CN108531982A - 一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板 - Google Patents
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- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 22
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 title claims abstract description 18
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 9
- 150000001722 carbon compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 8
- 238000005266 casting Methods 0.000 abstract description 5
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 abstract description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- CKUAXEQHGKSLHN-UHFFFAOYSA-N [C].[N] Chemical compound [C].[N] CKUAXEQHGKSLHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 229910052571 earthenware Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 235000008216 herbs Nutrition 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B28/00—Production of homogeneous polycrystalline material with defined structure
- C30B28/04—Production of homogeneous polycrystalline material with defined structure from liquids
- C30B28/06—Production of homogeneous polycrystalline material with defined structure from liquids by normal freezing or freezing under temperature gradient
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
- C30B29/06—Silicon
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本发明提出一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板,包括盖板本体,盖板本体中开设有进气孔,盖板本体下方装设有气流挡板,该气流挡板的位置与进气孔位置对应,盖板本体与气流挡板之间留有供气流排出的间隙。该用于多晶硅铸锭坩埚的盖板在进气孔周围开设挂孔,然后通过碳/碳悬挂螺杆在下面悬挂气流挡板,并在气流挡板中心开设测温孔,进气管出来的气流直接吹在气流挡板上,并向四周分散,由于气流反弹面的上升,将有利于减少涡流的产生,使得多晶硅铸锭表面的杂质减少,有利于提升产品质量。
Description
技术领域
本发明涉及多晶硅生产设备,尤其涉及一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板。
背景技术
金刚线切多晶随着制绒难题的解决已出现爆发式增长,金刚线切多晶面临着诸多的挑战,其中最主要的挑战就是杂质含量。相比单晶硅,铸造多晶硅锭较高的碳氮杂质在切割过程中会造成切线痕及TTV、钢线磨损、断线等不良发生,反应到电池端则为低效及漏电等电性能不良。杂质含量将成为金刚线切割细线化进程的最大障碍。常用的多晶硅铸锭坩埚在生产过程中从进气管出来的氩气直接吹在硅锭表面,然后气流从坩埚护板的开孔处流出,这样容易在坩埚的角部等区域形成涡流,使该区域杂质不易排出。因此,有必要对这种多晶硅铸锭坩埚进行结构优化,以克服上述缺陷。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板,以改善硅锭顶部的气流流向,更好的将杂质排出。
本发明为解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板,包括盖板本体,盖板本体中开设有进气孔,盖板本体下方装设有气流挡板,该气流挡板的位置与进气孔位置对应,盖板本体与气流挡板之间留有供气流排出的间隙。
在本发明的一个实施例中,进气孔及气流挡板均为圆形,进气孔的中轴线与气流挡板的中轴线重合,气流挡板的直径大于进气孔的直径。
进一步,气流挡板中开设有测温孔,测温孔的中轴线与进气孔的中轴线重合,并且测温孔的直径小于进气孔的直径。
在本发明的一个实施例中,盖板本体中开设有一组挂孔,各挂孔围绕进气孔顺次排布,气流挡板边缘开设有一组勾孔,各勾孔围绕测温孔顺次排布,勾孔与挂孔位置对应,盖板本体与气流挡板之间设有一组悬挂螺杆,悬挂螺杆顶端伸入挂孔中,与盖板本体连接,其底端伸入勾孔中,与气流挡板连接,使气流挡板悬挂于盖板本体下方;悬挂螺杆采用碳/碳复合材料制作。
本发明的优点在于:
该用于多晶硅铸锭坩埚的盖板在进气孔周围开设挂孔,然后通过碳/碳悬挂螺杆在下面悬挂气流挡板,并在气流挡板中心开设测温孔,进气管出来的气流直接吹在气流挡板上,并向四周分散,由于气流反弹面的上升,将有利于减少涡流的产生,使得多晶硅铸锭表面的杂质减少,有利于提升产品质量。
附图说明
图1是本发明提出的用于多晶硅铸锭坩埚的盖板的结构示意图;
图2是该盖板的侧视图;
图3是该盖板的俯视图。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合图示与具体实施例,进一步阐述本发明。
如图1、图2、图3所示,本发明提出的用于多晶硅铸锭坩埚的盖板包括盖板本体1,盖板本体中开设有进气孔2,盖板本体下方装设有气流挡板3,该气流挡板的位置与进气孔位置对应,盖板本体与气流挡板之间留有供气流排出的间隙。在本实施例中,进气孔及气流挡板均为圆形,进气孔的中轴线与气流挡板的中轴线重合,气流挡板的直径大于进气孔的直径。进一步,气流挡板中开设有测温孔4,测温孔的中轴线与进气孔的中轴线重合,并且测温孔的直径小于进气孔的直径。在本实施例中,盖板本体中开设有一组挂孔5,各挂孔围绕进气孔顺次排布,气流挡板边缘开设有一组勾孔6,各勾孔围绕测温孔顺次排布,勾孔与挂孔位置对应,盖板本体与气流挡板之间设有一组悬挂螺杆7,悬挂螺杆顶端伸入挂孔中,与盖板本体连接,其底端伸入勾孔中,与气流挡板连接,使气流挡板悬挂于盖板本体下方;本实施例中,悬挂螺杆采用碳/碳复合材料制作;气流挡板的直径约220mm,盖板本体与气流挡板之间的距离约36mm。该用于多晶硅铸锭坩埚的盖板在进气孔周围开设挂孔,然后通过碳/碳悬挂螺杆在下面悬挂气流挡板,并在气流挡板中心开设测温孔,进气管出来的气流直接吹在气流挡板上,并向四周分散,由于气流反弹面的上升,将有利于减少涡流的产生,使得多晶硅铸锭表面的杂质减少,有利于提升产品质量。
以上实施方式只为说明本发明的技术构思及特点,其目的在于让本领域的技术人员了解本发明的内容并加以实施,并不能以此限制本发明的保护范围,凡根据本发明精神实质所做的等效变化或修饰,都应涵盖在本发明的保护范围内。
Claims (5)
1.一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板,其特征在于:
包括盖板本体,盖板本体中开设有进气孔,盖板本体下方装设有气流挡板,该气流挡板的位置与进气孔位置对应,盖板本体与气流挡板之间留有供气流排出的间隙。
2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板,其特征在于:
进气孔及气流挡板均为圆形,进气孔的中轴线与气流挡板的中轴线重合,气流挡板的直径大于进气孔的直径。
3.根据权利要求2所述的一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板,其特征在于:
气流挡板中开设有测温孔,测温孔的中轴线与进气孔的中轴线重合,并且测温孔的直径小于进气孔的直径。
4.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板,其特征在于:
盖板本体中开设有一组挂孔,各挂孔围绕进气孔顺次排布,气流挡板边缘开设有一组勾孔,各勾孔围绕测温孔顺次排布,勾孔与挂孔位置对应,盖板本体与气流挡板之间设有一组悬挂螺杆,悬挂螺杆顶端伸入挂孔中,与盖板本体连接,其底端伸入勾孔中,与气流挡板连接,使气流挡板悬挂于盖板本体下方。
5.根据权利要求4所述的一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板,其特征在于:
悬挂螺杆采用碳/碳复合材料制作。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810494016.0A CN108531982A (zh) | 2018-05-22 | 2018-05-22 | 一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810494016.0A CN108531982A (zh) | 2018-05-22 | 2018-05-22 | 一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN108531982A true CN108531982A (zh) | 2018-09-14 |
Family
ID=63472489
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810494016.0A Pending CN108531982A (zh) | 2018-05-22 | 2018-05-22 | 一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN108531982A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109321972A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-02-12 | 扬州荣德新能源科技有限公司 | 一种多晶炉内载气导流装置 |
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-
2018
- 2018-05-22 CN CN201810494016.0A patent/CN108531982A/zh active Pending
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