CN108570704A - 镀覆方法、记录介质、镀覆装置以及镀覆*** - Google Patents

Abstract

本发明提供镀覆方法、记录介质、镀覆装置以及镀覆***。镀覆方法能够在基板的镀覆中在运输机、镀覆槽等发生故障的情况下拯救基板。在镀覆方法中，由运输机(40)将多个基板分别输送至多个镀覆槽(25)，使多个基板浸渍于多个镀覆槽(25)内的镀覆液，对多个基板进行镀覆，对在运输机(40)或后处理槽发生故障进行检测，由保存液置换多个镀覆槽(25)内的镀覆液，使多个基板浸渍于保存液中。

Description

镀覆方法、记录介质、镀覆装置以及镀覆***

技术领域

本发明涉及对晶片等基板进行镀覆的方法及装置，尤其涉及在镀覆装置发生故障时能够拯救基板的镀覆方法及镀覆装置。

背景技术

镀覆装置一般具备：对基板进行镀覆的镀覆槽；对镀覆前的基板进行清洗的前清洗槽；对镀覆后的基板进行漂洗的漂洗槽；使漂洗后的基板干燥的吹风槽等多种处理槽。基板在保持于基板保持架的状态下通过运输机输送至各处理槽。具体而言，基板保持架通过运输机设置于各处理槽内，在基板保持于基板保持架的状态下在各处理槽内进行处理。

在镀覆槽中，基板浸在预先设定的时间期间浸渍于镀覆液。通过运输机从镀覆槽取出保持有镀覆后的基板的基板保持架，通过运输机输送至下一个处理槽。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-146448号公报

专利文献2：日本特开2016-89253号公报

发明要解决的课题

若在基板的镀覆中镀覆装置发生故障，则会有无法从镀覆槽取出基板的情况。尤其是，若在基板的镀覆中发生运输机的故障、镀覆槽的故障、漂洗槽的故障等，则实质上无法使基板移动到下一个工序。其结果是，基板以浸渍于镀覆液中的状态而放置于镀覆槽内。若基板长时间与镀覆液接触，则堆积于基板的金属膜被镀覆液溶解或变质。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种镀覆方法及镀覆装置，当在基板镀覆中运输机、镀覆槽等发生故障的情况下能够拯救基板。

用于解决课题的手段

为了达成上述目的，本发明的一方式是一种镀覆方法，其特征在于，由运输机将多个基板分别输送至多个镀覆槽，使所述多个基板浸渍于所述多个镀覆槽内的镀覆液，对该多个基板进行镀覆，对在所述运输机或后处理槽发生了故障的情况进行检测，由保存液置换所述多个镀覆槽内的镀覆液，使所述多个基板浸渍于保存液中。

本发明优选的方式的特征在于，以对于所述多个镀覆槽的每一个镀覆槽预先设定的镀覆时间所经过的顺序，由保存液置换所述多个镀覆槽内的镀覆液，使所述多个基板浸渍于保存液中。

本发明优选的方式的特征在于，所述多个镀覆槽具备多个镀覆单元和多个溢流槽，在所述镀覆液的置换后，使所述保存液从所述多个镀覆单元溢出并流入所述多个溢流槽。

本发明优选的方式的特征在于，还包含如下工序：将所述多个镀覆槽内的镀覆液运送至镀覆液贮存器。

本发明优选的方式的特征在于，还包含如下工序：从所述多个镀覆槽排出所述保存液，从所述镀覆液贮存器向所述多个镀覆槽供给镀覆液。

本发明优选的方式的特征在于，所述保存液是纯水或者脱气后的纯水。

本发明的一方式是一种镀覆方法，其特征在于，由运输机将多个基板分别输送至多个镀覆槽，使所述多个基板浸渍于所述多个镀覆槽内的镀覆液，对该多个基板进行镀覆，在所述多个基板的镀覆中对在所述多个镀覆槽中的任意一个镀覆槽发生了故障的情况进行检测，由保存液置换发生了所述故障的镀覆槽内的镀覆液，使基板浸渍于保存液中。

本发明优选的方式的特征在于，由保存液置换发生了所述故障的镀覆槽内的镀覆液，使基板浸渍于保存液中，另一方面，在其他的镀覆槽中继续基板的镀覆。

本发明优选的方式的特征在于，所述镀覆槽具备镀覆单元和溢流槽，在所述镀覆液的置换后，使所述保存液从所述镀覆单元溢出并流入所述溢流槽。

本发明优选的方式的特征在于，还包含如下工序：将所述镀覆槽内的镀覆液运送至镀覆液贮存器。

本发明优选的方式的特征在于，还包含如下工序：从所述镀覆槽排出所述保存液，从所述镀覆液贮存器向所述镀覆槽供给镀覆液。

本发明优选的方式的特征在于，所述保存液是纯水或者脱气后的纯水。

本发明的一方式是一种记录介质，其特征在于，记录有如下程序：在通过计算机执行用于控制镀覆装置的动作的程序时，所述计算机对所述镀覆装置进行指令，使所述计算机执行上述镀覆方法。

本发明的一方式是一种镀覆装置，其特征在于，具备：多个镀覆槽，该多个镀覆槽具有多个镀覆单元及多个溢流槽；运输机，该运输机将多个基板输送至所述多个镀覆槽；后处理槽，该后处理槽对由所述多个镀覆槽镀覆后的所述多个基板进行后处理；故障检测器，该故障检测器对所述多个镀覆槽、所述运输机及所述后处理槽的故障进行检测；多个镀覆液供给线，该多个镀覆液供给线分别连接于所述多个镀覆槽；多个镀覆液排出线，该多个镀覆液排出线分别连接于所述多个镀覆槽；以及多个保存液供给线，该多个保存液供给线分别连接于所述多个镀覆槽。

本发明优选的方式的特征在于，还具备多个排液线，该多个排液线分别连接于所述多个镀覆槽。

本发明优选的方式的特征在于，所述多个保存液供给线分别连接于所述多个镀覆单元，所述多个排液线连接于所述多个镀覆单元及所述多个溢流槽。

本发明优选的方式的特征在于，还具备：多个保存液供给阀，该多个保存液供给阀分别安装于所述多个保存液供给线；多个排液阀，该多个排液阀分别安装于所述多个排液线；以及动作控制部，该动作控制部对所述多个保存液供给阀及所述多个排液阀进行操作。

本发明优选的方式的特征在于，还具备镀覆液贮存器，该镀覆液贮存器连接于所述多个镀覆液供给线及所述多个镀覆液排出线。

本发明的其他方式是一种镀覆***，其特征在于，具备：镀覆装置；边缘服务器，该边缘服务器从所述镀覆装置的动作数据提取特征量数据；以及计算机，该计算机基于所述特征量数据对所述镀覆装置的故障进行预测。

发明效果

根据本发明，当在基板的镀覆中在运输机、镀覆槽等发生故障的情况下，将镀覆槽内的镀覆液置换成保存液。取代镀覆液，镀覆后的基板与保存液接触，因此能够防止基板上的金属膜的溶解、变质。进一步，根据本发明，能够选择地仅将多个镀覆槽中的任意一个镀覆槽的镀覆液置换成保存液。因此，能够在其他的镀覆槽中继续基板的镀覆。

附图说明

图1是示意地表示镀覆装置的一实施方式的俯视图。

图2是表示运输机的升降机及臂的主视图。

图3是基板保持架的示意图。

图4是表示基板保持架打开状态的示意图。

图5是表示镀覆槽的图。

图6是表示故障发生后的动作的一例的流程图。

图7是表示将镀覆槽内的镀覆液置换成保存液的工序的一例的流程图。图8是表示取代保存液而由漂洗液置换镀覆液的一实施方式的流程图。图9是表示将镀覆槽内的保存液置换成镀覆液的工序的一例的流程图。图10是表示动作控制部的结构的一例的示意图。

图11是示意地表示镀覆装置的一实施方式的俯视图。

符号说明

1 镀覆装置

2 装载口

3 动作控制部

4 对准器

6 自转·漂洗·干燥机(SRD)

7 故障检测器

8 固定台

10 输送机器人

11 基板保持架

14 存放装置

17 前水洗槽(预湿槽)

18 预浸槽

21 第一漂洗槽

25 镀覆槽

28 第二漂洗槽

29 吹风槽

31 镀覆单元

32 溢流槽

34 桨叶驱动单元

40 运输机

41 移动机构

42 升降机

43 臂

45 把手

51 第一保持部件

52 第二保持部件

52a 第一密封突起

52b 第二密封突起

55 电接点

60 镀覆液供给装置

62 阳极保持架

63 不溶解阳极

65 搅拌桨叶

68 镀覆电源

70 镀覆液贮存器

71 进料器

74 主供给线

74a 镀覆液供给线

76 主排出线

76a 镀覆液排出线

80 泵

81 温度调整器

82 纯水供给线

85 保存液供给线

87 旁通线

89 排液线

91 漂洗线

93 漂洗液供给线

V1 镀覆液供给阀

V2 镀覆液排出阀

V3 保存液供给阀

V4 旁通阀

V5 排液阀

V6 漂洗阀

V7 漂洗液供给阀

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

图1是示意地表示镀覆装置的一实施方式的俯视图。如图1所示，镀覆装置1具备：搭载收纳有晶片等基板的盒的三台的装载口2；控制镀覆装置1的各设备的动作的动作控制部3；以及检测镀覆装置1的各设备的故障的故障检测器7。进一步，镀覆装置1具备：使处理前的基板的定向平面或凹凸的位置在规定的方向上对齐的对准器4；使处理后的基板高速旋转并干燥的自转·漂洗·干燥机(SRD)6；将基板搭载于基板保持架的固定台8；以及输送基板的输送机器人10。输送机器人10构成为能够在装载口2、对准器4、自转·漂洗·干燥机6及固定台8之间输送基板。

另外，在本说明书中，作为“基板”的例，不仅包含半导体基板、玻璃基板、打印电路基板，还包含磁记录介质、磁记录传感器、镜子、光学元件、微小机械元件或者局部制作的集成电路。另外，基板也可以例如在表面具有含有镍或钴的层。另外，基板的形状不限定于圆形，例如也可以是四边形、多边形。

镀覆装置1还具备：收容基板保持架的存放装置14；由纯水等清洗液对基板进行前清洗的前水洗槽(预湿槽)17；蚀刻去除形成于基板的晶种层等的表面的氧化膜的预浸槽18；对表面被蚀刻后的基板进行漂洗的第一漂洗槽21；对基板的表面进行镀覆的多个镀覆槽25；由漂洗液对镀覆后的基板进行漂洗的第二漂洗槽28；以及从漂洗后的基板去除液体的吹风槽29。

多个基板保持架以铅垂姿势并列配置于存放装置14内。吹风槽29构成为通过吹送空气，从而去除残留于由基板保持架保持的基板的表面的液滴来进行干燥。基板在由基板保持架保持的状态下，以前水洗槽17、预浸槽18、第一漂洗槽21、镀覆槽25、第二漂洗槽28及吹风槽29的顺序被输送。在以下的说明中，有时将前水洗槽17、预浸槽18、第一漂洗槽21、镀覆槽25、第二漂洗槽28及吹风槽29总称为处理槽。尤其是，有时将第二漂洗槽28及吹风槽29称为用于进行镀覆后的基板的后处理的后处理槽。

多个镀覆槽25具备：在内部保持镀覆液的多个镀覆单元31；分别与镀覆单元31相邻而配置的多个溢流槽32。镀覆单元31的数量与溢流槽32的数量相同。镀覆槽25是在内部配置有阳极的电解镀覆槽。在本实施方式中，在所有的镀覆槽25中使用一种镀覆液。镀覆液在各镀覆单元31溢流，流入相邻的溢流槽32。保持有基板的基板保持架设置于各镀覆单元31内，以浸渍于镀覆液的状态进行基板的电解镀覆。在镀覆槽25的侧方设有桨叶驱动单元34，该桨叶驱动单元34驱动对各镀覆单元31内的镀覆液进行搅拌的搅拌桨叶(后述)。在一实施方式中，多个镀覆槽25也可以是对基板进行无电解镀覆的多个无电解镀覆槽。

镀覆装置1还具备能够输送基板保持架的运输机40(另外，运输机40也称为基板输送装置)。该运输机40构成为在存放装置14、固定台8、前水洗槽17、预浸槽18、第一漂洗槽21、镀覆槽25、第二漂洗槽28及吹风槽29之间输送基板保持架(及保持于基板保持架的基板)。为了使基板处理的吞吐量提高，运输机40也可以由上游侧运输机和下游侧运输机构成。

运输机40具备：沿水平方向延伸的移动机构41；通过移动机构41而沿水平方向移动的升降机42；以及与升降机42连结的臂43。臂43与升降机42一体地沿水平方向移动，臂43通过升降机42而上升及下降。在本实施方式中，作为使升降机42及臂43沿水平方向移动的驱动源，采用伺服电机与齿条齿轮的组合。

图2是表示运输机40的升降机42及臂43的主视图。升降机42构成为能够使臂43上升及下降。在本实施方式中，作为使臂43上升及下降的驱动源，采用伺服电机与齿条齿轮的组合。基板保持架11保持于臂43，从臂43垂下。

臂43具有把持基板保持架11的把手45。把手45具备：将基板保持架11的悬挂件11a向下方按压的两个气缸45a；以及对基板保持架11的悬挂件11a进行支承的钩45b。钩45b配置于两个气缸45a之间。钩45b具有钩住基板保持架11的悬挂件11a的形状。

在悬挂件11a被钩45b钩住的状态下，气缸45a将悬挂件11a向下方按压，由此基板保持架11被把手45把持。把持于把手45的基板保持架11不摆动而通过运输机40沿铅垂方向及水平方向输送。把手45的结构不限定于本实施方式，只要能够将基板保持架11保持为能够装卸，也可以采用其他结构。

图3是基板保持架11的示意图。基板保持架11具有用于夹持基板W的第一保持部件51和第二保持部件52。第一保持部件51具有支承基板W的支承面51a。第二保持部件52具有：与基板W的周缘部接触的第一密封突起52a；与第一保持部件51接触的第二密封突起52b。第一密封突起52a能够对基板W与第二保持部件52之间的间隙进行封闭，第二密封突起52b能够对第一保持部件51与第二保持部件52之间的间隙进行封闭。第一密封突起52a及第二密封突起52b能够在基板保持架11的内部形成密闭空间，与基板W接触的电接点55配置于该密闭空间内。第二保持部件52具有尺寸比基板W的尺寸稍小的开口部52c。基板W的镀覆面通过该开口部52c露出。基板W以原样保持于基板保持架11的状态在上述各处理槽内被处理。

第二保持部件52能够旋转地连结于第一保持部件51，通过未图示的锁定机构，将第二保持部件52锁定于第一保持部件51。图3表示第二保持部件52锁定于第一保持部件51的状态即基板保持架11关闭的状态。基板W夹持于第一保持部件51与第二保持部件52之间，从而保持于基板保持架11。通过锁定机构的操作将第二保持部件52从第一保持部件51释放时，如图4所示，第二保持部件52能够从基板W分离，能够从基板保持架11取出基板W。图4表示基板保持架11打开的状态。

接着，对如上述构成的镀覆装置1的动作进行说明。首先，通过运输机40的臂43，从存放装置14取出铅垂姿势的基板保持架11。把持有基板保持架11的臂43沿水平方向移动，将基板保持架11交付给固定台8。固定台8将基板保持架11从铅垂姿势转换成水平姿势，并打开基板保持架11(图4中为无基板W的状态)。

输送机器人10从搭载于装载口2的盒取出一片基板，载放于对准器4。对准器4使定向平面或凹凸的位置与规定的方向对齐。输送机器人10从对准器4取出基板，并***固定台8上的基板保持架11。固定台8关闭基板保持架11(参照图3)。

接着，固定台8将基板保持架11从水平姿势转换成铅垂姿势。臂43的把手45把持该竖立状态的基板保持架11，运输机40使基板保持架11沿水平方向移动到前水洗槽17的上方位置。进一步，运输机40的升降机42使臂43与基板保持架11一起下降，在前水洗槽17内的规定的位置设置基板保持架11。在基板保持架11原样保持有基板的状态下，进行基板的前水洗(预湿)。在基板的前水洗结束后，臂43的把手45把持基板保持架11，升降机42使臂43上升，从而将基板保持架11从前水洗槽17拉起。

运输机40接着使基板保持架11沿水平方向移动到预浸槽18的上方位置。进一步，运输机40的升降机42使臂43与基板保持架11一起下降，在预浸槽18内的规定的位置设置基板保持架11。在基板保持架11原样保持基板的状态下，进行基板的表面的蚀刻。在基板的表面的蚀刻结束后，臂43的把手45把持基板保持架11，升降机42使臂43上升，从而将基板保持架11从预浸槽18拉起。

运输机40接着使基板保持架11沿水平方向移动到第一漂洗槽21的上方位置。进一步，运输机40的升降机42使臂43与基板保持架11一起下降，在第一漂洗槽21内的规定的位置设置基板保持架11。在基板保持架11原样保持基板的状态下，进行基板的漂洗。在基板的漂洗结束后，臂43的把手45把持基板保持架11，升降机42使臂43上升，从而将基板保持架11从第一漂洗槽21拉起。

运输机40接着使基板保持架11沿水平方向移动到多个镀覆槽25中的一个的上方位置。进一步，运输机40的升降机42使臂43与基板保持架11一起下降，在镀覆槽25的镀覆单元31内的规定的位置设置基板保持架11。在基板保持架11原样保持基板的状态下，进行基板的镀覆。

直到在所有的镀覆槽25内配置基板位置，相同地执行上述前水洗、蚀刻及漂洗。各基板浸渍于镀覆液直到经过预先设定的镀覆时间，在镀覆时间的期间，执行基板的镀覆。在经过了镀覆时间后，通过臂43从镀覆槽25取出保持于基板保持架11的基板。有时也对多个镀覆槽25设定不同的镀覆时间。

在基板的镀覆结束后，臂43的把手45把持基板保持架11，升降机42使臂43上升，从而将基板保持架11从镀覆单元31拉起。运输机40使基板保持架11沿水平方向移动到第二漂洗槽28的上方位置为止。进一步，运输机40的升降机42使臂43与基板保持架11一起下降，在第二漂洗槽28内的规定的位置设置基板保持架11。在基板保持架11原样保持基板的状态下，进行基板的漂洗。在基板的漂洗结束后，臂43的把手45把持基板保持架11，升降机42使臂43上升，从而将基板保持架11从第二漂洗槽28拉起。

运输机40使基板保持架11沿水平方向移动到吹风槽29的上方位置。进一步，运输机40的升降机42使臂43与基板保持架11一起下降，在吹风槽29内的规定的位置设置基板保持架11。吹风槽29通过吹送空气，从而去除附着于由基板保持架11保持的基板的表面的液滴来进行干燥。在吹风处理结束后，臂43的把手45把持基板保持架11，升降机42使臂43上升，从而将基板保持架11从吹风槽29拉起。

臂43沿水平方向移动，将基板保持架11交付给固定台8。与前述相同，固定台8打开基板保持架11。输送机器人10将处理后的基板从基板保持架11取出，将该基板输送至自转·漂洗·干燥机6。自转·漂洗·干燥机6使基板以高速旋转，从而使基板干燥。输送机器人10将干燥后的基板从自转·漂洗·干燥机6取出，并返回至装载口2的盒。由此，对基板的处理结束。

图5是表示镀覆槽25的图。包含镀覆槽25的镀覆装置1设置于洁净室内。图5中仅示出了图1所示的多个镀覆槽25中的四个。在地下室设置有镀覆液供给装置60。在本实施方式中，各镀覆槽25是用于对晶片等基板电解镀覆铜的镀覆单元，镀覆液供给装置60是用于对镀覆槽25中所使用的镀覆液供给至少包含铜的粉体的镀覆液供给单元。在一实施方式中，镀覆于基板的表面的金属除铜(Cu)以外，也可以是镍(Ni)、锡(Sn)、Sn-Ag合金或者钴(Co)。

在各镀覆单元31内配置有保持于阳极保持架62的不溶解阳极63。进一步，在镀覆单元31中，在不溶解阳极63的周围配置有中性膜(未图示)。镀覆单元31由镀覆液填满，镀覆液在镀覆单元31溢出而流入溢流槽32。在镀覆单元31配置有搅拌桨叶65。该搅拌桨叶65与基板W平行地往复运动来对镀覆液进行搅拌，由此，能够将充分的铜离子及添加剂均匀地供给至基板W的表面。

晶片等基板W保持于基板保持架11，与基板保持架11一起浸渍于镀覆槽25的镀覆单元31内的镀覆液中。不溶解阳极63经由阳极保持架62与镀覆电源68的正极电连接，保持于基板保持架11的基板W经由基板保持架11与镀覆电源68的负极电连接。当通过镀覆电源68对浸渍于镀覆液的不溶解阳极63与基板W之间施加电压时，在镀覆液中发生电化学反应，在基板W的表面上析出铜。这样，对基板W的表面镀覆铜。

动作控制部3具有如下功能：根据流过基板W的电流的累计值，计算镀覆液所含铜离子的浓度。随着基板W被镀覆，镀覆液中的铜被消耗。铜的消耗量与流过基板W的电流的累计值成比例。因此，动作控制部3能够根据电流的累计值，计算镀覆液中的铜离子浓度。在一实施方式中，也可以将测定镀覆液中的铜离子的浓度的浓度测定器设置于至少任意一个镀覆槽25。进一步，也可以基于由该浓度测定器测定出的镀覆液中的铜离子浓度，定期地计算应对镀覆液新补充的氧化铜的粉体量，与计算出的量对应地，每一次在镀覆液供给装置60中，将氧化铜粉体供给至镀覆液中。

镀覆液供给装置60具备：镀覆液贮存器70；以及将氧化铜粉体供给至镀覆液贮存器70的进料器71。作为镀覆液，除了硫酸、硫酸铜及卤素离子之外，使用包含了由SPS(双(3-磺丙基)二硫化物)构成的镀覆促进剂、由PEG(聚乙二醇)等构成的抑制剂及由PEI(聚乙烯亚胺)等构成的匀染剂(平滑化剂)的有机添加物作为添加剂的酸性的硫酸铜镀覆液。作为卤素离子，优选使用氯化物离子。

镀覆槽25与镀覆液供给装置60通过多个镀覆液供给线74a及多个镀覆液排出线76a连接。多个镀覆液供给线74a从镀覆液贮存器70延伸到镀覆槽25的镀覆单元31。更具体而言，多个镀覆液供给线74a分别连接于多个镀覆单元31的底部。在一实施方式中，镀覆液供给线74a也可以分别连接于多个镀覆单元31的侧部。在本实施方式中，多个镀覆液供给线74a集合形成一根主供给线74，该主供给线74连接于镀覆液供给装置60的镀覆液贮存器70。

在镀覆液供给线74a分别安装有镀覆液供给阀V1。动作控制部3构成为控制镀覆液供给阀V1的动作。镀覆液供给阀V1由构成调整镀覆液的流量的流量调整阀构成。动作控制部3能够对多个镀覆液供给阀V1相互独立地进行操作。

多个镀覆液排出线76a从溢流槽32的底部延伸到镀覆液贮存器70。多个镀覆液排出线76a分别连接于多个溢流槽32的底部。在一实施方式中，镀覆液排出线76a也可以分别连接于多个镀覆单元31的侧部。在本实施方式中，多个镀覆液排出线76a集合构成一根主排出线76，该主排出线76连接于镀覆液供给装置60的镀覆液贮存器70。在多个镀覆液排出线76a分别安装镀覆液排出阀V2。镀覆液排出阀V2由构成调整镀覆液的流量的流量调整阀构成。动作控制部3能够对多个镀覆液排出阀V2相互独立地进行操作。

在构成镀覆液供给线74a的主供给线74设置有：用于运送镀覆液的泵80、配置于泵80的下游的温度调整器81。为了将纯水(DIW)补充至镀覆液中，纯水供给线82连接于镀覆液贮存器70。镀覆槽25所使用的镀覆液通过镀覆液排出线76a被送至镀覆液供给装置60，通过镀覆液供给装置60添加了氧化铜粉体后的镀覆液通过镀覆液供给线74a被送至镀覆槽25。泵80可以使镀覆液始终在镀覆槽25与镀覆液供给装置60之间循环，或者也可以将预定量的镀覆液间歇地从镀覆槽25送至镀覆液供给装置60，使添加了氧化铜粉体后的镀覆液从镀覆液供给装置60间歇地返回镀覆槽25。

动作控制部3连接于镀覆液供给装置60的进料器71。当镀覆液中的铜离子浓度低于设定值时，动作控制部3构成为将表示补充要求值的信号送至进料器71。进料器71接收到该信号而将氧化铜粉体添加到镀覆液直到氧化铜粉体的添加量达到补充要求值。动作控制部3也可以是按照程序动作的计算机。

镀覆装置1还具备分别连接于多个镀覆槽25的多个保存液供给线85。在本实施方式中，保存液供给线85连接于镀覆单元31的底部。在这些保存液供给线85分别安装有保存液供给阀V3。在一实施方式中，保存液供给线85也可以连接于镀覆单元31的侧部。当打开保存液供给阀V3时，保存液通过保存液供给线85供给至镀覆单元31。

保存液是如下惰性液体：该惰性液体实质上不在形成于基板的金属膜引起化学反应，能够维持金属膜的状态。具体而言，保存液由如下液体构成：该液体不使形成于基板的金属膜溶解及氧化，并且即使少量的保存液混入镀覆液也不对基板的镀覆造成实质上的影响。作为保存液的例，例举有纯水(DIW)、在至少包含与镀覆液相同成分的pH为4～7的中性或弱酸性的液体中含有表层保护用的添加剂的液体。在以铜对基板进行镀覆时，为了防止铜的氧化，保存液优选是脱气的纯水。

动作控制部3能够对多个保存液供给阀V3相互独立地进行操作。例如，通过打开多个保存液供给阀V3中的一个，从而能够仅对与该保存液供给阀V3连通的镀覆单元31供给保存液。

连接于各镀覆槽25的镀覆液供给线74a与镀覆液排出线76a由旁通线87连接。在旁通线87安装有旁通阀V4。进一步，镀覆装置1具备分别连接于多个镀覆槽25的多个排液线89。各排液线89连接于各镀覆槽25的镀覆单元31及溢流槽32双方的底部。在这些排液线89分别安装有排液阀V5。在一实施方式中，各排液线89也可以连接于各镀覆槽25的镀覆单元31及溢流槽32双方的侧部。

当打开排液阀V5时，保存液从镀覆单元31及溢流槽32通过排液线89排出。动作控制部3能够对多个排液阀V5相互独立地进行操作。例如，通过打开多个排液阀V5中的一个，从而能够仅从与该排液阀V5连通的镀覆单元31及溢流槽32将保存液排出。

进一步，镀覆装置1具备分别连接于多个镀覆槽25的多个冲洗线91。冲洗线91连接于各镀覆单元31的底部。在这些冲洗线91分别安装有冲洗阀V6。在一实施方式中，冲洗线91也可以连接于各镀覆单元31的侧部。当打开冲洗阀V6时，冲洗液通过冲洗线91供给至镀覆单元31。动作控制部3能够对多个冲洗阀V6相互独立地进行操作。例如，通过打开多个冲洗阀V6中的一个，从而能够仅对与该冲洗阀V6连通的镀覆单元31供给冲洗液。

进一步，镀覆装置1具备分别连接于多个镀覆槽25的多个漂洗液供给线93。漂洗液供给线93连接于各镀覆单元31的底部。在这些漂洗液供给线93分别安装有漂洗液供给阀V7。在一实施方式中，漂洗液供给线93也可以连接于各镀覆单元31的侧部。当打开漂洗液供给阀V7时，漂洗液通过漂洗液供给线93供给至镀覆单元31。动作控制部3能够对多个漂洗液供给阀V7相互独立地进行操作。例如，通过打开多个漂洗液供给阀V7中的一个，从而能够仅对与该漂洗液供给阀V7连通的镀覆单元31供给漂洗液。

镀覆装置1具备故障检测器7，该故障检测器7基于从各处理槽及运输机40发送来的信号，对故障的发生进行检测，并发出表示故障的发生的警报信号。当动作控制部3从故障检测器7接收到警报信号时，对上述镀覆液供给阀V1、镀覆液排出阀V2、保存液供给阀V3及旁通阀V4进行操作，将至少一个镀覆槽25内的镀覆液置换成保存液。镀覆后的基板浸渍于保存液中，能够维持形成于基板的金属膜的状态。在本说明书中，将镀覆槽25内的镀覆液置换成保存液的动作是指从镀覆槽25排出镀覆液，之后对镀覆槽25内供给保存液的动作。

将镀覆槽25内的镀覆液置换成保存液的理由如下。当在基板的镀覆中镀覆装置1发生故障时，会有无法从镀覆槽25取出基板的情况。尤其是，若在基板的镀覆中发生运输机40的故障、镀覆槽25的故障、第二漂洗槽28的故障等，则实质上无法使基板移动到下一工序。其结果是，基板以浸渍于镀覆液中的状态而放置于镀覆槽25内。若基板长时间与镀覆液接触，则堆积于基板的金属膜被镀覆液溶解或变质。因此，为了拯救基板，在通过故障检测器7检测到故障的情况下，镀覆槽25内的镀覆液被置换成保存液。以下记载需要将镀覆液置换成保存液的故障的具体例。

1.运输机40的故障：

(i)把手

图2所示的把手45的开位置及闭位置通过把手传感器(未图示)进行检测。这些把手传感器在把手45到达规定的开位置时及把手45到达规定的闭位置上，将把手检测信号发送给故障检测器7。当故障检测器7在设定时间内未接收到把手检测信号时，将表示运输机40的故障的警报信号发送给动作控制部3。

(ii)伺服电机

在对使臂43上下移动的伺服电机施加过负荷的情况下，或在对使臂43水平移动的伺服电机施加过负荷的情况下，过负荷信号从伺服电机的驱动器发送给故障检测器7。故障检测器7接收到过负荷信号时，将表示运输机40的故障的警报信号发送给动作控制部3。

(iii)臂43的绝对位置消失

上述伺服电机在臂43的绝对位置消失时，位置消失信号从伺服电机的驱动器发送给故障检测器7。故障检测器7接收到位置消失信号时，将表示运输机40的故障的警报信号发送给动作控制部3。

2.镀覆槽25的夹持机构的故障

基板保持架11通过夹持机构(未图示)固定于镀覆单元31，以使得在镀覆处理中基板保持架11不会由于搅拌桨叶65的摆动而摆动。在镀覆处理后，夹持机构向非夹持位置移动，释放基板保持架11。在夹持机构移动到非夹持位置时，夹持机构将非夹持信号发送给故障检测器7。当故障检测器7在设定时间内未接收到非夹持信号时，将表示镀覆槽25的夹持机构的故障的警报信号发送给动作控制部3。

3.镀覆电源68的故障

(i)镀覆电压

在镀覆槽25中的镀覆处理中，镀覆电源68对基板及阳极63施加镀覆电压。当镀覆电源68检测该镀覆电压超过上限值时，镀覆电源68将电压错误信号发送给故障检测器7。故障检测器7接收到电压错误信号时，将表示镀覆槽25的镀覆电源68的故障的警报信号发送给动作控制部3。

(ii)通信

在开始镀覆处理时，在规定时间内故障检测器7未从镀覆电源68接收到对于通信命令的应答信号时，故障检测器7将表示镀覆槽25的镀覆电源68的故障的警报信号发送给动作控制部3。

4.第二漂洗槽28的故障

(i)第二漂洗槽28内的液面水平

第二漂洗槽28构成为对其内部注入漂洗液(例如纯水)，使镀覆后的基板浸渍于漂洗液中从而漂洗基板。第二漂洗槽28具备：检测液面的上限水平传感器、高水平传感器、低水平传感器这三个水平传感器(未图示)。上限水平传感器、高水平传感器及低水平传感器在检测出液面时发出上限水平检测信号、高水平检测信号及低水平检测信号。

故障检测器7接收到上限水平检测信号时，将表示第二漂洗槽28的故障的警报信号发送给动作控制部3。

(ii)水平传感器

与是否从高水平传感器接收到高水平检测信号无关，在未从低水平传感器接收到低水平检测信号的情况下，故障检测器7将表示第二漂洗槽28的故障即低水平传感器的故障的警报信号发送给动作控制部3。

(iii)漂洗液的压力

在用于将漂洗液供给至第二漂洗槽28的漂洗液供给线连接有压力传感器(未图示)。该压力传感器构成为对漂洗液供给线内的漂洗液的压力进行测定。在漂洗液的压力小于下限值时，压力传感器将下限检测信号发送给故障检测器7。故障检测器7接收到下限检测信号时，将表示第二漂洗槽28的故障的警报信号发送给动作控制部3。

5.吹风槽29的故障

通过压力传感器测定向基板吹送的气体(例如氮气)的压力。在气体的压力小于下限值时，压力传感器将下限检测信号发送给故障检测器7。故障检测器7接收到下限检测信号时，将表示吹风槽29的故障的警报信号发送给动作控制部3。

动作控制部3接收到上述的警报信号时，对镀覆液供给阀V1、镀覆液排出阀V2、保存液供给阀V3及旁通阀V4进行操作，将至少一个镀覆槽25内的镀覆液置换成保存液。以下，对将镀覆槽25内的镀覆液置换成保存液的工序的实施方式进行说明。在以下的说明中，有时将第二漂洗槽28及吹风槽29总称为后处理槽。

图6是表示故障发生后的动作的一例的流程图。故障检测器7基于来自运输机40、镀覆槽25、第二漂洗槽28或吹风槽29的信号来检测故障，将表示镀覆装置的故障的发生的警报信号发送给动作控制部3(步骤1)。动作控制部3对镀覆液供给阀V1、镀覆液排出阀V2、保存液供给阀V3及旁通阀V4进行操作，将镀覆槽25内的镀覆液置换成保存液(步骤2)。基板浸渍于保存液中。镀覆液向保存液的置换也可以在经过了预先设定的镀覆时间后，即在基板的镀覆结束后执行。

在运输机40正常发挥功能的情况下，将基板从镀覆槽25取出(步骤3)。在运输机40发生故障的情况下，也可以用手将基板从镀覆槽25取出。在镀覆装置1从故障复原后(步骤4)，动作控制部3对镀覆液供给阀V1、镀覆液排出阀V2、保存液供给阀V3及旁通阀V4进行操作，将镀覆槽25内的保存液置换成镀覆液(步骤5)。镀覆槽25能够在下一基板的镀覆中使用(步骤6)。

在有由于向保存液的置换而导致阳极63的表面被氧化的担忧的情况下，也可以在变回镀覆液后在阳极63与基板之间施加逆电压，从而去除阳极63的表面的氧化膜。也可以在镀覆槽25变回镀覆液后，再次执行留存于镀覆槽25内的基板的镀覆。在该情况下，也可以在镀覆槽25刚变回镀覆液后，对阳极63与基板之间施加一次逆电压，去除阳极63的表面的氧化膜后进行镀覆再处理。具体而言，能够计算留存于镀覆槽25内的基板的前次镀覆的刚中断后或刚结束后起的经过时间，对假设在该经过时间的期间溶解的膜厚及用于到达目标膜厚的镀覆时间、镀覆电流等的方案条件进行设定来进行镀覆再处理。

另外，假设在留存于镀覆槽25内的基板的前次镀覆的刚中断后或刚结束后起的经过时间的期间溶解的膜厚因基板的膜种类而不同。因此，例如，也可以将表示基板的种类、经过时间、假设在该期间溶解的膜厚的关系的数据库预先保存于动作控制部3的存储部，使用该数据库来设定方案条件。

基板的镀覆在经过了预先设定的镀覆时间时结束。对于每个镀覆槽25预先设定基板的镀覆时间。镀覆时间也可以对于每个镀覆槽25不同。多个基板随着某程度的时间差而被投入多个镀覆槽25。因此，通常基板的镀覆结束的时间对于每个镀覆槽25不同。

当仅在多个镀覆槽25中的一个发生了故障(例如，镀覆电源68或夹持机构发生了故障)的情况下，仅该镀覆槽25内的镀覆液被置换成保存液。在该镀覆槽25能够继续进行基板的镀覆的情况下，对于该镀覆槽25在经过了预先设定的镀覆时间后(即，该镀覆槽25内的基板的镀覆结束后)，镀覆液被置换成保存液。

在需要将所有的镀覆槽25内的镀覆液置换成保存液的情况下(例如，在运输机40、第二漂洗槽28或吹风槽29发生了故障的情况下)，以对于每个镀覆槽25预先设定的镀覆时间所经过的顺序(即，以基板的镀覆结束的顺序)，各镀覆槽25内的镀覆液被置换成保存液。根据这样的动作，能够在所有的镀覆槽25中使所有的基板的镀覆结束。

接着，关于将镀覆槽25内的镀覆液置换成保存液的工序的一例，参照图7所示的流程图进行说明。动作控制部3对镀覆液供给阀V1及镀覆液排出阀V2进行操作，使镀覆液在镀覆槽25与镀覆液贮存器70之间循环(步骤1)。更具体而言，镀覆液从镀覆液贮存器70被运送至镀覆单元31，在镀覆单元31溢出而流入溢流槽32内，从溢流槽32返回镀覆液贮存器70。在一实施方式中，打开镀覆液供给阀V1及镀覆液排出阀V2，使镀覆液在镀覆槽25与镀覆液贮存器70之间连续地循环。在其他实施方式中，使镀覆液排出阀V2保持全开，使镀覆液供给阀V1以规定的时间间隔开闭，从而使镀覆液在镀覆槽25与镀覆液贮存器70之间间歇性地循环。

动作控制部3接收到警报信号时，关闭镀覆液供给阀V1，接着打开旁通阀V4。在从多个镀覆槽25中的任意一个镀覆槽接收到警报信号的情况下，为了防止向其他的镀覆槽25的镀覆液的流量的增加，优选动作控制部3从1秒～60秒逐渐地关闭镀覆液供给阀V1。在镀覆液供给阀V1关闭时，向镀覆槽25的镀覆液的供给停止。镀覆液排出阀V2设为全开。镀覆单元31内的镀覆液通过旁通线87流入镀覆液排出线76a。因此，镀覆单元31及溢流槽32内的镀覆液通过镀覆液排出线76a被运送(排出)至镀覆液贮存器70(步骤2)。

在由未图示的液面传感器检测到镀覆单元31内的镀覆液的液面下降到低水平的情况后，动作控制部3关闭镀覆液排出阀V2及旁通阀V4，接着打开保存液供给阀V3。保存液通过保存液供给线85供给至镀覆单元31(步骤3)。镀覆单元31内的镀覆液被置换成保存液，镀覆单元31内的基板浸渍于保存液。

在由未图示的液面传感器检测到镀覆单元31内的保存液的液面上升到高水平的情况后，动作控制部3使计时器开始(步骤4)。保存液在镀覆单元31溢出而流入溢流槽32。计时器开始起，在经过了预先设定的溢流时间时，动作控制部3关闭保存液供给阀V3。由此，停止保存液的向镀覆单元31的供给(步骤5)。

在保存液为纯水的情况下，也可以代替溢流时间的监视，而在保存液的导电电阻到达阈值时关闭保存液供给阀V3。阈值例如从1M～18MΩ的范围选择。在保存液为弱酸性的情况下，也可以在保存液的pH成为设定范围内(例：6～7)时关闭保存液供给阀V3。为了抑制保存液的使用量，也可以使保存液周期性地溢出。例如，也可以以一分钟间隔使保存液溢出几秒。

接着，关于取代保存液而由漂洗液置换镀覆液的一实施方式，参照图8所示的流程图进行说明。在该实施方式中，以如下方式由漂洗液置换镀覆液。动作控制部3对镀覆液供给阀V1及镀覆液排出阀V2进行操作，使镀覆液在镀覆槽25与镀覆液贮存器70之间连续地或间歇性地循环(步骤1)。动作控制部3接收到警报信号时，关闭镀覆液供给阀V1，接着打开旁通阀V4。如上所述，镀覆液供给阀V1也可以逐渐地关闭。关闭镀覆液供给阀V1时，停止向镀覆槽25的镀覆液的供给。

使镀覆液排出阀V2全开。镀覆单元31内的镀覆液通过旁通线87流入镀覆液排出线76a。因此，镀覆单元31及溢流槽32内的镀覆液通过镀覆液排出线76a被运送(排出)至镀覆液贮存器70(步骤2)。在由未图示的液面传感器检测到镀覆单元31内的镀覆液的液面下降到低水平的情况后，动作控制部3关闭镀覆液排出阀V2及旁通阀V4，接着打开漂洗液供给阀V7。漂洗液通过漂洗液供给线93供给至镀覆单元31，基板在镀覆单元31内由漂洗液漂洗(步骤3)。

镀覆槽25的镀覆单元31内的基板的漂洗与第二漂洗槽28的基板的漂洗以相同的方式执行。具体而言，打开漂洗液供给阀V7将漂洗液供给至镀覆单元31，由漂洗液填满镀覆单元31。保持于基板保持架11的基板由漂洗液漂洗。之后，打开排液阀V5从镀覆单元31(及溢流槽32)排出漂洗液。反复多次这样的漂洗液的供给及排出。

在基板的漂洗结束后，打开漂洗液供给阀V7再次将漂洗液供给至镀覆单元31。在由漂洗液填满镀覆单元31后，关闭漂洗液供给阀V7。维持基板浸渍于漂洗液的状态(步骤4)。作为漂洗液，使用纯水，更优选使用脱气后的纯水。在该实施方式中，漂洗液作为保存液发挥功能。

接着，关于将镀覆槽25内的保存液置换成镀覆液的工序的一例，参照图9所示的流程图进行说明。在从镀覆槽25取出基板保持架11后，动作控制部3打开排液阀V5，从镀覆单元31及溢流槽32排出保存液(步骤1)。在由未图示的液面传感器检测到镀覆单元31内的保存液的液面下降到低水平的情况后，动作控制部3关闭排液阀V5，由此，停止保存液的排出(步骤2)。

接着，动作控制部3打开冲洗阀V6，将冲洗液供给至镀覆单元31内(步骤3)。由冲洗液清洗镀覆单元31。可以在打开冲洗阀V6的同时，打开排液阀V5，或者在打开冲洗阀V6后打开排液阀V5。由冲洗液进行的镀覆单元31的清洗也可以省略。

动作控制部3打开镀覆液供给阀V1及镀覆液排出阀V2，开始从镀覆液贮存器70向镀覆单元31的镀覆液的供给(步骤4)。当在其他的镀覆槽25进行基板的镀覆的情况下，为了防止向其他的镀覆槽25的镀覆液的流量的减少，优选动作控制部3从1秒～60秒逐渐地打开镀覆液供给阀V1。

在由未图示的液面传感器检测到镀覆单元31内的镀覆液的液面上升到高水平的情况后，在镀覆槽25与镀覆液贮存器70之间开始镀覆液的循环(步骤5)。进一步，调整镀覆液的循环流量，进一步进行镀覆液的成分调整(步骤6)。

根据本实施方式，多个保存液供给线85分别连接于多个镀覆槽25。根据这样的配置，能够对于多个镀覆槽25的每一个将镀覆液单独地置换成保存液。例如，在多个镀覆槽25中的一个发生了故障的情况下，能够将该镀覆槽25内的镀覆液置换成保存液，另一方面在其他的镀覆槽25中继续基板的镀覆。

保存液供给线85及排液线89与镀覆液供给线74a及镀覆液排出线76a分开设置，因此保存液不混入镀覆液，不稀释镀覆液。进一步，对每个镀覆槽25设置溢流槽32，因此即使使保存液从镀覆单元31溢出，保存液也不混入其他的镀覆槽25中的镀覆液。

在运输机40及后处理槽(第二漂洗槽28、吹风槽29)的任意一个发生了故障的情况下，无法将所有的基板从镀覆槽25取出。因此，所有的镀覆槽25内的镀覆液被置换成保存液，所有的镀覆槽25内的基板浸渍于保存液。在该情况下，多个基板在经过对于每个镀覆槽25预先设定的镀覆时间为止在多个镀覆槽内分别被镀覆，并且，以镀覆时间经过的顺序，镀覆液被置换成保存液。通常，根据基板的种类，对镀覆槽25设定不同的镀覆时间。根据本实施方式，多个保存液供给线85分别连接于多个镀覆槽25，因此能够在不同时刻将镀覆槽25内的镀覆液置换成保存液。

包含运输机40、镀覆槽25等的镀覆装置的动作由动作控制部3控制。在本实施方式中，动作控制部3由专用的计算机或通用的计算机构成。图10是表示动作控制部3的结构的示意图。动作控制部3具备：存储有程序、数据等的存储装置110；按照存储于存储装置110的程序而进行运算的CPU(中央处理装置)等处理装置120；用于将数据、程序及各种信息输入存储装置110的输入装置130；用于输出处理结果、处理后的数据的输出装置140；以及用于与因特网等网络连接的通信装置150。

存储装置110具备：处理装置120能够访问的主存储装置111；以及存储数据及程序的辅助存储装置112。主存储装置111是例如随机存取存储器(RAM)、辅助存储装置112、硬盘驱动器(HDD)或固态硬盘(SSD)等存储装置。

输入装置130具备键盘、鼠标，还具备：用于从记录介质读入数据的记录介质读入装置132；以及与记录介质连接的记录介质端口134。记录介质是作为非临时有形物体的计算机能够读取的记录介质，是例如光盘(例如CD-ROM、DVD-ROM)、半导体存储器(例如USB闪存驱动器、存储卡)。作为记录介质读入装置132的例，例举有CD驱动器，DVD驱动器等光学驱动器、读卡器。作为记录介质端口134的例，例举有USB端子。记录于记录介质的程序和/或数据经由输入装置130导入动作控制部3，存储于存储装置110的辅助存储装置112。输出装置140具备显示装置141、印刷装置142。印刷装置142也可以省略。

动作控制部3按照电存储于存储装置110的程序而动作。即，动作控制部3从故障检测器7接收到警报信号时，选择性地对上述的阀V1～V7进行操作，执行将镀覆单元内的镀覆液置换成保存液(或漂洗液)的步骤。用于使动作控制部3执行这些步骤的程序记录于作为非临时有形物体的计算机能够读取的记录介质，经由记录介质提供给动作控制部3。或者，程序也可以经由因特网等通信网络而提供给动作控制部3。

图11是表示镀覆装置的一实施方式的示意图。运输机40、镀覆槽25、第二漂洗槽28或吹风槽29发出的上述信号被送至故障检测器7，在此进行故障检测。另外，运输机40、镀覆槽25、第二漂洗槽28或吹风槽29将自身的动作数据(传感器测定数据、伺服电机的负荷数据等)以规定时间间隔或固定地发送至动作控制部3。在本实施方式中，动作控制部3的一部分也可以由可编程逻辑控制器构成。动作数据以规定时间间隔或固定地从动作控制部3送至无线模块211，进一步从无线模块211通过无线通信发送至无线模块212。

无线模块212与由计算机构成的边缘服务器213连接。该边缘服务器213配置于运输机40、镀覆槽25、第二漂洗槽28及吹风槽29附近。边缘服务器213从运输机40、镀覆槽25、第二漂洗槽28或吹风槽29发出的上述动作数据提取特征量数据，从而向容易解析的数据转换。由此压缩数据容量，之后，将提取出的特征量数据向通过网络连接的计算机214发送。计算机214发挥如下功能：一边积累特征量数据一边进行机械学习，预测镀覆装置1的故障。另外，无线模块211、212是例示，也可以通过LAN等有线通信来连接动作控制部3与边缘服务器213。同样的，图11所示的“无线通信”也可以是有线通信。

计算机214在预测到镀覆装置1的故障的情况下，通知操作者，在手动运转模式的情况下，操作者能够选择如下任一选项：停止新基板的向镀覆装置1的投入，或者，将在镀覆刚结束后立即对于每个镀覆槽25依次由保存液置换镀覆液这一单位的控制指令向动作控制部3发送。或者，在自动运转模式的情况下，停止新基板的向镀覆装置1的投入，并且将在镀覆刚结束后对于每个镀覆槽25依次由保存液置换镀覆液这一单位的控制指令向动作控制部3发送。在进行在镀覆结束后对于每个镀覆槽25依次由保存液置换镀覆液的操作的情况下，动作控制部3将用于对上述阀V1～V7进行操作的指令信号送至阀V1～V7。

根据本实施方式，远程配置的计算机214能够预测故障，并基于该预测结果，向动作控制部3发送控制信号。进一步，操作者也可以参照始终监视的镀覆装置1的工作状况和从计算机214导出的镀覆装置1的故障的预测信息，不将镀覆液置换成保存液，而从计算机214发送用于使故障的设备停止的控制指令。例如，假设在镀覆时间为一小时、运输机40的维护时间为十分钟左右结束的情况下，也可以不将镀覆液置换成保存液，为了维护而使运输机40停止。进一步，操作者也可以将用于取代保存液而由漂洗液置换镀覆液的控制指令从计算机214向动作控制部3发送。但是，若在由于无线模块的故障等而通信中断的情况下，动作控制部3也能够执行相同的控制。

上述本发明的实施方式也能够应用于无电解镀覆装置及无电解镀覆方法。

上述实施方式是以具有本发明所属的技术领域中的通常的知识的人能够实施本发明为目的而记载的。本领域技术人员当然能够实施上述实施方式的各种各样的变形例，本发明的技术思想也能够应用于其他实施方式。因此，本发明不限定于记载的实施方式，在按照由权利要求的范围定义的技术思想的最广泛的范围中做解释。

Claims (19)

1.一种镀覆方法，其特征在于，

由运输机将多个基板分别输送至多个镀覆槽，

使所述多个基板浸渍于所述多个镀覆槽内的镀覆液，并对该多个基板进行镀覆，

对在所述运输机或后处理槽发生了故障的情况进行检测，

由保存液置换所述多个镀覆槽内的镀覆液，并使所述多个基板浸渍于保存液中。

2.根据权利要求1所述的镀覆方法，其特征在于，

以对于所述多个镀覆槽中的每一个镀覆槽预先设定的镀覆时间已经过的顺序，由保存液置换所述多个镀覆槽内的镀覆液，并使所述多个基板浸渍于保存液中。

3.根据权利要求1或2所述的镀覆方法，其特征在于，

所述多个镀覆槽具备多个镀覆单元和多个溢流槽，

在所述镀覆液的置换后，使所述保存液从所述多个镀覆单元溢出并流入所述多个溢流槽。

4.根据权利要求1所述的镀覆方法，其特征在于，

还包含如下工序：将所述多个镀覆槽内的镀覆液运送至镀覆液贮存器。

5.根据权利要求4所述的镀覆方法，其特征在于，还包含如下工序：

从所述多个镀覆槽排出所述保存液，

从所述镀覆液贮存器向所述多个镀覆槽供给镀覆液。

6.根据权利要求1所述的镀覆方法，其特征在于，

所述保存液是纯水或者脱气后的纯水。

7.一种镀覆方法，其特征在于，

由运输机将多个基板分别输送至多个镀覆槽，

使所述多个基板浸渍于所述多个镀覆槽内的镀覆液，并对该多个基板进行镀覆，

在所述多个基板的镀覆中对在所述多个镀覆槽中的任意一个镀覆槽发生了故障的情况进行检测，

由保存液置换发生了所述故障的镀覆槽内的镀覆液，并使基板浸渍于保存液中。

8.根据权利要求7所述的镀覆方法，其特征在于，

由保存液置换发生了所述故障的镀覆槽内的镀覆液，并使基板浸渍于保存液中，另一方面，在其他的镀覆槽中继续基板的镀覆。

9.根据权利要求7或8所述的镀覆方法，其特征在于，

所述镀覆槽具备镀覆单元和溢流槽，

在所述镀覆液的置换后，使所述保存液从所述镀覆单元溢出并流入所述溢流槽。

10.根据权利要求7所述的镀覆方法，其特征在于，

还包含如下工序：将所述镀覆槽内的镀覆液运送至镀覆液贮存器。

11.根据权利要求10所述的镀覆方法，其特征在于，还包含如下工序：

从所述镀覆槽排出所述保存液，

从所述镀覆液贮存器向所述镀覆槽供给镀覆液。

12.根据权利要求7所述的镀覆方法，其特征在于，

所述保存液是纯水或者脱气后的纯水。

13.一种记录介质，其特征在于，

记录有如下程序：在通过计算机执行用于控制镀覆装置的动作的程序时，所述计算机对所述镀覆装置进行指令，使所述计算机执行权利要求1-12中任一项所述的镀覆方法。

14.一种镀覆装置，其特征在于，具备：

多个镀覆槽，该多个镀覆槽具有多个镀覆单元及多个溢流槽；

运输机，该运输机将多个基板输送至所述多个镀覆槽；

后处理槽，该后处理槽对由所述多个镀覆槽镀覆后的所述多个基板进行后处理；

故障检测器，该故障检测器对所述多个镀覆槽、所述运输机及所述后处理槽的故障进行检测；

多个镀覆液供给线，该多个镀覆液供给线分别连接于所述多个镀覆槽；

多个镀覆液排出线，该多个镀覆液排出线分别连接于所述多个镀覆槽；以及

多个保存液供给线，该多个保存液供给线分别连接于所述多个镀覆槽。

15.根据权利要求14所述的镀覆装置，其特征在于，

还具备多个排液线，该多个排液线分别连接于所述多个镀覆槽。

16.根据权利要求15所述的镀覆装置，其特征在于，

所述多个保存液供给线分别连接于所述多个镀覆单元，

所述多个排液线连接于所述多个镀覆单元及所述多个溢流槽。

17.根据权利要求15或16所述的镀覆装置，其特征在于，还具备：

多个保存液供给阀，该多个保存液供给阀分别安装于所述多个保存液供给线；

多个排液阀，该多个排液阀分别安装于所述多个排液线；以及

动作控制部，该动作控制部对所述多个保存液供给阀及所述多个排液阀进行操作。

18.根据权利要求14所述的镀覆装置，其特征在于，

还具备镀覆液贮存器，该镀覆液贮存器连接于所述多个镀覆液供给线及所述多个镀覆液排出线。

19.一种镀覆***，其特征在于，具备：

权利要求14所述的镀覆装置；

边缘服务器，该边缘服务器从所述镀覆装置的动作数据提取特征量数据；以及

计算机，该计算机基于所述特征量数据对所述镀覆装置的故障进行预测。