CN108802501A - 一种紧缩场扫描装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种紧缩场扫描装置，解决使用现有技术的扫描架测量误差大的问题。装置包含扫描架、激光准直仪；所述扫描架包含方位调节机构、俯仰调节机构、水平扫描架、竖直扫描架、补偿机构；所述激光准直仪包含发射装置和接收装置；所述发射装置位于地面上方固定点，用于产生与场平面平行的激光束；所述接收装置固定于所述运动筒的端部，用于接收所述激光束。所述接收装置接收到激光束后，检测出偏移量；所述控制单元接收所述偏移量，控制所述补偿机构，使所述偏移量减小。本申请的装置提高紧缩场平面波相位检测精度，避免了手动、效率低、速度慢等缺陷。

Description

一种紧缩场扫描装置

技术领域

本申请涉及电磁场测量领域，尤其涉及一种针对紧缩场静区平面波幅相特性进行现场校准的扫描装置。

背景技术

紧缩场因其测量精度高、使用便捷等优点，已成为雷达目标RCS特性、导引头跟踪、隐身材料性能、高性能雷达天线及天线罩特性等高精度测量的必要设备。紧缩场采用精密的反射面，可在近距离将点源产生的球面波变换为平面波，评价紧缩场测试区平面波性能优劣的核心指标为静区平面波幅相特性，特别是相位特性。对相位不平度测量，当前最常用的一种方式就是在测试区架设一部扫描架，使扫描架扫描轨迹垂直于来波方向。

扫描架多次使用后，自身技术指标会严重恶化，且紧缩场的检测截面尺寸范围可达2～12m，在这么大的区域范围，使探头移动的直线轨迹直线度指标满足待测频率波长的百分之一的技术要求，在实际检测时是非常难实现的。尤其是，在对相位进行高频性能检测时，如果安装在扫描架上的探头扫描机械平面与平面波等相位面有所偏离，会导致相位测量产生较大误差，这种现象在频率提高时更为明显。

发明内容

本发明提出一种紧缩场扫描装置，解决使用现有技术的扫描架测量误差大的问题。

本申请的实施例提供一种紧缩场扫描装置，用于紧缩场的场平面电磁波幅度和相位特性测试，包含扫描架、激光准直仪；所述扫描架包含方位调节机构、俯仰调节机构、水平扫描架、竖直扫描架、补偿机构；所述俯仰调节机构包含U形结构、俯仰转轴、平台、俯仰驱动电机；所述U形结构包含垂直部，所述平台通过所述俯仰转轴与所述垂直部活动连接；所述俯仰驱动电机连接所述俯仰转轴，用于使所述平台以所述俯仰转轴为中心做俯仰运动；所述方位调节机构包含定子、转子、水平转台、方位驱动电机；所述定子的下表面与所述平台的上表面固定连接；所述转子位于所述定子中部；所述水平转台的下表面与所述转子的上表面固定连接；所述方位驱动电机与所述转子连接，用于使所述转子沿方位角方向转动，并带动所述水平转台转动；所述水平扫描架底部与所述水平转台上表面固定连接，所述水平扫描架包含水平导轨、水平电机、水平滑台；所述水平电机，用于驱动所述水平滑台沿所述水平导轨移动；所述竖直扫描架包含竖直齿条、竖直滑块、竖直电机；所述竖直滑块包含齿轮，所述竖直电机用于驱动所述齿轮，使所述竖直滑块沿所述竖直齿条移动；所述补偿机构，包含安装筒、运动筒、旋转轴、伸缩电机、旋转电机；所述安装筒与所述竖直滑块固定连接，所述运动筒位于所述安装筒内部，所述运动筒包含导轨、壳体，所述导轨位于所述壳体外表面，与所述安装筒内表面的凹槽滑动连接；所述伸缩电机，固定于所述安装筒，用于驱动所述运动筒沿所述导轨滑动；所述旋转轴位于所述运动筒的端部，所述旋转轴的轴向与所述运动筒的滑动方向一致；所述旋转电机，固定于所述运动筒，用于驱动所述旋转轴；所述激光准直仪包含发射装置和接收装置；所述发射装置位于地面上方固定点，用于产生与场平面平行的激光束；所述接收装置固定于所述运动筒的端部，用于接收所述激光束。

优选地，所述紧缩场扫描装置，还包含控制单元，用于控制所述补偿机构，使所述运动筒相对于安装筒运动。

优选地，所述的紧缩场扫描装置，所述接收装置接收到激光束后，检测出偏移量；所述控制单元接收所述偏移量，控制所述补偿机构，使所述偏移量减小。

优选地，所述的紧缩场扫描装置，还包含天线，所述天线与所述旋转轴通过安装法兰固定连接；所述旋转轴带动所述安装法兰旋转。

优选地，所述紧缩场扫描装置，还包含电缆；所述电缆通过旋转关节由天线中心穿出向后延伸至运动筒，从所述运动筒侧壁的过线孔穿过、再通过所述安装筒侧壁的过线孔穿过，延伸至竖直滑块、再连接到测试仪表。

优选地，本申请所述紧缩场扫描装置中，所述发射装置在旋转时，所发出的激光束构成平面度为0.0025mm/m的激光平面。

优选地，本申请所述紧缩场扫描装置中，所述水平滑台在所述水平导轨上移动的范围不小于2.5米；所述竖直滑块在所述竖直齿条上移动的范围不小于3米。

优选地，本申请所述紧缩场扫描装置中，所述水平电机作用于所述水平滑台的定位精度为0.1毫米；所述竖直电机作用于所述竖直滑块的定位精度为0.1毫米，所述伸缩电机作用于所述运动筒的定位精度为0.06毫米；所述旋转电机作用于所述旋转轴的定位精度为0.01°。

优选地，本申请所述的紧缩场扫描装置中，所述方位电机作用于所述转子的旋转范围为±100°、最低定位精度为±0.02°。

优选地，本申请所述紧缩场扫描装置中，所述俯仰电机作用于所述平台的旋转范围为±3°、最低定位精度为±0.02°。

本申请实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：

本申请的装置能够通过设计的方法实时弥补扫描架平面度误差给相位检测带来的影响，能够满足0.3GHz～110GHz高频时紧缩场平面波相位检测要求，提高紧缩场平面波相位检测精度。

本申请的装置采用一种独立偏置的高精度激光器，不安装在扫描装置上，此激光器安装在扫描装置一侧的地面上方固定点，扫描装置的移动工作不会对激光器产生振动影响可实时弥补扫描架直线度误差给相位检测带来的影响，能够满足高频时紧缩场平面波相位检测要求，提高紧缩场平面波相位检测精度。

本申请的装置通过远程控制可自动化、快速、方便的实现扫描装置在水平方向、竖直方向以及紧缩场静区来波方向的移动，避免了手动、效率低、速度慢等缺陷。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为紧缩场测试区相位不平度检测***布局示意图；

图2为本发明扫描装置总体布局示意图；

图3为激光准直仪在本发明中的工作原理示意图；

图4为俯仰调节机构实施例示意图；

图5为方位调节机构实施例示意图；

图6为水平扫描架实施例示意图；

图7为竖直扫描架实施例示意图；

图8为补偿机构实施例示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

现有应用于紧缩场现场校准的扫描装置提高测量精度的技术手段，一种是靠自身的机械精度，一种是在扫描装置上安装激光补偿器，这两种技术手段都有缺陷。第一种，随着校准频率的升高，比如在100GHz时，要求扫描装置直线度指标达0.03mm，这对机械自身研制精度几乎是不可实现的；第二种，在扫描装置上安装激光器，扫描装置在移动工作过程中，不可避免的振动会影响激光器的技术指标，从而影响扫描装置的最终指标。

本发明自动化调节扫描面，使之与来波方向垂直，具体地：通过方位调整机构调节扫描面在水平方向与来波垂直，通过俯仰调整机构调节扫描面在竖直方向与来波垂直；通过连接天线的旋转轴，快速、自动实现天线极化姿态切换；通过高精度激光准直仪与补偿机构联动，可实现高精度扫描轨迹直线度实时补偿。本发明不但有效降低了对扫描架机械自身精度的高指标要求，自动化程度高，集成了方位及俯仰自动化调节能力，提高了调节效率；而且有效避免了扫描装置自身移动产生的振动对激光精度的影响，提高了扫描装置精度。

以下结合附图，详细说明本申请各实施例提供的技术方案。

图1为紧缩场测试区相位不平度检测***布局示意图。紧缩场馈源辐射的电磁波经过反射面作用，形成平面波，在测试区设置扫描架，扫描架所在平面与场平面(场平面，指平面波的等相位面)平行，也就是说，垂直于平面波传播方向。在扫描架上的接收天线在扫描架所在平面上沿水平方向和垂直方向移动，对场平面进行测量。

在图1所述测试***中，假设探头移动机械平面与平面波等相位面偏离1mm，那么在2GHz～40GHz范围内相对一个波长，相位就会偏离从2.4°变化到48°。在频率高于40GHz时显得更加严重。因为紧缩场在40GHz时相位不平度设计技术指标仅为20°，上述48°相位偏差的检测结果是不能接受的。

图2为本发明扫描装置总体布局示意图。本申请的实施例提供一种紧缩场扫描装置，用于紧缩场的场平面测试，所述扫描装置包含扫描架、激光准直仪；所述扫描架包含方位调节机构10、俯仰调节机构20、水平扫描架30、竖直扫描架40、补偿机构50；装配位置连接关系从下向上依次为俯仰调节机构、方位调节机构、水平扫描架、竖直扫描架；所述补偿机构在齿轮齿条组合作用下沿所述竖直扫描架运动，所述补偿机构端部可沿垂直于水平扫描架和竖直扫描架的方向滑动伸缩。所述激光准直仪包含发射装置61和接收装置62；所述发射装置位于地面上方固定点，用于产生与场平面平行的激光束；所述接收装置固定于所述补偿机构的端部，用于接收所述激光束。

进一步地，所述俯仰调节机构底部，通过标准节立柱24固定在安装底座25上。

优选地，所述的紧缩场扫描装置还包含控制单元，用于控制所述补偿机构的端部沿垂直于水平扫描架和竖直扫描架的方向滑动伸缩；所述接收装置接收到激光束后，检测出偏移量；所述控制单元接收所述偏移量，控制所述补偿机构，使所述偏移量减小。

本领域技术人员能够理解，发射装置固定于地面上方，目的在于：一方面，以地面为依托使激光发射点成为定位基准；另一方面，有利于减小所述发射装置和接收装置之间的距离，使发射装置和接收装置的距离在接收装置的有效接收范围之内。

图3为激光准直仪在本发明中的工作原理示意图。所述发射装置位于地面上方固定点(例如通过支架固定于地面)，使之与扫描架运动隔离，避免扫描架运动产生的晃动或振动对其形成的激光基准面产生扰动。固定于所述补偿机构端部的接收装置接收到激光后，检测其偏移量，并将偏移量反馈至控制单元，控制单元根据反馈值控制所述补偿机构运动，从而达到平面度实时补偿的效果。

具体地，所述发射装置61发射激光束，所述发射装置还通过旋转使激光束组成一个激光平面；通过调整所述发射装置的角度，使激光平面与平面波来波方向垂直(即激光束与场平面平行)；所述接收装置62，或称为激光准直目标，固定安装在补偿机构上，同时使激光平面能够时刻经过激光准直目标的感应区，激光准直目标无线或者有线的方式，将感应区零位与激光平面的位置差通过串口实时发送至工控机；工控机接收到误差数据后，通过运算实时生成控制指令，控制补偿机构运动、并带动激光准直目标沿补偿机构伸缩方向运动，最终形成闭环控制。

本实施例所述紧缩场扫描装置中，所述发射装置在旋转时，所发出的激光束构成平面度为0.0025mm/m的激光平面。例如，在本扫描架***中使用高精度激光平面准直仪，有效避免了扫描架移动振动给激光精度带来的影响，提高了装置精度。

图4为俯仰调节机构实施例示意图。所述俯仰调节机构20包含U形结构21、俯仰转轴22、平台23、俯仰驱动电机24；所述U形结构包含垂直部，所述平台通过所述俯仰转轴与所述垂直部活动连接；所述俯仰驱动电机连接所述俯仰转轴，用于使所述平台以所述俯仰转轴为中心做俯仰运动；优选地，本申请所述紧缩场扫描装置中，所述俯仰电机作用于所述平台的旋转范围为±3°、最低定位精度为±0.02°。

例如，所述俯仰调节机构采用非完整齿轮双驱动型式，输出扭矩达到约20000Nm。最优地，采用四级复合传动减速：初级为行星减速机，二级为同步带传动，三级为具有自锁功能的蜗轮蜗杆减速机，末级为齿轮传动。最佳地，所述俯仰驱动电机为有抱死功能的驱动电机，提高安全性，在俯仰方向调整至所需角度后可断电锁定位置。

优选地，在所述俯仰转轴末端安装圆光栅作为位置反馈，型号为英国雷尼绍的高精度圆光栅RESM52型，配合Ti0040型读数头，对光栅进行40细分，定位精度优于±0.02°。优选地，所述俯仰驱动电机为AKM42J交流伺服电机，所述俯仰驱动电机由AKD-X12606系列驱动器控制。

图5为方位调节机构实施例示意图。所述方位调节机构10包含定子11、转子12、水平转台13、方位驱动电机14；所述定子的下表面与所述平台23的上表面固定连接；所述转子位于所述定子中部；所述水平转台的下表面与所述转子的上表面固定连接；所述方位驱动电机与所述转子连接，用于驱动所述转子沿方位角方向转动，并带动所述水平转台转动；优选地，本申请所述的紧缩场扫描装置中，所述方位电机作用于所述转子的旋转范围为±100°、最低定位精度为±0.02°。

优选地，所述方位调节机构采用铸造铝合金壳体作为主承载部件，采用单盘大直径交叉滚子轴承作为方位旋转运动副。最优地，用三级复合传动形式驱动，初级为行星减速机，二级为同步带传动、兼具换向功能，末级为具有自锁功能的蜗轮蜗杆传动副，还包含变导程消隙蜗杆以减少传动反向间隙。为提高使用安全性，使用具有抱死功能的驱动电机，使动力环节实现安全性冗余设计，在方位调整至所需角度后可断电锁死该运动副。该机构具有±100°的调整范围。

优选地，所述方位驱动电机在方位旋转主轴末端安装圆光栅作为位置反馈元件，型号为英国雷尼绍的高精度圆光栅RESM115型，配合Ti0040型读数头，对光栅进行40细分，定位精度优于±0.02°。优选地，所述方位驱动电机为AKM32D系列交流伺服电机；所述方位驱动电机由AKD-X12606系列驱动器控制。

图6水平扫描架实施例示意图。所述水平扫描架30底部与所述水平转台13上表面固定连接，所述水平扫描架包含水平导轨31、水平电机32、水平滑台33；所述水平电机，用于驱动所述水平滑台沿所述水平导轨移动；优选地，本申请所述紧缩场扫描装置中，所述水平滑台在所述水平导轨上移动的范围不小于2.5米；

本申请所述紧缩场扫描装置中，所述水平电机作用于所述水平滑台的定位精度为0.1毫米；

所述水平扫描架中，采用交流伺服电机驱动行星减速机，驱动齿轮齿条传动。其中，减速器采用法兰盘输出精密背隙行星减速器，小齿轮采用消隙齿轮组，以消除齿轮传动侧隙。基座由矩形管焊接；所述水平导轨，例如为HIWIN公司HGW系列直线导轨。限位设计采用传统的四级限位保护设计，即软件限位、一级电气开关限位、二级电气断电限位和机械限位。为了达到水平定位精度要求0.1mm，用安装在电机末端的旋转编码器作为位置反馈元件。

图7竖直扫描架实施例示意图。所述竖直扫描架40包含竖直齿条41、竖直滑块43、竖直电机42；所述竖直滑块包含齿轮，所述竖直电机用于驱动所述齿轮，使所述竖直滑块沿所述竖直齿条移动；所述竖直滑块在所述竖直齿条上移动的范围不小于3米。

优选地，所述竖直电机作用于所述竖直滑块的定位精度为0.1毫米。

需要说明的是，所述竖直扫描架的支撑框架为运动部件提供结构支撑以及竖直齿条安装平面，并竖直安装在所述水平滑台33上。为了衔接，在水平滑台上表面，固定连接桩体34，优选为板状，用于装配竖直扫描架。最佳地，支撑框架由矩形钢管及钢板焊接后整体铣削加工后磨削成型，在磨削后的导轨安装面上安装直线运动导轨副，保证安装面机械精度。在本发明的实施例中，选用KAMO齿轮齿条作为驱动执行机构，工作时由具有自锁功能的蜗轮蜗杆减速机将电机动力输出传递至消隙齿圈，驱动齿圈在齿条上进行直线运动。

图8为补偿机构实施例示意图。所述补偿机构50，包含安装筒51、运动筒52、旋转轴53、伸缩电机54、旋转电机55；所述安装筒与所述竖直滑块固定连接，所述运动筒位于所述安装筒内部，所述运动筒包含导轨57、壳体58，所述导轨位于所述壳体外表面，与所述安装筒内表面的凹槽59滑动连接；所述伸缩电机，固定于所述安装筒，用于驱动所述运动筒沿所述导轨滑动；所述旋转轴位于所述运动筒的端部，所述旋转轴的轴向与所述运动筒的滑动方向一致；所述旋转电机，固定于所述运动筒，用于驱动所述旋转轴。

优选地，所述伸缩电机作用于所述运动筒的定位精度为0.06毫米；所述旋转电机作用于所述旋转轴的定位精度为0.01°。

优选地，所述的紧缩场扫描装置，还包含天线，所述天线与所述旋转轴通过安装法兰71固定连接；所述旋转轴带动所述安装法兰旋转。

优选地，所述紧缩场扫描装置，还包含电缆；所述电缆通过旋转关节72由天线中心穿出向后延伸至运动筒，从所述运动筒侧壁的过线孔穿过、再通过所述安装筒侧壁的过线孔穿过，延伸至竖直滑块、再连接到测试仪表。

进一步优选地，所述紧缩场扫描装置，还包含控制单元，用于控制所述补偿机构，使所述运动筒相对于安装筒运动。

需要说明的是，所述补偿机构可完成竖直方向直线运动、天线极化旋转以及伸缩方向的天线(含接收装置)的进给补偿运动，是本发明扫描装置中的关键运动组件。

作为进一步优化的实施例，具体地，所述驱动天线旋转的结构包含蜗轮蜗杆副、旋转轴系、圆光栅、蜗杆轴系、同步带组件(同步带轮、同步带及胀套等)、行星减速机和交流伺服电机组成。以上结构安装于所述补偿装置壳体内部，在图8中未示出。对所述旋转电机及驱动结构进一步具体说明如下：主轴采用法兰型精密交叉滚子轴承作为支撑组件，驱动副采用蜗轮蜗杆传动形式，精度高、轴向结构安装空间需求小。为降低整个机械结构在来波方向的投影面积，采用同步带传动作为换向机构，电机及行星减速机安装在补偿机构来波方向投影面内。工作时由伺服电机驱动行星减速器带动带轮驱动蜗杆旋转，蜗杆驱动蜗轮轴系旋转。定位精度通过圆光栅反馈***保证，分辨率为0.001°，转台定位精度达0.01°。最佳地，电机采用科尔摩根AKM13D交流伺服电机，同时选用与之相配套的AKD-X00306系列驱动器。

激光平面准直仪中的激光接收装置作为激光平面的测量感应装置，固定安装于天线侧方，刚性连接于运动筒。接收装置需要将感应接收面朝向激光发生器，以避免激光平面的感应盲区。最佳地，通过安装两个接收装置的方式来避免盲区。

还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims (10)

1.一种紧缩场扫描装置，用于紧缩场的场平面电磁波幅度和相位特性测试，其特征在于，包含扫描架、激光准直仪；

所述扫描架包含方位调节机构、俯仰调节机构、水平扫描架、竖直扫描架、补偿机构；

所述俯仰调节机构包含U形结构、俯仰转轴、平台、俯仰驱动电机；所述U形结构包含垂直部，所述平台通过所述俯仰转轴与所述垂直部活动连接；所述俯仰驱动电机连接所述俯仰转轴，用于使所述平台以所述俯仰转轴为中心做俯仰运动；

所述方位调节机构包含定子、转子、水平转台、方位驱动电机；所述定子的下表面与所述平台的上表面固定连接；所述转子位于所述定子中部；所述水平转台的下表面与所述转子的上表面固定连接；所述方位驱动电机与所述转子连接，用于使所述转子沿方位角方向转动，并带动所述水平转台转动；

所述水平扫描架底部与所述水平转台上表面固定连接，所述水平扫描架包含水平导轨、水平电机、水平滑台；所述水平电机，用于驱动所述水平滑台沿所述水平导轨移动；

所述竖直扫描架包含竖直齿条、竖直滑块、竖直电机；所述竖直滑块包含齿轮，所述竖直电机用于驱动所述齿轮，使所述竖直滑块沿所述竖直齿条移动；

所述补偿机构，包含安装筒、运动筒、旋转轴、伸缩电机、旋转电机；所述安装筒与所述竖直滑块固定连接，所述运动筒位于所述安装筒内部，所述运动筒包含导轨、壳体，所述导轨位于所述壳体外表面，与所述安装筒内表面的凹槽滑动连接；所述伸缩电机，固定于所述安装筒，用于驱动所述运动筒沿所述导轨滑动；所述旋转轴位于所述运动筒的端部，所述旋转轴的轴向与所述运动筒的滑动方向一致；所述旋转电机，固定于所述运动筒，用于驱动所述旋转轴；

所述激光准直仪包含发射装置和接收装置；所述发射装置位于地面上方固定点，用于产生与场平面平行的激光束；所述接收装置固定于所述运动筒的端部，用于接收所述激光束。

2.如权利要求1所述紧缩场扫描装置，所述发射装置在旋转时，所发出的激光束构成平面度为0.0025毫米/米的激光平面。

3.如权利要求1所述紧缩场扫描装置，其特征在于，还包含控制单元，用于控制所述补偿机构，使所述运动筒相对于安装筒运动。

4.如权利要求3所述的紧缩场扫描装置，其特征在于，所述接收装置接收到激光束后，检测出偏移量；所述控制单元接收所述偏移量，控制所述补偿机构，使所述偏移量减小。

5.如权利要求1～4任意一项所述的紧缩场扫描装置，其特征在于，还包含天线，所述天线与所述旋转轴通过安装法兰固定连接；所述旋转轴带动所述安装法兰旋转。

6.如权利要求5所述紧缩场扫描装置，其特征在于，还包含电缆；所述电缆通过旋转关节由天线中心穿出向后延伸至运动筒，从所述运动筒侧壁的过线孔穿过、再通过所述安装筒侧壁的过线孔穿过，延伸至竖直滑块、再连接到测试仪表。

7.如权利要求1～4任意一项所述紧缩场扫描装置，其特征在于，所述水平滑台在所述水平导轨上移动的范围不小于2.5米；所述竖直滑块在所述竖直齿条上移动的范围不小于3米。

8.如权利要求1～4任意一项所述紧缩场扫描装置，其特征在于，所述水平电机作用于所述水平滑台的定位精度为0.1毫米；所述竖直电机作用于所述竖直滑块的定位精度为0.1毫米，所述伸缩电机作用于所述运动筒的定位精度为0.06毫米；所述旋转电机作用于所述旋转轴的定位精度为0.01°。

9.如权利要求1～4任意一项所述的紧缩场扫描装置，其特征在于，所述方位电机作用于所述转子的旋转范围为±100°、最低定位精度为±0.02°。

10.如权利要求1～4任意一项所述的紧缩场扫描装置，其特征在于，所述俯仰电机作用于所述平台的旋转范围为±3°、最低定位精度为±0.02°。