CN108957628A - 一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导 - Google Patents

一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导 Download PDF

Info

Publication number
CN108957628A
CN108957628A CN201811100812.8A CN201811100812A CN108957628A CN 108957628 A CN108957628 A CN 108957628A CN 201811100812 A CN201811100812 A CN 201811100812A CN 108957628 A CN108957628 A CN 108957628A
Authority
CN
China
Prior art keywords
layer
low
refraction
sulfurized
molybdenum disulfide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201811100812.8A
Other languages
English (en)
Inventor
朱君
王各
娄健
徐政杰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guangxi Normal University
Original Assignee
Guangxi Normal University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Guangxi Normal University filed Critical Guangxi Normal University
Priority to CN201811100812.8A priority Critical patent/CN108957628A/zh
Publication of CN108957628A publication Critical patent/CN108957628A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/1226Basic optical elements, e.g. light-guiding paths involving surface plasmon interaction

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

本发明公开了一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导,包括自下而上顺序叠接的低折射率基底层、低折射率缓冲层、硫化物层和脊层,其中,所述低折射率缓冲层和低折射率基底层的接触端面的形状、大小一致,所述硫化物层与低折射率缓冲层的接触端面的面积小于低折射率缓冲层的上表面面积且其接触端面的边与低折射率缓冲层的上表面的对应边之间有间距;所述脊层与硫化物层的接触端面的面积小于硫化物层的上表面面积且其接触端面的边与硫化物层的上表面的对应边之间有间距。这种波导能够提高更强的局域化约束和更长的传播距离,具备为表面等离子激励电路提供基本单元器件,能实现更大的带宽超快数据传输。

Description

一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导
技术领域
本发明涉及光通信技术领域,具体是一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导。
背景技术
表面等离子体极化激元(Surface plasmon polaritons,简称SPPs),是沿着金属-介质界面传播的渐逝的电磁波,可以支持金属和介质界面传输的表面等离子波,从而传输光能量,且不受衍射极限的作用。正因为其独特的性质和在各种领域的应用前景而成为众多研究的对象。《纳米·快报》在2009年刊载了“Gain-Assisted Propagation in aPlasmonic Waveguide at Telecom Wavelength”一文提出的掺杂纳米晶体的聚合物带加载等离子体波导,在电信波长上增加了27%的传播长度,随后,《光学快报》刊载了“Long-range dielectric-loaded surface plasmon-polariton waveguides”一文,丹麦奥尔堡大学的Tobias Holmgaard团队报道了长程介质加载SPP波导(LR-DLSPPW),传播长度达到了毫米数量级,但这种结构的损耗较大。《纳米研究快报》在2014年刊载了“Asymmetrichybrid plasmonic waveguides with centimeter-scale propagation length undersubwavelength confinement for photonic components”一文中提出了一种非对称混合等离子体金属线波导,实现了亚波长限制的最大传播长度可以达到2.69cm。
然而目前SPP波导结构传播距离依然非常有限,达不到实现高集成光通信的要求。对于波导结构来说,实现灵敏度和分辨率之间权衡是很重要的。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的不足,而提供一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导。这种波导能够提高更强的局域化约束和更长的传播距离,具备为表面等离子激励电路提供基本单元器件,能实现更大的带宽超快数据传输。
实现本发明目的的技术方案是:
一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导,与现有技术不同的是,包括自下而上顺序叠接的低折射率基底层、低折射率缓冲层、硫化物层和脊层,其中,所述低折射率缓冲层和低折射率基底层的接触端面的形状、大小一致,所述硫化物层与低折射率缓冲层的接触端面的面积小于低折射率缓冲层的上表面面积且其接触端面的边与低折射率缓冲层的上表面的对应边之间有间距;所述脊层与硫化物层的接触端面的面积小于硫化物层的上表面面积且其接触端面的边与硫化物层的上表面的对应边之间有间距。
所述低折射率基底层为树脂聚合物层。
所述低折射率缓冲层为聚甲基丙烯酸甲酯膜,即PMMA膜,PMMA膜通过电泳的方法沉积在低折射率基底层上。
所述硫化物层为单层二硫化钼,单层二硫化钼通过化学气相沉积法制备,二硫化钼在保持了石墨烯很多优点的同时,也克服了石墨烯零带隙的缺点,具有更好的光学和电学性质。
所述脊层为苯并环丁烯,即BCB。
入射光从脊层的上表面垂直入射到波导,利用光在波导内部传播时发生全反射现象所产生的倏逝波进行波矢匹配而实现SPPs的激发,当光衍射到硫化物层,由于二硫化钼独特的性质,在硫化物层区域内出现增强的局域化现象,实现增加SPPs的传播距离。
当光衍射到低折射率缓冲层和低折射率基底层界面上发生全反射,补偿SPPs传播的金属损耗,能够增强SPPs传播中的局域化程度,提高SPPs传播距离。
这种波导采用光激发SPPs,通过利用二硫化钼所具有的独特性质实现SPPs的局域化增强,在低折射率缓冲层和低折射率基底层中利用全反射增强 SPPs传播过程中局域化,在无需牺牲波导的亚波长约束的情况下同时提高了SPPs传播距离,可以为SPPs在新型光子器件、宽带通讯***、微小光子回路、光电子集成等反方面提供关键器件。
这种波导能够提高更强的局域化约束和更长的传播距离,具备为表面等离子激励电路提供基本单元器件,能实现更大的带宽超快数据传输。
附图说明
图1为实施例的结构示意图。
图中,1.低折射率基底层 2.低折射率缓冲层 3.硫化物层 4.脊层。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明内容作进一步阐述,但不是对本发明的限定。
实施例:
参照图1,一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导,包括自下而上顺序叠接的低折射率基底层1、低折射率缓冲层2、硫化物层3和脊层4,其中,所述低折射率缓冲层2和低折射率基底层1的接触端面的形状、大小一致,所述硫化物层3与低折射率缓冲层2的接触端面的面积小于低折射率缓冲层2的上表面面积且其接触端面的边与低折射率缓冲层2的上表面的对应边之间有间距;所述脊层4与硫化物层3的接触端面的面积小于硫化物层3的上表面面积且其接触端面的边与硫化物层3的上表面的对应边之间有间距。
所述低折射率缓冲层2为聚甲基丙烯酸甲酯膜,即PMMA膜,PMMA膜通过电泳的方法沉积在低折射率基底层1上。
所述硫化物层3为单层二硫化钼,单层二硫化钼通过化学气相沉积法制备,二硫化钼在保持了石墨烯很多优点的同时,也克服了石墨烯零带隙的缺点,具有更好的光学和电学性质。
所述脊层4为苯并环丁烯,即BCB。
入射光从脊层4的上表面垂直入射到波导,利用光在波导内部传播时发生全反射现象所产生的倏逝波进行波矢匹配而实现SPPs的激发,当光衍射到硫化物层3,由于二硫化钼独特的性质,在硫化物层3区域内出现增强的局域化现象,实现增加SPPs的传播距离。
当光衍射到低折射率缓冲层2和低折射率基底层1界面上发生全反射,补偿SPPs传播的金属损耗,能够增强SPPs传播中的局域化程度,提高SPPs传播距离。
这种波导采用光激发SPPs,通过利用二硫化钼所具有的独特性质实现SPPs的局域化增强,在低折射率缓冲层2和低折射率基底层1中利用全反射增强 SPPs传播过程中局域化,在无需牺牲波导的亚波长约束的情况下同时提高了SPPs传播距离,可以为SPPs在新型光子器件、宽带通讯***、微小光子回路、光电子集成等反方面提供关键器件。

Claims (5)

1.一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导,包括自下而上顺序叠接的低折射率基底层、低折射率缓冲层、硫化物层和脊层,其中,所述低折射率缓冲层和低折射率基底层的接触端面的形状、大小一致,所述硫化物层与低折射率缓冲层的接触端面的面积小于低折射率缓冲层的上表面面积且其接触端面的边与低折射率缓冲层的上表面的对应边之间有间距;所述脊层与硫化物层的接触端面的面积小于硫化物层的上表面面积且其接触端面的边与硫化物层的上表面的对应边之间有间距。
2.根据权利要求1所述的基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导,其特征是,所述低折射率基底层为树脂聚合物层。
3.根据权利要求1所述的基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导,其特征是,所述低折射率缓冲层为聚甲基丙烯酸甲酯膜,即PMMA膜。
4.根据权利要求1所述的基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导,其特征是,所述硫化物层为单层二硫化钼。
5.根据权利要求1所述的基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导,其特征是,所述脊层为苯并环丁烯,即BCB。
CN201811100812.8A 2018-09-20 2018-09-20 一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导 Pending CN108957628A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811100812.8A CN108957628A (zh) 2018-09-20 2018-09-20 一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811100812.8A CN108957628A (zh) 2018-09-20 2018-09-20 一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108957628A true CN108957628A (zh) 2018-12-07

Family

ID=64471889

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811100812.8A Pending CN108957628A (zh) 2018-09-20 2018-09-20 一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108957628A (zh)

Citations (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990015372A (ko) * 1997-08-06 1999-03-05 이계철 고출력 리지 웨이브 가이드 구조의 반도체 레이저와 그 제작방법
US20020033330A1 (en) * 2000-08-07 2002-03-21 Demaray Richard E. Planar optical devices and methods for their manufacture
US20020164547A1 (en) * 2001-05-01 2002-11-07 Ferm Paul M. Polymer waveguide fabrication process
US20030123827A1 (en) * 2001-12-28 2003-07-03 Xtalight, Inc. Systems and methods of manufacturing integrated photonic circuit devices
JP2003215329A (ja) * 2002-01-25 2003-07-30 Alps Electric Co Ltd 多層膜光フィルタ及びその製造方法とそれを用いる光学部品
KR20080083921A (ko) * 2007-03-14 2008-09-19 한양대학교 산학협력단 표면 플라즈몬 이중 금속 광도파로
KR20090064933A (ko) * 2007-12-17 2009-06-22 한국전자통신연구원 금속선 광도파로 및 그 제작 방법
US20100213485A1 (en) * 2007-07-19 2010-08-26 Photonstar Led Limited Vertical led with conductive vias
US20100288356A1 (en) * 2009-05-12 2010-11-18 The Regents Of The University Of Michigan Photoactive compositions containing plasmon-resonating nanoparticles
US20100310205A1 (en) * 2008-12-16 2010-12-09 Rohm Co., Ltd. Hybrid Coupling Structure of the short Range Plasmon Polariton and Conventional Dielectric Waveguide, A Coupling Structure of the Long Range Plasmon Polariton and Conventional Dielectric Waveguide, and Applications Thereof
CN101950924A (zh) * 2006-10-16 2011-01-19 三菱电机株式会社 半导体光学元件的制造方法
CN102565933A (zh) * 2012-01-16 2012-07-11 北京航空航天大学 一种亚波长混合型表面等离子激元光波导
CN102565938A (zh) * 2012-03-06 2012-07-11 北京航空航天大学 一种基于双层金属的低损耗表面等离子激元光波导
CN102736172A (zh) * 2012-06-14 2012-10-17 华中科技大学 一种表面等离子激元波导
CN103257398A (zh) * 2012-02-17 2013-08-21 台湾积体电路制造股份有限公司 制造聚合物波导的方法
US20150188280A1 (en) * 2012-06-29 2015-07-02 Martin Terence Hill Metal-insulator-metal waveguide for nano-lasers and optical amplifiers
CN105372853A (zh) * 2015-12-15 2016-03-02 电子科技大学 基于石墨烯/二硫化钼异质结的微环谐振腔电光调制器
CN106526725A (zh) * 2016-12-28 2017-03-22 广西师范大学 一种基于半导体增益和石墨烯的spp装置
CN106785917A (zh) * 2016-12-23 2017-05-31 武汉工程大学 基于二硫化钼的表面等离子体激元的纳米激光器
CN107316915A (zh) * 2017-07-04 2017-11-03 中山大学 可见光波段的集成石墨烯二硫化钼的光电探测器及其制备方法
CN107329207A (zh) * 2017-09-05 2017-11-07 广西师范大学 一种石墨烯‑半导体双脊型混合表面等离子波导结构
CN107422416A (zh) * 2017-06-22 2017-12-01 天津职业技术师范大学 一种混合型布洛赫等离激元光波导结构
CN107478606A (zh) * 2017-08-01 2017-12-15 深圳大学 可实现Fano共振的多波长可调型纳米传感器
US20180172908A1 (en) * 2015-07-06 2018-06-21 University Of Houston System A method to fabricate chip-scale electronic photonic (plasmonic) - integrated circuits
CN108242452A (zh) * 2016-12-27 2018-07-03 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 光子集成器件及其制作方法
CN108414115A (zh) * 2018-03-28 2018-08-17 广西师范大学 一种具备温度传感的可调谐表面等离子波导
CN208795877U (zh) * 2018-09-20 2019-04-26 广西师范大学 一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导

Patent Citations (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990015372A (ko) * 1997-08-06 1999-03-05 이계철 고출력 리지 웨이브 가이드 구조의 반도체 레이저와 그 제작방법
US20020033330A1 (en) * 2000-08-07 2002-03-21 Demaray Richard E. Planar optical devices and methods for their manufacture
US20020164547A1 (en) * 2001-05-01 2002-11-07 Ferm Paul M. Polymer waveguide fabrication process
US20030123827A1 (en) * 2001-12-28 2003-07-03 Xtalight, Inc. Systems and methods of manufacturing integrated photonic circuit devices
JP2003215329A (ja) * 2002-01-25 2003-07-30 Alps Electric Co Ltd 多層膜光フィルタ及びその製造方法とそれを用いる光学部品
CN101950924A (zh) * 2006-10-16 2011-01-19 三菱电机株式会社 半导体光学元件的制造方法
KR20080083921A (ko) * 2007-03-14 2008-09-19 한양대학교 산학협력단 표면 플라즈몬 이중 금속 광도파로
US20100213485A1 (en) * 2007-07-19 2010-08-26 Photonstar Led Limited Vertical led with conductive vias
KR20090064933A (ko) * 2007-12-17 2009-06-22 한국전자통신연구원 금속선 광도파로 및 그 제작 방법
US20100310205A1 (en) * 2008-12-16 2010-12-09 Rohm Co., Ltd. Hybrid Coupling Structure of the short Range Plasmon Polariton and Conventional Dielectric Waveguide, A Coupling Structure of the Long Range Plasmon Polariton and Conventional Dielectric Waveguide, and Applications Thereof
US20100288356A1 (en) * 2009-05-12 2010-11-18 The Regents Of The University Of Michigan Photoactive compositions containing plasmon-resonating nanoparticles
CN102565933A (zh) * 2012-01-16 2012-07-11 北京航空航天大学 一种亚波长混合型表面等离子激元光波导
CN103257398A (zh) * 2012-02-17 2013-08-21 台湾积体电路制造股份有限公司 制造聚合物波导的方法
CN102565938A (zh) * 2012-03-06 2012-07-11 北京航空航天大学 一种基于双层金属的低损耗表面等离子激元光波导
CN102736172A (zh) * 2012-06-14 2012-10-17 华中科技大学 一种表面等离子激元波导
US20150188280A1 (en) * 2012-06-29 2015-07-02 Martin Terence Hill Metal-insulator-metal waveguide for nano-lasers and optical amplifiers
US20180172908A1 (en) * 2015-07-06 2018-06-21 University Of Houston System A method to fabricate chip-scale electronic photonic (plasmonic) - integrated circuits
CN105372853A (zh) * 2015-12-15 2016-03-02 电子科技大学 基于石墨烯/二硫化钼异质结的微环谐振腔电光调制器
CN106785917A (zh) * 2016-12-23 2017-05-31 武汉工程大学 基于二硫化钼的表面等离子体激元的纳米激光器
CN108242452A (zh) * 2016-12-27 2018-07-03 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 光子集成器件及其制作方法
CN106526725A (zh) * 2016-12-28 2017-03-22 广西师范大学 一种基于半导体增益和石墨烯的spp装置
CN107422416A (zh) * 2017-06-22 2017-12-01 天津职业技术师范大学 一种混合型布洛赫等离激元光波导结构
CN107316915A (zh) * 2017-07-04 2017-11-03 中山大学 可见光波段的集成石墨烯二硫化钼的光电探测器及其制备方法
CN107478606A (zh) * 2017-08-01 2017-12-15 深圳大学 可实现Fano共振的多波长可调型纳米传感器
CN107329207A (zh) * 2017-09-05 2017-11-07 广西师范大学 一种石墨烯‑半导体双脊型混合表面等离子波导结构
CN108414115A (zh) * 2018-03-28 2018-08-17 广西师范大学 一种具备温度传感的可调谐表面等离子波导
CN208795877U (zh) * 2018-09-20 2019-04-26 广西师范大学 一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导

Non-Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JUN Z, GE W, FRANK J 等: "Temperature sensor of MoS2 based on hybrid plasmonic waveguides", 《PLASMONICS》, no. 14, pages 1863 - 1870 *
MAK K F 等: "Tightly bound trions in monolayer MoS2", 《NATURE MATERIALS》, vol. 12, no. 3, pages 207 - 211 *
MISHRA A K,MISHRA S K,VERMA R K.: "Graphene and beyond graphene MoS2:A new window in surfaceplasmon-resonance-based fiber optic sensing", 《JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY》, vol. 120, no. 5, pages 2893 - 2900 *
MOHSEN REZAEI等: "A Stripe-Assisted Hybrid Plasmonic Waveguide for the Propagation of Terahertz Waves", 《IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS》, vol. 27, no. 21, pages 2288, XP011670520, DOI: 10.1109/LPT.2015.2461636 *
ZUOWEI YIN等: "Far-Field Patterns of Plasmon Waveguide Interband Cascade Lasers", 《IEEE JOURNAL OF QUANTUM ELECTRONICS》, vol. 47, no. 11, pages 1414 - 1419, XP011388559, DOI: 10.1109/JQE.2011.2168812 *
刘伟光;胡滨;李彪;刘娟;王涌天;: "基于石墨烯-金属复合结构的光学调制器研究进展", 《激光与光电子学进展》, vol. 53, no. 03, pages 36 - 44 *
李志全;孟靓;朱君;童凯;王志斌;: "双平行圆柱形MDM纳米棒等离子体波导的传输特性分析", 《发光学报》, vol. 34, no. 08, pages 1073 - 1078 *
王各;朱君;娄健;徐政杰: "纳米增强表面等离子共振传感技术的研究进展", 《激光杂志》, vol. 39, no. 08, pages 1 - 5 *
童凯;党鹏;汪梅婷;王福成;孙家儒;王允轩;: "采用TiO_2薄膜增强光子晶体光纤表面等离子体共振生物传感器灵敏度的建模分析", 《中国激光》, vol. 45, no. 06, pages 0610002 - 1 *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Bozhevolnyi Plasmonic nano-guides and circuits
Chu et al. Hybrid dielectric-loaded plasmonic waveguide-based power splitter and ring resonator: compact size and high optical performance for nanophotonic circuits
Horvath et al. Polymer hybrid plasmonic waveguides and microring resonators
Kocabas et al. Slowing down surface plasmons on a Moiré surface
Lupu et al. Metal-dielectric metamaterials for guided wave silicon photonics
Melentiev et al. Open-type SPP waveguide with ultrahigh bandwidth up to 3.5 THz
Hoffmann et al. Backscattering design for a focusing grating coupler with fully etched slots for transverse magnetic modes
CN208795877U (zh) 一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导
Wei et al. Ultra-compact electro-optic modulator based on alternative plasmonic material
Fayard et al. Asymmetric comb waveguide for strong interactions between atoms and light
CN108957628A (zh) 一种基于二硫化钼的长程介质加载的混合等离子波导
Noor et al. Second-harmonic generation in plasmonic waveguides with nonlocal response and electron spill-out
Xie et al. On‐Chip Dual Electro‐Optic and Optoelectric Modulation Based on ZnO Nanowire‐Coated Photonic Crystal Nanocavity
Sellai et al. Characteristics of a dielectric–metal–dielectric plasmonic waveguide
Lin et al. Highly confined dielectric guiding mode in nanoridges embedded in a conventional slot waveguide
Liu et al. Plasmonic coupler for silicon-based micro-slabs to plasominc nano-gap waveguide mode coversion enhancement
Rajput et al. Slow-light-assisted electrical tuning in hollow optical waveguide via carrier depletion in silicon and indium tin oxide subwavelength gratings
Jiang et al. Long-range surface plasmon polariton waveguides embedded in fluorinated polymer
Zenin et al. Directional coupling in long-range dielectric-loaded plasmonic waveguides
CN207937633U (zh) 一种基于多凹槽mim波导的纳米级全光二极管
Kim Characteristics analysis of hybrid plasmonic waveguide for low-loss lightwave guiding
Wang et al. Optimization of CMOS-compatible hybrid plasmonic waveguides for nonlinear applications
US11835803B2 (en) Controlling evanescent waves on dielectric waveguides
YUE et al. All-dielectric antislot waveguide with subwavelength mode confinement and its high-efficiency coupling with input/output fiber
Saha et al. Hybrid photonic-plasmonic waveguides with ultrathin TiN

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20181207