CN108919550A - 彩膜基板及其制作方法、液晶面板 - Google Patents
彩膜基板及其制作方法、液晶面板 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108919550A CN108919550A CN201810790668.9A CN201810790668A CN108919550A CN 108919550 A CN108919550 A CN 108919550A CN 201810790668 A CN201810790668 A CN 201810790668A CN 108919550 A CN108919550 A CN 108919550A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- black matrix
- membrane substrates
- color membrane
- production method
- black
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 71
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title abstract description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 82
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 53
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 21
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims abstract description 9
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005234 chemical deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
本发明公开了一种彩膜基板及其制作方法、液晶面板。该制作方法包括：在基板上形成限定出多个像素区的黑色矩阵；对所述黑色矩阵的表面进行疏水化处理；在每个所述像素区内形成彩色光阻。该液晶面板包括上述的彩膜基板、与所述彩膜基板对盒设置的阵列基板以及填充于所述彩膜基板与所述阵列基板之间的液晶。该在黑色矩阵制作完成后，对黑色矩阵的表面进行疏水化处理，这样在制作彩色光阻时，便于去除黑色矩阵上方的彩色光阻层，防止彩色光阻的边缘搭接在黑色矩阵上形成牛角，保证彩色光阻的表面平整。
Description
技术领域
本发明属于液晶显示技术领域，具体地讲，涉及一种彩膜基板及其制作方法、液晶面板。
背景技术
液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称LCD)作为人与信息的沟通界面，是当前主流的显示方式。它具有高空间利用率、低功耗、无辐射以及低电磁干扰等优越特性，在电视、手机、平板电脑等信息沟通工具中广泛使用。
在LCD的制备过程中，彩色滤光片是必不可少的关键组件。现行的彩色滤光片制备工艺基板为：1、在基板上制作黑色矩形；2、制作彩色光阻；3、制作透明导电膜；4、制作柱状隔垫物。其中，如图1所示，在彩色光阻的制程中，为了保证彩色光阻和黑色矩阵的边界不漏光，彩色光阻2一般在黑色矩阵上形成一定的搭接(Overlap，简称OL)，OL的存在导致整个膜面的平坦度不佳，像素周围形成牛角2A，造成透明导电膜破膜、液晶配向不均和显示画面质量下降。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种具有平坦表面的彩色光阻块的彩膜基板及其制作方法以及液晶面板。
为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：
一种彩膜基板的制作方法，包括步骤：
S1：在基板上形成限定出多个像素区的黑色矩阵；
S2：对所述黑色矩阵的表面进行疏水化处理；
S3：在每个所述像素区内形成彩色光阻。
优选地，步骤S1具体包括：
在所述基板上形成黑色光阻层；
利用具有预定图案的光罩对所述黑色光阻层进行曝光；
对曝光后的所述黑色光阻层进行显影，以形成所述黑色矩阵；
优选地，对曝光后的所述黑色光阻层进行显影处理之后，所述制作方法还包括：利用紫外光照射所述黑色矩阵，以将所述黑色矩阵固化，从而使得所述黑色矩阵的横截面的形状为倒梯形。
优选地，对所述黑色矩阵的表面进行疏水化处理具体为：采用等离子体工艺对所述黑色矩阵的表面进行处理，以在所述黑色矩阵的表面形成疏水层。
优选地，所述等离子体工艺的工作气体为四氟甲烷。
或者，步骤S2具体为：在所述黑色矩阵的表面涂覆疏水材料，以在所述黑色矩阵的表面上形成疏水层。
优选地，步骤S3具体包括：
在所述黑色矩阵和所述基板上涂覆彩色光阻层；
对所述彩色光阻层进行曝光、显影以及刻蚀处理，以去除所述黑色矩阵表面上的部分所述彩色光阻层，以形成所述彩色光阻。
优选地，所述彩色光阻的厚度与所述黑色矩阵的厚度相同。
本发明还公开了一种采用任一种上述的制作方法制成的彩膜基板。
本发明还公开了一种液晶面板，包括任一种上述的彩膜基板、与所述彩膜基板对盒设置的阵列基板以及填充于所述彩膜基板与所述阵列基板之间的液晶。
有益效果：本发明公开的一种彩膜基板及其制作方法、液晶面板，在黑色矩阵制作完成后，对黑色矩阵的表面进行疏水化处理，这样在制作彩色光阻时，便于去除黑色矩阵上方的彩色光阻层，防止彩色光阻的边缘搭接在黑色矩阵上形成牛角，保证彩色光阻的表面平整，改善彩膜基板的表面平坦度。
附图说明
图1为现有技术的彩色滤光片的剖面图；
图2为本发明的实施例一的彩膜基板的制作方法的流程图；
图3A至3G为本发明的实施例一的彩膜基板的制程图；
图4为本发明实施例三的液晶面板的剖面图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例一
图2示出了根据本发明的实施例一的彩膜基板的制作方法的流程图，该制作方法具体包括：
步骤S1：如图3A至图3D所示，在基板10上形成限定出多个像素区10a的黑色矩阵20。
作为优选实施例，该步骤S1具体包括如下步骤：
步骤S11：如图3A所示，在基板10上形成黑色光阻层20A。具体地，首先对基板10进行清洗，接着在基板10上均匀涂布黑色光阻层20A，然后对黑色光阻层20A进行预烘烤。
步骤S12：如图3B所示，利用具有预定图案的光罩50对黑色光阻层20A进行曝光。将光罩50与黑色光阻层20A对位，利用紫外光照射光罩50以对黑色光阻层20A进行选择性曝光。作为优选实施例，本实施例的黑色光阻层20A的材料为正性光阻材料。
步骤S13：如图3C所示，对曝光后的黑色光阻层20A进行显影，以形成黑色矩阵20。具体地，利用显影液去除黑色光阻层20A被曝光的部分，并去除像素区10a内的残余材料，接着对黑色矩阵20进行烘烤，使得黑色矩阵20固化。
进一步地，在进行显影处理之后，采用紫外光照射黑色矩阵20，以固化黑色矩阵20，这样可防止显影处理后得到的黑色矩阵20在后续烘烤过程中发生坍塌，使得黑色矩阵横截面的形状为倒梯形，使得黑色矩阵顶面的宽度大于底面的宽度，这样可防止黑色矩阵20的边缘与彩色光阻30的接触不紧密导致发生漏光。其中，这里所说的横截面指的是沿着平行于纸面的方向剖切黑色矩阵20形成的横截面。
步骤S2：如图3D所示，对黑色矩阵20的表面进行疏水化处理。
作为优选实施例，采用等离子体工艺对黑色矩阵20的表面进行疏水化处理，其中，等离子体工艺中的工作气体为四氟甲烷，四氟甲烷电离出氟离子，氟离子与黑色矩阵20的表面发生反应，以使得黑色矩阵20的表面形成具有疏水化特性的疏水层20B。
当然，在其他实施方式中，还可以在黑色矩阵20的表面形成疏水层。例如，可采用化学沉积工艺在黑色矩阵20的表面上沉积形成疏水材料，以形成疏水层。当然还可以将疏水材料直接涂覆在黑色矩阵20的表面上以形成疏水层。
步骤S3：如图3E至图3F所示，在每个像素区10a内形成彩色光阻30。
作为优选实施例，该步骤S2具体包括如下步骤：
S21：如图3E所示，在黑色矩阵20和所述基板10上涂覆彩色光阻层30A。
S22：如图3F所示，对彩色光阻层30A进行曝光和显影处理，以去除黑色矩阵20表面上的彩色光阻层30A，以在黑色矩阵20之间形成彩色光阻30。其中，依次在像素区10a制作形成红色滤光块R、绿色滤光块G和蓝色滤光块B。
由于黑色矩阵20的表面具有疏水化特性，更容易除去黑色矩阵20上方的彩色光阻层30A。这种形成的彩色光阻30的背向基板10的表面在基板10上投影和黑色矩阵20的背向基板10的表面在基板10上投影互不重叠，防止彩色光阻30的边缘搭接在黑色矩阵20上形成牛角，使得彩色光阻块30的表面更加平坦。
当黑色矩阵20表面上形成有疏水层时，去除黑色矩阵20上方的彩色光阻层30A后，需要继续去除黑色矩阵20表面上的疏水层。作为优选实施例，黑色矩阵20的厚度与彩色光阻30的厚度相同。
步骤S3：如图3G所示，在黑色矩阵20和彩色光阻30上制作形成平坦层40。
本发明的实施例一公开的彩膜基板的制作方法，在黑色矩阵制作完成后，对黑色矩阵的表面进行疏水化处理，这样在制作彩色光阻时，便于去除黑色矩阵上方的彩色光阻层，防止彩色光阻的边缘搭接在黑色矩阵上形成牛角，保证彩色光阻的表面平整。
实施例二
根据本发明的实施例二的彩膜基板由实施例一的制作方法制成。如图3G所示，该彩膜基板包括基板10、黑色矩阵20和多个彩色光阻30。其中，黑色矩阵20设于基板10上以限定出多个像素区10a，彩色光阻30设置于对应的像素区内10a，彩色光阻30的背向基板10的表面在基板10上的投影和黑色矩阵20的背向基板10的表面在基板10上的投影互不重叠。这样可防止彩色光阻30的边缘搭接在黑色矩阵20上形成牛角，使得彩色光阻块30的表面更加平坦。
进一步地，黑色矩阵20的横截面的形状为倒梯形，这样可防止黑色矩阵20的边缘发生漏光。其中，其中，这里所说的横截面指的是沿着平行于纸面的方向剖切黑色矩阵20形成的横截面。
进一步地，彩膜基板还包括设置在彩色光阻30和黑色矩阵20上的平坦层40。
本发明的实施例二公开的彩膜基板，彩色光阻的边缘未搭接在黑色矩阵上，保证彩色光阻的表面平整。
实施例三
如图4所示，根据本发明的实施例三的液晶面板包括实施例一的制作方法制成的彩膜基板100或者实施例二的彩膜基板100、与彩膜基板100对盒设置的阵列基板200以及填充于彩膜基板100阵列基板200之间的液晶。
本发明的实施例二公开的一种液晶面板，由于彩膜基板100的彩色光阻块10的表面平整，可保证液晶配向均匀，从而具有较高的画面质量。
上面对本发明的具体实施方式进行了详细描述，虽然已表示和描述了一些实施例，但本领域技术人员应该理解，在不脱离由权利要求及其等同物限定其范围的本发明的原理和精神的情况下，可以对这些实施例进行修改和完善，这些修改和完善也应在本发明的保护范围内。
Claims (10)
1.一种彩膜基板的制作方法，其特征在于，包括步骤：
S1：在基板(10)上形成限定出多个像素区(10a)的黑色矩阵(20)；
S2：对所述黑色矩阵(20)的表面进行疏水化处理；
S3：在每个所述像素区(10a)内形成彩色光阻(30)。
2.根据权利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，步骤S1具体包括：
在所述基板(10)上形成黑色光阻层(20A)；
利用具有预定图案的光罩(50)对所述黑色光阻层(20A)进行曝光；
对曝光后的所述黑色光阻层(20A)进行显影，以形成所述黑色矩阵(20)。
3.根据权利要求2所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，对曝光后的所述黑色光阻层(20A)进行显影处理之后，所述制作方法还包括：利用紫外光照射所述黑色矩阵(20)，以将所述黑色矩阵(20)固化，从而使得所述黑色矩阵(20)的横截面的形状为倒梯形。
4.根据权利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，步骤S2具体为：采用等离子体工艺对所述黑色矩阵(20)的表面进行处理，以在所述黑色矩阵(20)的表面形成疏水层。
5.根据权利要求4所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述等离子体工艺中采用的工作气体为四氟甲烷。
6.根据权利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，步骤S2具体为：在所述黑色矩阵(20)的表面涂覆疏水材料，以在所述黑色矩阵(20)的表面上形成疏水层。
7.根据权利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，步骤S3具体包括：
在所述黑色矩阵(20)和所述基板(10)上涂覆彩色光阻层(30A)；
对所述彩色光阻层(30A)进行曝光和显影处理，以去除所述黑色矩阵(20)表面上的彩色光阻层(30A)，从而在所述黑色矩阵(20)之间形成所述彩色光阻(30)。
8.根据权利要求1或7所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述彩色光阻(30)的厚度与所述黑色矩阵(20)的厚度相同。
9.一种采用如权利要求1至8任一项所述的制作方法制成的彩膜基板。
10.一种液晶面板，其特征在于，包括权利要求8所述的彩膜基板(100)、与所述彩膜基板(100)对盒设置的阵列基板(200)以及填充于所述彩膜基板(100)与所述阵列基板(200)之间的液晶。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810790668.9A CN108919550A (zh) | 2018-07-18 | 2018-07-18 | 彩膜基板及其制作方法、液晶面板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810790668.9A CN108919550A (zh) | 2018-07-18 | 2018-07-18 | 彩膜基板及其制作方法、液晶面板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108919550A true CN108919550A (zh) | 2018-11-30 |
Family
ID=64414787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810790668.9A Pending CN108919550A (zh) | 2018-07-18 | 2018-07-18 | 彩膜基板及其制作方法、液晶面板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108919550A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110335963A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-10-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种电致发光显示器件 |
| CN111725420A (zh) * | 2020-06-02 | 2020-09-29 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板及其制备方法 |
| CN114300599A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-04-08 | 业成科技（成都）有限公司 | 色转化层制作方法、显示面板及显示装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101029947A (zh) * | 2007-04-10 | 2007-09-05 | 友达光电股份有限公司 | 彩色滤光片 |
| US20080261129A1 (en) * | 2007-04-23 | 2008-10-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Selective surface treatment method using block copolymer, black matrix and method of manufacturing the same, and nozzle plate and method of manufacturing the same |
| CN104090419A (zh) * | 2014-07-11 | 2014-10-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种彩色滤光片及其制备方法、显示装置 |
| CN104423088A (zh) * | 2013-09-10 | 2015-03-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种彩膜基板的制备方法 |
| CN105683837A (zh) * | 2013-10-30 | 2016-06-15 | 太阳油墨制造株式会社 | 感光性热固性树脂组合物和柔性印刷电路板 |
-
2018
- 2018-07-18 CN CN201810790668.9A patent/CN108919550A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101029947A (zh) * | 2007-04-10 | 2007-09-05 | 友达光电股份有限公司 | 彩色滤光片 |
| US20080261129A1 (en) * | 2007-04-23 | 2008-10-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Selective surface treatment method using block copolymer, black matrix and method of manufacturing the same, and nozzle plate and method of manufacturing the same |
| CN104423088A (zh) * | 2013-09-10 | 2015-03-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种彩膜基板的制备方法 |
| CN105683837A (zh) * | 2013-10-30 | 2016-06-15 | 太阳油墨制造株式会社 | 感光性热固性树脂组合物和柔性印刷电路板 |
| CN104090419A (zh) * | 2014-07-11 | 2014-10-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种彩色滤光片及其制备方法、显示装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110335963A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-10-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种电致发光显示器件 |
| CN111725420A (zh) * | 2020-06-02 | 2020-09-29 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板及其制备方法 |
| CN111725420B (zh) * | 2020-06-02 | 2021-08-03 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板及其制备方法 |
| US11991912B2 (en) | 2020-06-02 | 2024-05-21 | Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Display panel and manufacturing method thereof |
| CN114300599A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-04-08 | 业成科技（成都）有限公司 | 色转化层制作方法、显示面板及显示装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105116685B (zh) | 一种光刻胶图案的制作方法、彩色滤光片及显示装置 | |
| KR100928928B1 (ko) | 액정표시패널의 제조방법 | |
| CN108919550A (zh) | 彩膜基板及其制作方法、液晶面板 | |
| TW200411252A (en) | Method for forming post spacers in liquid crystal display | |
| US8724058B2 (en) | Color filter substrate with black matrix on undercut groove and fabricating method thereof | |
| EP2525250B1 (en) | Color filter substrate and method of manufacturing the same | |
| CN205844685U (zh) | 一种显示面板及显示装置 | |
| CN104297978A (zh) | 一种显示基板及其制备方法、显示装置及其制备方法 | |
| US20160291375A1 (en) | Display substrate, method for manufacturing the same, and liquid crystal display device | |
| JP2000075305A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JP2007233059A (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
| TWI333568B (en) | Color filter substrate with spacer pads and fabricating method thereof and method for assembling a panel with the color filter substrate for lcd | |
| JP2012042645A (ja) | カラーフィルタとその製造方法、カラーフィルタ基板ならびに液晶表示装置 | |
| WO2017024655A1 (zh) | 彩色滤光片基板及其制作方法、液晶面板 | |
| JP2021002033A (ja) | カラーフィルタ基板、液晶表示装置、及び、カラーフィルタ基板の製造方法 | |
| CN103021941B (zh) | 一种制造阵列基板的方法、阵列基板及液晶显示设备 | |
| JP2008304507A (ja) | フォトマスク、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶表示装置 | |
| KR100710178B1 (ko) | 액정표시장치용 컬러 필터 기판 및 그 제조방법 | |
| JPH0414021A (ja) | 液晶表示パネル及びその製造方法 | |
| WO2017148065A1 (zh) | 显示基板、液晶面板、显示装置及显示基板的制作方法 | |
| JP2002212721A (ja) | スパッタ用メタルマスク | |
| CN102279488B (zh) | 彩色滤光基板的制作方法及彩色滤光基板用的曝光光罩 | |
| JP2009069223A (ja) | 樹脂製薄膜の製造方法 | |
| JPH0862606A (ja) | 液晶パネル | |
| JPH09197117A (ja) | カラーフィルタの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 9-2 Tangming Avenue, Guangming New District, Shenzhen City, Guangdong Province Applicant after: TCL China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. Address before: 9-2 Tangming Avenue, Guangming New District, Shenzhen City, Guangdong Province Applicant before: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. |
|
| CB02 | Change of applicant information | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20181130 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |