CN109226104A - 一种多晶硅炉盘干式清洗机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种多晶硅炉盘干式清洗机,包括干冰机组,与干冰机组相连设有干冰供料***、防爆除尘***、防爆电控***,构成一个供冰组合体,此组合体与防爆清洗***管道相连;所述防爆清洗***是在外罩内设有清洗装置,所述清洗装置,是在一支架上设有旋转伺服机构,伺服机构下设有直线模块,直线模块下设有清洗机头,清洗机头下设有喷头和喷嘴,喷头上连接有喷头升降气缸。本发明创造性地将干冰清洗应用于多晶硅炉盘,它安全高效、干净快捷,且不会产生二次污染。将干冰机组、干冰供料***、防爆除尘***、防爆电控***进行进一步整合成组合体,放置在可独立移动的平板车上,使用方便灵活。
Description
技术领域
本发明涉及一种多晶硅炉盘干式清洗机,用于对多晶硅还原炉盘面及电极的清理。属于机械设备领域。
背景技术
多晶硅还原炉在生成多晶硅棒的过程中,会在电极和炉盘上逐渐形成坚硬的垢层。它们的存在会导致绝缘等级降低甚至破坏、反射面反射效率降低等问题,必须及时清理。目前主要靠人工手动清理,由于作业时炉盘会有各种有毒有害气体溢出,给清理人员带来健康和安全风险。同时由于生产车间防爆等级很高,为消除隐患,一般电动工具很难排上用场,因此坚硬的垢层很难找到快速、有效的方法清理,清理时间至少都在2-3小时以上,而且清理并不彻底,时间长了甚至会导致绝缘破坏,危及生产安全;清理后的粉尘又会污染十万级净化车间。
发明内容
为了克服现有技术的不足,本发明提供一种多晶硅炉盘干式清洗机,它安全高效、干净快捷,且不会产生二次污染。
为了达到上述目的,本发明的技术方案是,一种多晶硅炉盘干式清洗机,包括干冰机组,其特征是:与干冰机组相连设有干冰供料***、防爆除尘***、防爆电控***,构成一个供冰组合体,此组合体与防爆清洗***管道相连;所述防爆清洗***是在外罩内设有清洗装置,所述清洗装置,是在一支架上设有旋转伺服机构,伺服机构下设有直线模块,直线模块下设有清洗机头,清洗机头下设有喷头和喷嘴,喷头上连接有喷头升降气缸。
所述供冰组合体放置在可独立移动的平板车上。
所述的清洗装置设有1-4个清洗机头、1-8个喷嘴。
所述的喷嘴包括直线喷嘴和弯头喷嘴,所述的弯头喷嘴>0-90°。
本发明创造性地将干冰清洗应用于多晶硅炉盘,它安全高效、干净快捷,且不会产生二次污染。将干冰机组、干冰供料***、防爆除尘***、防爆电控***进行进一步整合成组合体,放置在可独立移动的平板车上,使用方便灵活。
附图说明
图1为本发明主视示意图。
图2为本发明俯视示意图。
图3为本发明清洗装置示意图。
图4为本发明清洗机头立体示意图。
图5为本发明清洗机头示意图。
图中,1干冰机组,2干冰供料***,3防爆除尘***,4防爆电控***,5防爆清洗***,6清洗装置、61支架、62旋转伺服机构,63直线模块、64清洗机头,65、喷头升降气缸、66喷嘴,7平板车。
具体实施方式
以下结合附图和实施例,对本发明进一步说明。
如图1至图5所示,本发明公开了一种多晶硅炉盘干式清洗机,包括干冰机组1,与干冰机组相连设有干冰供料***2、防爆除尘***3、防爆电控***4,构成一个供冰组合体,此组合体与防爆清洗***5管道相连;所述防爆清洗***是在外罩内设有清洗装置6,所述清洗装置,是在一支架61上设有旋转伺服机构62,伺服机构下设有直线模块63,直线模块下设有清洗机头64,清洗机头下设有喷头和喷嘴66,喷头上连接有喷头升降气缸65。
所述供冰组合体放置在可独立移动的平板车7上。便于工作面的变换而移动。
所述的清洗装置设有1-4个清洗机头、1-8个喷嘴。清洗机头和喷嘴可根据需要而设置。
所述的喷嘴包括直线喷嘴和弯头喷嘴,所述的弯头喷嘴为>0-90°。便于有效地作用于工作面和工作点。
如图1所示,***开机后在防爆电控***控制下自动进行***检测和回原点动作,随后防爆除尘***启动工作,防爆清洗***机头动作准备清洗工作,与此同时干冰机组、干冰供料***工作开始清洗。
如图2所示,***开始清洗后在旋转伺服的带动下进行大方向定点,在直线模组的带动下进行精确对心定位,双机头对称布置,同时工作。
如图3和图5所示,***进行精确定位后运动主轴在上下运动伺服的带动下上下运动,与运动主轴刚性连接的弯头喷嘴,此例为45°(下同),可实现上下运动,两组直线喷嘴与运动主轴柔性连接,不随运动主轴上下运动,运动主轴在旋转伺服的带动下以电极为中心做旋转运动,与运动主轴刚性连接的45°弯头喷嘴可实现以电极为中心做旋转运动,两组直线喷嘴与运动主轴柔性连接,随主轴以电极为中心做旋转运动。两组直线喷嘴在升降气缸的带动下将整个上下行程分为多段,实现有效打击的同时避免运动干涉。
所述干冰供料***为本发明干冰机组进行连续供应干冰,保障了干冰机组连续作业,工作时间长达1小时不停机,减少因反复加冰带来的繁重劳动和不必要的麻烦,节省工作时间,节约成本。
所述防爆清洗***中的清洗装置为多机头,多喷嘴联动,在伺服控制下可轻松实现对电极、炉盘、沟槽进行精准打击,保证了清洗效果,提高了工作效率,降低了劳动强度。
所述防爆除尘***为可保证整个清洗***内部处于负压状态,及时将***内充斥的被击碎的垢层颗粒吸走,保证清洗***内部洁净,避免清洗***污染洁净车间。
所述防爆电控***将各个独立工作的功能模块,通过PLC集成控制柜,实现联动。精确定位,对每一种电极布置和多种电极规格进行兼容,减少机型,提高***的利用率。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种多晶硅炉盘干式清洗机,包括干冰机组,其特征是:与干冰机组相连设有干冰供料***、防爆除尘***、防爆电控***,构成一个供冰组合体,此组合体与防爆清洗***管道相连;所述防爆清洗***是在外罩内设有清洗装置,所述清洗装置,是在一支架上设有旋转伺服机构,伺服机构下设有直线模块,直线模块下设有清洗机头,清洗机头下设有喷头和喷嘴,喷头上连接有喷头升降气缸。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅炉盘干式清洗机,其特征是:所述供冰组合体放置在可独立移动的平板车上。
3.如权利要求1所述的一种多晶硅炉盘干式清洗机,其特征是:所述的清洗装置设有1-4个清洗机头、1-8个喷嘴。
4.如权利要求3所述的一种多晶硅炉盘干式清洗机,其特征是:所述的喷嘴包括直线喷嘴和弯头喷嘴,所述的弯头喷嘴为>0-90°。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111250489A (zh) * | 2020-03-27 | 2020-06-09 | 河北德高洁环保科技有限公司 | 一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200193778Y1 (ko) * | 2000-03-14 | 2000-08-16 | 주식회사빅터코리아인바이런먼트 | 드라이 아이스 세척기의 분사구조 |
JP2005286221A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
CN102205293A (zh) * | 2011-04-28 | 2011-10-05 | 河南省电力公司漯河供电公司 | 干冰清洗支柱绝缘子的喷头装置 |
CN202153442U (zh) * | 2011-07-29 | 2012-02-29 | 北京德高洁清洁设备有限公司 | 一种用于核污染场合的污物清洗清理*** |
CN102836844A (zh) * | 2011-06-20 | 2012-12-26 | 中国科学院微电子研究所 | 一种干冰微粒喷射清洗装置 |
CN203991507U (zh) * | 2014-06-18 | 2014-12-10 | 华中电网有限公司 | 一种多喷嘴干冰清洗头 |
CN104271254A (zh) * | 2012-03-30 | 2015-01-07 | 杜尔***有限责任公司 | 用于喷涂设备的干冰清洁装置及方法 |
CN204892451U (zh) * | 2015-06-23 | 2015-12-23 | 谭建忠 | 一种全覆盖旋转清洗水幕机构 |
CN106623273A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-05-10 | 东莞市拓福德涂装设备有限公司 | 一种干冰洗模流水线 |
CN107719321A (zh) * | 2017-10-18 | 2018-02-23 | 太仓麦迪斯自动化设备有限公司 | 一种用于洗车的清洗管道架 |
CN209303365U (zh) * | 2018-10-10 | 2019-08-27 | 北京德高洁清洁设备有限公司 | 一种多晶硅炉盘干式清洗机 |
-
2018
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200193778Y1 (ko) * | 2000-03-14 | 2000-08-16 | 주식회사빅터코리아인바이런먼트 | 드라이 아이스 세척기의 분사구조 |
JP2005286221A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
CN102205293A (zh) * | 2011-04-28 | 2011-10-05 | 河南省电力公司漯河供电公司 | 干冰清洗支柱绝缘子的喷头装置 |
CN102836844A (zh) * | 2011-06-20 | 2012-12-26 | 中国科学院微电子研究所 | 一种干冰微粒喷射清洗装置 |
CN202153442U (zh) * | 2011-07-29 | 2012-02-29 | 北京德高洁清洁设备有限公司 | 一种用于核污染场合的污物清洗清理*** |
CN104271254A (zh) * | 2012-03-30 | 2015-01-07 | 杜尔***有限责任公司 | 用于喷涂设备的干冰清洁装置及方法 |
CN203991507U (zh) * | 2014-06-18 | 2014-12-10 | 华中电网有限公司 | 一种多喷嘴干冰清洗头 |
CN204892451U (zh) * | 2015-06-23 | 2015-12-23 | 谭建忠 | 一种全覆盖旋转清洗水幕机构 |
CN106623273A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-05-10 | 东莞市拓福德涂装设备有限公司 | 一种干冰洗模流水线 |
CN107719321A (zh) * | 2017-10-18 | 2018-02-23 | 太仓麦迪斯自动化设备有限公司 | 一种用于洗车的清洗管道架 |
CN209303365U (zh) * | 2018-10-10 | 2019-08-27 | 北京德高洁清洁设备有限公司 | 一种多晶硅炉盘干式清洗机 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111250489A (zh) * | 2020-03-27 | 2020-06-09 | 河北德高洁环保科技有限公司 | 一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机 |
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