CN108890518A - 一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环 - Google Patents
一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环 Download PDFInfo
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Abstract
本发明公开了一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环,其结构包括夹环、外疏水涂层、内疏水涂层、圆环,夹环的形状呈圆形结构,夹环的外壁面设有外疏水涂层,夹环的内壁面固定有一层均匀的内疏水涂层,与现有技术相比,本发明的有益效果是:该外部夹环通过环体、夹环调节机构、齿条齿轮传动机构、夹紧机构及滑轮组的结合设置,具有直径调节的功能,能够适用于不同规格的承载头,且夹紧机构设置有四组从而对承载头四个方位进行夹紧,夹紧更为牢固,有效的防止承载头发生松动的现象。
Description
技术领域
本发明涉及夹环技术领域,具体地说是一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环。
背景技术
化学机械抛光是一种可接受的平面化方法,CMP典型地要求基板以离开所暴露基板的装置侧表面的方式由承载头所保持。承载头将基板相抵于旋转抛光垫定位。承载头在基板上提供可控制的负载以将基板相抵旋转抛光垫推动。
目前的承载头的外部夹环的直径为固定式,不具有直径调节的功能,对于不同规格的承载头需要使用不同直径的外部夹环,且夹紧度低,易发生松动现象。
发明内容
本发明的主要目的在于克服现有技术的不足,提供一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环。
本发明采用如下技术方案来实现:一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环,其结构包括夹环、外疏水涂层、内疏水涂层、圆环,所述夹环的形状呈圆形结构,所述夹环的外壁面设有外疏水涂层,所述夹环的内壁面固定有一层均匀的内疏水涂层,所述夹环的上下两端均连接有圆环,所述夹环包括有环体、夹环调节机构、第一滑轮组、齿条齿轮传动机构、第二滑轮组、夹紧机构、第三滑轮组;
所述环体内连接有夹环调节机构、第一滑轮组、齿条齿轮传动机构、第二滑轮组、夹紧机构、第三滑轮组,所述夹环调节机构均通过第一滑轮组与齿条齿轮传动机构连接,所述齿条齿轮传动机构连接于第二滑轮组,所述夹紧机构布设有四组且呈两两对称设置,靠近夹环调节机构的两组夹紧机构均通过第三滑轮组与夹环调节机构连接,远离夹环调节机构的两组夹紧机构连接于第二滑轮组,所述第一滑轮组、齿条齿轮传动机构、第二滑轮组、第三滑轮组均布设有两组且以夹环调节机构的中心水平线为轴呈镜像设置,所述外疏水涂层设在环体的外壁,所述内疏水涂层设于环体的内壁。
作为优化,所述环体包括有中空外环、导向环、活动口、中空内环、内腔、通孔、凹槽,所述通孔设置在中空内环上,所述中空内环的四个方位上均开设有与之为一体化结构的活动口,所述中空内环贯穿于中空外环内且两者为同心环结构,所述中空外环的内壁与中空内环的内壁之间形成内腔,所述内腔与活动口相通,所述中空外环的一侧中心位置上开设有凹槽,所述凹槽出设有与中空外环固定连接的导向环,所述导向环与夹环调节机构活动连接,所述夹环调节机构还连接于中空内环,所述中空内环及中空外环的上下两端均连接有圆环,所述内腔内置有第一滑轮组、齿条齿轮传动机构、第二滑轮组、夹紧机构、第三滑轮组,所述外疏水涂层设置在中空外环的外壁,所述内疏水涂层固定在中空内环的外壁。
作为优化,所述夹环调节机构包括有导向槽、旋转盘、丝杆、螺母副、固定块、轴承座,所述丝杆的一端安装有轴承座,所述丝杆的另一端垂直连接于旋转盘的内侧中心,所述旋转盘的外端面上开设有导向槽,所述旋转盘与轴承座之间设有螺母副,所述螺母副与丝杆通过螺纹连接,所述螺母副的上下两端中心位置均垂直连接有固定块,所述固定块的一端均通过第一滑轮组与齿条齿轮传动机构连接,所述固定块的另一端均通过第三滑轮组连接于夹紧机构,所述轴承座嵌入在中空内环上,所述导向槽与导向块进行活动配合,所述旋转盘与中空外环活动接触。
作为优化,所述第一滑轮组包括有第一导向滑轮、第一牵引绳,所述第一导向滑轮布设四个且均与第一牵引绳活动接触,所述第一导向滑轮安装在内腔内,所述第一牵引绳的一端与固定块相连接,所述固定块的另一端连接于齿条齿轮传动机构。
作为优化,所述齿条齿轮传动机构包括有传动齿轮、转轴、工字轮、弧形导向凸条、弧形导向滑座、第一弹簧、弧形齿条板,所述弧形齿条板的两外端面均固定有弧形导向凸条,所述弧形导向凸条与弧形导向滑座的内端面滑槽采用滑动连接,所述弧形齿条板与弧形导向滑座采用间隙配合,所述弧形齿条板的一内侧与第一弹簧的一端相连接,所述第一弹簧的另一端连接于弧形导向凸条,所述弧形导向凸条远离第一弹簧的一侧上方设有与之相啮合的传动齿轮,所述传动齿轮平行设于与之为同心轮结构的工字轮的正后方,所述传动齿轮及工字轮均套置在转轴上,所述弧形导向凸条与第一牵引绳相连接,所述工字轮与第二滑轮组连接,所述转轴的两外端面积均与圆环的内端面活动连接,所述弧形导向滑座远离传动齿轮的侧面与中空外环的内壁固定连接。
作为优化,所述第二滑轮组包括有第二牵引绳、第二导向滑轮,所述第二导向滑轮布设有四个且均活动接触于第二牵引绳,所述第二导向滑轮设在内腔内,所述第二牵引绳的一端连接于工字轮,所述第二牵引绳的另一端与远离螺母副一侧的夹紧机构连接。
作为优化,所述夹紧机构包括有PTFE基涂层、弧形夹板、伸缩杆、空心筒、第二弹簧、导向孔、所述空心筒的底部中心开设有圆形结构的导向孔,所述导向孔的一侧设有与空心筒内底面连接的第二弹簧,所述第二弹簧的一端与伸缩杆连接,所述伸缩杆的形状呈T型结构,所述伸缩杆与空心筒采用间隙配合,所述伸缩杆远离第二弹簧的一端贯穿于活动口而与弧形夹板连接,所述弧形夹板远离伸缩杆的侧面上固定有PTFE基涂层,所述伸缩杆与活动口采用间隙配合,所述空心筒设于内腔内且与圆环固定连接,所述空心筒靠近弧形夹板的一侧还连接于中空内环的内壁,所述伸缩杆通过第三滑轮组与固定块连接。
作为优化,所述第三滑轮组包括有第三导向滑轮、第三牵引绳,所述第三导向滑轮布设有三个且均与第三牵引绳活动接触,所述第三导向滑轮均设于第一导向滑轮的内侧,所述第三牵引绳的一端与固定块连接,所述第三牵引绳的另一端贯穿于导向孔、第二弹簧而与伸缩杆的底面中心连接。
作为优化,所述第二牵引绳的一端贯穿于远离螺母副的夹紧机构上的导向孔、第二弹簧而与伸缩杆连接。
作为优化,所述夹环调节机构的设置能够调节四个方位上的弧形夹板构成不同大小的直径,从而能够适用于不同大小的承载头,适用范围广,所述夹紧机构的设置具有伸缩调节的功能,能够对承载头进行夹紧,夹紧效果好,较为牢固。
作为优化,所述第一滑轮组的设置能够通过夹环调节机构决定工字轮进行正转还是反转,第一弹簧的设置在于弧形齿条板能够得以复位,弧形导向凸条与弧形导向滑座的设置,对弧形齿条板起导向限位的作用,有效的避免弧形齿条板受力而发生偏位的现象,使得传动齿轮能够正常进行旋转,第二牵引绳与工字轮采用顺时针缠绕设置,能够使得工字轮进行顺时针旋转时释放第二牵引绳。从而弧形夹板外伸进行夹持,工字轮进行逆时针旋转时将第二牵引绳进行收绳,从而弧形夹板内缩进行夹持前调节。
有益效果
本发明的一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环,该夹环能够适用于不同直径大小的承载头,当承载头的口径小于四个不同方位上的弧形夹板构成的直径时,则逆时针转动旋转盘,使得丝杆带动螺母副向轴承座方向移动,从而固定块随螺母副移动的同时在第三导向滑轮及第三牵引绳的导向限位作用下释放了对伸缩杆的拉力,使得第二弹簧由于被拉缩要复位而对伸缩杆提供动力,从而伸缩杆带动弧形夹板向空心筒外伸,由于第三牵引绳的长度固定且无弹性,故外伸的距离=第三牵引绳被释放的长度=固定块的位移量,与此同时,固定块在第一导向滑轮、第一牵引绳的导向限位作用下对弧形齿条板产生拉力,从而使得弧形齿条板受力而在弧形导向凸条的导向作用下向导向滑座外滑,弧形导向凸条向远离第一弹簧移动时则带动与之相啮合的传动齿轮进行顺时针旋转,从而转轴随传动齿轮旋转的同时带动工字轮旋转,工字轮旋转则释放与之采用顺时针缠绕的第二牵引绳,释放的第二牵引绳为远离螺母副的夹紧机构上第一弹簧提供动力,使得伸缩杆带动弧形夹板向空心筒外伸,从而对承载头进行夹持,反之同理可得;
与现有技术相比,本发明的有益效果是:该外部夹环通过环体、夹环调节机构、齿条齿轮传动机构、夹紧机构及滑轮组的结合设置,具有直径调节的功能,能够适用于不同规格的承载头,且夹紧机构设置有四组从而对承载头四个方位进行夹紧,夹紧更为牢固,有效的防止承载头发生松动的现象。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本发明一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环的结构示意图;
图2为本发明的夹环的第一种工作状态的结构示意图;
图3为本发明的夹环的第二种工作状态的结构示意图。
图中:夹环1、外疏水涂层2、内疏水涂层3、圆环4、环体11、夹环调节机构12、第一滑轮组13、齿条齿轮传动机构14、第二滑轮组15、夹紧机构16、第三滑轮组1、中空外环1101、导向环1102、活动口1103、中空内环1104、内腔1105、通孔1106、凹槽1107、导向槽1201、旋转盘1202、丝杆1203、螺母副1204、固定块1205、轴承座1206、第一导向滑轮1301、第一牵引绳1302、传动齿轮1401、转轴1402、工字轮1403、弧形导向凸条1404、弧形导向滑座1405、第一弹簧1406、弧形齿条板1407、第二牵引绳1501、第二导向滑轮1502、PTFE基涂层1601、弧形夹板1601、伸缩杆1603、空心筒1604、第二弹簧1605、导向孔1606、第三导向滑轮1701、第三牵引绳1702。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3,本发明提供一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环技术方案:其结构包括夹环1、外疏水涂层2、内疏水涂层3、圆环4,所述夹环1的形状呈圆形结构,所述夹环1的外壁面设有外疏水涂层2,所述夹环1的内壁面固定有一层均匀的内疏水涂层3,所述夹环1的上下两端均连接有圆环4,所述夹环1包括有环体11、夹环调节机构12、第一滑轮组13、齿条齿轮传动机构14、第二滑轮组15、夹紧机构16、第三滑轮组17;
所述环体11内连接有夹环调节机构12、第一滑轮组13、齿条齿轮传动机构14、第二滑轮组15、夹紧机构16、第三滑轮组17,所述夹环调节机构12均通过第一滑轮组13与齿条齿轮传动机构14连接,所述齿条齿轮传动机构14连接于第二滑轮组15,所述夹紧机构16布设有四组且呈两两对称设置,靠近夹环调节机构12的两组夹紧机构16均通过第三滑轮组17与夹环调节机构12连接,远离夹环调节机构12的两组夹紧机构16连接于第二滑轮组15,所述第一滑轮组13、齿条齿轮传动机构14、第二滑轮组15、第三滑轮组17均布设有两组且以夹环调节机构12的中心水平线为轴呈镜像设置,所述外疏水涂层2设在环体11的外壁,所述内疏水涂层3设于环体11的内壁。
所述环体11包括有中空外环1101、导向环1102、活动口1103、中空内环1104、内腔1105、通孔1106、凹槽1107,所述通孔1106设置在中空内环1104上,所述中空内环1104的四个方位上均开设有与之为一体化结构的活动口1103,所述中空内环1104贯穿于中空外环1101内且两者为同心环结构,所述中空外环1101的内壁与中空内环1104的内壁之间形成内腔1105,所述内腔1105与活动口1103相通,所述中空外环1101的一侧中心位置上开设有凹槽1107,所述凹槽1107出设有与中空外环1101固定连接的导向环1102,所述导向环1102与夹环调节机构12活动连接,所述夹环调节机构12还连接于中空内环1104,所述中空内环1104及中空外环110的上下两端均连接有圆环4,所述内腔1105内置有第一滑轮组13、齿条齿轮传动机构14、第二滑轮组15、夹紧机构16、第三滑轮组17,所述外疏水涂层2设置在中空外环1101的外壁,所述内疏水涂层3固定在中空内环1104的外壁。
所述夹环调节机构12包括有导向槽1201、旋转盘1202、丝杆1203、螺母副1204、固定块1205、轴承座1206,所述丝杆1203的一端安装有轴承座1206,所述丝杆1203的另一端垂直连接于旋转盘1202的内侧中心,所述旋转盘1202的外端面上开设有导向槽1201,所述旋转盘1202与轴承座1206之间设有螺母副1204,所述螺母副1204与丝杆1203通过螺纹连接,所述螺母副1204的上下两端中心位置均垂直连接有固定块1205,所述固定块1205的一端均通过第一滑轮组13与齿条齿轮传动机构14连接,所述固定块1205的另一端均通过第三滑轮组17连接于夹紧机构16,所述轴承座1206嵌入在中空内环1104上,所述导向槽1201与导向块1102进行活动配合,所述旋转盘1202与中空外环1101活动接触。
所述第一滑轮组13包括有第一导向滑轮1301、第一牵引绳1302,所述第一导向滑轮1301布设四个且均与第一牵引绳1302活动接触,所述第一导向滑轮1301安装在内腔1105内,所述第一牵引绳1302的一端与固定块1205相连接,所述固定块1205的另一端连接于齿条齿轮传动机构14。
所述齿条齿轮传动机构14包括有传动齿轮1401、转轴1402、工字轮1403、弧形导向凸条1404、弧形导向滑座1405、第一弹簧1406、弧形齿条板1407,所述弧形齿条板1407的两外端面均固定有弧形导向凸条1404,所述弧形导向凸条1404与弧形导向滑座1405的内端面滑槽采用滑动连接,所述弧形齿条板1407与弧形导向滑座1405采用间隙配合,所述弧形齿条板1407的一内侧与第一弹簧1406的一端相连接,所述第一弹簧1406的另一端连接于弧形导向凸条1404,所述弧形导向凸条1404远离第一弹簧1406的一侧上方设有与之相啮合的传动齿轮1401,所述传动齿轮1401平行设于与之为同心轮结构的工字轮1403的正后方,所述传动齿轮1401及工字轮1403均套置在转轴1402上,所述弧形导向凸条1404与第一牵引绳1302相连接,所述工字轮1403与第二滑轮组15连接,所述转轴1402的两外端面积均与圆环4的内端面活动连接,所述弧形导向滑座1405远离传动齿轮1401的侧面与中空外环1101的内壁固定连接。
所述第二滑轮组15包括有第二牵引绳1501、第二导向滑轮1502,所述第二导向滑轮1502布设有四个且均活动接触于第二牵引绳1501,所述第二导向滑轮1502设在内腔1105内,所述第二牵引绳1501的一端连接于工字轮1403,所述第二牵引绳1501的另一端与远离螺母副1204一侧的夹紧机构16连接。
所述夹紧机构16包括有PTFE基涂层1601、弧形夹板1601、伸缩杆1603、空心筒1604、第二弹簧1605、导向孔1606、所述空心筒1604的底部中心开设有圆形结构的导向孔1606,所述导向孔1606的一侧设有与空心筒1604内底面连接的第二弹簧1605,所述第二弹簧1605的一端与伸缩杆1603连接,所述伸缩杆1603的形状呈T型结构,所述伸缩杆1603与空心筒1604采用间隙配合,所述伸缩杆1603远离第二弹簧1605的一端贯穿于活动口1103而与弧形夹板1601连接,所述弧形夹板1601远离伸缩杆1603的侧面上固定有PTFE基涂层1601,所述伸缩杆1603与活动口1103采用间隙配合,所述空心筒1604设于内腔1105内且与圆环4固定连接,所述空心筒1604靠近弧形夹板1601的一侧还连接于中空内环1104的内壁,所述伸缩杆1603通过第三滑轮组17与固定块1205连接。
所述第三滑轮组17包括有第三导向滑轮1701、第三牵引绳1702,所述第三导向滑轮1701布设有三个且均与第三牵引绳1702活动接触,所述第三导向滑轮1701均设于第一导向滑轮1301的内侧,所述第三牵引绳1702的一端与固定块1205连接,所述第三牵引绳1702的另一端贯穿于导向孔1606、第二弹簧1605而与伸缩杆1603的底面中心连接。
所述第二牵引绳1501的一端贯穿于远离螺母副1204的夹紧机构16上的导向孔1606、第二弹簧1605而与伸缩杆1603连接。
所述夹环调节机构12的设置能够调节四个方位上的弧形夹板1602构成不同大小的直径,从而能够适用于不同大小的承载头,适用范围广,所述夹紧机构16的设置具有伸缩调节的功能,能够对承载头进行夹紧,夹紧效果好,较为牢固。
所述第一滑轮组13的设置能够通过夹环调节机构12决定工字轮1403进行正转还是反转,第一弹簧1406的设置在于弧形齿条板1407能够得以复位,弧形导向凸条1404与弧形导向滑座1405的设置,对弧形齿条板1407起导向限位的作用,有效的避免弧形齿条板1407受力而发生偏位的现象,使得传动齿轮1401能够正常进行旋转,第二牵引绳1501与工字轮1403采用顺时针缠绕设置,能够使得工字轮1403进行顺时针旋转时释放第二牵引绳1501。从而弧形夹板1601外伸进行夹持,工字轮1403进行逆时针旋转时将第二牵引绳1501进行收绳,从而弧形夹板1601内缩进行夹持前调节。
工作原理:该夹环能够适用于不同直径大小的承载头,当承载头的口径小于四个不同方位上的弧形夹板1601构成的直径时,则逆时针转动旋转盘1202,使得丝杆1203带动螺母副1204向轴承座1206方向移动,从而固定块1205随螺母副1204移动的同时在第三导向滑轮1701及第三牵引绳1702的导向限位作用下释放了对伸缩杆1603的拉力,使得第二弹簧1605由于被拉缩要复位而对伸缩杆1603提供动力,从而伸缩杆1605带动弧形夹板1602向空心筒1604外伸,由于第三牵引绳1702的长度固定且无弹性,故外伸的距离=第三牵引绳1702被释放的长度=固定块1205的位移量,与此同时,固定块1205在第一导向滑轮1301、第一牵引绳1302的导向限位作用下对弧形齿条板1407产生拉力,从而使得弧形齿条板1407受力而在弧形导向凸条1404的导向作用下向导向滑座1405外滑,弧形导向凸条1404向远离第一弹簧1406移动时则带动与之相啮合的传动齿轮1401进行顺时针旋转,从而转轴1402随传动齿轮1401旋转的同时带动工字轮1402旋转,工字轮1402旋转则释放与之采用顺时针缠绕的第二牵引绳1501,释放的第二牵引绳1501为远离螺母副1204的夹紧机构16上第一弹簧1605提供动力,使得伸缩杆1604带动弧形夹板1602向空心筒1604外伸,从而对承载头进行夹持,反之同理可得。
本发明相对现有技术获得的技术进步是:该外部夹环通过环体、夹环调节机构、齿条齿轮传动机构、夹紧机构及滑轮组的结合设置,具有直径调节的功能,能够适用于不同规格的承载头,且夹紧机构设置有四组从而对承载头四个方位进行夹紧,夹紧更为牢固,有效的防止承载头发生松动的现象。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环,其结构包括夹环、外疏水涂层、内疏水涂层、圆环,所述夹环的形状呈圆形结构,所述夹环的外壁面设有外疏水涂层,所述夹环的内壁面固定有一层均匀的内疏水涂层,所述夹环的上下两端均连接有圆环,其特征在于:
所述夹环包括有环体、夹环调节机构、第一滑轮组、齿条齿轮传动机构、第二滑轮组、夹紧机构、第三滑轮组;
所述环体内连接有夹环调节机构、第一滑轮组、齿条齿轮传动机构、第二滑轮组、夹紧机构、第三滑轮组,所述夹环调节机构均通过第一滑轮组与齿条齿轮传动机构连接,所述齿条齿轮传动机构连接于第二滑轮组,所述夹紧机构布设有四组且呈两两对称设置,靠近夹环调节机构的两组夹紧机构均通过第三滑轮组与夹环调节机构连接,远离夹环调节机构的两组夹紧机构连接于第二滑轮组,所述第一滑轮组、齿条齿轮传动机构、第二滑轮组、第三滑轮组均布设有两组且以夹环调节机构的中心水平线为轴呈镜像设置,所述外疏水涂层设在环体的外壁,所述内疏水涂层设于环体的内壁。
2.根据权利要求1所述的一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环,其特征在于:所述环体包括有中空外环、导向环、活动口、中空内环、内腔、通孔、凹槽,所述通孔设置在中空内环上,所述中空内环的四个方位上均开设有与之为一体化结构的活动口,所述中空内环贯穿于中空外环内且两者为同心环结构,所述中空外环的内壁与中空内环的内壁之间形成内腔,所述内腔与活动口相通,所述中空外环的一侧中心位置上开设有凹槽,所述凹槽出设有与中空外环固定连接的导向环,所述导向环与夹环调节机构活动连接,所述夹环调节机构还连接于中空内环,所述中空内环及中空外环的上下两端均连接有圆环,所述内腔内置有第一滑轮组、齿条齿轮传动机构、第二滑轮组、夹紧机构、第三滑轮组,所述外疏水涂层设置在中空外环的外壁,所述内疏水涂层固定在中空内环的外壁。
3.根据权利要求1所述的一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环,其特征在于:所述夹环调节机构包括有导向槽、旋转盘、丝杆、螺母副、固定块、轴承座,所述丝杆的一端安装有轴承座,所述丝杆的另一端垂直连接于旋转盘的内侧中心,所述旋转盘的外端面上开设有导向槽,所述旋转盘与轴承座之间设有螺母副,所述螺母副与丝杆通过螺纹连接,所述螺母副的上下两端中心位置均垂直连接有固定块,所述固定块的一端均通过第一滑轮组与齿条齿轮传动机构连接,所述固定块的另一端均通过第三滑轮组连接于夹紧机构,所述轴承座嵌入在中空内环上,所述导向槽与导向块进行活动配合,所述旋转盘与中空外环活动接触。
4.根据权利要求1或3所述的一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环,其特征在于:所述第一滑轮组包括有第一导向滑轮、第一牵引绳,所述第一导向滑轮布设四个且均与第一牵引绳活动接触,所述第一导向滑轮安装在内腔内,所述第一牵引绳的一端与固定块相连接,所述固定块的另一端连接于齿条齿轮传动机构。
5.根据权利要求2或3所述的一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环,其特征在于:所述齿条齿轮传动机构包括有传动齿轮、转轴、工字轮、弧形导向凸条、弧形导向滑座、第一弹簧、弧形齿条板,所述弧形齿条板的两外端面均固定有弧形导向凸条,所述弧形导向凸条与弧形导向滑座的内端面滑槽采用滑动连接,所述弧形齿条板与弧形导向滑座采用间隙配合,所述弧形齿条板的一内侧与第一弹簧的一端相连接,所述第一弹簧的另一端连接于弧形导向凸条,所述弧形导向凸条远离第一弹簧的一侧上方设有与之相啮合的传动齿轮,所述传动齿轮平行设于与之为同心轮结构的工字轮的正后方,所述传动齿轮及工字轮均套置在转轴上,所述弧形导向凸条与第一牵引绳相连接,所述工字轮与第二滑轮组连接,所述转轴的两外端面积均与圆环的内端面活动连接,所述弧形导向滑座远离传动齿轮的侧面与中空外环的内壁固定连接。
6.根据权利要求2所述的一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环,其特征在于:所述第二滑轮组包括有第二牵引绳、第二导向滑轮,所述第二导向滑轮布设有四个且均活动接触于第二牵引绳,所述第二导向滑轮设在内腔内,所述第二牵引绳的一端连接于工字轮,所述第二牵引绳的另一端与远离螺母副一侧的夹紧机构连接。
7.根据权利要求3或6所述的一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环,其特征在于:所述夹紧机构包括有PTFE基涂层、弧形夹板、伸缩杆、空心筒、第二弹簧、导向孔、所述空心筒的底部中心开设有圆形结构的导向孔,所述导向孔的一侧设有与空心筒内底面连接的第二弹簧,所述第二弹簧的一端与伸缩杆连接,所述伸缩杆的形状呈T型结构,所述伸缩杆与空心筒采用间隙配合,所述伸缩杆远离第二弹簧的一端贯穿于活动口而与弧形夹板连接,所述弧形夹板远离伸缩杆的侧面上固定有PTFE基涂层,所述伸缩杆与活动口采用间隙配合,所述空心筒设于内腔内且与圆环固定连接,所述空心筒靠近弧形夹板的一侧还连接于中空内环的内壁,所述伸缩杆通过第三滑轮组与固定块连接。
8.根据权利要求1或2所述的一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环,其特征在于:所述第三滑轮组包括有第三导向滑轮、第三牵引绳,所述第三导向滑轮布设有三个且均与第三牵引绳活动接触,所述第三导向滑轮均设于第一导向滑轮的内侧,所述第三牵引绳的一端与固定块连接,所述第三牵引绳的另一端贯穿于导向孔、第二弹簧而与伸缩杆的底面中心连接。
9.根据权利要求6所述的一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环,其特征在于:所述第二牵引绳的一端贯穿于远离螺母副的夹紧机构上的导向孔、第二弹簧而与伸缩杆连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810782199.6A CN108890518A (zh) | 2018-07-17 | 2018-07-17 | 一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环 |
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---|---|---|---|
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---|---|
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Family
ID=64349866
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810782199.6A Pending CN108890518A (zh) | 2018-07-17 | 2018-07-17 | 一种用于化学机械抛光承载头的外部夹环 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN108890518A (zh) |
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