CN108818217A - 一种抛光结构及抛光设备 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种抛光结构，包括抛光盘组件、花键轴承组件、调心球轴承连接件和活动连接件；花键轴承组件的一端通过调心球轴承连接件与抛光盘组件连接，花键轴承组件的另一端与活动连接件连接；调心球轴承连接件用于驱动抛光盘组件沿径向和轴向运动；活动连接件一端连接气缸，一端连接花键轴承组件，通过气缸驱动花键轴承组件沿径向和轴向运动。本申请采用花键轴承组件为轴向滑动导向结构，在花键轴承组件与抛光盘组件之间设置调心球轴承连接件，该结构零件少，组装简单，降低了制造和装配难度。而且本申请所述的抛光结构导向性能好，可实现平稳压紧同时传递扭力而几乎不产生附加力，结构较简单、成本低。
Description
技术领域
本申请涉及磨削、抛光领域，尤其涉及一种抛光结构及抛光设备。
背景技术
芯片是五面发光的，通常需要将芯片置于支架内，反光杯的开口面积远大于芯片发光面积，导致单位面积光通量低，芯片表面颜色均匀性非常差，芯片正上方偏蓝，而外圈偏黄。
基于氮化镓的蓝/白光LED的芯片结构强烈依赖于所用的衬底材料，目前大部分厂商采用蓝宝石作为衬底片。在蓝宝石衬底片应用前，需要对其进行抛光处理，以去除表面损伤层，消除残余应力。随着蓝宝石衬底片的尺寸由2寸逐渐向4寸和6寸发展，其加工设备也向大型化方向发展，以满足生产高效率的需求。近年加工蓝宝石衬底片的抛光机多采用50英寸抛光盘规格，采用十字交叉万向结构的旋转轴，旋转轴轴向滑动采用光轴和导向平键的导向结构，但是上述结构配装的零件较多，加工组装繁琐，维修难度增加。而且随着尺寸增加，要求抛光设备一次加工所有蓝宝石衬底片的厚度差在3μm以内，因此对抛光设备的稳定性和精度性要求也越高，进一步地，对上下抛光盘的热变形的均匀性和重复性、上抛光盘的压力均匀性和稳定性也有很高的要求，但是目前的抛光设备还达不到上述要求，致使其加工的蓝宝石衬底片或者其它如蓝宝石外延片、光学玻璃、硅片、导光板、亚克力等非金属超硬材质的衬底片的成品率波动较大，质量不稳定。
发明内容
本申请提供了一种抛光盘结构及抛光设备，以解决现有技术中抛光机结构复杂，组装繁琐的问题。
第一方面，为实现上述目的，本申请提供了一种抛光结构，包括抛光盘组件、花键轴承组件、调心球轴承连接件和活动连接件；
所述花键轴组件的一端通过所述调心球轴承连接件与所述抛光盘组件连接，所述花键轴承组件的另一端与活动连接件连接；
所述调心球轴承连接件用于驱动所述抛光盘组件沿径向和轴向运动；
所述活动连接件用于驱动所述花键轴承组件沿径向和轴向运动。
结合第一方面，在第一方面第一种可能的实现方式中，所述花键轴承组件包括花键轴承、花键轴承套、花键轴承隔套、花键轴承座和角接触球轴承，所述花键轴承的中部设置于所述花键轴承套内，所述花键轴承套设置于所述花键轴承隔套内，所述花键轴承隔套的两端设置所述角接触球轴承，所述角接触球轴承设置于所述花键轴承座内；
所述花键轴承的第一端外部套接所述调心球轴承连接件，所述花键轴承的第二端与所述活动连接件连接；
所述花键轴承内设有腔体，所述腔体内设有进水管、出水管和气管。
结合第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面第二种可能的实现方式中，所述调心球轴承连接件包括调心球轴承、调心球轴承套、调心球轴承固定套，所述调心球轴承套接在所述花键轴承第一端外部，所述调心球轴承的外部套接所述调心球轴承套，所述调心球轴承套的外部还设置所述调心球轴承固定套，所述调心球轴承固定套与所述调心球轴承套间留有轴向旋转间隙，所述调心球轴承固定套一端套接在花键轴承外部，另一端与所述调心球轴承固定套通过螺纹球头销连接。
结合第一方面，在第一方面第三种可能的实现方式中，所述抛光盘组件包括同轴设置的上抛光盘和下抛光盘，所述上抛光盘的一面与调心球轴承套连接，另一面与所述下抛光盘连接；所述上抛光盘和所述下抛光盘的轴心处设有三通座，所述三通座上设有进水管接头和出水管接头，所述进水管接头与进水管连接，所述出水管接头与出水管连接；
所述上抛光盘和所述下抛光盘之间设有水道，所述进水管接头和所述出水管接头均与所述水道连接；
所述下抛光盘的轴心处设有排气口，所述排气口与所述三通座的排气端相配合，气管的一端设置于排气端内；
所述三通座外部还套接有压套，所述压套固定在花键轴承上；
所述下抛光盘外部还连接有陶瓷环，所述下抛光盘和所述陶瓷环间设置有定位圈。
结合第一方面，在第一方面第四种可能的实现方式中，所述活动连接件包括圆锥滚子轴承、推力球轴承、轴承座和轴承座法兰，所述轴承座通过所述轴承座法兰固定在花键轴承的第二端上，所述圆锥滚子轴承套接于所述轴承座外部，所述推力球轴承套接于所述圆锥滚子轴承外部；
所述轴承座法兰上设有管接头，所述轴承座上还设有三通路旋转接头。所述管接头与所述三通路旋转接头用于固定进水管、出水管和气管。
结合第一方面的第四种可能的实现方式，在第一方面第五种可能的实现方式中，所述活动连接件的外部还套设有气缸头座，所述气缸头座通过头座法兰与花键轴承的第二端连接；
所述气缸头座上设有进水口、出水口和进气口。
结合第一方面的第五种可能的实现方式，在第一方面第六种可能的实现方式中，所述气缸头座的顶端设置测力传感器，所述测力传感器上设置有用于连接气缸的活动接头。
结合第一方面的第六种可能的实现方式，在第一方面第七种可能的实现方式中，所述活动接头包括球面轴承、转接头、活动套和球面轴承压套，所述球面轴承固定在所述转接头上，所述转接头固定在所述测力传感器的中心处；
所述球面轴承内设有所述活动套，所述球面轴承的外部套接所述球面轴承压套。
结合第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面第八种可能的实现方式中，所述花键轴承套的外部还套接有带轮；所述花键轴承座与调心球轴承套间设有护罩。
第二方面，本申请还提供了一种抛光设备，包括气缸、机架、合成盘、陶瓷盘、马达，还包括至少一个上述的抛光结构；
所述抛光结构设置于所述机架的上层，所述抛光机构的活动接头与所述气缸连接，所述气缸固定在支架上，所述支架固定在机架的上层；
所述马达通过带轮驱动所述抛光机构径向运动；
所述合成盘设置于机架的下层，所述合成盘上设置所述陶瓷盘；
还包括操作屏，所述操作屏与所述气缸和所述马达连接。
由以上技术方案可知，本申请所述抛光结构，采用花键轴承组件为轴向滑动导向结构，在花键轴承组件与抛光盘组件之间设置调心球轴承组件，该结构零件少，组装简单，降低了制造和装配难度。而且本申请所述的抛光结构导向性能好，可实现平稳压紧同时传递扭力而几乎不产生附加力，结构较简单、成本低。工作时在抛光压力作用下能灵活调整角度，使衬底片受力均匀，材料去除均匀，加工质量高且稳定。
而且抛光时上抛光盘的旋转角度大多不超过1度，而调心球轴承组件的调心角大于此角度，因而本申请的上抛光盘转向、导向灵活，且具有更好的定心效果。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供的抛光结构的立体结构示意图；
图2为本申请实施例提供的抛光结构的剖面结构示意图；
图3为本申请实施例提供的调心球轴承连接件的剖面结构示意图；
图4为本申请实施例提供的抛光盘组件的剖面结构示意图；；
图5为本申请实施例提供的活动连接件的剖面结构示意图；；
图6为本申请实施例提供的活动接头的剖面结构示意图；
图7为本申请实施例提供的抛光设备的结构示意图；
图8为本申请实施例提供的抛光设备的局部结构俯视图。
附图标记说明：
抛光盘组件100：上抛光盘110；水道111；下抛光盘120；排气口121；三通座130；进水管接头131；出水管接头132；压套140；陶瓷环150；定位圈160；
花键轴承组件200：花键轴承210；第一端211；第二端212；腔体213；花键轴承套220；花键轴承隔套230；角接触球轴承240；花键轴承座250；进水管260；出水管270；气管280；带轮290；
调心球轴承连接件300：调心球轴承310；调心球轴承套320；调心球轴承固定套330；轴向旋转间隙340；螺纹球头销350；护罩360；
活动连接件400：圆锥滚子轴承410；推力球轴承420；轴承座430；轴承座法兰440；管接头450；三通路旋转接头460；
气缸头座500：头座法兰510；进水口520；出水口530；进气口540；
测力传感器600；
活动接头700；球面轴承710；转接头720；活动套730；球面轴承压套740；
气缸1；支架2；抛光结构3；马达4；机架5；操作屏6；陶瓷盘7；合成盘8；被抛光品9。
具体实施方式
下面通过对本申请进行详细说明，本申请的特点和优点将随着这些说明而变得更为清楚、明确。
在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。
在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“前”、“后”、“左”和“右”等指示的方位或位置关系为基于本申请工作状态下的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”和“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
下面结合附图，详细介绍本申请的具体实施例。
图1为根据一优选实施例示出的抛光结构的立体结构示意图。如图1所示，抛光结构包括抛光盘组件100、花键轴承组件200、调心球轴承连接件300和活动连接件400；所述花键轴承组件200的一端通过所述调心球轴承连接件300与所述抛光盘组件100连接，所述花键轴承组件的另一端与活动连接件400连接；所述调心球轴承连接件300用于驱动所述抛光盘组件100沿径向和轴向运动；所述活动连接件400一端连接气缸，一端连接所述花键轴承组件200，通过气缸驱动所述花键轴承组件200沿径向和轴向运动。
本申请采用花键轴承组件200为轴向滑动导向结构，在花键轴承组件200与抛光盘组件 100之间设置调心球轴承连接件300，该结构零件少，组装简单，降低了制造和装配难度。而且本申请所述的抛光结构导向性能好，可实现平稳压紧同时传递扭力而几乎不产生附加力，结构较简单、成本低。工作时在抛光压力作用下能灵活调整角度，使衬底片受力均匀，材料去除均匀，加工质量高且稳定。而且抛光时上抛光盘的旋转角度大多不超过1度，而调心球轴承的调心角大于此角度，因而本申请的上抛光盘转向、导向灵活，且具有更好的定心效果。
可以利用本申请所述的抛光结构进行抛光的被抛光品有：蓝宝石衬底片，蓝宝石外延片，光学玻璃，硅片，导光板，亚克力等非金属超硬材质，涉及手机与平板，电子，LED和陶瓷等领域，本申请对此不做限制。
图2为本申请一实施例示出的抛光结构的剖面结构示意图。如图2所示，所述花键轴承组件200包括花键轴承210、花键轴承套220、花键轴承隔套230、花键轴承座250和角接触球轴承240，所述花键轴承210的中部设置于所述花键轴承套220内，所述花键轴承套220设置于所述花键轴承隔套230内，所述花键轴承套220的外部还套接有带轮290，所述花键轴承隔套230的上、下两端均设置有所述角接触球轴承240，所述角接触球轴承240设置于所述花键轴承座250内，所述角接触球轴承240上设有注油嘴，用于给所述角接触球轴承240 注入润滑油保证其运转稳定。所述花键轴承的第一端211外部套接所述调心球轴承连接件300，所述花键轴承的第二端212与所述活动连接件400连接，所述活动连接件400与气缸1连接。
具体应用时，气缸1供气后所述花键轴承210在所述花键轴承套220内垂直滑动，实现轴向运动。所述花键轴承套220安装在两个被所述花键轴承隔套230隔开的角接触球轴承240 的内圈上，所述角接触球轴承240安装在所述花键轴承座250内，通过花键轴法兰和圆螺母压紧定位。所述花键轴承座250固定不动，带轮290上设置传动带并与驱动机构连接，例如与马达4连接，驱动所述花键轴承组件200实现径向运动。
所述花键轴承210内还设有腔体213，所述腔体213内设有进水管260、出水管270和气管280。所述进水管260一端与进水口520连接，一端与水道111的进水端连接；所述出水管270一端与出水口530连接，一端与水道111的出水端连接，实现冷却水循环路径，以稳定抛光盘的温度，防止抛光时温度不均造成产品质量不良。
所述气管280一端与进气口540连通，另一端直通下抛光盘120的排气口121。被抛光品抛光完成后，会被抛光液黏贴在下抛光盘120的抛光面上而不易分离。压缩空气通过气管 280进入，从排气口121吹出，能够以比较均匀的压力将被抛光品顶出，避免卡料。
图3为本申请一实施例示出的抛光结构的调心球轴承连接件300的结构示意图。如图3 所示，所述调心球轴承连接件300包括调心球轴承310、调心球轴承套320、调心球轴承固定套330，所述调心球轴承套320接在所述花键轴承的第一端211外部，所述调心球轴承的外部套接所述调心球轴承套320，所述调心球轴承套320的外部还设置所述调心球轴承固定套 330，所述调心球轴承固定套330与所述调心球轴承套320间留有轴向旋转间隙340，所述调心球轴承固定套330一端套接在花键轴承210外部，另一端与所述调心球轴承固定套330通过螺纹球头销350连接。
具体的，所述调心球轴承固定套330通过螺纹安装在所述花键轴承210上，所述调心球轴承固定套330安装有螺纹球头销350，所述螺纹球头销350用于传递扭矩。所述调心球轴承套320内安装所述调心球轴承310，所述调心球轴承310与其相关零部件也安装在所述花键轴承210上。所述调心球轴承固定套330与所述调心球轴承套320间留有轴向旋转间隙，径向运动时由所述螺纹球头销350约束。所述螺纹球头销350的球头设置于所述调心球轴承套320预留的长形孔内，保证径向运动时可约束、不自转以及低摩擦。
优选的，所述调心球轴承套320与所述花键轴承座250间还设有护罩360，所述护罩360 用于保护设置于所述调心球轴承套320与所述花键轴承座250内部相关零件不被油污灰尘所侵蚀。当所述花键轴承210滑动时，所述护罩360可拉长和缩短，由于和花键轴承法兰相连，因此不会旋转。
抛光时，上抛光盘110的旋转角度大多不超过1度，而调心球轴承连接件300的调心角大于此角度，因此可保证与调心球轴承连接件300连接的上抛光盘110转向、导向灵活，且具有更好的定心效果。
图4为本申请一实施例示出的抛光结构的抛光盘组件100的结构示意图。如图4所示，所述抛光盘组件100包括同轴设置的上抛光盘110和下抛光盘120，所述上抛光盘110的一面与调心球轴承套320连接，另一面与所述下抛光盘120连接；所述上抛光盘110和所述下抛光盘120的轴心处设有三通座130，所述三通座130上设有进水管接头131和出水管接头132，所述进水管接头131与进水管260连接，所述出水管接头132与出水管270连接。
所述上抛光盘110和所述下抛光盘120之间设有水道111，所述进水管接头131和所述出水管接头132均与所述水道111连接。抛光时，被抛光品与所述下抛光盘120的抛光面接触摩擦时会产生热量，使下抛光盘120升温，温度传至所述上抛光盘110，会导致上抛光盘110产生热变形，进一步会导致被抛光品的均匀性。通过水道111实现冷却水循环路径，以稳定抛光盘的温度，防止抛光时温度不均造成产品质量不良。
所述下抛光盘120的轴心处设有排气口121，所述排气口121与所述三通座130的排气端相配合，气管280的一端设置于排气端内；压缩空气通过气管280进入，从排气口121吹出，能够以比较均匀的压力将被抛光品顶出，避免卡料。
所述三通座130外部还套接有压套140，所述压套140固定在花键轴承210上，用于压紧花键轴承210内圈使其固定。
所述下抛光盘120外部还连接有陶瓷环150，所述下抛光盘120和所述陶瓷环150间设置有定位圈160，所述定位圈160为尼龙圈。抛光时，抛光液喷射在合成盘8的表面时会有不均匀的现象出现，所述陶瓷环150可以起到分散的作用，旋转刮擦之后时抛光液均匀的散布于合成盘8表面。所述定位圈160用于在抛光盘组件100下行与陶瓷盘7接触时粗略定位，使固定于陶瓷盘7上的被抛光品始终处于合适的抛光位置。
图5为本申请一实施例示出的抛光结构的活动连接件400的结构示意图。如图5所示，所述活动连接件400包括圆锥滚子轴承410、推力球轴承420、轴承座430和轴承座法兰440，所述轴承座430通过所述轴承座法兰440固定在花键轴承的第二端212上，所述圆锥滚子轴承410套接于所述轴承座430外部，所述推力球轴承420套接于所述圆锥滚子轴承410外部；所述轴承座法兰440上设有三个管接头450，所述轴承座430上还设有三通路旋转接头720。所述管接头450与所述三通路旋转接头720用于固定进水管260、出水管270和气管280。
具体的，当马达4通过带轮290驱动所述花键轴承组件200径向运动时，花键轴承的第二端212以下部件与活动连接件400以上的部件通过所述圆锥滚子轴承410和所述推力球轴承420实现径向和轴向的运动。
进一步地，所述活动连接件400的外部还套设有气缸头座500，所述气缸头座500通过头座法兰510与花键轴承的第二端212连接；所述气缸头座500上设有进水口520、出水口530和进气口540，分别与进水管260、出水管270和气管280适配。
所述气缸头座500的顶端设置测力传感器600，所述测力传感器600上设置有用于连接气缸1的活动接头700。花键轴承210上部设置了测力传感器600，可实时监测抛光盘组件 100作用在被抛光品上的压力，通过气动比例阀及时调整和控制个工艺阶段的压力值，有效的提高不同加工批次间被抛光品的表面光洁度、厚度精度及TTV等指标的一致性。
图6为本申请一实施例示出的抛光结构的活动接头700的结构示意图。如图6所示，所述活动接头700包括球面轴承710、转接头720、活动套730和球面轴承710压套，所述球面轴承710固定在所述转接头720上，所述转接头720固定在所述测力传感器600的中心处；所述球面轴承710内设置所述活动套730，所述球面轴承710的外部套接所述球面轴承710 压套。所述活动接头700用来减轻被驱动气缸的偏心、平行与装配误差，通过所述球面轴承710的轴向和径向运动，解决了气缸1和活动连接件400的对中问题。当气缸1推出时活塞杆与抛光盘组件不对中时，所述活动套730可通过所述球面轴承710自动校正。
本申请所述抛光结构，采用花键轴承组件200为轴向滑动导向结构，在花键轴承组件200 与抛光盘组件100之间设置调心球轴承连接件300，该结构零件少，组装简单，降低了制造和装配难度。而且本申请所述的抛光结构导向性能好，可实现平稳压紧同时传递扭力而几乎不产生附加力，结构较简单、成本低。工作时在抛光压力作用下能灵活调整角度，使衬底片受力均匀，材料去除均匀，加工质量高且稳定。
本申请还提供了一种抛光设备，图7为根据一优选实施例示出的抛光设备的结构示意图, 图8为抛光设备的局部结构俯视图。如图7、图8所示，所述抛光设备包括气缸1、机架5、合成盘8、陶瓷盘7、马达4，还包括至少一个上述的抛光结构3；
所述抛光结构3设置于所述机架5的上层，所述抛光机构的活动接头700与所述气缸1 连接，所述气缸1固定在支架2上，所述支架2固定在机架5的上层；
所述马达4通过带轮290驱动所述抛光机构径向运动；
所述合成盘8设置于机架5的下层，所述合成盘8上设置所述陶瓷盘7；
还包括操作屏6，所述操作屏6与所述气缸1和所述马达4连接。
以蓝宝石衬底片为例，具体抛光时，蓝宝石衬底片粘贴至圆形的陶瓷盘7上，然后整体放置在合成盘8的合适的位置上，通过所述操作屏6控制所述气缸1推出，所述气缸1推出时通过花键轴承组件200推动所述抛光盘组件100下行并与所述陶瓷盘7接触并给与预设的压力后停止。再通过所述操作屏6控制所述抛光盘组件100逆时针旋转，抛光盘组件100径向旋转则通过所述马达4驱动。保持抛光预设时间后，所述合成盘8停转，所述抛光盘组件100也停转并自动上升至合适位置后停止，完成蓝宝石衬底片的一次抛光加工。
本申请所述的抛光设备运行平稳，噪音低，便于维护且成本低，抛光后的产品表面质量高，量产质量长期稳定。可广泛应用于电子，LED和陶瓷等领域。
以上结合具体实施方式和范例性实例对本发明进行了详细说明，不过这些说明并不能理解为对本发明的限制。本领域技术人员理解，在不偏离本发明精神和范围的情况下，可以对本发明技术方案及其实施方式进行多种等价替换、修饰或改进，这些均落入本发明的范围内。本发明的保护范围以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种抛光结构，其特征在于，包括抛光盘组件(100)、花键轴承组件(200)、调心球轴承连接件(300)和活动连接件(400)；
所述花键轴组件的一端通过所述调心球轴承连接件(300)与所述抛光盘组件(100)连接，所述花键轴组件的另一端与活动连接件(400)连接；
所述调心球轴承连接件(300)用于驱动所述抛光盘组件(100)沿径向和轴向运动；
所述活动连接件(400)用于驱动所述花键轴承组件(200)沿径向和轴向运动。
2.根据权利要求1所述的抛光结构，其特征在于，所述花键轴承组件(200)包括花键轴承(210)、花键轴承套(220)、花键轴承隔套(230)、花键轴承座(250)和角接触球轴承(240)，所述花键轴承(210)的中部设置于所述花键轴承套(220)内，所述花键轴承套(220)设置于所述花键轴承隔套(230)内，所述花键轴承隔套(230)的两端设置所述角接触球轴承(240)，所述角接触球轴承(240)设置于所述花键轴承座(250)内；
所述花键轴承的第一端(211)外部套接所述调心球轴承连接件(300)，所述花键轴承的第二端(212)与所述活动连接件(400)连接；
所述花键轴承(210)内设有腔体(213)，所述腔体(213)内设有进水管(260)、出水管(270)和气管(280)。
3.根据权利要求2所述的抛光结构，其特征在于，所述调心球轴承连接件(300)包括调心球轴承(310)、调心球轴承套(320)、调心球轴承固定套(330)，所述调心球轴承套(320)接在所述花键轴承的第一端(211)外部，所述调心球轴承(310)的外部套接所述调心球轴承套(320)，所述调心球轴承套(320)的外部还设置所述调心球轴承固定套(330)，所述调心球轴承固定套(330)与所述调心球轴承套(320)间留有轴向旋转间隙(340)，所述调心球轴承固定套(330)一端套接在花键轴承(210)外部，另一端与所述调心球轴承固定套(330)通过螺纹球头销(350)连接。
4.根据权利要求1所述的抛光结构，其特征在于，所述抛光盘组件(100)包括同轴设置的上抛光盘(110)和下抛光盘(120)，所述上抛光盘(110)的一面与调心球轴承套(320)连接，另一面与所述下抛光盘(120)连接；所述上抛光盘(110)和所述下抛光盘(120)的轴心处设有三通座(130)，所述三通座(130)上设有进水管接头(131)和出水管接头(132)，所述进水管接头(131)与进水管(260)连接，所述出水管接头(132)与出水管(270)连接；
所述上抛光盘(110)和所述下抛光盘(120)之间设有水道(111)，所述进水管接头(131)和所述出水管接头(132)均与所述水道(111)连接；
所述下抛光盘(120)的轴心处设有排气口(121)，所述排气口(121)与所述三通座(130)的排气端相配合，气管(280)的一端设置于排气端内；
所述三通座(130)外部还套接有压套(140)，所述压套(140)固定在花键轴承(210)上；
所述下抛光盘(120)外部还连接有陶瓷环(150)，所述下抛光盘(120)和所述陶瓷环(150)间设置有定位圈(160)。
5.根据权利要求1所述的抛光结构，其特征在于，所述活动连接件(400)包括圆锥滚子轴承(410)、推力球轴承(420)、轴承座(430)和轴承座法兰(440)，所述轴承座(430)通过所述轴承座法兰(440)固定在花键轴承的第二端(212)上，所述圆锥滚子轴承(410)套接于所述轴承座(430)外部，所述推力球轴承(420)套接于所述圆锥滚子轴承(410)外部；
所述轴承座法兰(440)上设有管接头(450)，所述轴承座(430)上还设有三通路旋转接头(720)；所述管接头(450)与所述三通路旋转接头(720)用于固定进水管(260)、出水管(270)和气管(280)。
6.根据权利要求5所述的抛光结构，其特征在于，所述活动连接件(400)的外部还套设有气缸头座(500)，所述气缸头座(500)通过头座法兰(510)与花键轴承的第二端(212)连接；
所述气缸头座(500)上设有进水口(520)、出水口(530)和进气口(540)。
7.根据权利要求6所述的抛光结构，其特征在于，所述气缸头座(500)的顶端设置测力传感器(600)，所述测力传感器(600)上还设置有用于连接气缸(1)的活动接头(700)。
8.根据权利要求7所述的抛光结构，其特征在于，所述活动接头(700)包括球面轴承(710)、转接头(720)、活动套(730)和球面轴承压套(740)，所述球面轴承(710)固定在所述转接头(720)上，所述转接头(720)固定在所述测力传感器(600)的中心处；
所述球面轴承(710)内设有所述活动套(730)，所述球面轴承(710)的外部套接所述球面轴承压套(740)。
9.根据权利要求2所述的抛光结构，其特征在于，所述花键轴承套(220)的外部还套接有带轮(290)；所述花键轴承座(250)与调心球轴承套(320)间设有护罩(360)。
10.一种抛光设备，其特征在于，包括气缸(1)、机架(5)、合成盘(8)、陶瓷盘(7)、马达(4)，还包括至少一个权利要求1-9任一所述的抛光结构(3)；
所述抛光结构设置于所述机架(5)的上层，所述抛光结构(3)的活动接头(700)与所述气缸(1)连接，所述气缸(1)固定在支架气缸(2)上，所述支架固定在机架(5)的上层；
所述马达(4)通过带轮(290)驱动所述抛光机构(3)径向运动；
所述合成盘(8)设置于机架(5)的下层，所述合成盘(8)上设置所述陶瓷盘(7)；
还包括操作屏(6)，所述操作屏(6)与所述气缸(1)和所述马达(4)连接。
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| CN (1) | CN108818217A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116372781A (zh) * | 2023-04-20 | 2023-07-04 | 山东欣立得光电科技有限公司 | 一种led屏幕衬底自动化清洗抛光*** |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101049678A (zh) * | 2007-05-09 | 2007-10-10 | 浙江工业大学 | 精密双面抛光机 |
| CN101774152A (zh) * | 2010-02-10 | 2010-07-14 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 抛光头联动装置 |
| US20110086753A1 (en) * | 2009-10-08 | 2011-04-14 | Won-Jae Moon | Method and System for Polishing Float Glass |
| CN203918685U (zh) * | 2014-04-25 | 2014-11-05 | 广东新海岸机械有限公司 | 一种玻璃快速磨边机的磨轮均衡装置 |
| CN104290004A (zh) * | 2014-10-17 | 2015-01-21 | 天津大学 | 大口径非球面机器人行星抛光装置 |
| CN205241106U (zh) * | 2015-12-25 | 2016-05-18 | 杨钊 | 一种将军柱式起重机上部调心轴承结构 |
| CN106272123A (zh) * | 2016-10-20 | 2017-01-04 | 天津华海清科机电科技有限公司 | 抛光头以及具有其的抛光机 |
| CN107414631A (zh) * | 2017-08-17 | 2017-12-01 | 天津大学 | 大口径非球面机器人偏心式行星抛光装置 |
| CN206898944U (zh) * | 2017-06-09 | 2018-01-19 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种非球面光学元件抛光装置 |
| CN209223752U (zh) * | 2018-09-29 | 2019-08-09 | 浙江昀丰新材料科技股份有限公司 | 一种抛光结构及抛光设备 |
-
2018
- 2018-09-29 CN CN201811146617.9A patent/CN108818217A/zh active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101049678A (zh) * | 2007-05-09 | 2007-10-10 | 浙江工业大学 | 精密双面抛光机 |
| US20110086753A1 (en) * | 2009-10-08 | 2011-04-14 | Won-Jae Moon | Method and System for Polishing Float Glass |
| CN101774152A (zh) * | 2010-02-10 | 2010-07-14 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 抛光头联动装置 |
| CN203918685U (zh) * | 2014-04-25 | 2014-11-05 | 广东新海岸机械有限公司 | 一种玻璃快速磨边机的磨轮均衡装置 |
| CN104290004A (zh) * | 2014-10-17 | 2015-01-21 | 天津大学 | 大口径非球面机器人行星抛光装置 |
| CN205241106U (zh) * | 2015-12-25 | 2016-05-18 | 杨钊 | 一种将军柱式起重机上部调心轴承结构 |
| CN106272123A (zh) * | 2016-10-20 | 2017-01-04 | 天津华海清科机电科技有限公司 | 抛光头以及具有其的抛光机 |
| CN206898944U (zh) * | 2017-06-09 | 2018-01-19 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种非球面光学元件抛光装置 |
| CN107414631A (zh) * | 2017-08-17 | 2017-12-01 | 天津大学 | 大口径非球面机器人偏心式行星抛光装置 |
| CN209223752U (zh) * | 2018-09-29 | 2019-08-09 | 浙江昀丰新材料科技股份有限公司 | 一种抛光结构及抛光设备 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116372781A (zh) * | 2023-04-20 | 2023-07-04 | 山东欣立得光电科技有限公司 | 一种led屏幕衬底自动化清洗抛光*** |
| CN116372781B (zh) * | 2023-04-20 | 2023-11-07 | 山东欣立得光电科技有限公司 | 一种led屏幕衬底自动化清洗抛光*** |
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