在正交方向(Y方向)上与固定区域33b相邻以被保持为与衰减构件35接触。即，在第三实施方式的摩擦构件33中，与衰减构件35保持为接触的衰减区域33c被分开并且设置于滑动侧面33f1和固定侧面33f2两者。滑动侧面33f1、固定侧面33f2、滑动区域33a、固定区域33b和衰减区域33c分别对应于本申请的方案中记载的第一表面、第二表面、第一区域、第二区域和第三区域。

第三实施方式中的摩擦构件33的形状与第二实施方式中的不同，并且摩擦构件33由具有均匀厚度的薄板形状的构件形成。振动体30和摩擦构件33在相对移动方向上相对于彼此移动，因而滑动区域33a在相对移动方向上延长。在滑动区域33a的两外侧使摩擦构件33朝向基座构件34侧弯折。衰减区域33c在摩擦构件33的弯折部处形成于滑动侧面33f1和固定侧面33f2两者，并且摩擦构件33被保持为与布置到基座构件34的凹部34b中的衰减构件35接触。

第三实施方式中的基座构件34具有凹部34b，衰减构件35被布置到凹部34b中。基座构件34的形状与第二实施方式中的基座构件24的形状相似，因而省略其说明。

第三实施方式中的衰减构件35均为粘接剂。在摩擦构件33的固定区域33b和基座构件34的固定表面34a被保持为彼此接触的状态下，将衰减构件35布置到凹部34b中。然后，布置衰减构件35、直到使衰减构件35与滑动侧面33f1和固定侧面33f2的衰减区域33c接触。然后，使衰减构件35固化，使得摩擦构件33粘接并固定于基座构件34。在第三实施方式中，与第二实施方式相似，滑动区域33a配置为在负Z方向上比滑动侧面33f1的供衰减构件35设置的衰减区域33c高。因此，即使当不均匀地形成衰减构件35时，也防止了衰减构件35蔓延到滑动区域33a。此外，被保持为与衰减构件35接触的衰减区域33c的范围大于突起部31a在滑动区域33a上滑动的范围。

接下来，对利用第三实施方式的构造能够获得的效果作出说明。对于根据第三实施方式的振动波马达130，使用具有均匀厚度的薄板形状的摩擦构件33。使这样的具有均匀厚度的薄板形状的摩擦构件33的滑动区域33a的两外侧部朝向基座构件34侧弯折。因此，滑动侧面33f1的衰减区域33c相对于滑动区域33a远离振动体30，并且滑动区域33a朝向振动体30侧突出。利用该构造，防止了布置到衰减区域33c的衰减构件35蔓延到滑动区域33a。即，衰减构件35和突起部31a彼此不会接触。因而，不降低驱动特性。此外，衰减构件35设置于摩擦构件33的滑动侧面33f1和固定侧面33f2两者的衰减区域33c，并且衰减构件35被保持为与摩擦构件33接触。即，具有均匀厚度的薄板形状的摩擦构件33中产生的不必要振动(表面外侧的振动)能够通过利用压力将摩擦构件33固定于基座构件34而衰减。此外，被保持为与衰减构件35接触的衰减区域33c的范围大于突起部31a在滑动区域33a上滑动的范围，从而增强了衰减效果。衰减区域33c的表面粗糙度大于滑动区域33a的表面粗糙度，因而不易产生在相对移动方向上的位置偏移。设置衰减构件35以减少摩擦构件33的不必要振动。结果，能够抑制振动波马达130的特性降低和噪音的产生。此外，在正交方向上而不是相对移动方向上，相对于滑动区域33a设置衰减构件35。因而，在相对移动方向上振动波马达130整体上尺寸不增加。

在第三实施方式中，能够通过使具有均匀厚度的薄板形状的摩擦构件33弯折来制备摩擦构件33，因而存在能够容易地加工摩擦构件33的优势。此外，通过沿着相对移动方向弯折摩擦构件33而增加摩擦构件33在相对移动方向上的刚性。摩擦构件33是具有薄板形状的构件。因而，摩擦构件33具有引起在特定频率“f”共振的固有振动模式。摩擦构件33被保持为与产生高频振动的振动体30抵靠，因而振动体30的振动被传递到摩擦构件33。当摩擦构件33具有引起在振动体30的高频振动的频率“f”共振的固有振动模式时，摩擦构件33由于振动体30的振动而共振。

接下来，对摩擦构件33中产生的振动模式的共振频率fn作出说明。图9A是用于示出当摩擦构件33的刚性低时给定的共振频率fna的图。图9B是用于示出当摩擦构件33的刚性高时给定的共振频率fnb的图。在这些图中，横轴代表频率“f”，纵轴代表振幅A。在各图中，示出了共振发生于特定频率“f”。在振动波马达130中，为了通过控制振动体30的高频振动的频率“f”来控制相对移动速度，振动体30在预定的使用频率范围中以高频振动。当刚性低时，如图9A所示，共振频率f1a、f2a、f3a和f4a的间隔小，并且任一共振频率fna落在使用频率范围内，结果是在摩擦构件33中易于产生不必要振动。然而，当摩擦构件33的刚性高时，如图9B所示，共振频率f1b、f2b、f3b和f4b的间隔大。因此，能够将共振频率fnb设定在使用频率范围外，从而能够减少摩擦构件33中产生的不必要振动。

(第四实施方式)

接下来，参照图10、图11A和图11B对本发明的第四实施方式作出说明。在第一实施方式中，衰减构件15仅设置于摩擦构件13的滑动侧面13f1侧。在第四实施方式中，衰减构件45设置于具有均匀厚度的薄板形状的摩擦构件43的固定侧面43f2，并且通过弯折摩擦构件43防止了衰减构件45蔓延到滑动区域43a。即，第四实施方式与第一实施方式不同之处在于，摩擦构件43不具有T字形截面。现在，对与第一实施方式的构造不同的构造作出详细说明。

图10是用于示出根据第四实施方式的振动波马达140的构造的截面图，并且是对应于图2B的图示。图11A和图11B是用于示出根据第四实施方式的振动波马达140所使用的摩擦构件43在从不同角度观察时的立体图。在摩擦构件43的滑动侧面43f1侧，形成有被保持为与振动体40的突起部41a抵靠的滑动区域43a。与此同时，在固定侧面43f2，形成有被保持为与基座构件44的固定表面44a抵靠的固定区域43b以固定摩擦构件43。此外，在固定侧面43f2，形成有衰减区域43c，衰减区域43c在固定区域43b的两外侧被分开并且形成为在正交方向(Y方向)上与固定区域43b相邻并被保持为与衰减构件45接触。即，在第四实施方式的摩擦构件43中，被保持为与衰减构件45接触的衰减区域43c仅形成于固定侧面43f2。滑动侧面43f1、固定侧面43f2、滑动区域43a、固定区域43b和衰减区域43c分别对应于本申请的方案中记载的第一表面、第二表面、第一区域、第二区域和第三区域。

第四实施方式中的摩擦构件43的形状与第一实施方式中的不同，并且摩擦构件43由具有均匀厚度的薄板形状的构件形成。摩擦构件43被保持为在滑动区域43a处与振动体40的突起部41a抵靠，并且被保持为在固定区域43b处与基座构件44的固定表面44a抵靠。振动体40和摩擦构件43在相对移动方向上相对于彼此移动，因而滑动区域43a在相对移动方向上延长。摩擦构件43在滑动区域43a的两外侧朝向振动体40侧弯折大约90度。摩擦构件43的弯折部相对于滑动区域43a朝向外侧进一步弯折大约90度，摩擦构件43具有这样的形状：固定区域43b朝向基座构件44侧突出。位于摩擦构件43的进一步弯折部的固定侧面43f2侧的区域用作为衰减区域43c，并且衰减区域43c被保持为与布置到摩擦构件43和基座构件44之间的衰减构件45接触。即，固定侧面43f2具有固定区域43b和被保持为与衰减构件45接触的衰减区域43c。此外，滑动区域43a和衰减区域43c的在加压构件46的加压方向上的位置不同。此外，从平板部41b到滑动区域43a的距离L1大于从平板部41b到衰减区域43c的距离L2，因而在加压构件46的加压方向上，衰减区域43c比滑动区域43a靠***板部41b。

第四实施方式中基座构件44的形状与第一实施方式中基座构件14的形状相似，因而省略其说明。

第四实施方式中的衰减构件45均为粘接剂。在摩擦构件43的固定区域43b和基座构件44的固定表面44a被保持为彼此接触的状态下，将衰减构件45布置到被固定表面44a和位于固定侧面43f2侧的衰减区域43c包围的各空间中。然后，布置衰减构件45、直到使衰减构件45与固定侧面43f2的衰减区域43c接触。然后，使衰减构件45固化，使得摩擦构件43粘接并固定到基座构件44。在第四实施方式中，摩擦构件43朝向振动体40侧弯折，并且衰减构件45设置于固定侧面43f2和基座构件44之间。因此，即使当不均匀地形成衰减构件45时，也防止了衰减构件45蔓延到滑动区域43a。

接下来，对利用第四实施方式的构造能够获得的效果作出说明。对于第四实施方式中的振动波马达140，使用具有均匀厚度的薄板形状的摩擦构件43。即使利用这样的具有均匀厚度的薄板形状的摩擦构件43，也使摩擦构件43朝向振动体40侧弯折。因此，防止了布置到固定侧面43f2的衰减区域43c的衰减构件45蔓延到滑动区域43a。即，不使衰减构件45和突起部41a彼此接触，因而不降低驱动特性。衰减构件45设置于摩擦构件43的固定侧面43f2的衰减区域43c，并且被保持为与摩擦构件43接触。因而，能够使在具有均匀厚度的薄板形状的摩擦构件43中产生的不必要振动衰减。此外，被保持为与衰减构件45接触的衰减区域43c的范围大于突起部41a在滑动区域43a上滑动的范围，从而增强衰减效果。衰减区域43c的表面粗糙度大于滑动区域43a的表面粗糙度，因而不易产生在相对移动方向上的位置偏移。设置衰减构件45以减少摩擦构件43的不必要振动。结果，能够抑制振动波马达140的特性降低和噪音的产生。此外，在正交方向上而不是相对移动方向上，相对于滑动区域43a设置衰减构件45。因而，在相对移动方向上，振动波马达140整体上尺寸不增加。

在第四实施方式中，具有均匀厚度的薄板形状的摩擦构件43朝向振动体40侧弯折，使得衰减区域43c形成于滑动区域43a的外侧并且衰减区域43c相对于滑动区域43a形成在正交方向(Y方向)上。利用这样的构造，摩擦构件43和衰减构件45能够配置在位于振动体40的突起部41a的两侧的开放空间中。因此，存在能够在不使加压方向上的尺寸增加的情况下使摩擦构件43的振动衰减的优势。

另外，在第四实施方式中，摩擦构件43弯折，因而摩擦构件43在相对移动方向上的刚性高。因此，与第三实施方式相似，能够获得可以将摩擦构件43的多个共振频率fnb设置于使用频率范围之外的效果、即能够获得在摩擦构件43的刚性高时获得的效果，并且能够减少在摩擦构件43中产生的不必要振动。

(第五实施方式)

接下来，参照图12A和图12B至图14对本发明的第五实施方式作出说明。在第一实施方式中，摩擦构件13的固定侧面13f2的整体具有固定区域13b并且被保持为与基座构件14的固定表面14a接触，与衰减构件15保持接触的衰减区域13c仅形成于滑动侧面13f1侧。在第五实施方式中，减小了厚度的摩擦构件53具有平板形状，并且衰减区域53c沿着相对移动方向配置于固定侧面53f2。此外，在基座构件54中，沿着相对移动方向形成供衰减构件55布置的多个凹部54b。这些构造与第一实施方式中的构造不同。现在，对与第一实施方式中的构造不同的构造作出详细说明。

图12A是用于示出根据第五实施方式的振动波马达150的沿着通过加压构件56的中心的X-Z平面截取的截面图。图12B是沿着图12A的截面线XIIB-XIIB截取的截面图。图13A和图13B是用于示出根据第五实施方式的振动波马达150所使用的摩擦构件53在从不同角度观察时的立体图。在摩擦构件53的滑动侧面53f1侧，形成有被保持为与振动体50的突起部51a抵靠的滑动区域53a。与此同时，在固定侧面53f2上，以在正交方向(Y方向)上而不是在相对移动方向上延伸的方式形成有多个固定区域53b，该多个固定区域53b被保持为与基座构件54的固定表面54a抵靠以固定摩擦构件53。此外，形成有多个分开的衰减区域53c，该多个分开的衰减区域53c配置为在相对移动方向上与固定区域53b相邻并且被保持为与衰减构件55接触。衰减区域53c和固定区域53b位于相同平面。滑动侧面53f1、固定侧面53f2、滑动区域53a、固定区域53b和衰减区域53c分别对应于本申请的方案中记载的第一表面、第二表面、第一区域、第二区域和第三区域。

第五实施方式中的摩擦构件53的形状与第一实施方式中的不同并且为厚度减小的板状形状。在摩擦构件53的在相对移动方向上的两端部处，形成有用于将摩擦构件53固定于基座构件54的螺纹孔53d。摩擦构件53被保持为抵靠以高频振动的振动体50，因而振动体50的振动传递到摩擦构件53。摩擦构件53具有在振动体50的高频振动的频率“f”附近引起共振的固有振动模式，因而摩擦构件53由于振动体50的振动而共振。

第五实施方式中的基座构件54具有固定表面54a和多个凹部54b。固定表面54a被保持为与摩擦构件53的固定区域53b抵靠。凹部54b被配置为与固定表面54a相邻。固定表面54a和凹部54b以沿着相对移动方向交替排列的方式形成，并且沿加压构件56的加压方向配置。固定表面54a和凹部54b都在正交方向(Y方向)上而不是在相对移动方向上延伸。衰减构件55布置到凹部54b中。

第五实施方式中的衰减构件55均为粘接剂。在摩擦构件53的固定区域53b和基座构件54的固定表面54a被保持为彼此接触的状态下，将衰减构件55布置到凹部54b中。然后，使衰减构件55固化，使得摩擦构件53粘接并固定到基座构件54。粘接剂在固化时收缩。因而，在固化之后，在粘接剂中积聚有通过固化收缩产生的收缩应力。当收缩应力大时，产生诸如粘接强度降低的问题。然而，在第五实施方式中，衰减构件55在相对移动方向上分开。因而，由于固化收缩造成的收缩应力小，从而能够改善粘接强度。

图14是用于示出由于摩擦构件53的共振造成的振动的示意图。虚线表示以振动体50的高频振动的频率“f”共振的摩擦构件53的固有振动模式的波腹AN。在第五实施方式中，衰减构件55在相对移动方向上至少被分为多个部分，并且衰减构件55被保持为在摩擦构件53的固有振动模式的波腹AN(或者波腹的附近)处与摩擦构件53接触。以上，对具有四个波腹AN的四次固有振动模式的示例作出说明。然而，待产生的固有振动模式可能根据振动体50的高频振动的频率“f”或者摩擦构件53的形状而变化。

图15是图12A的局部放大图。在图15中，仅示出振动体50、摩擦构件53、基座构件54和衰减构件55，而省略了其它部件的说明。振动体50包括多个突起部51a，并且突起部51a在相对移动方向上的间隔由d2表示。当衰减构件55(或凹部54b)在相对移动方向上的长度由d1表示时，长度d1小于间隔d2。凹部54b在相对移动方向上的中心实质上与摩擦构件53的共振模式的波腹AN一致。

接下来，对利用第五实施方式的构造能够获得的效果作出说明。在第五实施方式中，使用具有减小了厚度的板形状的摩擦构件53。即使利用这样的具有减小了厚度的板形状的摩擦构件53，也防止了滑动区域53a和衰减区域53c彼此邻接。因而，防止了布置到凹部54b中的衰减构件55蔓延到滑动区域53a。即，不使衰减构件55和突起部51a彼此接触，因而不降低驱动特性。此外，衰减构件55设置于摩擦构件53的固有振动模式的波腹AN附近。因而，能够积极地使具有减小了厚度的板形状的摩擦构件53中产生的不必要振动衰减。设置衰减构件55以减少摩擦构件53的不必要振动。结果，能够抑制振动波马达150的特性降低和噪音的产生。此外，衰减构件55设置在加压方向上，而不是在相对移动方向或正交方向(Y方向)上。因而，能够减小振动波马达150在Y方向上的尺寸。

在第五实施方式中，衰减构件55均为粘接剂，并且被构造为固定摩擦构件53并使摩擦构件53的振动衰减。然而，衰减构件55可以不是粘接剂，并可以由刚性比基座构件54的刚性低的诸如硅橡胶或凝胶状材料等的材料制成。在该情况下，与现有技术示例相比，包括摩擦构件53、基座构件54和衰减构件55在内的各固定部的刚性较低。当固定部的刚性低时，在振动体50的突起部51a的末端处的椭圆运动不能有效地转换成驱动力，结果是驱动性能降低。在第五实施方式中，衰减构件55在相对移动方向(X方向)上被分成多个部分，并且除了摩擦构件53的衰减区域53c之外的区域作为固定区域53b被支撑在基座构件54上，从而能够抑制固定部的刚性降低并且抑制驱动性能的降低。此外，当衰减构件55在相对移动方向上的长度d1大于突起部51a的间隔d2时，存在由加压构件56赋予的加压力引起摩擦构件53的塑性变形或脆性断裂的风险。然而，在第五实施方式中，衰减构件55在相对移动方向上的长度d1小于突起部51a的间隔d2，因而能够抑制翘曲或脆性断裂。

当使用硅橡胶或凝胶状材料作为衰减构件55时，摩擦构件53在相对移动方向上的端部通过诸如螺钉57或粘接剂等的其它固定手段而完全固定，并且使固定侧面53f2和基座构件54的固定表面54a彼此抵靠。通过完全固定端部能够使摩擦构件53的共振频率fn固定。可选地，摩擦构件53可以通过嵌入成型(insert molding)与模具一体地形成。

以上说明了本发明的实施方式，但是本发明不限于所述实施方式并且能够在本发明的主旨的范围内进行各种变型和改变。

(应用例)

现在，对透镜驱动装置200作出说明，例如，根据本发明的实施方式的振动波马达110应用于该透镜驱动装置200。图16A是用于示出透镜驱动装置200的主视图，图16B是沿着图16A的线XVIB-XVIB截取的截面图。

透镜201(被驱动构件)固定于透镜保持构件202。透镜保持构件202具有分别与引导杆203a和引导杆203b接合的通孔202a和U槽部202b。透镜201和透镜保持构件202在光轴I方向上被线性引导。接合部202c与形成于振动波马达110的可动构件3的联接部3a接合。可动构件3和透镜保持构件202彼此一体地移动。

透镜驱动装置200包括透镜201和振动波马达110。如上所述，可动构件3与振动体10一体地移动。因此，透镜201能够通过振动体10和摩擦构件13的相对移动而在光轴方向上移动。

本发明适用于例如电子设备、特别地适用于需要小型轻量以及宽驱动速度范围的透镜驱动装置。

尽管已经参照示例性实施方式说明了本发明，但是应当理解的是，本发明不限于所公开的示例性实施方式。权利要求书的范围应符合最宽泛的解释，以包含所有的这些变型、等同结构和功能。

Claims (19)

1.一种振动波马达，其包括：

振动体，所述振动体包括压电元件；

摩擦构件，所述摩擦构件被保持为与所述振动体摩擦接触；

加压构件，所述加压构件被构造为朝向所述摩擦构件对所述振动体加压；

基座构件，所述基座构件被构造为固定所述摩擦构件；以及

衰减构件，所述衰减构件被构造为使在所述摩擦构件中产生的振动衰减，

其中，所述振动体和所述摩擦构件被构造为彼此相对移动，

其特征在于，所述摩擦构件包括：

第一表面，所述第一表面具有被保持为与所述振动体抵靠的第一区域；和

第二表面，所述第二表面是所述第一表面的背面，并且所述第二表面具有被保持为与所述基座构件抵靠的第二区域，

所述第一表面和所述第二表面中的至少一者具有被保持为与所述衰减构件接触的第三区域，并且

所述第一区域和所述第三区域在所述加压构件的加压方向上的位置彼此不同。

2.根据权利要求1所述的振动波马达，其中，

所述第一表面具有所述第三区域，并且

所述第三区域被配置为在所述加压方向上比所述第一区域远离所述振动体。

3.根据权利要求1所述的振动波马达，其中，

所述振动体包括突起部和平板部，

所述第二表面具有所述第三区域，并且

所述第三区域被配置为在所述加压方向上比所述第一区域靠近所述平板部。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的振动波马达，其中，

所述第三区域以在相对移动方向上延伸的方式形成，并且被配置为在正交于所述相对移动方向的方向上位于所述第一区域的外侧且与所述第一区域相邻。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的振动波马达，其中，所述第一表面和所述第二表面均具有所述第三区域。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的振动波马达，其中，所述摩擦构件通过所述衰减构件固定于所述基座构件。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的振动波马达，其中，所述摩擦构件的在相对移动方向上的端部通过螺钉和粘接剂中的一者完全地固定于所述基座构件。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的振动波马达，其中，所述衰减构件包括粘接剂。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的振动波马达，其中，

通过将驱动电压施加到所述压电元件而在所述振动体中产生的高频振动是在超声波范围中的频率的振动，并且

所述振动波马达包括使用超声波范围中的频率的振动的超声波马达。

10.一种电子设备，其包括：

被驱动构件；和

根据权利要求1至3中任一项所述的振动波马达，

其中，所述被驱动构件通过所述振动体和所述摩擦构件的相对移动而移动。

11.一种振动波马达，其包括：

振动体，所述振动体包括压电元件，

摩擦构件，所述摩擦构件被保持为与所述振动体摩擦接触；

加压构件，所述加压构件被构造为朝向所述摩擦构件对所述振动体加压；

基座构件，所述基座构件被构造为固定所述摩擦构件；以及

衰减构件，所述衰减构件被构造为使在所述摩擦构件中产生的振动衰减，

其中，所述振动体和所述摩擦构件被构造为彼此相对移动，

其特征在于，在所述基座构件的被保持为与所述摩擦构件抵靠的表面中，所述基座构件具有多个凹部，

所述多个凹部沿着相对移动方向形成，并且

所述衰减构件布置到所述多个凹部中。

12.根据权利要求11所述的振动波马达，其中，

所述摩擦构件包括：

第一表面，所述第一表面具有被保持为与所述振动体抵靠的第一区域；和

第二表面，所述第二表面具有被保持为与所述基座构件抵靠的第二区域和被保持为与所述衰减构件接触的第三区域，并且

所述第二区域和所述第三区域形成为在同一平面上在所述相对移动方向上交替。

13.根据权利要求11或12所述的振动波马达，其中，

所述振动体包括多个突起部，并且

所述衰减构件在所述相对移动方向上的长度小于所述多个突起部的间隔。

14.根据权利要求11或12所述的振动波马达，其中，所述衰减构件设置于所述摩擦构件的固有振动模式的各波腹附近，所述摩擦构件被构造为以所述振动体中产生的高频振动的频率共振。

15.根据权利要求11或12所述的振动波马达，其中，所述摩擦构件通过所述衰减构件固定于所述基座构件。

16.根据权利要求11或12所述的振动波马达，其中，所述摩擦构件的在所述相对移动方向上的端部通过螺钉和粘接剂中的一者完全地固定于所述基座构件。

17.根据权利要求11或12所述的振动波马达，其中，所述衰减构件包括粘接剂。

18.根据权利要求11或12所述的振动波马达，其中

通过将驱动电压施加到所述压电元件而在所述振动体中产生的高频振动是超声波范围中的频率的振动，并且

所述振动波马达包括使用超声波范围中的频率的振动的超声波马达。

19.一种电子设备，其包括：

被驱动构件；和

根据权利要求11或12所述的振动波马达，

其中，所述被驱动构件通过所述振动体和所述摩擦构件的相对移动而移动。