CN109110478B - 一种集成电路材料表面处理设备用的上下料装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，包括支架、第一送料装置、第一升降装置、推料装置、以及上料输送装置；该支架上设有放料口；该第一送料装置设置在该支架上，且与该放料口对应设置，以输送从该放料口放进的带有工件的料盒；该第一升降装置设置在该支架上，位于该第一送料装置的一端，以承接并带动该第一送料装置输送的料盒进行升降；该推料装置设置在该第一升降装置的后端，与第一升降装置对应设置，以将该料盒中的工件推至该上料输送装置；该上料输送装置设置在该第一升降装置的前端，与该推料装置对应设置，以输送由该推料装置推出的工件。该集成电路材料表面处理设备用的上下料装置可以提高集成电路材料表面处理过程中的输送效率，提高其自动化水平。

Description

一种集成电路材料表面处理设备用的上下料装置

技术领域

本发明涉及集成电路材料表面处理技术领域，更具体地说，涉及一种集成电路材料表面处理设备用的上下料装置。

背景技术

在集成电路材料表面处理过程中，一般需要人工将放置在料盒中的工件取出，并将其运至集成电路材料表面处理设备，进行表面处理，表面处理后再运至原上料点，将加工后的工件放回原料盒，因此现有的表面处理过程的自动化水平低，生产效率低且花费人工成本高。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于，提供一种改进的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，包括支架、第一送料装置、第一升降装置、推料装置、以及上料输送装置；

所述支架上设有放料口；所述第一送料装置设置在所述支架上，且与所述放料口对应设置，以输送从所述放料口放进的带有工件的料盒；

所述第一升降装置设置在所述支架上，位于所述第一送料装置的一端，以承接并带动所述第一送料装置输送的料盒进行升降；

所述推料装置设置在所述第一升降装置的后端，与第一升降装置对应设置，以将所述料盒中的工件推至所述上料输送装置；

所述上料输送装置设置在所述第一升降装置的前端，与所述推料装置对应设置，以输送由所述推料装置推出的工件。

优选地，所述支架包括底座、设置在所述底座上方的第一挡板、以及设置在所述底座上与所述第一挡板平行且间隔地设置的第二挡板；所述放料口设置在所述第二挡板上；所述第一送料装置设置在所述第一挡板和所述第二挡板之间，且沿所述第一挡板和所述第二挡板长度方向设置。

优选地，所述第一送料装置包括第一驱动机构、与所述第一驱动机构连接由所述第一驱动机构带动传动的第一传动机构；

所述第一驱动机构包括第一电机，所述第一传动机构包括两组间隔设置的第一同步轮组件；所述第一同步轮组件包括沿所述第一挡板长度方向间隔设置的第一同步轮、第二同步轮以及套设在所述第一同步轮和所述第二同步轮上的第一同步带；所述第一电机与所述第二同步轮连接以带动所述第二同步轮转动；

所述第一送料装置的两端分别形成第一侧和第二侧；所述第一同步带传送方向为从所述第二侧传送至所述第一侧。

优选地，所述第一升降装置设置在所述底座中，且位于所述所述第二送料装置的第一侧，其沿所述第二送料装置的高度方向做升降运动；所述第一升降装置包括第一接料板、与所述第一接料板连接带动所述第一接料板升降的第一升降组件、带动所述第一升降组件升降的第一丝杆、与所述第一丝杆连接驱动所述第一丝杆转动的第二电机；

所述第一升降组件包括套设在所述第一丝杆***的由所述第一丝杆带动升降的第一安装板、以及设置在所述第一安装板上与所述第一丝杆平行设置的若干第一导杆；所述第一导杆与所述第一接料板连接且从所述底座穿出设置以带动所述第一接料板升降；

所述第一升降装置上还设有第一压料组件，所述第一压料组件包括设置在所述第一接料板上与所述第一接料板垂直设置的第二安装板、设置在所述第二安装板上的第三电机、设置在所述第二安装板上与所述第三电机连接由由所述第三电机带动旋转的第一旋转臂、以及设置在所述第一旋转臂底部以固定所述料盒的第一压块。

优选地，所述推料装置设置在所述支架上，且与所述上料输送装置位于同一水平，其包括安装架，以及设置在所述安装架中的第四电机、连杆、第一导轨、第一滑块、推头、位置传感器；所述连杆与所述第四电机连接由所述第四电机带动转动；所述第一滑块设置在所述第一导轨上，与所述连杆和所述推头连接，以在所述连杆转动时在所述第一导轨上滑动，带动所述推头做前后伸缩运动；所述位置传感器设置在所述安装架上以感应所述料盒中工件的位置。

优选地，所述上料输送装置包括第三安装板、设置在所述第三安装板上且间隔设置的第三挡板和第四挡板、第二驱动机构、与所述第二驱动机构连接由所述第二驱动机构带动传动的第二传动机构、分别设置在所述第三挡板和所述第四挡板上的两组第一张紧轮组件以及设置在所述第四挡板的若干第一传感器；

所述第二驱动机构包括第五电机；

所述第二传动机构包括设置在所述第三挡板和所述第四挡板之间且平行间隔设置的两组第一皮带轮组件；所述皮带轮组件包括沿所述第三挡板长度方向且间隔地设置的第一皮带轮和第二皮带轮；套设在所述第一皮带轮和所述第二皮带轮上的第一皮带；所述第一皮带轮由所述第五电机带动转动；

所述两组第一张紧轮组件分别设置在所述第三挡板和所述第三挡板靠近所述第一升降装置的一端；每一所述第一张紧轮组件与一所述第一皮带轮组件对应设置；所述第一张紧轮组件包括第三皮带轮以及与所述第三皮带轮连接的第一齿轮组合；所述第三皮带轮设置在所述第二皮带轮上且与所述第二皮带轮旋转方向相反以与所述第二皮带轮配合将所述工件夹至所述第一皮带上、所述第一齿轮组合设置在所述第三挡板或所述第四挡板外侧以带动所述第三皮带轮转动。

优选地，还包括第二送料装置；所述第二送料装置设置在所述第一送料装置的上方，与所述第一送料装置平行间隔地设置，且与所述第一送料装置传送方向相反，以承接并输送从所述第一升降装置带动升降的空料盒；

所述第二送料装置包括第三驱动机构、与所述第三驱动机构连接由所述第三驱动机构带动传动的第三传动机构；

所述第三驱动机构包括第六电机，所述第三传动机构包括间隔设置的两组第二同步轮组件；所述第二同步轮组件包括沿所述第一挡板长度方向或沿所述第二挡板长度方向间隔设置的第三同步轮、第四同步轮以及套设在所述第三同步轮和所述第四同步轮上的第二同步带；所述第六电机与所述第三同步轮连接以带动所述第三同步轮转动。

优选地，还包括第一取料机械手；所述第一取料机械手设置在所述第二送料装置靠近所述第一升降装置的一端以将所述第一升降装置上的所述空料盒取至所述第二送料装置；

所述第一取料机械手包括设置在所述两组第二同步轮组件之间的第一机械手以及带动所述第一机械手伸缩的第一伸缩组件；

所述第一伸缩组件包括与所述第一机械手连接的第一伸缩气缸、与所述第一伸缩气缸平行设置的第二导轨、设置在所述第二导轨上可在所述第二导轨上滑动的第二滑块；所述第二滑块与所述第一机械手连接以带动所述第一机械手滑动；

所述第一接料板与所述第一送料装置相对的一侧开设有一缺口；所述缺口从所述接料板的侧边朝所述接料板的中部延伸以使所述第一接料板呈凹字形，所述第一机械手上设有供所述第一接料板穿出且并排设置的第一过孔和第二过孔。

优选地，还包括设置在所述两组第二同步轮组件之间的转向装置；所述转向装置包括供所述空料盒放置的转盘、设置在所述转盘下方带动所述转盘旋转的旋转气缸以及设置在所述转盘下方带动所述转盘升降的升降气缸。

优选地，还包括下料输送装置、第二升降装置以及第二取料机械手；所述下料输送装置设置在所述第一挡板远离所述上料输送装置的一端，与所述上料输送装置平行设置；所述第二升降装置设置在所述底座上且其位于所述第二送料装置远离所述第一升降装置的一端；所述第二取料机械手设置在所述第一挡板和所述第二挡板之间且远离所述第一取料机械手的一端。

优选地，所述下料输送装置包括若干并排且间隔设置的第四安装板、设置在所述第四安装板上且间隔设置的第五挡板和第六挡板、第四驱动机构、与所述第四驱动机构连接由所述第四驱动机构带动传动的第四传动机构、分别设置在所述第五挡板和所述第六挡板的外侧的两组第二张紧轮组件以及设置在所述第六挡板上并排设置的若干第二传感器；

所述第四驱动机构包括第七电机；

所述第四传动机构包括设置在所述第五挡板和所述第六挡板之间且平行间隔设置的两组第二皮带轮组件；所述第二皮带轮组件包括沿所述第五挡板长度方向或沿所述第六挡板长度方向且间隔地设置的第四皮带轮和第五皮带轮；套设在所述第四皮带轮和所述第五皮带轮上的第二皮带；所述第五皮带轮由所述第七电机带动转动；

所述第二张紧轮组件设置在所述第五挡板和所述第六挡板靠近所述第二升降装置的一端；每一所述第二张紧轮组件与一所述第二皮带轮组件对应设置；每一所述第二张紧轮组件包括第六皮带轮、以及与所述第六皮带轮连接的第二齿轮组合；所述第六皮带轮分别设置在所述第五皮带轮上且与所述第五皮带轮旋转方向相反以与所述第五皮带轮配合将所述工件夹至所述第二皮带上、所述第二齿轮组合设置在所述第五挡板或所述第六挡板外侧以带动所述第五皮带轮转动。

优选地，所述第二升降装置包括第二接料板、与所述第二接料板连接带动所述第二接料板升降的第二升降组件、带动所述第二升降组件升降的第二丝杆、与所述第二丝杆连接驱动所述第二丝杆转动的第八电机；

所述第二升降组件包括套设在所述第二丝杆***的由所述第二丝杆带动升降的第五安装板、以及设置在所述第五安装板上与所述第二丝杆平行设置的若干第二导杆；所述第二导杆与所述第二接料板连接且从所述底座穿出设置以带动所述第二接料板升降；

所述第二升降装置上还设有第二压料组件，所述第二压料组件包括设置在所述接料板上与所述接料板垂直设置的第六安装板、设置在所述第六安装板上的第九电机、设置在所述第五安装板上与所述第九电机连接由所述第九电机带动旋转的第二旋转臂、以及设置在所述第二旋转臂底部以固定所述料盒的第二压块。

优选地，所述第二取料机械手包括设置在所述两组第二同步轮组件之间的第二机械手以及带动所述第二机械手伸缩的第二伸缩组件；

所述第二伸缩组件包括与所述第二机械手连接的第二伸缩气缸、与所述第二伸缩气缸平行设置的第三导轨、设置在所述第三导轨上可在所述第三导轨上滑动的第三滑块；所述第三滑块与所述第二机械手以带动所述第二机械手滑动。

优选地，所述第二挡板上还设有出料口；

所述集成电路材料表面处理设备用的上下料装置还包括第三送料装置，所述第三送料装置设置在所述第一挡板和所述第二挡板之间，位于所述第二送料装置的下方且与所述第一送料装置位于同一水平，以将带有经加工后工件的料盒从所述第二升降装置输送至所述出料口；所述第三送料装置包括第五驱动机构、与所述第五驱动机构连接由所述第五驱动机构带动传动的第五传动机构；

所述第五驱动机构包括第十电机，所述第五传动机构包括间隔设置的两组第三同步轮组件；所述第三同步轮组件包括沿所述第一挡板长度方向间隔设置的第五同步轮、第六同步轮以及套设在所述第五同步轮和所述第六同步轮上的第三同步带；所述第十电机与所述第五同步轮连接以带动所述第五同步轮转动。

实施本发明的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，具有以下有益效果：该集成电路材料表面处理设备用的上下料装置通过设置在该支架上的第一送料装置将放料口的带有工件的料盒输送至第一升降装置，由该第一升降装置承接并带动该料盒升降，再通过该推料装置将该料盒中的工件推至上料输送装置，进一步由上料输送装置将料盒输送至集成电路材料表面处理设备进行加工。该集成电路材料表面处理设备用的上下料装置可以提高集成电路材料表面处理过程中的输送效率，提高其自动化水平，并且降低人工成本。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中：

图1是本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置的结构示意图；

图2是图1本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置正面角度的结构示意图；

图3是图1本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置另一角度的结构示意图；

图4是本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置第一送料装置以及第二送料装置的结构示意图；

图5是本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置第一升降装置的结构示意图；

图6是本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置推料装置的结构示意图；

图7是本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置上料输送装置的结构示意图；

图8是本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置第一取料机械手的结构示意图；

图9是本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置转向装置的结构示意图；

图10是本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置下料输送装置的结构示意图；

图11是本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置第二升降装置的结构示意图；

图12是本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置第二取料机械手的结构示意图；

图13是本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置第三送料装置的结构示意图。

具体实施方式

为了对本发明的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本发明的具体实施方式。在本专利的描述中，需要理解的是，术语“上方”、“下方”、“前端”、“后端”、“左侧”、“右侧”、“垂直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述。

图1至图13示出了本发明集成电路材料表面处理设备用的上下料装置的一个优选实施例。

本发明的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，可用于集成电路材料表面处理过程中上下料，其可提高上下料效率，提高集成电路材料表面处理的自动化水平以及降低人力生产成本。本发明中的料盒为长方体状，工件叠层设置在该料盒中。

如图1至3所示，该集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，包括支架11、第一送料装置12、第一升降装置13、推料装置14以及上料输送装置15；该支架11可以起到支撑的作用。该第一送料装置12设置在该支架11上，可将带有工件的料盒输送至该第一升降装置13；该第一升降装置13可通过升降带动该料盒升降，便于该推料装置14将料盒中的工件推至该上料输送装置15；该上料输送装置15可用于将该工件输送至集成电路材料表面处理设备进行表面处理，或者其他加工设备进行加工。

该支架11包括底座111、第一挡板112以及第二挡板113；该底座111可以为长方体状，其可以采用钢板或者其他金属板材制成，其可起到支撑的作用。该第一挡板112设置在该底座111上方，且其垂直于底座111设置，该第二挡板113设置在该底座111上，与该第一挡板112平行且间隔地设置，该第一挡板112和该第二挡板113之间形成可输送该料盒的输送通道。该第二挡板113上开设有放料口1131，该放料口1131与该第一送料装置12相对设置，其可供工作人员放料。该第二挡板113上还设有出料口1132，该出料口1132与该放料口1131并排设置，且位于该放料口1131的右侧，其可便于工作人员取料。

该第一送料装置12设置在该支架11上，且与该放料口1131对应设置，具体地，其设置在该第一挡板112和该第二挡板113之间，且沿该第一挡板112和该第二挡板113长度方向设置，其可用于输送从该放料口1131放进的带有工件的料盒。该第一送料装置12的两端分别形成第一侧和第二侧；工作人员从该放料口1131放料，该第一侧为左侧，该第二侧为右侧。该该第一送料装置12的输送方向为从第二侧传送至第一侧。

如图1至图4所示，在本实施例中，该第一送料装置12包括第一驱动机构121、第一传动机构122；该第一传动机构122与该第一驱动机构121连接由该第一驱动机构121带动传动。该第一驱动机构121包括第一电机，该第一电机可通过转动带动该第一传动机构122传动。该第一传动机构122包括两组间隔设置的第一同步轮组件。该料盒可搁置在这两组第一同步轮组件上，由其带动输送。在其他一些实施例中，该第一同步轮组件不限于两组。每组第一同步轮组件包括沿该第一挡板112长度方向或者该第二挡板113长度方向间隔设置的第一同步轮1221、第二同步轮以及第一同步带1222。该第一同步轮1221设置在该第一送料装置12的第一侧，该第二同步轮设置在该第一送料装置12的第二侧，该第一同步带1222套设在该第一同步轮1221和该第二同步轮上，由该第一同步轮1221和该第二同步轮带动转动。该第二同步轮与该第一电机连接，由该第一电机带动转动。

如图1、图2、及图5所示，该第一升降装置13设置在该支架11上，位于该第一送料装置12的一端，具体地，其设置在该底座111中，且位于该第一送料装置12的第一侧，其可沿该第二送料装置16的高度方向做升降运动，以承接并带动该第一送料装置12输送的料盒进行升降。当该推料装置14每推出一片工件时，该第一升降装置13带动该料盒向上升一高度，至该料盒中最顶端的工件与该上料输送装置15位于同一水平。

在本实施例中，该第一升降装置13包括第一接料板131、第一升降组件132、第一丝杆133、以及第二电机134；该第一接料板131设置在该底座111的上，可用于承接该料盒，该第一接料板131可以呈凹字形，其与该第一送料装置12相对的一侧开设有一缺口，缺口从所述接料板的侧边朝所述接料板的中部延伸，以便于将料盒送至第二送料装置16；该第一升降组件132设置在该底座111中，可升出该底座111与第一接料板131连接，可带动该第一接料板131升降。该第一丝杆133与该第一升降组件132连接，其可通过转动带动该第一升降组件132升降。该第二电机134与该第一丝杆133连接，以驱动该第一丝杆133转动。该第一升降组件132包括第一安装板1321、以及设置在该第一安装板1321上的若干第一导杆1322。该第一安装板1321套设在该第一丝杆133的***，其中间设有一穿孔，可供该第一丝杆133穿设，其可由该第一丝杆133带动升降。该若干第一导杆1322设置在该第一安装板1321上与该第一丝杆133平行设置，且其从该底座111穿出设置以与该第一接料板131连接以带动该第一接料板131升降。在本实施例中，优选地，该若干第一导杆1322包括四根导杆。该第二电机134设置在该第一丝杆133的一侧，其通过设置连杆与该第一丝杆133连接，其可通过带动该连杆转动进而带动该第一丝杆133转动。

在本实施例中，该第一升降装置13上还设有第一压料组件135，该第一压料组件135可用于压住料盒，避免料盒晃动。该第一压力组件135包括第二安装板1351、第三电机1352、第一旋转臂1353、第一压块1354；该第二安装板1351设置在该第一接料板131上且与该第一接料板131垂直设置，其可用于安装该第三电机1352，该第三电机设置在该第二安装板1351上，其可驱动该第一旋转臂1353转动，该第一旋转臂1353设置在该第二安装板1351上且与该第三电机1352连接，由该第三电机带动旋转，该第一压块1354设置在该第一旋转臂1353底部，其可用于固定料盒。

如图1、图3及图6所示，在本实施例中，该推料装置14设置在该支架11上，当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该推料装置14不限于设置在该支架11上。具体地，该推料装置14设置在该第一升降装置的后端，其与该第一升降装置13对应设置，且其与该上料输送装置15位于同一水平，其可用于将该料盒中的工件推至该上料输送装置15。

进一步地，在本实施例中，该推料装置14包括安装架141，以及设置在该安装架141中的第四电机142、连杆143、第一导轨144、第一滑块145、推头146、位置传感器147；该安装架141可起到支撑作用，其包括可设置在底座111上的支撑部以及位于该支撑部上方的安装部；该安装部为长方体状。该第四电机设置在该安装部的底部且其电机输出轴从该安装部底面伸入与设置在该安装部中的连杆143连接，以带动该连杆143转动。该连杆143设置在该安装部中，其一端与该第四电机142连接，另一端与该第一滑块145连接。该连杆143可由该第四电机142带动转动，进而实现伸缩。该第一导轨144沿该安装部的长度方向设置，其设置在该安装部底面，该第一滑块145套设在该第一导轨144上与该连杆143和该推头146连接，其可在该连杆143转动时，在该第一导轨144上滑动，进而带动该推头146做前后伸缩运动。该推头146与该第一升降装置13相对设置，其与该上料输送装置15位于同一水平上，其可通过前后伸缩运动将料盒中的工件推至该上料输送装置15。该位置传感器147，其设置在该安装架141上，其与该第一升降装置13相对设置，其可以感应该料盒中工件的位置，并将该料盒中工件位置信息传输至控制***，由控制***该第一升降装置13升降至该料盒中最顶端的工件位置与该推头146位于同一水平。

如图1、及图7所示，该上料输送装置15其设置在该第一升降装置13的前端，其与该推料装置14对应设置，具体地，该上料输送装置15与该推料装置14位于同一水平，以输送由该推料装置14推出的工件。该上料输送装置15包括第三安装板151、设置在第三安装板151上且间隔设置的第三挡板152和第四挡板153、第二驱动机构154、第二传动机构155、两组第一张紧轮组件156、以及若干第一传感器157。该第三安装板151位于该第三挡板152和该第四挡板153的下方，以连接固定该第三挡板152和该第四挡板153。该第三挡板152和该第四挡板153平行且间隔设置在该第三安装板151上，且该第三挡板152和该第四挡板153之间的间隔形成供工件输出的导向通道。该第二驱动机构154设置在该第四挡板153上，其可带动该第二传动机构155进行传动。该传动机构155设置在该第三挡板152和该第四挡板153之间，其可用于输送工件。该两组张紧轮组件分别设置在该第三挡板152和该第四挡板153上，其可产生一个张紧力将工件夹至该第二传送机构155上。该若干第一传感器157设置在该第四挡板153上，其可以感应该第二传送机构155上是否有工件传送。

进一步地，该第二驱动机构154可以为设置在该第四挡板153外侧的第五电机，该第三挡板152和该第四挡板153的外侧还设有与该电机连接的两组转轮组件，每组转轮组件包括第一转轮和第二转轮以及套设在该第一转轮和该第二转轮上的皮带。该第四挡板153外侧的第一转轮与该第三挡板152外侧的第一转轮通过设置转轴连接，该第一转轮与该第五电机输出轴连接，由该第五电机带动转动，该第五电机带动设置在该第四挡板153外侧的第一转轮转动，进而带动该第二转轮转动以及带动设置在该第三挡板152外侧的第一转轮转动，该第三挡板152外侧的第一转轮转动进而带动位于该第三挡板152外侧的第二转轮转动。在其他一些实施例中，该转轮组件可以省去。

该第二传动机构155设置在该第三挡板152和该第四挡板153之间，其包括设置在该第三挡板152和该第四挡板153之间且平行间隔设置的两组第一皮带轮组件；每组第一皮带轮组件与每组转轮组件对应设置，分别设置在该第三挡板152和该第四挡板153上，且分别与该第二转轮连接，分别由该第二转轮带动转动。具体地，该第一皮带轮组件包括沿该第三挡板长度方向或沿该第四挡板153传动方向且间隔设置的第一皮带轮和第二皮带轮1511，以及套设在该第一皮带轮和该第二皮带轮1511上的第一皮带1512。该第一皮带轮与该第二转轮连接，由该电机带动转动，进而带动该第二皮带轮1511转动，从而带动该第一皮带1512传送。

在本实施例中，该两组第一张紧轮组件156分别设置在该第一挡板152和该第四挡板153上且靠近该第一升降装置13的一端；其中，一组设置在该第一挡板152上，另一组设置在该第四挡板153上，每一组第一张紧轮组件156与一第一皮带轮组件对应设置。每一第一张紧轮组件156包括第三皮带轮1561以及与该第三皮带轮1561连接的第一齿轮组合1562，该第三皮带轮设置在该第二皮带轮1511上，其与该第二皮带轮1511旋转方向相反，其可与该第二皮带轮1511配合，产出张紧力，将该工件夹至该第一皮带1512上。该第一齿轮组合1562设置在该第三挡板152或者该第四挡板153的外侧，其包括相互齿合的两个齿轮，其中一个与该第二皮带轮1511连接，由该第二皮带轮1511带动转动，进而带动另一个齿轮转动，而另一个齿轮与该第三皮带轮1561连接进而带动该第三皮带轮1561转动。

再如图1至图4所示，在本实施例中，该集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，还包括第二送料装置16，该第二送料装置16设置在该第一挡板112和该第二挡板113之间，且位于该第一送料装置12的上方，且与该第一送料装置12平行间隔地设置。其与该第一送料装置12传送的方向相反，其可用于承接并输送该第一升降装置13带动升降的空料盒，并将其从第一侧输送至第二侧。

进一步地，该第二送料装置16包括第三驱动机构161、与该第三驱动机构161连接由该第三驱动机构161带动传动的第三传动机构162。该第三驱动机构161设置在该底座111上，其可以为第六电机，其可驱动该第三传动机构162进行传送。该第三传动机构162包括间隔设置的两组第二同步轮组件；其中一组靠近该第一挡板112设置，另一组靠近该第二挡板113设置。该空料盒可搁置在这两组第二同步轮组件上，由其传送。可以理解地，在其他一些实施例中，该第二同步轮组件的数量不限于两组。每一组第二同步轮组件包括第三同步轮1621、第四同步轮以及第二同步带1622。该第三同步轮1621位于第一侧，该第四同步轮设置在第二侧，该第二同步带1622套设在该第三同步轮162和该第四同步轮上，该第六电机与该第三同步轮1621连接，具体地，该第六电机的输出轴上设有一转轮，该第三同步轮1621与该转轮之间通过第二同步带1622连接，该第六电机通过带动该转轮转动进而带动该第三同步轮1621转动，进而带动该第四同步轮转动。该第二同步带1622从该转轮绕至该第三同步轮1621再绕设在该第四同步轮，再回到该转轮。

如图1及图8所示，在本实施例中，该集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，还包括第一取料机械手17，该第一取料机械手17设置在该第二送料装置16靠近该第一升降装置13的一端，其可用于将第一升降装置13上的空料盒取至该第二送料装置16。具体地，该第一取料机械手17设置在该第一挡板112和该第二挡板113之间，且位于第一侧，其可从该第一挡板112和该第三挡板113之间伸出至该第一升降装置13，从而实现取料。

进一步地，该第一取料机械手17包括第一机械手171、以及第一伸缩组件172；该第一机械手171设置在两组第二同步轮组件之间，其可用于取料；其上设有供该第二接料板201穿出且并排设置的第一过孔1711和第二过孔1712，其呈E字形，与该凹字形的第二接料板201相适配，该第一升降装置13可带动该第二接料板201从该第一过孔1711和该第二过孔1712穿过，使得该料盒搁置与该第一机械手171上，以便于该第一机械手171取料。第一机械手171靠近该第一升降装置13的一端还有阻挡该料盒掉落的挡块。该第一伸缩组件172其与该第一机械手171连接，可带动该第一机械手171伸缩。该第一伸缩组件172包括第一伸缩气缸1721、第二导轨1722以及第二滑块1723。该第一伸缩气缸1721其设置在该第一机械手171下方，与该第一机械手171连接，其可通过伸缩运动带动该第一机械手171伸缩；该第二导轨1722与该第一伸缩气缸1721平行设置，其可用于给该第一机械手171导向。该第二滑块与该第一机械手171连接，且其设置在该第二导轨1722上，其可在该第二导轨1722上滑动，进而使得该第一机械手171沿着该第二导轨1722的长度方向滑动。

如图1及图9所示，在本实施例中，该集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，还包括转向装置18，该转向装置18设置在第一挡板112和第二挡板113之间，且位于两组第二同步轮组件之间；其与该第一取料机械手17相邻设置，其包括转盘181、旋转气缸182、升降气缸183；该转盘181可用于供该空料盒放置，其可将该空料盒进行180度转向，从而使得该工件可以仍按照原装进料盒的方向装进料盒，避免工件从反向装进料盒。该旋转气缸182设置在该转盘181下方以带动该转盘旋转，该升降气缸183设置在该转盘181下方，与该转盘181连接，其可带动该转盘181升降，在其带动转盘181上升后，旋转气缸182带动该转盘181旋转，从而实现带动空料盒转向；当需要将空料盒继续传送时，该升降气缸181带动该转盘181下降至低于该第二送料装置16，从而可使转向后的空料盒搁置与该第二送料装置16上，继续被第二送料装置16传送。

如图1至3所示，在本实施例中，该集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，还包括下料输送装置19、第二升降装置20以及第二取料机械手21；该下料输送装置19设置在第一挡板112远离该上料输送装置15的一端，与该上料输送装置15平行设置，其位于该第二升降装置20的前端，可用于输送加工后的工件，并该工件装进由该第二送料装置16输送而来的空料盒。该第二升降装置20设置在该底座111上且位于该第二送料装置16远离该第一升降装置13的一端，其能够带动该空料盒升降，使得该下料输送装置19输送来的工件能够装进料盒中的对应位置。该第二取料机械手21设置在该第一挡板112和该第二挡板113之间且远离该第一取料机械手17的一端，其可将该第二送料装置16输送的空料盒取至该第二升降装置20。

如图3及图10所示，该下料输送装置19其设置在该第二升降装置20的前端。该下料输送装置19包括第四安装板191、设置在第四安装板191上且间隔设置的第五挡板192和第六挡板193、第四驱动机构、第四传动机构194、两组第二张紧轮组件195、以及若干第一传感器157。该第四安装板191位于该第五挡板192和该第六挡板193的下方，其可以包括若干块第四安装板191，该若干块第四安装板191并排且间隔设置，以连接固定该第五挡板192和该第六挡板193。该第五挡板192和该第六挡板193平行且间隔设置在该第四安装板191上，且该第五挡板192和该第六挡板193之间的间隔形成供工件输出的导向通道。该第四驱动机构设置在该第六挡板193上，其可带动该第四传动机构194进行传动。该传动机构设置在该第五挡板192和该第六挡板193之间，其可用于输送工件。该两组张紧轮组件分别设置在该第五挡板192和该第六挡板193上，其可产生一个张紧力将工件夹至该第二升降装置20的空料盒上。该若干第一传感器157设置在该第六挡板193上，其可以感应该第四传送机构194上是否有工件传送。

进一步地，该第四驱动机构可以为设置在该第六挡板193外侧的第七电机，该第五挡板192和该第六挡板193的外侧还设有与该电机连接的两组转轮组件，每组转轮组件包括第一转轮和第二转轮以及套设在该第一转轮和该第二转轮上的皮带。该第六挡板193外侧的第一转轮与该第五挡板192外侧的第一转轮通过设置转轴连接，该第一转轮与该第七电机输出轴连接，由该第七电机带动转动，该第七电机带动设置在该第六挡板193外侧的第一转轮转动，进而带动该第二转轮转动以及带动设置在该第五挡板192外侧的第一转轮转动，该第五挡板192外侧的第一转轮转动进而带动位于该第五挡板192外侧的第二转轮转动。在其他一些实施例中，该转轮组件可以省去。

该第四传动机构194设置在该第五挡板192和该第六挡板193之间，其包括设置在该第五挡板192和该第六挡板193之间且平行间隔设置的两组第二皮带轮组件；每组第二皮带轮组件与每组转轮组件对应设置，分别设置在该第五挡板192和该第六挡板193上，且分别与该第二转轮连接，分别由该第二转轮带动转动。具体地，该第二皮带轮组件包括沿该第三挡板长度方向或沿该第六挡板193传动方向且间隔设置的第四皮带轮1941和第五皮带轮1943，以及套设在该第四皮带轮1941和该第五皮带轮1943上的第二皮带1942。该第四皮带轮1941与该第二转轮连接，由该电机带动转动，进而带动该第五皮带轮1943转动，从而带动该第二皮带1942传送。

在本实施例中，该两组第二张紧轮组件195分别设置在该第一挡板152和该第六挡板193上且靠近该第二升降装置20的一端；其中，一组设置在该第一挡板152上，另一组设置在该第六挡板193上，每一组第二张紧轮组件195与一第二皮带轮组件对应设置。每一第二张紧轮组件195包括第六皮带轮以及与该第六皮带轮连接的第二齿轮组合1951，该第六皮带轮设置在该第五皮带轮1943上，其与该第五皮带轮1943旋转方向相反，其可与该第五皮带轮1943配合，产出张紧力，将该工件夹至该空料盒中。该第二齿轮组合1951设置在该第五挡板192或者该第六挡板193的外侧，其包括相互齿合的两个齿轮，其中一个与该第五皮带轮1943连接，由该第五皮带轮1943带动转动，进而带动另一个齿轮转动，而另一个齿轮与该第六皮带轮连接进而带动该第六皮带轮转动。

如图2及图11所示，该第二升降装置20可沿该第二送料装置16的高度方向做升降运动，其可升至于该第二送料装置16同等高度以承接由该第二送料装置16输送而来的空料盒，带动该空料盒下降，工件可从上往下装进该空料盒中，每装进一个工件，该第二升降装置20可下降一个高度。

进一步地，该第二升降装置20包括第二接料板201、第二升降组件202、第二丝杆203、以及第八电机204；该第二接料板201设置在该底座111的上，可用于承接该料盒，该第二接料板201可以呈凹字形，其与该第二送料装置12相对的一侧开设有一缺口，缺口从所述接料板的侧边朝所述接料板的中部延伸，以便于将料盒送至第二送料装置16；该第二升降组件202设置在该底座111中，可升出该底座111与第二接料板201连接，可带动该第二接料板201升降。该第二丝杆203与该第二升降组件202连接，其可通过转动带动该第二升降组件202升降。该第八电机204与该第二丝杆203连接，以驱动该第二丝杆203转动。该第二升降组件202包括第二安装板2021、以及设置在该第二安装板2021上的若干第二导杆2022。该第二安装板2021套设在该第二丝杆203的***，其中间设有一穿孔，可供该第二丝杆203穿设，其可由该第二丝杆203带动升降。该若干第二导杆2022设置在该第二安装板2021上与该第二丝杆203平行设置，且其从该底座111穿出设置以与该第二接料板201连接以带动该第二接料板201升降。在本实施例中，优选地，该若干第二导杆2022包括四根导杆。该第八电机204设置在该第二丝杆203的一侧，其通过设置连杆与该第二丝杆203连接，其可通过带动该连杆转动进而带动该第二丝杆203转动。

在本实施例中，该第二升降装置20上还设有第二压料组件205，该第二压料组件205可用于压住料盒，避免料盒晃动。该第二压力组件205包括第六安装板2051、第九电机2052、第二旋转臂2053、第二压块2054；该第六安装板2051设置在该第二接料板201上且与该第二接料板201垂直设置，其可用于安装该第九电机2052，该第三电机设置在该第六安装板2051上，其可驱动该第二旋转臂2053转动，该第二旋转臂2053设置在该第六安装板2051上且与该第九电机2052连接，由该第九电机2052带动旋转，该第二压块2054设置在该第二旋转臂2053底部，其可用于固定料盒。

如图3及图12所示，该第二取料机械手21包括第二机械手211、以及第二伸缩组件212；该第二机械手211设置在两组第二同步轮组件之间，其呈E字形，与该凹字形的第二接料板201相适配，该第二升降装置20可带动该第二接料板201升至该第二机械手211的上方，使得该第二机械手211上的料盒搁置于该第二接料板201上。第二机械手211靠近该第二升降装置20的一端还有阻挡该料盒掉落的挡块。该第二伸缩组件212其与该第二机械手211连接，可带动该第二机械手211伸缩。该第二伸缩组件212包括第二伸缩气缸2121、第三导轨2122以及第三滑块2123。该第二伸缩气缸2121其设置在该第二机械手211下方，与该第二机械手211连接，其可通过伸缩运动带动该第二机械手211伸缩；该第三导轨2122与该第二伸缩气缸2121平行设置，其可用于给该第二机械手211导向。该第三滑块2123与该第二机械手211连接，且其设置在该第三导轨2122上，其可在该第三导轨2122上滑动，进而使得该第二机械手211沿着该第三导轨2122的长度方向滑动。

该集成电路材料表面处理设备用的上下料装置还包括第三送料装置22，该第三送料装置22设置在该第一挡板112和该第二挡板113之间，且位于该第二送料装置16的下方，其与该第一送料装置12位于同一水平，其可用于将带有经加工后的工件的料盒从第二升降装置20输送至出料口1132。

进一步地，该第三送料装置22包括第五驱动机构221、以及第五传动机构222。该第五驱动机构221设置在该底座111上，其与该第五传动机构222连接以带动该第五传动机构222传动。具体地，其可以为设置在该底座111上的第十电机。该第五传动机构222可由该第五驱动机构221驱动转动。该第五传动机构包括两组第三同步轮组件；这两组第三同步轮组件间隔设置，其中一个靠近该第一挡板112设置，另一个靠近该第二挡板113设置。具体地，每组同步轮组件包括沿该第一挡板112长度方向或沿该第二挡板113长度方向间隔设置的第五同步轮2221、第六同步轮2222以及第三同步轮2223，该第五同步轮2221设置在远离该第二升降装置20的一端，该第六同步轮2222设置在靠近该第二升降装置20的一端，该第五同步轮2221与该第十电机连接，由该第十电机带动转动，进而带动该第六同步轮2222转动，该第三同步带2223套设在该第五同步轮2221和该第六同步轮2222上，其可由该第五同步轮2221带动传动。

本实施例集成电路材料表面处理设备用的上下料装置的工作原理：首先，由工作人员从该放料口1131放进装有工件且未加工的料盒，由该第一送料装置12传送至该第一升降装置13；接着，该第一升降装置13带动料盒做上升运动，该推料装置14推出工件至该上料输送装置15，由该上料输送装置15输送至集成电路材料表面处理设备上进行集成电路材料表面处理；该推料装置14每推出一工件，该第一升降装置13上升至该第一升降装置中最顶端的工件与该推料装置14位于同一水平；再接着，当该料盒中的工件全被推出，该第一升降装置13带动该料盒升至该第二送料装置16上方，该第一取料机械手17伸出承接该空料盒，并通过收缩，使得该空料盒搁置在该第二送料装置16上由该第二送料装置16传送，当该空料盒位于该转向装置18上，该转向装置18对该空料盒进行180度转向，转向后由该第二送料装置16继续传送至第二取料机械手21，由该第二取料机械手21取至该第二升降装置20。加工后的工件进该下料输送装置19输送至该第二升降装置20，并由该下料输送装置19输送至空料盒中，每送入一个工件，该第二升降装置20下降一至空料盒中最顶端的空工位与该下料输送装置19位于同一水平，当该空料盒装满工件，由该第三送料装置22将该带有加工后的工件的料盒输送至取料口1132，工作人员从该取料口1132取出工件。该集成电路材料表面处理设备用的上下料装置具有自动化水平高的优点，其可用于提高工件的输送效率。

可以理解的，以上实施例仅表达了本发明的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围；因此，凡跟本发明权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本发明权利要求的涵盖范围。

Claims (17)

1.一种集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，包括支架(11)、第一送料装置(12)、第一升降装置(13)、推料装置(14)、上料输送装置(15)、第二送料装置(16)、下料输送装置(19)、以及第二升降装置(20)；

所述支架(11)上设有放料口(1131)；所述第一送料装置(12)设置在所述支架(11)上，且与所述放料口(1131)对应设置，以输送从所述放料口(1131)放进的带有工件的料盒；

所述第一升降装置(13)设置在所述支架(11)上，位于所述第一送料装置(12)的一端，以承接并带动所述第一送料装置(12)输送的料盒进行升降；

所述推料装置(14)设置在所述第一升降装置(13)的后端，与第一升降装置(13)对应设置，以将所述料盒中的工件推至所述上料输送装置(15)；

所述上料输送装置(15)设置在所述第一升降装置(13)的前端，与所述推料装置(14)对应设置，以输送由所述推料装置(14)推出的工件；所述第二送料装置(16)设置于所述第一送料装置(12)上方，且一端靠近所述第一升降装置(13)，以承接并输送来自所述第一升降装置(13)的空料盒；

所述第二升降装置(20)设置在所述支架(11)上，且其位于所述第二送料装置(16)远离所述第一升降装置(13)的一端；

所述下料输送装置(19)设置所述第二升降装置(20)的前端，以将工件输送至所述第二升降装置(20)上的空料盒中；

还包括转向装置(18)，用于承接所述第二送料装置(16)传送的空料盒，并对该空料盒进行180度转向，转向后再次传送给所述第二送料装置(16)继续传送。

2.根据权利要求1所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述第二送料装置(16)设置在所述第一送料装置(12)的上方，且与所述第一送料装置(12)传送方向相反，用于承接并输送来自所述第一升降装置(13)的空料盒。

3.根据权利要求2所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，还包括第一取料机械手(17)；所述第一取料机械手(17)设置在所述第二送料装置(16)靠近所述第一升降装置(13)的一端以将所述第一升降装置(13)上的所述空料盒取至所述第二送料装置(16)。

4.根据权利要求3所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，还包括第二取料机械手(21)，所述第二取料机械手(21)设置在远离所述第一取料机械手(17)的一端，用于承接由所述第二送料装置(16)传送的空料盒，并将该空料盒放置在第二升降装置中。

5.根据权利要求4所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述支架(11)包括底座(111)、设置在所述底座(111)上方的第一挡板(112)、以及设置在所述底座(111)上与所述第一挡板(112)平行且间隔地设置的第二挡板(113)；所述放料口(1131)设置在所述第二挡板(113)上；所述第一送料装置(12)设置在所述第一挡板(112)和所述第二挡板(113)之间，且沿所述第一挡板(112)和所述第二挡板(113)长度方向设置。

6.根据权利要求5所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述第一送料装置(12)包括第一驱动机构(121)、与所述第一驱动机构(121)连接由所述第一驱动机构(121)带动传动的第一传动机构(122)；

所述第一驱动机构(121)包括第一电机，所述第一传动机构(122)包括两组间隔设置的第一同步轮组件；所述第一同步轮组件包括沿所述第一挡板(112)长度方向间隔设置的第一同步轮(1221)、第二同步轮以及套设在所述第一同步轮(1221)和所述第二同步轮上的第一同步带(1222)；所述第一电机与所述第二同步轮连接以带动所述第二同步轮转动；

所述第一送料装置(12)的两端分别形成第一侧和第二侧；所述第一同步带(1222)传送方向为从所述第二侧传送至所述第一侧。

7.根据权利要求6所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述第一升降装置(13)设置在所述底座(111)中，且位于所述第二送料装置(16)的第一侧，其沿所述第二送料装置(16)的高度方向做升降运动；所述第一升降装置(13)包括第一接料板(131)、与所述第一接料板(131)连接带动所述第一接料板(131)升降的第一升降组件(132)、带动所述第一升降组件(132)升降的第一丝杆(133)、与所述第一丝杆(133)连接驱动所述第一丝杆(133)转动的第二电机(134)；

所述第一升降组件(132)包括套设在所述第一丝杆(133)***的由所述第一丝杆(133)带动升降的第一安装板(1321)、以及设置在所述第一安装板(1321)上与所述第一丝杆(133)平行设置的若干第一导杆(1322)；所述第一导杆(1322)与所述第一接料板(131)连接且从所述底座(111)穿出设置以带动所述第一接料板(131)升降；

所述第一升降装置(13)上还设有第一压料组件(135)，所述第一压料组件(135)包括设置在所述第一接料板(131)上与所述第一接料板(131)垂直设置的第二安装板(1351)、设置在所述第二安装板(1351)上的第三电机(1352)、设置在所述第二安装板(1351)上与所述第三电机(1352)连接由所述第三电机(1352)带动旋转的第一旋转臂(1353)、以及设置在所述第一旋转臂(1353)底部以固定所述料盒的第一压块(1354)。

8.根据权利要求1所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述推料装置(14)设置在所述支架(11)上，且与所述上料输送装置(15)位于同一水平，其包括安装架(141)，以及设置在所述安装架(141)中的第四电机(142)、连杆(143)、第一导轨(144)、第一滑块(145)、推头(146)、位置传感器(147)；所述连杆(143)与所述第四电机(142)连接由所述第四电机(142)带动转动；所述第一滑块(145)设置在所述第一导轨(144)上，与所述连杆(143)和所述推头(146)连接，以在所述连杆(143)转动时在所述第一导轨(144)上滑动，带动所述推头(146)做前后伸缩运动；所述位置传感器(147)设置在所述安装架(141)上以感应所述料盒中工件的位置。

9.根据权利要求5所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述上料输送装置(15)包括第三安装板(151)、设置在所述第三安装板(151)上且间隔设置的第三挡板(152)和第四挡板(153)、第二驱动机构(154)、与所述第二驱动机构(154)连接由所述第二驱动机构(154)带动传动的第二传动机构(155)、分别设置在所述第三挡板(152)和所述第四挡板(153)上的两组第一张紧轮组件(156)以及设置在所述第四挡板(153)的若干第一传感器(157)；

所述第二驱动机构(154)包括第五电机；

所述第二传动机构(155)包括设置在所述第三挡板(152)和所述第四挡板(153)之间且平行间隔设置的两组第一皮带轮组件；所述第一皮带轮组件包括沿所述第三挡板(152)长度方向或沿所述第四挡板(153)长度方向且间隔设置的第一皮带轮和第二皮带轮(1511)；以及套设在所述第一皮带轮和所述第二皮带轮(1511)上的第一皮带(1512)；所述第一皮带轮由所述第五电机带动转动；

所述两组第一张紧轮组件(156)分别设置在所述第三挡板(152)和所述第四挡板(153)上且靠近所述第一升降装置(13)的一端；每一所述第一张紧轮组件(156)与一所述第一皮带轮组件对应设置；每一所述第一张紧轮组件(156)包括第三皮带轮(1561)以及与所述第三皮带轮(1561)连接的第一齿轮组合(1562)；所述第三皮带轮(1561)设置在所述第二皮带轮(1511)上且与所述第二皮带轮(1511)旋转方向相反以与所述第二皮带轮(1511)配合将所述工件夹至所述第一皮带(1512)上；所述第一齿轮组合(1562)设置在所述第三挡板(152)或所述第四挡板(153)外侧以带动所述第三皮带轮(1561)转动。

10.根据权利要求7所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述第二送料装置(16)包括第三驱动机构(161)、与所述第三驱动机构(161)连接由所述第三驱动机构(161)带动传动的第三传动机构(162)；

所述第三驱动机构(161)包括第六电机，所述第三传动机构(162)包括间隔设置的两组第二同步轮组件；所述第二同步轮组件包括沿所述第一挡板(112)长度方向或沿所述第二挡板(113)长度方向间隔设置的第三同步轮(1621)、第四同步轮以及套设在所述第三同步轮(1621)和所述第四同步轮上的第二同步带(1622)；所述第六电机与所述第三同步轮(1621)连接以带动所述第三同步轮(1621)转动。

11.根据权利要求10所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述第一取料机械手(17)设置在所述第二送料装置(16)靠近所述第一升降装置(13)的一端以将所述第一升降装置(13)上的所述空料盒取至所述第二送料装置(16)；

所述第一取料机械手(17)包括设置在所述两组第二同步轮组件之间的第一机械手(171)以及带动所述第一机械手(171)伸缩的第一伸缩组件(172)；

所述第一伸缩组件(172)包括与所述第一机械手(171)连接的第一伸缩气缸(1721)、与所述第一伸缩气缸(1721)平行设置的第二导轨(1722)、以及设置在所述第二导轨(1722)上可在所述第二导轨(1722)上滑动的第二滑块(1723)；所述第二滑块(1723)与所述第一机械手(171)连接以带动所述第一机械手(171)滑动；

所述第一接料板(131)与所述第一送料装置(12)相对的一侧开设有一缺口；所述缺口从所述接料板(131)的侧边朝所述接料板(131)的中部延伸设置以使所述第一接料板(131)呈凹字形，所述第一机械手(171)上设有供所述第一接料板(131)穿出且并排设置的第一过孔(1711)和第二过孔(1712)。

12.根据权利要求1所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述转向装置(18)包括供所述空料盒放置的转盘(181)、设置在所述转盘(181)下方带动所述转盘(181)旋转的旋转气缸(182)以及设置在所述转盘(181)下方带动所述转盘(181)升降的升降气缸(183)。

13.根据权利要求5所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述第二取料机械手(21)设置在所述第一挡板(112)和所述第二挡板(113)之间且远离所述第一取料机械手(17)的一端。

14.根据权利要求1所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述下料输送装置(19)包括若干并排且间隔设置的第四安装板(191)、设置在所述第四安装板(191)上且间隔设置的第五挡板(192)和第六挡板(193)、第四驱动机构、与所述第四驱动机构连接由所述第四驱动机构带动传动的第四传动机构(194)、分别设置在所述第五挡板(192)和所述第六挡板(193)的外侧的两组第二张紧轮组件以及设置在所述第六挡板(193)上并排设置的若干第二传感器(196)；

所述第四驱动机构包括第七电机；

所述第四传动机构(194)包括设置在所述第五挡板(192)和所述第六挡板(193)之间且平行间隔设置的两组第二皮带轮组件；所述第二皮带轮组件包括沿所述第五挡板(192)长度方向或沿所述第六挡板(193)长度方向且间隔地设置的第四皮带轮(1941)和第五皮带轮(1943)，以及套设在所述第四皮带轮(1941)和所述第五皮带轮(1943)上的第二皮带(1942)；所述第五皮带轮(1943)由所述第七电机带动转动；

所述第二张紧轮组件(195)设置在所述第五挡板(192)和所述第六挡板(193)靠近所述第二升降装置(20)的一端；每一所述第二张紧轮组件(195)与一所述第二皮带轮组件对应设置；每一所述第二张紧轮组件(195)包括第六皮带轮、以及与所述第六皮带轮连接的第二齿轮组合(1951)；所述第六皮带轮设置在所述第五皮带轮(1943)上且与所述第五皮带轮(1943)旋转方向相反以与所述第五皮带轮(1943)配合将所述工件夹至所述第二皮带(1942)上；所述第二齿轮组合(1951)设置在所述第五挡板(192)或所述第六挡板(193)外侧以带动所述第五皮带轮(1943)转动。

15.根据权利要求5所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述第二升降装置(20)包括第二接料板(201)、与所述第二接料板(201)连接带动所述第二接料板(201)升降的第二升降组件(202)、带动所述第二升降组件(202)升降的第二丝杆(203)、与所述第二丝杆(203)连接驱动所述第二丝杆(203)转动的第八电机(204)；

所述第二升降组件(202)包括套设在所述第二丝杆(203)***的由所述第二丝杆(203)带动升降的第五安装板(2021)、以及设置在所述第五安装板(2021)上与所述第二丝杆(203)平行设置的若干第二导杆(2022)；所述第二导杆(2022)与所述第二接料板(201)连接且从所述底座(111)穿出设置以带动所述第二接料板(201)升降；

所述第二升降装置(20)上还设有第二压料组件(205)，所述第二压料组件(205)包括设置在所述接料板上与所述接料板垂直设置的第六安装板(2051)、设置在所述第六安装板(2051)上的第九电机(2052)、设置在所述第五安装板(2021)上与所述第九电机(2052)连接由所述第九电机(2052)带动旋转的第二旋转臂(2053)、以及设置在所述第二旋转臂(2053)底部以固定所述料盒的第二压块(2054)。

16.根据权利要求10所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述第二取料机械手(21)包括设置在所述两组第二同步轮组件之间的第二机械手(211)以及带动所述第二机械手(211)伸缩的第二伸缩组件(212)；

所述第二伸缩组件(212)包括与所述第二机械手(211)连接的第二伸缩气缸(2121)、与所述第二伸缩气缸(2121)平行设置的第三导轨(2122)、设置在所述第三导轨(2122)上可在所述第三导轨(2122)上滑动的第三滑块(2123)；所述第三滑块(2123)与所述第二机械手(211)连接以带动所述第二机械手(211)滑动。

17.根据权利要求5所述的集成电路材料表面处理设备用的上下料装置，其特征在于，所述第二挡板(113)上还设有出料口(1132)；

所述集成电路材料表面处理设备用的上下料装置还包括第三送料装置(22)，所述第三送料装置(22)设置在所述第一挡板(112)和所述第二挡板(113)之间，位于所述第二送料装置(16)的下方且与所述第一送料装置(12)位于同一水平，以将带有经加工后工件的料盒从所述第二升降装置(20)输送至所述出料口(1132)；所述第三送料装置(22)包括第五驱动机构(221)、与所述第五驱动机构(221)连接由所述第五驱动机构(221)带动传动的第五传动机构(222)；

所述第五驱动机构(221)包括第十电机，所述第五传动机构(222)包括间隔设置的两组第三同步轮组件；所述第三同步轮组件包括沿所述第一挡板(112)长度方向间隔设置的第五同步轮(2221)、第六同步轮(2222)以及套设在所述第五同步轮(2221)和所述第六同步轮(2222)上的第三同步带(2223)；所述第十电机与所述第五同步轮(2221)连接以带动所述第五同步轮(2221)转动。

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