CN108809144B - 一种基于微梁振动静电驱动微马达装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提出一种基于微梁振动的静电驱动微马达装置,由微梁静电驱动***、动力输出***和马达启动停止***三部分组成。静电驱动装置由固定端、电源开关、直流电源、上极板、上极板接触弹簧、上电极、微梁、下电极、下极板接触弹簧和下极板组成;动力输出***由质量块、质量块铰链、惯性轮铰链、连杆、连杆铰链和惯性轮组成;马达启动***由电磁铁、质量块和微梁组成,电磁铁位于质量块正下方;静电马达做周期性重复运动,驱动惯性轮转动,利用振动微梁位移放大效应,梁右端质量块产生振动位移,能将微梁振动转化为驱动惯性轮的转动。
Description
技术领域
提出一种静电驱动微马达装置,特别是基于微梁振动的静电驱动微马达装置,属于微机械马达领域。
背景技术
随着微机电***等高新技术的迅速发展,要求微机电驱动电机具有体积小、重量轻、低速、高精度等性能。传统电磁电机在某些方面很难达到其发展要求,促使人们开发新原理、新结构的微型马达。微机电***的兴起引起人们开发微型马达的热潮,静电驱动微马达利用两个极板间电荷分布产生的引力和斥力,把电能转换成机械能。我国对静电驱动微马达做了大量的研究工作,但是该领域的研究还处于初级阶段,对静电驱动微马达结构、加工工艺的研究还有待进一步深入。国外学者在静电驱动微马达方面做了大量的研究工作,静电驱动微马达多以旋转型电机和直线电机为主,结构复杂,影响了其工作稳定性,另外,还存在输出转矩小,驱动电压大,工作稳定性差和使用寿命短等问题。
发明内容
针对静电驱动微马达现有技术存在的缺陷,本发明提出一种静电驱动微马达装置,由微梁静电驱动***、动力输出***和马达启动停止***组成。
微梁静电驱动***由固定端、电源开关、直流电源、上极板、上极板接触弹簧、上电极、微梁、下电极、下极板接触弹簧和下极板组成;固定端与底座连接,微梁左端与固定端固定连接,右端与质量块固定连接,微梁上表面和下表面分别电镀一层铜元素导电薄膜,组成上电极和下电极,薄膜厚度为50微米,宽度与梁等宽,长度与上极板和下极板相等,上电极和下电极通过金属导线连接导通;上电极与上极板形成一个平行板电容器,下电极与下极板形成一个平行板电容器,两个平行板电容器尺寸和板间距离完全相同,以微梁轴线为对称轴对称分布,上极板和下极板分别与底座固定;上极板接触弹簧固定在上极板中央,下极板接触弹簧固定在下极板中央,上极板接触弹簧和下极板接触弹簧均由金属丝做成;电源开关左端连接下极板,右端连接直流电源,直流电源右端连接上极板。
动力输出***由质量块、质量块铰链、惯性轮铰链、连杆、连杆铰链和惯性轮组成,连杆下端通过质量块铰链与质量块连接,上端通过连杆铰链与惯性轮连接,惯性轮轮心通过惯性轮铰链与底座连接。
马达启动停止***由电磁铁、质量块和微梁组成,电磁铁位于质量块正下方。
静电驱动微马达工作过程表述如下:对电磁铁进行通电操作,电磁铁通电,电磁铁产生电磁力,吸引铁磁性质量块向下运动,质量块带动微梁产生弯曲变形,设计微梁变形对应的连杆上端到达下止点,使得下电极通过下极板接触弹簧与下极板导通,闭合电源开关,直流电源向上极板和上电极组成的电容器充电,上极板充正电荷,上电极充负电荷;对电磁铁进行断电操作,电磁铁断电,电磁铁电磁力消失,对质量块产生的电磁引力消失,微梁在弹性力和平行板电容器间的静电引力作用下向上运动,质量块推动连杆做平面运动,连杆推动惯性轮做定轴转动。
微梁向上运动,越过平衡位置,上极板的上极板接触弹簧与上电极接触导通,上极板和上电极电容器发生电中和,电中和结束后,直流电源接着给下极板和下电极电容器充电,连杆上端继续向上运动,达到上止点时速度为零,连杆在微梁弹性力、下极板和下电极间静电引力作用下向下做平面运动,推动惯性轮做定轴转动。
微梁越过平衡位置向下运动,下极板的下极板接触弹簧与下电极导通,下极板和下电极电容器发生电中和,电中和结束后,直流电源接着给上极板和上电极电容器充电,这时,连杆上端达到下止点,连杆在微梁弹性力、上极板与上电极静电引力作用下向上做平面运动,推动惯性轮做定轴转动。
静电驱动微马达做周期性重复运动,驱动惯性轮转动。断开直流电源开关,平行板电容器充电结束,静电驱动微马达在自身阻尼作用下运动幅值逐步减小,直到静止,静电驱动微马达停止。
本发明与现有技术相比具有如下优点:
1.利用振动微梁位移放大效应,梁右端质量块产生振动位移,能将微梁的振动转化为驱动惯性轮的转动运动。
2.提供一种平行移动转化为定轴转动的运动转化装置,将静电能转化为微梁的机械能,再换化为惯性轮的机械能。
3.极板接触弹簧设计能减小驱动机构对运动结构振动影响,提高静电驱动微马达运动的稳定性,弹性接触设计能有效进行平行板电容器的充放电。
附图说明
图1基于微梁振动的静电驱动微马达装置图;
图中,1.固定端 2.电源开关 3.直流电源 4.上极板 5.上极板接触弹簧 6.上电极 7.微梁 8.下电极 9.下极板接触弹簧 10.下极板 11.电磁铁 12.质量块 13.质量块铰链 14.惯性轮铰链 15.连杆 16.连杆铰链 17.惯性轮。
具体实施方案
下面结合附图1对本发明进一步说明。
本实施例的主体结构包括微梁静电驱动***、动力输出***和马达启动停止***。
微梁静电驱动***由固定端1、电源开关2、直流电源3、上极板4、上极板接触弹簧5、上电极6、微梁7、下电极8、下极板接触弹簧9和下极板10组成;固定端1与底座连接,微梁7左端与固定端1固定连接,右端与质量块12固定连接,微梁7上表面和下表面分别电镀一层铜元素导电薄膜,组成上电极6和下电极8,薄膜厚度为50微米,宽度与梁等宽,长度与上极板4和下极板10相等,上电极6和下电极8通过金属导线连接导通;上电极6与上极板4形成一个平行板电容器,下电极8与下极板10形成一个平行板电容器,两个平行板电容器尺寸和板间距离完全相同,以微梁7轴线为对称轴对称分布,上极板4和下极板10分别与底座固定;上极板接触弹簧5固定在上极板4中央,下极板接触弹簧9固定在下极板10中央,上极板接触弹簧5和下极板接触弹簧9均由金属丝做成;电源开关2左端连接下极板10,右端连接直流电源3,直流电源3右端连接上极板4。
动力输出***质量块12、质量块铰链13、惯性轮铰链14、连杆15、连杆铰链16和惯性轮17组成,连杆15下端通过质量块铰链13与质量块12连接,上端通过连杆铰链16与惯性轮17连接,惯性轮17轮心通过惯性轮铰链14与底座连接。
马达启动停止***由电磁铁11、质量块12和微梁7组成,电磁铁11位于质量块12正下方。
对电磁铁11进行通电操作,电磁铁11通电,电磁铁11产生电磁力,吸引铁磁性质量块12向下运动,质量块12带动微梁7产生弯曲变形,设计微梁7变形对应的连杆15上端到达下止点,使得下电极8通过下极板接触弹簧9与下极板10导通,闭合电源开关2,直流电源3向上极板4和上电极6组成的电容器充电,上极板4充正电荷,上电极6充负电荷;对电磁铁11进行断电操作,电磁铁11断电,电磁铁11电磁力消失,对质量块12产生的电磁引力消失,微梁7在弹性力和平行板电容器间的静电引力作用下向上运动,质量块12推动连杆15做平面运动,连杆15推动惯性轮17做定轴转动。
微梁7向上运动,越过平衡位置,上极板4的上极板接触弹簧5与上电极6接触导通,上极板4和上电极6电容器发生电中和,电中和结束后,直流电源3接着给下极板10和下电极8电容器充电,连杆15上端继续向上运动,达到上止点时速度为零,连杆15在微梁7弹性力、下极板10和下电极8间静电引力作用下向下做平面运动,推动惯性轮17做定轴转动。
微梁7越过平衡位置向下运动,下极板的下极板接触弹簧9与下电极8导通,下极板和下电极8电容器发生电中和,电中和结束后,直流电源3接着给上极板4和上电极6电容器充电,这时,连杆15上端达到下止点,连杆15在微梁7弹性力、上极板4与上电极6静电引力作用下向上做平面运动,推动惯性轮17做定轴转动。
静电驱动微马达做周期性重复运动,驱动惯性轮17转动。断开直流电源开关2,平行板电容器充电结束,静电驱动微马达在自身阻尼作用下运动幅值逐步减小,直到静止,静电驱动微马达停止。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换以及改进,均应包含在本发明所述的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种静电驱动微马达装置包括微梁静电驱动***、动力输出***和马达启动停止***;微梁静电驱动***由固定端(1)、电源开关(2)、直流电源(3)、上极板(4)、上极板接触弹簧(5)、上电极(6)、微梁(7)、下电极(8)、下极板接触弹簧(9)和下极板(10)组成;固定端(1)与底座连接,微梁(7)左端与固定端(1)固定连接,右端与质量块(12)固定连接,微梁(7)上表面和下表面分别电镀一层铜元素导电薄膜,组成上电极(6)和下电极(8),薄膜厚度为50微米,宽度与梁等宽,长度与上极板(4)和下极板(10)相等,上电极(6)和下电极(8)通过金属导线连接导通;上电极(6)与上极板(4)形成一个平行板电容器,下电极(8)与下极板(10)形成一个平行板电容器,两个平行板电容器尺寸和板间距离完全相同,以微梁(7)轴线为对称轴对称分布,上极板(4)和下极板(10)分别与底座固定;上极板接触弹簧(5)固定在上极板(4)中央,下极板接触弹簧(9)固定在下极板(10)中央,上极板接触弹簧(5)和下极板接触弹簧(9)均由金属丝做成;电源开关(2)左端连接下极板(10),右端连接直流电源(3),直流电源(3)右端连接上极板(4);动力输出***由质量块(12)、质量块铰链(13)、惯性轮铰链(14)、连杆(15)、连杆铰链(16)和惯性轮(17)组成,连杆(15)下端通过质量块铰链(13)与质量块(12)连接,上端通过连杆铰链(16)与惯性轮(17)连接,惯性轮(17)轮心通过惯性轮铰链(14)与底座连接;马达启动停止***由电磁铁(11)、质量块(12)和微梁(7)组成,电磁铁(11)位于质量块(12)正下方;
静电驱动微马达工作过程表述如下:对电磁铁(11)进行通电操作,电磁铁(11)通电,电磁铁(11)产生电磁力,吸引铁磁性质量块(12)向下运动,质量块(12)带动微梁(7)产生弯曲变形,设计微梁(7)变形对应的连杆(15)上端到达下止点,使得下电极(8)通过下极板接触弹簧(9)与下极板(10)导通,闭合电源开关(2),直流电源(3)向上极板(4)和上电极(6)组成的电容器充电,上极板(4)充正电荷,上电极(6)充负电荷;对电磁铁(11)进行断电操作,电磁铁(11)断电,电磁铁(11)电磁力消失,对质量块(12)产生的电磁引力消失,微梁(7)在弹性力和平行板电容器间的静电引力作用下向上运动,质量块(12)推动连杆(15)做平面运动,连杆(15)推动惯性轮(17)做定轴转动;
微梁(7)向上运动,越过平衡位置,上极板(4)的上极板接触弹簧(5)与上电极(6)接触导通,上极板(4)和上电极(6)电容器发生电中和,电中和结束后,直流电源(3)接着给下极板(10)和下电极(8)电容器充电,连杆(15)上端继续向上运动,达到上止点时速度为零,连杆(15)在微梁(7)弹性力、下极板(10)和下电极(8)间静电引力作用下向下做平面运动,推动惯性轮(17)做定轴转动;
微梁(7)越过平衡位置向下运动,下极板的下极板接触弹簧(9)与下电极(8)导通,下极板和下电极(8)电容器发生电中和,电中和结束后,直流电源(3)接着给上极板(4)和上电极(6)电容器充电,这时,连杆(15)上端达到下止点,连杆(15)在微梁(7)弹性力、上极板(4)与上电极(6)静电引力作用下向上做平面运动,推动惯性轮(17)做定轴转动;
静电驱动微马达做周期性重复运动,驱动惯性轮(17)转动;断开直流电源开关(2),平行板电容器充电结束,静电驱动微马达在自身阻尼作用下运动幅值逐步减小,直到静止,静电驱动微马达停止。
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