CN109163814B - 一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法 - Google Patents
一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109163814B CN109163814B CN201810734410.7A CN201810734410A CN109163814B CN 109163814 B CN109163814 B CN 109163814B CN 201810734410 A CN201810734410 A CN 201810734410A CN 109163814 B CN109163814 B CN 109163814B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wavefront
- deformable mirror
- incident laser
- correction
- sampling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims abstract description 72
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 46
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 26
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 6
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
本发明涉及一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法,属于激光***光束质量控制技术领域,所述装置包括波前传感器、变形镜、控制器、缩束***、分光镜和反射镜,待校正的入射激光束经分光镜后透射至变形镜,经变形镜反射回的入射激光束经分光镜后分为取样光束和输出光束,取样光束依次入射至反射镜、缩束***和波前传感器,本发明通过改变缩束***对取样光束的缩束比,调节入射到波前传感器上的取样光束口径,得到若干组不同口径取样光束的波前畸变,并分别利用变形镜进行波前校正得到若干组不同的波前校正电压,最后对波前畸变和波前校正电压取平均值,得到入射激光束的精准波前畸变和精准波前校正电压,校正结果精度高。
Description
技术领域
本发明属于激光***光束质量控制技术领域,具体地说涉及一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法。
背景技术
波前畸变严重影响了激光光束质量,为了消除波前畸变,基于哈特曼波前传感器的波前测量和校正技术被广泛应用(Modeling and control of a deformable mirror,《Journal of Dynamic Systems,Measurement,and Control》,Vol.124,2002,297-302.)。传统的波前校正***包含一套变形镜及高压驱动器、一套波前传感器,一套控制软件,波前畸变的测量和校正都是根据一次实验结果完成,波前测量和校正效果的高精度难以保证。
发明内容
针对现有技术的种种不足,为了解决上述问题,发明人在原有波前校正***内增设缩束***,通过调节缩束***改变光束的缩束比,从而精确改变入射到波前传感器上的取样光束口径,波前传感器测量若干组不同口径的取样光束相应得到若干组不同空间分布特性的波前畸变,然后利用变形镜对每组波前畸变分别进行波前校正得到若干组不同的波前校正电压,最后通过对波前畸变和波前校正电压数据进行平均,得到高精度的波前测量和校正结果。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种提高波前测量和校正精度的装置的使用方法,包括如下步骤:
S1:变形镜未施加校正电压,待校正的入射激光束经分光镜透射至变形镜表面,经变形镜反射回的入射激光束经分光镜后分为取样光束;
S2:调节液体透镜的焦距,以改变缩束***对取样光束的缩束比,取样光束经缩束***入射至波前传感器进行波前测量,得到波前畸变,测量结果反馈至控制器并转换为波前校正信号,得到波前校正电压;
S3:在与步骤S2相同的缩束比前提下,变形镜施加波前校正电压,变形镜对入射激光束进行波前校正,校正后的入射激光束传输至分光镜,其中,一部分入射激光束反射至波前传感器,另一部分入射激光束透射过分光镜并输出;
S4:在入射激光束相同的条件下,重复S2-S3,缩束***呈现不同的缩束比,得到若干组波前畸变和波前校正电压;
S5:将步骤S4中若干组波前畸变和波前校正电压分别取平均值,得到入射激光束的精准波前畸变和精准波前校正电压;
S6:将精准波前校正电压施加于变形镜上进行波前校正,即可;
其中,所述提高波前测量和校正精度的装置包括波前传感器、变形镜和控制器,且波前传感器、变形镜和控制器组成闭环***,还包括缩束***、分光镜和反射镜,所述分光镜倾斜设置,且分光镜与变形镜同光轴设置,待校正的入射激光束经分光镜后透射至变形镜,经变形镜反射回的入射激光束经分光镜后分为取样光束和输出光束,所述反射镜、缩束***和波前传感器同光轴设置,且反射镜与分光镜对应设置,取样光束依次入射至反射镜、缩束***和波前传感器,所述缩束***对取样光束的缩束比可调,沿着取样光束的传输方向,所述缩束***依次包括透镜和可变焦距的液体透镜;
所述液体透镜与第一驱动器电连接,改变第一驱动器的控制电压以调节液体透镜的焦距,所述变形镜与第二驱动器电连接,改变第二驱动器的控制电压以调节变形镜的面形,所述波前传感器为哈特曼波前传感器,所述控制器分别与波前传感器、变形镜电连接。
进一步,所述步骤S1中,入射激光束的光场E(x,y)exp[jφ(x,y)],(x,y)∈S0,其中,x和y分别表示二维空间两个方向,E(x,y)表示入射激光束的振幅,φ(x,y)表示入射激光束的波前,S0表示光场区域,j表示虚数,且j2=-1。
进一步,所述步骤S2中,波前传感器的子孔径阵列对取样光束进行分割,得到子孔径阵列对应的焦斑阵列,计算得到波前畸变,波前传感器测量的光束光场为E(x,y)exp[jφ(x,y)],m1a0≤Q0x≤n1a0,m2b0≤Q0y≤n2b0,其中,Q0表示缩束***的缩束比,a0和b0分别表示单个子孔径的长度和宽度,m1和n1分别表述取样光束长度方向对应的子孔径序列数,m2和n2分别表示取样光束宽度方向对应的子孔径序列数。
进一步,所述步骤S4中,对缩束***的缩束比进行调节,使得波前传感器对若干组不同口径的取样光束分别进行波前测量,波前传感器测量的光束光场为Ei(x,y)exp[jφi(x,y)],mia0≤Qix≤nia0,mjb0≤Qiy≤njb0,其中,i表示第i组测量结果,Qi表示第i组中缩束***的缩束比,mi和ni分别表示取样光束长度方向对应的子孔径序列数,mj和nj分别表示取样光束宽度方向对应的子孔径序列数,φi(x,y)表示第i组入射激光束的波前,Ei(x,y)表示第i组入射激光束的振幅。
本发明的有益效果是:
相比于传统的波前测量和校正技术,通过精确控制液体透镜的焦距,从而改变入射到波前传感器上的取样光束口径,得到若干组不同口径取样光束的波前畸变,并分别利用变形镜进行波前校正得到若干组不同的波前校正电压,最后对波前畸变和波前校正电压取平均值,得到入射激光束的精准波前畸变和精准波前校正电压,校正结果精度高。
附图说明
图1是本发明的整体结构示意图;
图2(a)是缩束比为5.35:1时,波前传感器测量的校正前的波前畸变图;
图2(b)是缩束比为5.35:1时,波前传感器测量的校正后的波前畸变图;
图3(a)是缩束比为5.45:1时,波前传感器测量的校正前的波前畸变图;
图3(b)是缩束比为5.45:1时,波前传感器测量的校正后的波前畸变图;
图4(a)是缩束比为5.55:1时,波前传感器测量的校正前的波前畸变图;
图4(b)是缩束比为5.55:1时,波前传感器测量的校正后的波前畸变图;
图5(a)是缩束比为5.66:1时,波前传感器测量的校正前的波前畸变图;
图5(b)是缩束比为5.66:1时,波前传感器测量的校正后的波前畸变图;
图6(a)是缩束比为5.76:1时,波前传感器测量的校正前的波前畸变图;
图6(b)是缩束比为5.76:1时,波前传感器测量的校正后的波前畸变图;
图7(a)是施加精准波前校正电压前的波前畸变图;
图7(b)是施加精准波前校正电压后的波前畸变图。
附图中:1-入射激光束、2-波前传感器、3-变形镜、4-分光镜、5-反射镜、6-透镜、7-液体透镜、8-取样光束。
具体实施方式
为了使本领域的人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合本发明的附图,对本发明的技术方案进行清楚、完整的描述,基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例,都应当属于本申请保护的范围。此外,以下实施例中提到的方向用词,例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向,因此,使用的方向用词是用来说明而非限制本发明创造。
实施例一:
如图1所示,一种提高波前测量和校正精度的装置,包括波前传感器2、变形镜3、缩束***、分光镜4、反射镜5和控制器,其中,波前传感器2、变形镜3和控制器组成闭环***,所述分光镜4倾斜设置,且分光镜4与变形镜3同光轴设置,待校正的入射激光束1经分光镜4后,大部分光束透射至变形镜3,小部分光束直接反射输出,经变形镜3反射回的入射激光束1再次经分光镜4后分为取样光束8和输出光束,取样光束8依次入射至反射镜5、缩束***和波前传感器2。也就是说,所述反射镜5、缩束***和波前传感器2同光轴设置,且反射镜5与分光镜4对应设置,保证取样光束8能够入射至反射镜5。本实施例中,所述分光镜4与入射激光束1光轴的夹角为45°。
所述缩束***对取样光束8的缩束比可调,沿着取样光束8的传输方向,所述缩束***依次包括透镜6和可变焦距的液体透镜7。其中,所述液体透镜7与第一驱动器电连接,改变第一驱动器的控制电压以调节液体透镜7的焦距,所述变形镜3与第二驱动器电连接,改变第二驱动器的控制电压以调节变形镜3的面形。所述波前传感器2优选为哈特曼波前传感器,所述控制器分别与波前传感器2、变形镜3电连接。
具体的校正过程过程如下:
首先,变形镜3未施加校正电压,待校正的入射激光束1经分光镜4透射至变形镜3表面,经变形镜3反射回的入射激光束1经分光镜4后分为取样光束8,调节液体透镜7的焦距,以改变缩束***对取样光束8的缩束比,取样光束8经缩束***入射至波前传感器2进行波前测量,得到波前畸变,测量结果反馈至控制器并转换为波前校正信号,得到波前校正电压,在保证缩束比不变的前提下,变形镜3施加波前校正电压,变形镜3对入射激光束1进行波前校正,校正后的入射激光束1传输至分光镜4,其中,一部分入射激光束1反射至波前传感器2,另一部分入射激光束1透射过分光镜4并输出。
入射激光束1的光场E(x,y)exp[jφ(x,y)],(x,y)∈S0,其中,x和y分别表示二维空间两个方向,E(x,y)表示入射激光束1的振幅,φ(x,y)表示入射激光束1的波前,S0表示光场区域。波前传感器2的子孔径阵列对取样光束8进行分割,得到子孔径阵列对应的焦斑阵列,计算得到波前畸变,波前传感器2测量的光束光场为E(x,y)exp[jφ(x,y)],m1a0≤Q0x≤n1a0,m2b0≤Q0y≤n2b0,其中,Q0表示缩束***的缩束比,a0和b0分别表示单个子孔径的长度和宽度,m1和n1分别表述取样光束8长度方向对应的子孔径序列数,m2和n2分别表示取样光束8宽度方向对应的子孔径序列数。
然后,在入射激光束相同的条件下,对缩束***的缩束比进行调节,缩束***呈现不同的缩束比,使得波前传感器2对若干组不同口径的取样光束8分别进行波前测量,波前传感器2测量的光束光场为:
Ei(x,y)exp[jφi(x,y)],mia0≤Qix≤nia0,mjb0≤Qiy≤njb0,其中,i表示第i组测量结果,Qi表示第i组中缩束***的缩束比,mi和ni分别表示取样光束8长度方向对应的子孔径序列数,mj和nj分别表示取样光束8宽度方向对应的子孔径序列数,φi(x,y)表示第i组入射激光束1的波前,Ei(x,y)表示第i组入射激光束1的振幅。
最后,将若干组波前畸变和波前校正电压分别取平均值,得到入射激光束1的精准波前畸变和精准波前校正电压,将精准波前校正电压施加于变形镜3上进行波前校正,即可。
实施例二:
本实施例与实施例一相同的部分不再赘述,不同的是:
入射激光束1的口径为30×30mm,波长为1053nm,分光镜4的口径为80×80mm,对1053nm激光反射率1%,变形镜3为压电薄膜驱动波前校正器,参数如表1所示,反射镜5的口径为80×80mm,对1053nm激光反射率99.95%,透镜6的口径为50×50mm,焦距为60cm,可变焦距的液体透镜7的口径为9×9mm,通过控制电压可以使焦距从5cm连续变化到无穷远,波前传感器2为哈特曼波前传感器,参数如表2所示。
表1:波前校正器主要技术参数
有效口径 | 30mm×30mm |
驱动器数目和布局 | 5×5正方形 |
最小闭环带宽 | 1hz |
驱动器冲程 | 10μm |
可校正的泽尼克像差阶数 | ≤10阶 |
表面反射率 | ≥99.95%@1053nm |
表2:波前传感器主要技术参数
具体校正过程如下:
由波前传感器的技术参数可知,子孔径尺寸为0.3mm×0.3mm,因此,调节缩束***的缩束比时,应尽量让缩束后的光束对应整数个子孔径。
1、调节液体透镜7的焦距为11.2cm,此时,液体透镜7与透镜6实现了5.35:1的缩束比,将入射激光束1口径从30mm变化到5.6mm。哈特曼波前传感器测量到的波前畸变如图2(a)所示,波前畸变pv值为1.6μm。利用变形镜3对该像差进行闭环校正,校正后的波前畸变如图2(b)所示,波前畸变pv值为0.57μm。
2、调节液体透镜7的焦距为11cm,此时,液体透镜7与透镜6实现了5.45:1的缩束比,将入射光束口径从30mm变化到5.5mm。哈特曼波前传感器测量到的波前畸变如图3(a)所示,波前畸变pv值为2.02μm。利用变形镜3对该像差进行闭环校正,校正后的波前畸变如图3(b)所示,波前畸变pv值为0.84μm。
3、调节液体透镜7的焦距为10.8cm,此时,液体透镜7与透镜6实现了5.55:1的缩束比,将入射光束口径从30mm变化到5.4mm。哈特曼波前传感器测量到的波前畸变如图4(a)所示,波前畸变pv值为2.42μm。利用变形镜3对该像差进行闭环校正,校正后的波前畸变如图4(b)所示,波前畸变pv值为1.18μm。
4、调节液体透镜7的焦距为10.6cm,此时,液体透镜7与透镜6实现了5.66:1的缩束比,将入射光束口径从30mm变化到5.3mm。哈特曼波前传感器测量到的波前畸变如图5(a)所示,波前畸变pv值为2.81μm。利用变形镜3对该像差进行闭环校正,校正后的波前畸变如图5(b)所示,波前畸变pv值为1.31μm。
5、调节液体透镜7的焦距为10.4cm,此时,液体透镜7与透镜6实现了5.76:1的缩束比,将入射光束口径从30mm变化到5.2mm。哈特曼波前传感器测量到的波前畸变如图6(a)所示,波前畸变pv值为3.16μm。利用变形镜3对该像差进行闭环校正,校正后的波前畸变如图6(b)所示,波前畸变pv值为1.4μm。
如上所述,通过变化液体透镜7的焦距,改变了缩束后入射到哈特曼波前传感器上的光束尺寸,然后分别测量波前畸变并对其闭环校正得到五组实验结果,可见,每组实验数据就是传统的波前校正方法对应的实验结果。最后,对五组实验结果包括波前畸变数据以及波前校正电压数据进行平均,就得到了相比于传统方法更为精确的实验数据。同时,哈特曼波前传感器测量到的波前畸变如图7(a)所示,波前畸变pv值为2.36μm。将精准波前校正电压施加于变形镜3上进行波前校正正,校正后的波前畸变如图7(b)所示,波前畸变pv值为1.04μm。
以上已将本发明做一详细说明,以上所述,仅为本发明之较佳实施例而已,当不能限定本发明实施范围,即凡依本申请范围所作均等变化与修饰,皆应仍属本发明涵盖范围内。
Claims (4)
1.一种提高波前测量和校正精度的装置的使用方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1:变形镜未施加校正电压,待校正的入射激光束经分光镜透射至变形镜表面,经变形镜反射回的入射激光束经分光镜后分为取样光束;
S2:调节液体透镜的焦距,以改变缩束***对取样光束的缩束比,取样光束经缩束***入射至波前传感器进行波前测量,得到波前畸变,测量结果反馈至控制器并转换为波前校正信号,得到波前校正电压;
S3:在与步骤S2相同的缩束比前提下,变形镜施加波前校正电压,变形镜对入射激光束进行波前校正,校正后的入射激光束传输至分光镜,其中,一部分入射激光束反射至波前传感器,另一部分入射激光束透射过分光镜并输出;
S4:在入射激光束相同的条件下,重复S2-S3,缩束***呈现不同的缩束比,得到若干组波前畸变和波前校正电压;
S5:将步骤S4中若干组波前畸变和波前校正电压分别取平均值,得到入射激光束的精准波前畸变和精准波前校正电压;
S6:将精准波前校正电压施加于变形镜上进行波前校正,即可;
其中,所述提高波前测量和校正精度的装置包括波前传感器、变形镜和控制器,且波前传感器、变形镜和控制器组成闭环***,还包括缩束***、分光镜和反射镜,所述分光镜倾斜设置,且分光镜与变形镜同光轴设置,待校正的入射激光束经分光镜后透射至变形镜,经变形镜反射回的入射激光束经分光镜后分为取样光束和输出光束,所述反射镜、缩束***和波前传感器同光轴设置,且反射镜与分光镜对应设置,取样光束依次入射至反射镜、缩束***和波前传感器,所述缩束***对取样光束的缩束比可调,沿着取样光束的传输方向,所述缩束***依次包括透镜和可变焦距的液体透镜;
所述液体透镜与第一驱动器电连接,改变第一驱动器的控制电压以调节液体透镜的焦距,所述变形镜与第二驱动器电连接,改变第二驱动器的控制电压以调节变形镜的面形,所述波前传感器为哈特曼波前传感器,所述控制器分别与波前传感器、变形镜电连接。
2.根据权利要求1所述的一种提高波前测量和校正精度的装置的使用方法,其特征在于,所述步骤S1中,入射激光束的光场E(x,y)exp[jφ(x,y)],(x,y)∈S0,其中,x和y分别表示二维空间两个方向,E(x,y)表示入射激光束的振幅,φ(x,y)表示入射激光束的波前,S0表示光场区域,j表示虚数,且j2=-1。
3.根据权利要求2所述的一种提高波前测量和校正精度的装置的使用方法,其特征在于,所述步骤S2中,波前传感器的子孔径阵列对取样光束进行分割,得到子孔径阵列对应的焦斑阵列,计算得到波前畸变,波前传感器测量的光束光场为E(x,y)exp[jφ(x,y)],m1a0≤Q0x≤n1a0,m2b0≤Q0y≤n2b0,其中,Q0表示缩束***的缩束比,a0和b0分别表示单个子孔径的长度和宽度,m1和n1分别表述取样光束长度方向对应的子孔径序列数,m2和n2分别表示取样光束宽度方向对应的子孔径序列数。
4.根据权利要求3所述的一种提高波前测量和校正精度的装置的使用方法,其特征在于,所述步骤S4中,对缩束***的缩束比进行调节,使得波前传感器对若干组不同口径的取样光束分别进行波前测量,波前传感器测量的光束光场为Ei(x,y)exp[jφi(x,y)],mia0≤Qix≤nia0,mjb0≤Qiy≤njb0,其中,i表示第i组测量结果,Qi表示第i组中缩束***的缩束比,mi和ni分别表示取样光束长度方向对应的子孔径序列数,mj和nj分别表示取样光束宽度方向对应的子孔径序列数,φi(x,y)表示第i组入射激光束的波前,Ei(x,y)表示第i组入射激光束的振幅。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810734410.7A CN109163814B (zh) | 2018-07-06 | 2018-07-06 | 一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810734410.7A CN109163814B (zh) | 2018-07-06 | 2018-07-06 | 一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109163814A CN109163814A (zh) | 2019-01-08 |
CN109163814B true CN109163814B (zh) | 2019-12-27 |
Family
ID=64897412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810734410.7A Active CN109163814B (zh) | 2018-07-06 | 2018-07-06 | 一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109163814B (zh) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109633891B (zh) * | 2019-01-16 | 2020-11-13 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种波前控制方法 |
CN109683312B (zh) * | 2019-01-22 | 2021-03-12 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种自适应光学***像传递关系的调节方法 |
CN109656015B (zh) * | 2019-01-25 | 2021-04-13 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种提高光学***波前畸变校正精度的方法 |
CN110133846B (zh) * | 2019-04-26 | 2020-08-21 | 北京理工大学 | 变焦稳像一体化成像***中变形镜稳像面形的设计方法 |
CN110109245B (zh) * | 2019-05-21 | 2021-05-04 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种提高变形镜波前校正空间分辨率的方法 |
CN113639676B (zh) * | 2021-07-30 | 2023-10-20 | 哈尔滨工业大学 | 基于波前测量与校正的二维光电自准直方法与装置 |
CN113984222B (zh) * | 2021-10-28 | 2024-06-14 | 中山光子科学中心 | 光栅压缩器波前畸变在线测量装置及测量方法 |
CN115993696B (zh) * | 2022-12-02 | 2024-06-18 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种焦斑控制方法及其*** |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7038791B2 (en) * | 2003-06-25 | 2006-05-02 | The Boeing Company | Signal-to-noise ratio tuned adaptive optics control system |
CN101055348A (zh) * | 2007-05-29 | 2007-10-17 | 中国科学院光电技术研究所 | 基于自参考波前传感器和连续表面变形镜的自适应光学*** |
CN101078808A (zh) * | 2007-06-28 | 2007-11-28 | 中国科学院光电技术研究所 | 基于像清晰化原理的自适应光学星体目标成像*** |
CN101546037A (zh) * | 2009-05-05 | 2009-09-30 | 长春理工大学 | 基于空间光调制器的无模型波前畸变校正*** |
CN101806957A (zh) * | 2010-03-10 | 2010-08-18 | 中国科学院光电技术研究所 | 自适应光学***中波前传感器与校正器对准装置 |
-
2018
- 2018-07-06 CN CN201810734410.7A patent/CN109163814B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7038791B2 (en) * | 2003-06-25 | 2006-05-02 | The Boeing Company | Signal-to-noise ratio tuned adaptive optics control system |
CN101055348A (zh) * | 2007-05-29 | 2007-10-17 | 中国科学院光电技术研究所 | 基于自参考波前传感器和连续表面变形镜的自适应光学*** |
CN101078808A (zh) * | 2007-06-28 | 2007-11-28 | 中国科学院光电技术研究所 | 基于像清晰化原理的自适应光学星体目标成像*** |
CN101546037A (zh) * | 2009-05-05 | 2009-09-30 | 长春理工大学 | 基于空间光调制器的无模型波前畸变校正*** |
CN101806957A (zh) * | 2010-03-10 | 2010-08-18 | 中国科学院光电技术研究所 | 自适应光学***中波前传感器与校正器对准装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
谢娜 等.超短脉冲激光装置波前校正实验研究.《强激光与粒子束》.2010,第22卷(第7期),第1433-1435页. * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109163814A (zh) | 2019-01-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109163814B (zh) | 一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法 | |
CN109656015B (zh) | 一种提高光学***波前畸变校正精度的方法 | |
CN109253707B (zh) | 百微米量程透射式干涉测试装置 | |
CN108563034A (zh) | 反射型空间滤波器调试装置和方法 | |
Vdovin | Optimization-based operation of micromachined deformable mirrors | |
CN109932817B (zh) | 一种自适应光学模拟动态波前校正装置及其校正方法 | |
US3782829A (en) | Lens alignment apparatus and method | |
CN109683306B (zh) | 一种用于克服热透镜效应的波前控制方法 | |
CN108827596B (zh) | 一种应用于分块式拼接望远镜共相检测方法与装置 | |
CN103760666A (zh) | 基于光波可逆传输的自适应光学波前校正环路 | |
CN108775965A (zh) | 一种波前测量方法 | |
CN102707434A (zh) | 一种腔内自适应光学光束净化***及方法 | |
CN109633891B (zh) | 一种波前控制方法 | |
CN110824697A (zh) | 人造信标与无波前探测结合的自适应光学*** | |
CN112882224B (zh) | 一种波前控制方法 | |
CN204612671U (zh) | 一种光学薄膜元件热变形的检测光路 | |
CN107797218A (zh) | 物镜像差校正镜及像差校正方法和光学***、光刻机 | |
CN109683312B (zh) | 一种自适应光学***像传递关系的调节方法 | |
CN115356839A (zh) | 贝塞尔双光子显微镜照明光路生物组织像差探测方法 | |
CN111211476B (zh) | 一种四程放大器波前控制方法 | |
CN108469674A (zh) | 高分辨相位调制非线性双层微光学元件 | |
Orlenko et al. | Off-axis parabolic mirrors: A method of adjusting them and of measuring and correcting their aberrations | |
CN115993696B (zh) | 一种焦斑控制方法及其*** | |
CN104678556A (zh) | 一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿*** | |
CN111240029A (zh) | 一种贝塞尔光束产生装置及其产生方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |