CN109061865A - 一种可自动对焦的多倍率显微镜结构 - Google Patents

一种可自动对焦的多倍率显微镜结构 Download PDF

Info

Publication number
CN109061865A
CN109061865A CN201811096605.XA CN201811096605A CN109061865A CN 109061865 A CN109061865 A CN 109061865A CN 201811096605 A CN201811096605 A CN 201811096605A CN 109061865 A CN109061865 A CN 109061865A
Authority
CN
China
Prior art keywords
lens barrel
sample stage
power lens
low power
high power
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201811096605.XA
Other languages
English (en)
Inventor
许之敏
张旭辉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Front Vision Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen Front Vision Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Front Vision Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen Front Vision Technology Co Ltd
Priority to CN201811096605.XA priority Critical patent/CN109061865A/zh
Publication of CN109061865A publication Critical patent/CN109061865A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/18Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

本发明公开了一种可自动对焦的多倍率显微镜结构,低倍镜筒和高倍镜筒均安装在镜筒支架上,低倍镜筒和高倍镜筒均垂直于样品台,低倍镜筒和高倍镜筒的末端均安装有相机,低倍镜筒的镜筒端安装有分光镜,高倍镜筒的镜筒端安装有反射镜,分光镜下方安装有物镜,物镜安装在物镜支架上,物镜支架连接电机,物镜下方设有样品台,反射式***光源设置于样品台侧上方,透射式***光源设置于样品台下方。本发明的有益效果是可以同时获取高低两个或多个倍率的图像,大大节约成像时间。

Description

一种可自动对焦的多倍率显微镜结构
技术领域
本发明属于显微镜及显微镜成像技术领域,涉及一种可精准自动对焦的、并支持多个放大倍率同时拍摄显微镜结构设计。
背景技术
现有显微扫描仪***,需要对多个放大倍数(例如20x和40x)进行拍摄。可变焦显微镜在不同放大倍率取图时一般需要手动或电动切换,当需要对样品进行多个放大倍率扫描时,则必须每一个倍率单独扫描,导致扫描时间过长的问题。
对焦方式一般使用样品台移动对焦方式进行,通过手动或自动对样品台上下移动调焦,物镜、镜筒和相机位置保持固定不变。由于样品台高度控制一般使用齿轮或丝杆控制,其精度为100微米左右,对于较低景深(<10微米,如生物切片、半导体芯片、微纳器件等)应用场景无法实现精确自动对焦。控制样品台移动的电机由于样品台较重也难达到高速运转和实现对焦的功能。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可自动对焦的多倍率显微镜结构,本发明的有益效果是可以同时获取高低两个或多个倍率的图像,大大节约成像时间。
本发明所采用的技术方案是低倍镜筒和高倍镜筒均安装在镜筒支架上,低倍镜筒和高倍镜筒均垂直于样品台,低倍镜筒和高倍镜筒的末端均安装有相机,低倍镜筒的镜筒端安装有分光镜,高倍镜筒的镜筒端安装有反射镜,分光镜下方安装有物镜,物镜安装在物镜支架上,物镜支架连接电机,物镜下方设有样品台,反射式***光源设置于样品台侧上方,透射式***光源设置于样品台下方。
另一种方案是低倍镜筒和高倍镜筒均安装在镜筒支架上,低倍镜筒垂直于样品台,高倍镜筒平行于样品台,低倍镜筒和高倍镜筒的末端均安装有相机,低倍镜筒或高倍镜筒的镜筒端安装有分光镜,分光镜下方安装有物镜,物镜安装在物镜支架上,物镜支架连接电机,物镜下方设有样品台,反射式***光源设置于样品台侧上方,透射式***光源设置于样品台下方。
进一步,相机为面阵相机或者线阵相机,记录不同倍率的图像。
进一步,电机带动物镜支架控制物镜沿垂直方向上下移动。
附图说明
图1是方案一***结构示意图;
图2是方案二***结构示意图。
图中,1.低倍镜筒,2.高倍镜筒,3.镜筒支架,4.相机,5.分光镜,6.反射镜,7.物镜,8.物镜支架,9.电机,10.样品台,11.反射式***光源,12.透射式***光源。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本发明进行详细说明。
方案一如图1所示,低倍镜筒1和高倍镜筒2均安装在镜筒支架3上,低倍镜筒1和高倍镜筒2均垂直于样品台10,低倍镜筒1和高倍镜筒2的末端均安装有相机4,低倍镜筒1的镜筒端安装有分光镜5,高倍镜筒2的镜筒端安装有反射镜6,分光镜5下方安装有物镜7,物镜7安装在物镜支架8上,物镜支架8连接电机9,物镜7下方设有样品台10,反射式***光源11设置于样品台10侧上方,透射式***光源12设置于样品台10下方。
通过分光镜5使光路在低倍镜筒1和高倍镜筒2复用,每个镜筒末端有单独的相机4可以记录不同倍率的图像。通过电机9带动物镜支架8控制物镜7沿垂直方向上下移动,并与相机4采集的图像形成反馈***,从而实现高速自动对焦的目的。反射式***光源11、透射式***光源12为两种照明方式,分别适用于反射式和透射式***设计。
物镜7获得图像经分光镜5分光后一路透射进入低倍镜筒1进行成像,最终像经相机4获取。分光镜5反射的信息经反射镜6反射后进入高倍镜筒2成像到相机4。物镜7通过电机9控制高低,工作时可以连续将物镜7移动到多个位置取图,通过图像分析确定最清楚的工作位置并反馈给电机9实现自动对焦。样品台10可以在XY方向移动,可以实现对大面积物体进行扫描拍摄,反射式***光源11和透射式***光源12可根据观测样品或观测目的不同,单独使用或配合使用。
方案二如图2所示,与方案一最大的不同是低倍镜筒1垂直于样品台10,高倍镜筒2平行于样品台10,从而不需要使用反射镜6。通过分光镜5使光路在低倍镜筒1和高倍镜筒2复用,每个镜筒末端有单独的相机4可以记录不同倍率的图像。
本发明中给出的图例为两个镜筒,但可通过简单组合拓展为多个镜筒。本发明中低倍和高倍镜筒的位置可以随意调换。本发明反射式***光源和透射式***光源为两个典型的显微镜光源方案,亦可根据观测需要拓展为其他光源方案。两个镜筒中的一个可以更换为其他类别的成像镜筒,例如荧光显微镜筒。
以上所述仅是对本发明的较佳实施方式而已,并非对本发明作任何形式上的限制,凡是依据本发明的技术实质对以上实施方式所做的任何简单修改,等同变化与修饰,均属于本发明技术方案的范围内。

Claims (4)

1.一种可自动对焦的多倍率显微镜结构,其特征在于:低倍镜筒和高倍镜筒均安装在镜筒支架上,低倍镜筒和高倍镜筒均垂直于样品台,低倍镜筒和高倍镜筒的末端均安装有相机,低倍镜筒的镜筒端安装有分光镜,高倍镜筒的镜筒端安装有反射镜,分光镜下方安装有物镜,物镜安装在物镜支架上,物镜支架连接电机,物镜下方设有样品台,反射式***光源设置于样品台侧上方,透射式***光源设置于样品台下方。
2.一种可自动对焦的多倍率显微镜结构,其特征在于:低倍镜筒和高倍镜筒均安装在镜筒支架上,低倍镜筒垂直于样品台,高倍镜筒平行于样品台,低倍镜筒和高倍镜筒的末端均安装有相机,低倍镜筒或高倍镜筒的镜筒端安装有分光镜,分光镜下方安装有物镜,物镜安装在物镜支架上,物镜支架连接电机,物镜下方设有样品台,反射式***光源设置于样品台侧上方,透射式***光源设置于样品台下方。
3.按照权利要求1或2所述一种可自动对焦的多倍率显微镜结构,其特征在于:所述相机为面阵相机或者线阵相机,记录不同倍率的图像。
4.按照权利要求1或2所述一种可自动对焦的多倍率显微镜结构,其特征在于:所述电机带动物镜支架控制物镜沿垂直方向上下移动。
CN201811096605.XA 2018-09-19 2018-09-19 一种可自动对焦的多倍率显微镜结构 Pending CN109061865A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811096605.XA CN109061865A (zh) 2018-09-19 2018-09-19 一种可自动对焦的多倍率显微镜结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811096605.XA CN109061865A (zh) 2018-09-19 2018-09-19 一种可自动对焦的多倍率显微镜结构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109061865A true CN109061865A (zh) 2018-12-21

Family

ID=64762192

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811096605.XA Pending CN109061865A (zh) 2018-09-19 2018-09-19 一种可自动对焦的多倍率显微镜结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109061865A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110274899A (zh) * 2019-07-31 2019-09-24 中国科学院海洋研究所 一种海洋浮游生物荧光成像仪
CN110837200A (zh) * 2019-12-12 2020-02-25 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 变倍率x射线高速摄影装置
WO2022111710A1 (zh) * 2020-11-30 2022-06-02 深圳市瑞图生物技术有限公司 光路转换装置及光学***
CN116931236A (zh) * 2023-09-14 2023-10-24 长春长光智欧科技有限公司 一种基于探针对准晶圆的双倍率光学***

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN204331133U (zh) * 2014-12-25 2015-05-13 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 高低倍共焦复合显微镜像面照度匹配装置
CN107367829A (zh) * 2017-08-16 2017-11-21 桂林优利特医疗电子有限公司 单镜头分光变倍显微镜***

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN204331133U (zh) * 2014-12-25 2015-05-13 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 高低倍共焦复合显微镜像面照度匹配装置
CN107367829A (zh) * 2017-08-16 2017-11-21 桂林优利特医疗电子有限公司 单镜头分光变倍显微镜***

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110274899A (zh) * 2019-07-31 2019-09-24 中国科学院海洋研究所 一种海洋浮游生物荧光成像仪
CN110837200A (zh) * 2019-12-12 2020-02-25 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 变倍率x射线高速摄影装置
WO2022111710A1 (zh) * 2020-11-30 2022-06-02 深圳市瑞图生物技术有限公司 光路转换装置及光学***
CN116931236A (zh) * 2023-09-14 2023-10-24 长春长光智欧科技有限公司 一种基于探针对准晶圆的双倍率光学***
CN116931236B (zh) * 2023-09-14 2023-11-28 长春长光智欧科技有限公司 一种基于探针对准晶圆的双倍率光学***

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109061865A (zh) 一种可自动对焦的多倍率显微镜结构
US7554725B2 (en) Microscope with a viewing direction perpendicular to the illumination direction
US9575308B2 (en) Slide scanner with dynamic focus and specimen tilt and method of operation
US7576307B2 (en) Microscope with dual image sensors for rapid autofocusing
AU2024202198B2 (en) Real-time autofocus focusing algorithm
CN108957719A (zh) 一种双光子受激发射损耗复合显微镜
JP6940696B2 (ja) 二次元および三次元の固定式z走査
CN106053346B (zh) 一种光片显微成像转换装置
CN108061964B (zh) 一种可用于大样品的高速三维显微成像装置和方法
US11156822B2 (en) Selective plane illumination microscopy with multiple illumination units scanning an object in sync with a digital camera rolling shutter
CN111142251B (zh) 一种具有三维成像能力的显微镜和成像方法
CN1375719A (zh) 倒立型显微镜***
CN111679416A (zh) 显微镜玻片自动扫描仪
CN108937909B (zh) 一种基于片层光的选层血流散斑成像装置及方法
CN208477200U (zh) 一种可自动对焦的变焦显微扫描***
EP3223054A1 (en) Microscope system and specimen observation method
US20210325655A1 (en) Stepped biological chip and gene sequencing device for testing the same
EP3625611B1 (en) Dual processor image processing
Bakas et al. A miniaturised light-sheet microscopy system using MEMS micromirror control
Nguyen et al. Magnification-corrected optical image splitting for simultaneous multiplanar acquisition
CN110365916B (zh) 阵列反射式显微图像采集***
CN221200085U (zh) 一种基于显微成像的明暗场双光路光学***
CN209231593U (zh) 一种全自动玻片镜检装置
US20230168484A1 (en) Method and system for multi-view episcopic selective plane illumination microscope
CN218938637U (zh) 一种高速多通道激光扫描成像装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20181221