CN108716963A - 压力传感器的性能测试方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种压力传感器的性能测试方法，包括：通过控制密封测试腔体内的温度和压力对放置在密封测试腔体内的待测压力传感器进行单点压力测试，确定待测压力传感器的绝对压力精度是否合格；在密封测试腔体内的预设温度下，对单点压力测试后的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行预设压力点的升降压测试，确定待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度是否合格。利用本发明，能够解决由于压力传感器的压力芯片不良导致的压力测试不准确的问题。
Description
技术领域
本发明涉及压力传感器技术领域，更为具体地，涉及一种压力传感器的性能测试方法。
背景技术
随着科技的进步压力传感器产品在无人机、手机及智能穿戴方面得到了广泛应用，其中，绝对压力精度则成为压力传感器性能测试的重要指标。但是现在压力传感器只采用单点气压测试，在生产过程中发现，由于气压芯片性能存在差异，当压力传感器经过一个升降压后相同的压力点测试的压力值偏差较大，如果此不良品流出后会导致无人机、手机等终端产品出现气压测试不准确的情况，从而影响客户使用；并且在现阶段，气压芯片供方并没有对此不良芯片进行测试筛选。
因此，为解决上述问题，本发明提供一种压力传感器的性能测试方法。
发明内容
鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种压力传感器的性能测试方法，以解决由于压力传感器的压力芯片不良导致的压力测试不准确的问题。
本发明提供一种压力传感器的性能测试方法，包括；
通过控制密封测试腔体内的温度和压力对放置在密封测试腔体内的待测压力传感器进行单点压力测试，确定待测压力传感器的绝对压力精度是否合格；
在密封测试腔体内的预设温度下，对单点压力测试后的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行预设压力点的升降压测试，确定待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度是否合格。
此外，优选的方案是，在密封测试腔体内设置有压力控制器、温度控制器和温度传感器，其中，
压力控制器，用于控制待测压力传感器在测试过程中所处的压力环境；
温度控制器，用于控制待测压力传感器在测试过程中所处的温度环境；
温度传感器，用于实时测试待测压力传感器在测试过程中所处的温度。
此外，优选的方案是，在通过控制密封测试腔体内的温度和压力对放置在密封测试腔体内的待测压力传感器进行单点压力测试，确定待测压力传感器的绝对压力精度是否合格的过程中，
当控制所述密封测试腔体内的温度为25℃，压力分别为40kPa、85kPa、95kPa、105kPa时，对待测压力传感器分别进行压力测试，分别获得四个待测压力传感器的压力值；
当控制密封测试腔体内的温度为60℃，压力分别为40kPa、95kPa、105kPa时，对待测压力传感器分别进行压力测试，分别获得三个待测压力传感器的压力值；
根据获得的每个待测压力传感器的压力值以及与其所对应的密封测试腔体控制的压力值，确定待测压力传感器的绝对压力精度是否合格。
此外，优选的方案是，当获得的待测压力传感器的压力值以及与其所对应的密封测试腔体控制的压力值之间的差值为±40Pa时，确定待测压力传感器在单点测试后的绝对压力精度合格。
此外，优选的方案是，在对单点压力测试的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行预设压力点的升降压测试的过程中，
当控制密封测试腔体内的温度为25℃时，在40kPa、85kPa、95kPa、105kPa四个压力点，对单点压力测试后的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行升压力测试，获取在升压测试过程中在85kPa压力点的待测压力传感器的压力值；
然后将密封测试腔体内的压力由105kPa降至85kPa时，并在85kPa压力点再次进行测试，获取在降压测试过程中在85kPa压力点的待测压力传感器的压力值；
根据在升压过程中在85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值，以及在降至85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值，确定待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度是否合格。
此外，优选的方案是，当在升压过程中在85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值，与在降至85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值之间的差值为±40Pa时，确定待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度合格。
此外，优选的方案是，在对单点压力测试的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行预设压力点的升降压测试的过程中，
当控制密封测试腔体内的温度为25℃时，在85kPa、40kPa、20kPa、三个压力点，对单点压力测试的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行降压测试，获取在降压测试过程中在85kPa压力点的待测压力传感器的压力值；
然后将密封测试腔体内的压力由20kPa升至85kPa时，并在85kPa的压力点再次进行测试，获取在升压测试过程中在85kPa压力点的待测压力传感器的压力值；
根据在降压过程中在85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值，以及在升至85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值，确定升待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度是否合格。
此外，优选的方案是，当在降压过程中在85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值，与在升至85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值之间的差值为±40Pa时，确定所述待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度合格。
从上面的技术方案可知，本发明提供的压力传感器的性能测试方法，通过单点测试与升降压测试相结合的方式对待测压力传感器进行测试，从而测试出不合格的产品。这种压力传感器的性能测试方法，可满足终端客户使用体验，可有效筛选出因压力芯片不良导致的压力测试不准确的产品，并且此测试方法流程逻辑简单，测试速度快，不影响生产效率。
为了实现上述以及相关目的，本发明的一个或多个方面包括后面将详细说明的特征。下面的说明以及附图详细说明了本发明的某些示例性方面。然而，这些方面指示的仅仅是可使用本发明的原理的各种方式中的一些方式。此外，本发明旨在包括所有这些方面以及它们的等同物。
附图说明
通过参考以下结合附图的说明，并且随着对本发明的更全面理解，本发明的其它目的及结果将更加明白及易于理解。在附图中：
图1为根据本发明实施例的压力传感器的性能测试方法流程图；
图2为根据本发明实施例的升降压测试压力值与时间关系示意图。
在所有附图中相同的标号指示相似或相应的特征或功能。
具体实施方式
在下面的描述中，出于说明的目的，为了提供对一个或多个实施例的全面理解，阐述了许多具体细节。然而，很明显，也可以在没有这些具体细节的情况下实现这些实施例。
针对前述提出的现有的压力传感器测试方法由于压力传感器的压力芯片不良导致的压力测试不准确的问题，本发明提供了一种新的压力传感器的性能测试方法，从而解决上述问题，并进一步满足终端客户的使用体验。
以下将结合附图对本发明的具体实施例进行详细描述。
为了说明本发明提供的压力传感器的性能测试方法，图1示出了根据本发明实施例的压力传感器的性能测试方法流程。
如图1所示，本发明提供的压力传感器的性能测试方法，包括；
S110：通过控制密封测试腔体内的温度和压力对放置在密封测试腔体内的待测压力传感器进行单点压力测试，确定待测压力传感器的绝对压力精度是否合格；
S120：在密封测试腔体内的确定预设温度下，对单点压力测试后的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行预设压力点的升降压测试，确定待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度是否合格。
也就是说，在发明在对待测压力传感器测试的过程中，在通过单点压力测试的基础上，增加一个压力点的升降压测试，从而测试待测压力传感器不合格产品。
其中，需要说明的是，在待测压力传感器测试时，将待测压力传感器放置在密封测试腔体内，通过设置在密封测试腔体内的压力控制器、温度控制器和温度传感器控制，其中，压力控制器，用于控制待测压力传感器在测试过程中所处的压力环境；温度控制器，用于控制待测压力传感器在测试过程中所处的温度环境；温度传感器，用于实时测试待测压力传感器在测试过程中所处的温度。
在步骤S110中，选取7个单点进行压力测试，首先，当控制密封测试腔体内的温度为25℃，压力分别为40kPa、85kPa、95kPa、105kPa时，对待测压力传感器分别进行压力测试，分别获得四个待测压力传感器的压力值。
然后，当控制密封测试腔体内的温度为60℃，压力分别为40kPa、95kPa、105kPa时，对待测压力传感器分别进行压力测试，分别获得三个待测压力传感器的压力值。
根据获得的每个待测压力传感器的压力值以及与其所对应的密封测试腔体控制的压力值，确定待测压力传感器的绝对压力精度是否合格。
其中，需要说明的是，当获得的待测压力传感器的压力值以及与其所对应的密封测试腔体控制的压力值之间的差值为±40Pa时，确定待测压力传感器在单点测试后的绝对压力精度合格。
也就是说，通过上述7个单点压力测试，判定压力传感器的绝对压力精度，单点压力测试压力点的标准压力值与测试获取的压力值的差值的范围为±40Pa，从而筛选出绝对压力精度不合格产品。
在本发明的实施例中，上述在密封测试腔体内的温度和压力点的选取，不是随意选取的，是根据待测试压力传感器应用的终端进行选取的温度和压力点，其中，如果压力传感器应用都手机，跟应压力传感器应用到无人机上的压力点选取截然不同，所以在待测传感器测试过程中，密封测试腔体内的温度和压力点根据实际应用进行设定和选取。
在步骤是120中，在本发明一个具体的实施例中，首先当控制密封测试腔体内的温度为25℃时，在40kPa、85kPa、95kPa、105kPa四个压力点，对单点压力测试后的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行升压力测试，获取在升压测试过程中在85kPa压力点的待测压力传感器的压力值。
然后将密封测试腔体内的压力由105kPa降至85kPa时，并在85kPa压力点再次进行测试，获取在降压测试过程中在85kPa压力点的待测压力传感器的压力值。
根据在升压过程中在85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值，以及在降至85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值，确定压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度是否合格。
其中，需要说明的是，当在升压过程中在85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值，与在降至85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值之间的差值为±40Pa，确定待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度合格。
在本发明另一个具体的实施例中，首先当控制密封测试腔体内的温度为25℃时，在85kPa、40kPa、20kPa、三个压力点，对单点压力测试的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行降压测试，获取在降压测试过程中在85kPa压力点的待测压力传感器的压力值。
然后将密封测试腔体内的压力由20kPa升至85kPa时，并在85kPa的压力点再次进行测试，获取在升压测试过程中在85kPa压力点的待测压力传感器的压力值。
根据在降压过程中在85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值，以及在升至85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值，确定待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度是否合格。
其中，需要说明的是，当在降压过程中在85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值，与在升至85kPa压力点测试获得的待测压力传感器的压力值之间的差值为±40Pa时，确定在升降压测试后的绝对压力精度合格。
在步骤S120中，从上述两个具体的实施例中可以看出，第一实施例：对压力传感器先升压测试后，再降压到85kPa压力点测试，从而比较这两次测试出的压力值是否相同，只要测试出的压力值的误差在±40Pa内，则此压力传感器为合格产品，在图2所示的实施例可以看出，升压到85kPa压力点时测到的压力值与降压到85kPa压力点测出的压力值相同。
第二实施例：对压力传感器先降压测试后，再升压到85kPa压力点进行测试，从而比较这两次测试的压力值是否相同，只要测试出的压力值的误差在±40Pa内，则判定此压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度合格。
在上述两个测试过程中，不论选用哪种测试方式均可以进行升降压测试，根据在实际应用的方便性，可任意选取上述两个实施例中的任意一个。
通过上述实施方式可以看出，本发明提供的压力传感器的性能测试方法，通过单点测试与升降压测试相结合的方式对待测压力传感器进行测试，从而测试出不合格的产品。这种压力传感器的性能测试方法，可满足终端客户使用体验，可有效筛选出因压力芯片不良导致的压力测试不准确的产品，并且此测试方法流程逻辑简单，测试速度快，不影响生产效率。
如上参照附图以示例的方式描述了根据本发明提出的压力传感器的性能测试方法。但是，本领域技术人员应当理解，对于上述本发明所提出的压力传感器的性能测试方法，还可以在不脱离本发明内容的基础上做出各种改进。因此，本发明的保护范围应当由所附的权利要求书的内容确定。
Claims (8)
1.一种压力传感器的性能测试方法，包括；
通过控制密封测试腔体内的温度和压力对放置在所述密封测试腔体内的待测压力传感器进行单点压力测试，确定所述待测压力传感器的绝对压力精度是否合格；
在所述密封测试腔体内的预设温度下，对单点压力测试后的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行预设压力点的升降压测试，确定所述待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度是否合格。
2.如权利要求1所述的压力传感器的性能测试方法，其中，
在所述密封测试腔体内设置有压力控制器、温度控制器和温度传感器，其中，
所述压力控制器，用于控制所述待测压力传感器在测试过程中所处的压力环境；
所述温度控制器，用于控制所述待测压力传感器在测试过程中所处的温度环境；
所述温度传感器，用于实时测试所述待测压力传感器在测试过程中所处的温度。
3.如权利要求1所述的压力传感器的性能测试方法，其中，
在通过控制密封测试腔体内的温度和压力对放置在所述密封测试腔体内的待测压力传感器进行单点压力测试，确定所述待测压力传感器的绝对压力精度是否合格的过程中，
当控制所述密封测试腔体内的温度为25℃，压力分别为40kPa、85kPa、95kPa、105kPa时，对所述待测压力传感器分别进行压力测试，分别获得四个所述待测压力传感器的压力值；
当控制所述密封测试腔体内的温度为60℃，压力分别为40kPa、95kPa、105kPa时，对所述待测压力传感器分别进行压力测试，分别获得三个所述待测压力传感器的压力值；
根据获得的每个待测压力传感器的压力值以及与其所对应的所述密封测试腔体控制的压力值，确定所述待测压力传感器的绝对压力精度是否合格。
4.如权利要求3所述的压力传感器的性能测试方法，其中，
当获得的所述待测压力传感器的压力值以及与其所对应的所述密封测试腔体控制的压力值之间的差值为±40Pa时，确定所述待测压力传感器在单点测试后的绝对压力精度合格。
5.如权利要求1所述的压力传感器的性能测试方法，其中，
在对单点压力测试的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行预设压力点的升降压测试的过程中，
当控制所述密封测试腔体内的温度为25℃时，在40kPa、85kPa、95kPa、105kPa四个压力点，对单点压力测试后的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行升压力测试，获取在升压测试过程中在85kPa压力点的所述待测压力传感器的压力值；
然后将所述密封测试腔体内的压力由105kPa降至85kPa时，并在85kPa压力点再次进行测试，获取在降压测试过程中在85kPa压力点的所述待测压力传感器的压力值；
根据在升压过程中在85kPa压力点测试获得的所述待测压力传感器的压力值，以及在降至85kPa压力点测试获得的所述待测压力传感器的压力值，确定所述待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度是否合格。
6.如权利要求5所述的压力传感器的性能测试方法，其中，
当在升压过程中在85kPa压力点测试获得的所述待测压力传感器的压力值，与在降至85kPa压力点测试获得的所述待测压力传感器的压力值之间的差值为±40Pa时，确定所述待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度合格。
7.如权利要求1所述的压力传感器的性能测试方法，其中，
在对单点压力测试的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行预设压力点的升降压测试的过程中，
当控制所述密封测试腔体内的温度为25℃时，在85kPa、40kPa、20kPa、三个压力点，对单点压力测试的绝对压力精度合格的待测压力传感器进行降压测试，获取在降压测试过程中在85kPa压力点的所述待测压力传感器的压力值；
然后将所述密封测试腔体内的压力由20kPa升至85kPa时，并在85kPa的压力点再次进行测试，获取在升压测试过程中在85kPa压力点的所述待测压力传感器的压力值；
根据在降压过程中在85kPa压力点测试获得的所述待测压力传感器的压力值，以及在升至85kPa压力点测试获得的所述待测压力传感器的压力值，确定所述待测压力传感器在升降压测试后的绝对压力精度是否合格。
8.如权利要求7所述的压力传感器的性能测试方法，其中，
当在降压过程中在85kPa压力点测试获得的所述待测压力传感器的压力值，与在升至85kPa压力点测试获得的所述待测压力传感器的压力值之间的差值为±40Pa时，确定所述待测压力传感在升降压测试后的绝对压力精度合格。
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Effective date of registration: 20200608 Address after: 261031 building 10, Geer phase II Industrial Park, No. 102, Ronghua Road, Ronghua community, Xincheng street, high tech Zone, Weifang City, Shandong Province Applicant after: Weifang goer Microelectronics Co.,Ltd. Address before: 261031 Dongfang Road, Weifang high tech Industrial Development Zone, Shandong, China, No. 268 Applicant before: GOERTEK Inc. |
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Application publication date: 20181030 |
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| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |