CN108580211A - 一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法 - Google Patents

一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法 Download PDF

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Abstract

本发明一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法，步骤1、放基片；步骤2、加热旋转载物盘的盘面到达指定温度后开始旋转，气流在加热旋转载物盘的旋转带动下由加热旋转载物盘的周边开始旋转下沉；步骤3、下沉后的气流在旋涂内腔中旋转减弱后，在旋涂内腔内环流至上盖的下方后，气流经过导流台阶减弱后在锥形面的引导下吹向上盖顶部的排气孔；步骤4、排气孔排出部分气体后最终残留在加热旋转腔内的气流由上盖的上方再次吹向加加热旋转载物盘的盘面，辅助匀胶机将表面的胶液甩开。本发明一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法，其能够对匀胶机内气流进行控制以提高成膜质量。

Description

一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法
技术领域
本发明涉及一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法,尤其是涉及一种应用于匀胶机上的结构、其能够将气流扰动降低、从而保证匀胶效果的成膜方法，属于光电技术领域。
背景技术
前，匀胶机在旋涂过程中气流扰动对成膜质量影响较大；甚至有企业研发了如中国专利201510415328.4(2015.7.15)所示的一种“利用气流控制光刻胶膜厚度的匀胶装置及匀胶方法”，可见如何控制气体扰动是成膜质量的关键因素；但是常规的匀胶机的加热旋转腔内的气流杂乱无章，严重影响成膜质量。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足，提供一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法，其能够对匀胶机内气流进行控制以保证成膜质量。
本发明的目的是这样实现的：
一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法，所述方法包含有以下步骤：
步骤1、将基片通过导热硅胶粘附在加热旋转载物盘的盘面上，胶液涂覆在基片表面，随后盖上上盖；上盖盖置于托盘上方的，所述上盖上设置有观察窗，所述托盘和上盖之间形成加热旋转腔，加热旋转载物盘位于加热旋转腔内；所述托盘的底部设置有环形结构的旋涂内腔，且上盖的底部设置有环形结构的导流台阶，且导流台阶插置于旋涂内腔中，所述上盖的内壁为锥形结构，且上盖的顶部盖壁上设置有排气孔；所述托盘在其与上盖的接触面上设置有环状结构的凸台，所述上盖在其与托盘的接触面上设置有环状结构的嵌槽，上述凸台嵌置于嵌槽内，且凸台上设置有环状结构的密封条，所述观察窗和上盖之间设置有O型圈一，转动轴通过隔热法兰与加热旋转载物盘驱动相连，所述隔热法兰外套装有油封轴套，且油封轴套与油封座之间设置有不锈钢PTFE油封，油封座与托盘之间设置有多道O型圈二；
步骤2、加热旋转载物盘的盘面到达指定温度后开始旋转，气流在加热旋转载物盘的旋转带动下由加热旋转载物盘的周边开始旋转下沉；
步骤3、下沉后的气流在旋涂内腔中旋转减弱后，在旋涂内腔内环流至上盖的下方后，气流经过导流台阶减弱后在锥形面的引导下吹向上盖顶部的排气孔；
步骤4、排气孔排出部分气体后最终残留在加热旋转腔内的气流由上盖的上方再次吹向加加热旋转载物盘的盘面，辅助匀胶机将表面的胶液甩开。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明通过腔体结构调整，将原有内腔制作成锥形斜面的造型，一可以减少内腔体积，降低成本，二可以减小气流扰动，优化成膜效果；并且通过旋涂内腔和导流台阶的引导维稳后吹向基片上的胶液，辅助旋转的加热旋转载物盘将胶液旋转甩开得更为均匀；并且通过多重气密性设计，有效的防止了外界气流的影响；而且基片采用导热硅胶贴附，有效的防止因真空吸附孔的存在而导致发成冷却，影响基片的加热效果。
附图说明
图1为本发明一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法中采用的匀胶机的结构示意图。。
图2为本发明一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的气流扰动矢量示意简图。
图3为本发明一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的气流扰动矢量示意简图。
其中：
托盘101、上盖102、排气孔103、旋涂内腔104、加热旋转载物盘105、导流台阶106、观察窗107；
密封条1、O型圈一2、O型圈二3、不锈钢PTFE油封4、隔热法兰5、油封轴套6。
具体实施方式
参见图1～3，本发明涉及的一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法，所述成膜方法基于一种匀胶机，所述结构包含有盖置于托盘101上方的上盖102，所述上盖102上设置有观察窗107，所述托盘101和上盖102之间形成加热旋转腔，加热旋转载物盘105位于加热旋转腔内；
所述托盘101的底部设置有环形结构的旋涂内腔104，且上盖102的底部设置有环形结构的导流台阶106，且导流台阶106插置于旋涂内腔104中，所述上盖102的内壁为锥形结构，且上盖102的顶部盖壁上设置有排气孔103；所述托盘101在其与上盖102的接触面上设置有环状结构的凸台，所述上盖102在其与托盘101的接触面上设置有环状结构的嵌槽，上述凸台嵌置于嵌槽内，且凸台上设置有环状结构的密封条1，所述观察窗和上盖之间设置有O型圈一2，转动轴通过隔热法兰5与加热旋转载物盘驱动相连，所述隔热法兰5外套装有油封轴套6，且油封轴套6与油封座之间设置有不锈钢PTFE油封4，油封座与托盘之间设置有多道O型圈二3；
使用前，关闭上盖时密封条1压紧在托盘凸台的上，在负压作用下自动密封，观察窗处的密封为O型圈一2，托盘与内部轴零件利用O型圈二3做轴面，此为静密封；不锈钢PTFE油封4配合油封轴套6进行动态旋转密封，可保证接触面的同轴度以及光洁度跟硬度；隔热法兰5和油封轴套6则进行过盈配合；隔热法兰5本身选材为耐热，导热系数低刚性好的材料；
本发明一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法的气体流动控制方法为：使用前将基片通过导热硅胶粘附在加热旋转载物盘105的盘面上，胶液涂覆在基片表面，随后关闭上盖102，加热旋转载物盘105的盘面到达指定温度后开始旋转，气流如图3所示在加热旋转载物盘105的旋转带动下由加热旋转载物盘105的周边开始旋转下沉，下沉后的气流在旋涂内腔104中旋转减弱后，在旋涂内腔104内环流至上盖102下方，气流经过导流台阶106减弱后吹向上盖102顶部的排气孔103，排气孔103排出部分气体后最终残留在加热旋转腔内气流由上盖102的上方再次吹向加加热旋转载物盘105的盘面，辅助匀胶机将表面的胶液甩开。从而形成一个气流回路。
另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。

Claims (1)

1.一种高精度匀胶机气流控制稳定成膜方法，其特征在于：所述方法包含有以下步骤：
步骤1、将基片通过导热硅胶粘附在加热旋转载物盘(105)的盘面上，胶液涂覆在基片表面，随后盖上上盖(101)；上盖(102)盖置于托盘(101)上方的，所述上盖(102)上设置有观察窗(107)，所述托盘(101)和上盖(102)之间形成加热旋转腔，加热旋转载物盘(105)位于加热旋转腔内；所述托盘(101)的底部设置有环形结构的旋涂内腔(104)，且上盖(102)的底部设置有环形结构的导流台阶(106)，且导流台阶(106)插置于旋涂内腔(104)中，所述上盖(102)的内壁为锥形结构，且上盖(102)的顶部盖壁上设置有排气孔(103)；所述托盘(101)在其与上盖(102)的接触面上设置有环状结构的凸台，所述上盖(102)在其与托盘(101)的接触面上设置有环状结构的嵌槽，上述凸台嵌置于嵌槽内，且凸台上设置有环状结构的密封条(1)，所述观察窗和上盖之间设置有O型圈一(2)，转动轴通过隔热法兰(5)与加热旋转载物盘驱动相连，所述隔热法兰(5)外套装有油封轴套(6)，且油封轴套(6)与油封座之间设置有不锈钢PTFE油封(4)，油封座与托盘之间设置有多道O型圈二(3)；
步骤2、加热旋转载物盘(105)的盘面到达指定温度后开始旋转，气流在加热旋转载物盘(105)的旋转带动下由加热旋转载物盘(105)的周边开始旋转下沉；
步骤3、下沉后的气流在旋涂内腔(104)中旋转减弱后，在旋涂内腔(104)内环流至上盖(102)的下方后，气流经过导流台阶(106)减弱后在锥形面的引导下吹向上盖(102)顶部的排气孔(103)；
步骤4、排气孔(103)排出部分气体后最终残留在加热旋转腔内的气流由上盖(102)的上方再次吹向加加热旋转载物盘(105)的盘面，辅助匀胶机将表面的胶液甩开。
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