CN109226104A - 一种多晶硅炉盘干式清洗机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种多晶硅炉盘干式清洗机，包括干冰机组，与干冰机组相连设有干冰供料***、防爆除尘***、防爆电控***，构成一个供冰组合体，此组合体与防爆清洗***管道相连；所述防爆清洗***是在外罩内设有清洗装置，所述清洗装置，是在一支架上设有旋转伺服机构，伺服机构下设有直线模块，直线模块下设有清洗机头，清洗机头下设有喷头和喷嘴，喷头上连接有喷头升降气缸。本发明创造性地将干冰清洗应用于多晶硅炉盘，它安全高效、干净快捷，且不会产生二次污染。将干冰机组、干冰供料***、防爆除尘***、防爆电控***进行进一步整合成组合体，放置在可独立移动的平板车上，使用方便灵活。
Description
技术领域
本发明涉及一种多晶硅炉盘干式清洗机，用于对多晶硅还原炉盘面及电极的清理。属于机械设备领域。
背景技术
多晶硅还原炉在生成多晶硅棒的过程中，会在电极和炉盘上逐渐形成坚硬的垢层。它们的存在会导致绝缘等级降低甚至破坏、反射面反射效率降低等问题，必须及时清理。目前主要靠人工手动清理，由于作业时炉盘会有各种有毒有害气体溢出，给清理人员带来健康和安全风险。同时由于生产车间防爆等级很高，为消除隐患，一般电动工具很难排上用场，因此坚硬的垢层很难找到快速、有效的方法清理，清理时间至少都在2-3小时以上，而且清理并不彻底，时间长了甚至会导致绝缘破坏，危及生产安全；清理后的粉尘又会污染十万级净化车间。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明提供一种多晶硅炉盘干式清洗机，它安全高效、干净快捷，且不会产生二次污染。
为了达到上述目的，本发明的技术方案是，一种多晶硅炉盘干式清洗机，包括干冰机组，其特征是：与干冰机组相连设有干冰供料***、防爆除尘***、防爆电控***，构成一个供冰组合体，此组合体与防爆清洗***管道相连；所述防爆清洗***是在外罩内设有清洗装置，所述清洗装置，是在一支架上设有旋转伺服机构，伺服机构下设有直线模块，直线模块下设有清洗机头，清洗机头下设有喷头和喷嘴，喷头上连接有喷头升降气缸。
所述供冰组合体放置在可独立移动的平板车上。
所述的清洗装置设有1-4个清洗机头、1-8个喷嘴。
所述的喷嘴包括直线喷嘴和弯头喷嘴，所述的弯头喷嘴＞0-90°。
本发明创造性地将干冰清洗应用于多晶硅炉盘，它安全高效、干净快捷，且不会产生二次污染。将干冰机组、干冰供料***、防爆除尘***、防爆电控***进行进一步整合成组合体，放置在可独立移动的平板车上，使用方便灵活。
附图说明
图1为本发明主视示意图。
图2为本发明俯视示意图。
图3为本发明清洗装置示意图。
图4为本发明清洗机头立体示意图。
图5为本发明清洗机头示意图。
图中，1干冰机组，2干冰供料***，3防爆除尘***，4防爆电控***，5防爆清洗***，6清洗装置、61支架、62旋转伺服机构，63直线模块、64清洗机头，65、喷头升降气缸、66喷嘴，7平板车。
具体实施方式
以下结合附图和实施例，对本发明进一步说明。
如图1至图5所示，本发明公开了一种多晶硅炉盘干式清洗机，包括干冰机组1，与干冰机组相连设有干冰供料***2、防爆除尘***3、防爆电控***4，构成一个供冰组合体，此组合体与防爆清洗***5管道相连；所述防爆清洗***是在外罩内设有清洗装置6，所述清洗装置，是在一支架61上设有旋转伺服机构62，伺服机构下设有直线模块63，直线模块下设有清洗机头64，清洗机头下设有喷头和喷嘴66，喷头上连接有喷头升降气缸65。
所述供冰组合体放置在可独立移动的平板车7上。便于工作面的变换而移动。
所述的清洗装置设有1-4个清洗机头、1-8个喷嘴。清洗机头和喷嘴可根据需要而设置。
所述的喷嘴包括直线喷嘴和弯头喷嘴，所述的弯头喷嘴为＞0-90°。便于有效地作用于工作面和工作点。
如图1所示，***开机后在防爆电控***控制下自动进行***检测和回原点动作，随后防爆除尘***启动工作，防爆清洗***机头动作准备清洗工作，与此同时干冰机组、干冰供料***工作开始清洗。
如图2所示，***开始清洗后在旋转伺服的带动下进行大方向定点，在直线模组的带动下进行精确对心定位，双机头对称布置，同时工作。
如图3和图5所示，***进行精确定位后运动主轴在上下运动伺服的带动下上下运动，与运动主轴刚性连接的弯头喷嘴，此例为45°(下同)，可实现上下运动，两组直线喷嘴与运动主轴柔性连接，不随运动主轴上下运动，运动主轴在旋转伺服的带动下以电极为中心做旋转运动，与运动主轴刚性连接的45°弯头喷嘴可实现以电极为中心做旋转运动，两组直线喷嘴与运动主轴柔性连接，随主轴以电极为中心做旋转运动。两组直线喷嘴在升降气缸的带动下将整个上下行程分为多段，实现有效打击的同时避免运动干涉。
所述干冰供料***为本发明干冰机组进行连续供应干冰，保障了干冰机组连续作业，工作时间长达1小时不停机，减少因反复加冰带来的繁重劳动和不必要的麻烦，节省工作时间，节约成本。
所述防爆清洗***中的清洗装置为多机头，多喷嘴联动，在伺服控制下可轻松实现对电极、炉盘、沟槽进行精准打击，保证了清洗效果，提高了工作效率，降低了劳动强度。
所述防爆除尘***为可保证整个清洗***内部处于负压状态，及时将***内充斥的被击碎的垢层颗粒吸走，保证清洗***内部洁净，避免清洗***污染洁净车间。
所述防爆电控***将各个独立工作的功能模块，通过PLC集成控制柜，实现联动。精确定位，对每一种电极布置和多种电极规格进行兼容，减少机型，提高***的利用率。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种多晶硅炉盘干式清洗机，包括干冰机组，其特征是：与干冰机组相连设有干冰供料***、防爆除尘***、防爆电控***，构成一个供冰组合体，此组合体与防爆清洗***管道相连；所述防爆清洗***是在外罩内设有清洗装置，所述清洗装置，是在一支架上设有旋转伺服机构，伺服机构下设有直线模块，直线模块下设有清洗机头，清洗机头下设有喷头和喷嘴，喷头上连接有喷头升降气缸。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅炉盘干式清洗机，其特征是：所述供冰组合体放置在可独立移动的平板车上。
3.如权利要求1所述的一种多晶硅炉盘干式清洗机，其特征是：所述的清洗装置设有1-4个清洗机头、1-8个喷嘴。
4.如权利要求3所述的一种多晶硅炉盘干式清洗机，其特征是：所述的喷嘴包括直线喷嘴和弯头喷嘴，所述的弯头喷嘴为＞0-90°。
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