CN108475651A - 具有改进衬底保持件及门闩锁协助机构的衬底容器 - Google Patents

Abstract

本发明揭示一种衬底容器，其具有安装到偏置致动连杆组的衬底保持件及具有闩锁协助的门组合件。本发明揭示用于将所述衬底保持件偏置于衬底非接合位置中的各种配置。所述偏置帮助防止所述衬底保持件归因于摩擦力而意外停机，所述摩擦力原本可能抵消原本所依赖用来脱离的重力。所述组合件也可包含积极地将所述衬底保持件固定到所述致动连杆组的保持夹。所述闩锁协助提供递送所存储能量以协助将所述门组合件闩锁于所述衬底载体及从所述衬底载体解锁所述门组合件的弹簧。所述闩锁协助进一步提供将所述闩锁机构偏置在解锁或完全闩锁配置中的偏心力。

Description

具有改进衬底保持件及门闩锁协助机构的衬底容器

相关申请案的交叉参考

本申请案主张2015年10月1日申请且题为“具有改进衬底保持件及门闩锁协助机构的衬底容器(Substrate Container with Improved Wafer Retainer and Door LatchAssist Mechanism)”的第62/235,682号美国临时申请案的优先权，且还主张2016年5月20日申请且题为“具有改进衬底保持件及门闩锁协助机构的衬底容器(Substrate Containerwith Improved Substrate Retainer and Door Latch Assist Mechanism)”的第62/339,404号美国临时申请案的优先权，所述申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明涉及用来限制衬底(例如存储器磁盘、硅晶片及类似物)以用于运送、存储或处理的装置。且更特定来说，本发明涉及一种衬底保持结构及门闩锁机构。

背景技术

特定容器用于在若干批衬底(例如硅晶片或磁盘)的处理之前、期间及之后运送且存储所述衬底。“晶片”在本文中用来指代硅晶片、磁性衬底及类似物。衬底经处理为集成电路且磁盘经处理为计算机的磁性存储盘。将晶片磁盘处理为集成电路芯片通常涉及重复处理、存储及运送磁盘的若干步骤。归因于磁盘的易碎性质及其极端价值，其在整个此程序期间得到恰当保护及牢固保持至关重要。因此，衬底容器一般经配置以容纳载体，所述载体在靠近衬底的周边边缘的狭槽内或支架部件上支撑衬底。

一些常规容器经配置以固持H型杆件式载体，例如标准机械接口(SMIF)卡匣。SMIF卡匣通常在外壳的基座处具有底开门以用于接近带衬底的H型杆件载体。SMIF卡匣一般包含可旋转地安装到致动连杆组的衬底保持件。底部门与外壳的耦合对致动连杆组施力，从而使衬底保持件摆动到与衬底的周边边缘接触。当接合时，衬底保持件防止衬底相对于衬底的垂直轴侧向滑动。在从外壳移除底部门之后，致动连杆组使衬底保持件脱离(摆动远离)衬底，使得衬底及H型杆件载体从具有底部门的外壳自由移除。

已知常规SMIF卡匣的衬底保持件在底部门移除后“意外停机(hang up)”。在意外停机期间，当门被移除时，致动连杆组不使衬底保持件摆动远离衬底。衬底保持件的此意外停机可导致对衬底移除的干扰，这可在后续通过机器人末端效应器处置或误处置期间归因于所述干扰而引起所有衬底的灾难性损失。在操作期间防止衬底保持件意外停机的晶片容器将受到欢迎。

发明内容

本发明的各种实施例提供将衬底保持件从衬底保持配置可靠、连续偏置到衬底非保持配置中。连续偏置补充、降低或另外替换对重力的依赖以使所述衬底保持件从所述衬底脱离，借此确保所述衬底从所述衬底容器安全移除。

在常规SMIF卡匣中，所述衬底保持件的重量(即，重力)提供用于在移除门之后使所述衬底保持件从所述衬底脱离的唯一推动力。通常由聚合物制造的衬底保持件可产生具有粘附品质的表面(尤其在清洗所述衬底保持件所驻留的所述衬底容器之后)。所述粘附品质赋予机构“粘性”，经观察，所述粘性使所述衬底保持件意外停机且不如人意地从所述衬底脱离。本发明的各种实施例提供致动连杆组的连续偏置，使得所述致动连杆组克服所述致动连杆组从完全接合到完全解锁的整个冲程中的任何粘性。此连续偏置确保，当所述底部门及伴随H型杆件载体从所述外壳移除时，所述衬底保持件将无晶片。

在一些例子中，将偏置力施加于所述致动连杆组上的有害效应可为所述致动连杆组经受大于原始设计准则的力，以致无法维持所添加力负载。举例来说，当所述底部门位于适当位置中且所述致动连杆组在所述底部门与所述致动连杆组的所述偏置力之间压缩时，所述连杆组上的特定点处(例如，安装在致动期间沿着所述底部门的内表面跨骑的滚轮处的夹，及/或在所述致动连杆组与所述衬底保持件之间的枢轴处)的应力可比针对重力偏置设计的***大若干倍。由所述偏置引起的此类额外力可足以使所述致动连杆组组合件的增加例子变为解体。例如，所述滚轮可从所述衬底保持件脱离，及/或所述衬底保持件可从所述致动连杆组组合件的所述枢轴移出。所述致动连杆组组合件的此解体可引起与所述衬底保持件的前述意外停机等同的灾难性效应。

因此，本发明的各种实施例包含额外固定组件，其经配置以与现有衬底保持件及/或致动连杆组配接以保证在归因于偏置而增大的负载下的所述***的完整性，且(一般而言)增加致动连杆组的可靠性(不管是偏置还是不偏置)。在一些实施例中，所述固定组件经设计成需要(例如通过撬动工具)强加侧向力来变得分离。由于所述致动连杆组在操作中不经受实质性侧向力，因此所述固定组件不因所述偏置力或操作的正常力(其作用于轴向而非侧向)而变得移出。

本发明的各种实施例还降低对将门组合件安装到所述容器部分中的扭矩要求。常规SMIF卡匣也可需要超过7英寸-磅(in-lbf)的扭矩来将门闩锁到圆顶及从所述圆顶解锁所述门。本发明揭示一种弹簧加载布置，其提供对所述门闩锁的致动的力协助，当将所述门组合件闩锁到所述圆顶及从所述圆顶解锁所述门时，所述力协助降低伴随的扭矩要求。举例来说，测试已表明，在所述圆顶内的所述门组合件的闩锁操作期间，对所述闩锁操作的所述扭矩要求降低50％以上。

在结构上，在本发明的各种实施例中，揭示一种衬底容器，其包含：容器部分，其包含界定开口的门框；及门，其经配置以安装在所述门框内。致动连杆组组合件包含框架、衬底保持件组合件及心轴，所述心轴经枢转安装到所述框架且安装到所述衬底保持件组合件，所述框架经安装到所述容器部分的内壁，所述衬底保持件组合件可延伸到所述门框的开口中。所述致动连杆组组合件可选择性地配置于衬底保持位置中，其中当所述门座落在所述门框内时，所述衬底保持件组合件与所述门接触且由所述门致动。所述致动连杆组组合件也可选择性地配置于衬底非保持位置中，其中当所述门不在所述门框内时，所述衬底保持件组合件延伸到所述门框的所述开口中。偏置部件经操作耦合到所述框架、所述心轴及所述衬底保持件组合件中的至少一者，所述偏置部件将所述致动连杆组组合件偏置于所述衬底非保持位置中。

在本发明的各种实施例中，揭示一种衬底容器的门，其包含前板及背板，其经接合以界定内部腔室。闩锁凸轮经安装到所述内部腔室内的所述门且可围绕凸轮轴旋转。闩锁臂经安置在所述内部腔室内且可操作耦合到所述闩锁凸轮。弓形弹簧包含第一端及第二端，所述第一端经枢转耦合到所述闩锁凸轮，所述第二端经枢转耦合到所述闩锁臂。所述闩锁凸轮可从所述门处于解锁配置中的第一角定向旋转到所述门处于完全闩锁配置中的第二角定向。所述弓形弹簧在介于所述第一角定向与所述第二角定向之间的中间角定向处处于最大压缩中。

在本发明的各种实施例中，揭示一种衬底容器，其包含：容器部分，其包含界定开口的门框；及门，其经配置以安装在所述门框内。所述门包含：前板及背板，其经接合以界定内部腔室；闩锁凸轮，其经安装到所述内部腔室内的所述门且可围绕凸轮轴旋转，所述闩锁凸轮可从所述门处于解锁配置中的第一角定向旋转到所述门处于闩锁配置中的第二角定向；闩锁臂，其经安置在所述内部腔室内且可操作耦合到所述闩锁凸轮；及弓形弹簧，其具有第一端及第二端，所述第一端经枢转耦合到所述闩锁凸轮，所述第二端经枢转耦合到所述闩锁臂，所述弓形弹簧在介于所述第一角定向与所述第二角定向之间的中间角定向处处于最大压缩中。在一个或多个实施例中，致动连杆组组合件包含框架、衬底保持件组合件及心轴，所述心轴经枢转安装到所述框架且安装到所述衬底保持件组合件，所述框架经安装到所述容器部分的内壁，所述衬底保持件组合件可延伸到所述门框的所述开口中。在这些实施例中，所述致动连杆组组合件可选择性地配置于衬底保持位置中，其中当所述门座落在所述门框内时，所述衬底保持件组合件与所述门接触且由所述门致动。此外，在这些实施例中，所述致动连杆组组合件可选择性地配置于衬底非保持位置中，其中当所述门不在所述门框内时，所述衬底保持件组合件延伸到所述门框的所述开口中。偏置部件经操作耦合到所述框架、所述心轴及所述衬底保持件组合件中的至少一者，所述偏置部件将所述致动连杆组组合件偏置于所述衬底非保持位置中。

在本发明的各种实施例中，一种用于将衬底保持在衬底载体内的方法包含：将所述衬底载体内的致动连杆组组合件配置在衬底保持位置中以用于将衬底选择性地保持在所述衬底载体内；及当所述致动连杆组组合件处于所述衬底保持位置中时，将所述致动连杆组组合件偏置于衬底非保持位置中。

在本发明的各种实施例中，容器部分包含：门框，其界定开口；门，其经配置以安装在所述门框内；及致动连杆组组合件。所述致动连杆组组合件包含：框架，其经安装到所述容器部分的内壁；心轴，其经枢转安装到所述框架；衬底保持件组合件，其经枢转安装到所述心轴，所述衬底保持件组合件可延伸到所述门框的所述开口中。轮轴可经安装到所述衬底保持件组合件的下端，通过在所述衬底保持件组合件的所述下端处界定夹入式结构来将所述轴保持到所述衬底保持件组合件。在一些实施例中，轮保持夹经安装到所述衬底保持件组合件且经配置以防止所述轴从所述衬底保持件组合件释放，所述致动连杆组组合件可选择性地配置于衬底保持位置中，其中当所述门座落在所述门框内时，所述衬底保持件组合件与所述轮接触且由所述门致动，所述轮经配置以沿着所述门的内表面滚动。

在一些实施例中，所述轮保持夹包含多个钩部分，其与所述衬底保持件组合件耦合以将所述轮保持夹固定到所述衬底保持件组合件。所述衬底保持件组合件可包含界定孔隙的基底。在一些实施例中，所述轮保持夹的所述多个钩部分中的至少一者经耦合到所述孔隙的周边。所述轮保持夹可包含用于在所述孔隙内配准所述轮保持夹的配准结构。在一些实施例中，一轮轭经安置在所述衬底保持件组合件的所述下端处，所述轮轴经安装到所述轮轭。在一些实施例中，所述衬底保持件组合件的所述夹入式结构包含弹性悬臂，所述弹性悬臂对所述轴施加偏置力以将所述轴保持在所述轮轭内，且所述轮保持夹经配置以防止所述夹入式结构的所述弹性悬臂偏转，借此防止所述夹入式结构释放所述轴。在各种实施例中，所述轮保持夹的所述多个钩部分中的至少一者与所述轮轭耦合。所述轮保持夹也可经配置以使所述多个钩部分中的所述至少一者围绕所述轮轭弹性移位且在组装时夹到所述轮轭上。在一些实施例中，耦合到所述轮轭的所述多个钩部分中的至少一者包含用于在组装期间在所述轮轭上方滑动的引入结构。

在本发明的各种实施例中，衬底容器包含：容器部分，其包含界定开口的门框；门，其经配置以安装在所述门框内；及致动连杆组组合件。在一些实施例中，所述致动连杆组包含：框架，其经安装到所述容器部分的内壁；心轴，其具有枢转安装到所述框架的近端侧及远端侧，所述心轴包含枢轴；及衬底保持件组合件，其可延伸到所述门框的所述开口中且经枢转安装到所述心轴的所述枢轴，所述衬底保持件组合件界定凹槽，所述枢轴可在所述凹槽内相对于所述衬底保持件组合件旋转。在一些实施例中，枢轴锁定夹安装到所述衬底保持件组合件以将所述枢轴捕获在所述衬底保持件组合件与所述枢轴锁定夹之间。所述枢轴锁定夹可包含多个钩部分，所述钩部分与所述衬底保持件组合件耦合以将所述枢轴锁定夹固定到所述衬底保持件组合件。在一些实施例中，所述衬底保持件组合件包含界定所述凹槽的轴向延伸部分，所述轴向延伸部分界定相对轴向延伸边缘，其中所述枢轴锁定夹的所述多个钩部分中的至少一些经耦合到所述轴向延伸部分的所述相对轴向延伸边缘。

所述枢轴锁定夹可包含：弓形主体部分，其包含相对端；及第一对钩部分，其从所述弓形主体部分的第一端延伸，其中所述第一对钩部分经耦合到所述衬底保持件组合件以抵靠所述心轴的所述枢轴固定所述弓形主体部分。在一些实施例中，所述衬底保持件组合件包含界定所述凹槽的轴向延伸部分，所述轴向延伸部分界定相对轴向延伸边缘。所述第一对钩部分经配置以接合所述轴向延伸部分的所述相对轴向延伸边缘。所述第一对钩部分可经配置以围绕所述衬底保持件组合件的所述轴向延伸部分弹性移位且在组装时夹到所述轴向延伸部分上。此外，所述第一对钩部分可包含经配置以在组装期间使所述第一对钩部分远离彼此偏转的引入结构。

在一些实施例中，所述枢轴锁定夹包含从所述弓形主体部分的第二端延伸的第二对钩部分，其中所述第二对钩部分经耦合到所述衬底保持件组合件以抵靠所述心轴的所述枢轴固定所述弓形主体部分。所述第二对钩部分可经配置以接合所述轴向延伸部分的所述相对轴向延伸边缘。如同所述第一对钩部分，所述第二对钩部分可经配置以围绕所述衬底保持件组合件的所述轴向延伸部分弹性移位且在组装时夹到所述轴向延伸部分上。在一些实施例中，所述第二对钩部分的每一钩部分包含经配置以在组装期间使所述第二对钩部分远离彼此偏转的引入结构。

附图说明

图1是根据本发明的一个实施例的衬底容器的剖视侧视图，其具有处于衬底非保持位置中的致动连杆组。

图2是根据本发明的一个实施例的图1的致动连杆组的剖视侧视图，其具有处于衬底保持位置中的衬底保持件。

图3是根据本发明的一个实施例的图1的衬底容器的正视图，其中切除后壁以暴露致动连杆组。

图4是根据本发明的一个实施例的图1中的致动连杆组的框架、一对心轴及偏置部件的透视图。

图5是根据本发明的一个实施例的图4的偏置部件的放大部分图。

图6是根据本发明的一个实施例的图1的衬底保持件组合件的透视图。

图7是根据本发明的一个实施例的致动连杆组的透视图，其具有从致动连杆组的心轴侧向延伸的偏置部件。

图8是根据本发明的一个实施例的具有偏置部件的处于衬底非保持位置中的致动连杆组的正视图，所述偏置部件包含滑动接触致动连杆组的心轴的弹簧臂。

图9是根据本发明的一个实施例的图8的处于衬底非保持位置中的致动连杆组的透视图。

图10是根据本发明的一个实施例的处于衬底保持位置中的图8及9的致动连杆组的正视图。

图11是根据本发明的一个实施例的图10的处于衬底保持位置中的致动连杆组的透视图。

图12是根据本发明的一个实施例的具有偏置部件的处于衬底非保持位置中的致动连杆组的透视图，所述偏置部件包含接触致动连杆组的衬底保持件组合件的弹簧臂。

图13是根据本发明的一个实施例的具有偏置部件的处于衬底非保持位置中的致动连杆组的正视图，所述偏置部件包含弹性部件。

图14是根据本发明的一个实施例的图13的处于衬底非保持位置中的致动连杆组的透视图。

图15是根据本发明的一个实施例的处于衬底保持位置中的图13及14的致动连杆组的正视图。

图16是根据本发明的一个实施例的图15的处于衬底保持位置中的致动连杆组的透视图。

图17是根据本发明的一个实施例的处于衬底非保持位置中的致动连杆组的前透视图，其具有轮保持夹及一对枢轴锁定夹。

图18是图17的致动连杆组的后透视图。

图19是根据本发明的一个实施例的处于隔离状态的图17及18的轮保持夹的后透视图。

图20是根据本发明的一个实施例的处于隔离状态的图17及18的轮保持夹的前透视图。

图21是根据本发明的一个实施例的处于隔离状态的图17及18的轮保持夹的后正视图。

图22是根据本发明的一个实施例的处于隔离状态的图17及18的轮保持夹的俯视图。

图23是根据本发明的一个实施例的与衬底保持件组合件对准的图17及18的轮保持夹的后透视图。

图24是根据本发明的一个实施例的安装于衬底保持件组合件上的图17及18的轮保持夹的部分、后透视图。

图25是根据本发明的一个实施例的安装于衬底保持件组合件上的图17及18的轮保持夹的部分、前透视图。

图26是根据本发明的一个实施例的安装于衬底保持件组合件上的图17及18的轮保持夹的仰视图。

图27是根据本发明的一个实施例的安装于衬底保持件组合件上的图17及18的轮保持夹的部分、前透视图。

图28是根据本发明的一个实施例的处于隔离状态的图17及18的枢轴锁定夹的后透视图。

图29是根据本发明的一个实施例的处于隔离状态的图17及18的枢轴锁定夹的前透视图。

图30是根据本发明的一个实施例的处于隔离状态的图17及18的枢轴锁定夹的侧视图。

图31是根据本发明的一个实施例的与衬底保持件组合件及心轴对准的图17及18的枢轴锁定夹的部分、后透视图。

图32是根据本发明的一个实施例的安装于衬底保持件组合件及心轴上的图17及18的轮保持夹的部分、后透视图。

图33是根据本发明的一个实施例的安装于衬底保持件组合件及心轴上的图17及18的轮保持夹的部分、前透视图。

图34是根据本发明的一个实施例的安装于衬底保持件组合件及心轴上的图17及18的轮保持夹的部分、横截面视图。

图35是根据本发明的一个实施例的安装于衬底容器的门组合件内的闩锁机构的部分透视图。

图36是根据本发明的一个实施例的处于隔离状态的图35的闩锁凸轮的透视图。

图37是根据本发明的一个实施例的图36的闩锁凸轮的相对侧的透视图。

图38是根据本发明的一个实施例的图35的闩锁臂的平面图。

图39是根据本发明的一个实施例的处于闩锁配置中的图35的闩锁机构的部分平面图且其描绘闩锁凸轮的角移位。

图40A到40D是本发明的实施例中的处于隔离状态的弓形弹簧的透视图。

图41是根据本发明的一个实施例的闩锁机构的部分透视图，所述闩锁机构具有各自界定一个S形段的弓形弹簧，所述闩锁机构安装在衬底容器的门组合件内。

图42是根据本发明的一个实施例的图41的闩锁机构的放大图，其说明用于偏置门组合件内的闩锁臂的引导组合件。

图43A是处于解锁配置中的图41的闩锁机构的部分视图。

图43B是根据本发明的一个实施例的图41的闩锁机构的部分视图，所述闩锁机构处于介于闩锁配置与解锁配置之间的中间配置。

图43C是处于完全闩锁配置中的图41的闩锁机构的部分视图。

图44A是根据本发明的一个实施例的图35的门组合件的截面视图，其具有处于解锁配置中的闩锁凸轮及闩锁臂。

图44B是根据本发明的一个实施例的图35的门组合件的截面视图，其具有处于完全闩锁配置中的闩锁凸轮及闩锁臂。

图45A是绘制根据本发明的一个实施例致动图41的闩锁机构的闩锁所需的扭矩对角定向的图。

图45B是绘制根据本发明的一个实施例致动图35的门组合件的闩锁所需的扭矩对角定向的图。

图46A是根据本发明的一个实施例比较常规衬底载体门的闩锁机构与图41的闩锁机构的闩锁扭矩要求的图。

图46B是根据本发明的一个实施例比较常规衬底载体门的闩锁机构与图41的闩锁机构的解锁扭矩要求的图。

图47是根据本发明的一个实施例的具有衬套的闩锁凸轮的透视截面图，所述衬套用于将弓形弹簧耦合到所述闩锁凸轮。

图48A是根据本发明的一个实施例的具有衬套的闩锁凸轮的放大、透视及部分分解视图，所述衬套用于将弓形弹簧耦合到所述闩锁凸轮。

图48B是图48A的经组装闩锁凸轮及衬套的透视图。

图49是根据本发明的一个实施例的耦合到闩锁臂及弓形弹簧的衬套的放大、透视图。

具体实施方式

参考图1到6，根据本发明的一个实施例描绘衬底容器10。衬底容器10包含：圆顶或容器部分12，其具有安装到其上的致动连杆组组合件30、30a；及门组合件14，其用于选择性影响衬底容器10的闭合。所描绘的特定实施例是底开式标准机械接口(SMIF)卡匣，其中容器部分12大致具有立体形状且具有一个前壁20、一个后壁16、两个侧壁18及22、顶部部分24及底部组合件26。底部组合件26包含门组合件14，所述门组合件14可座落在容器部分12的门框28内以形成壳体27。具有边缘29a的多个衬底29可经容纳于壳体27内且可通过H型杆件载体(未描绘)悬挂。

本发明揭示致动连杆组组合件的若干实施例，其一般或共同由元件符号30来指代(例如，致动连杆组组合件30)，且个别通过元件符号30后接字母后缀来指代(例如，致动连杆组组合件30a，如上文所讨论)。各种致动连杆组组合件30包含许多与致动连杆组组合件30相同的组件及属性，其由类似编号的元件符号来指示。

在所描绘实施例中，致动连杆组组合件30a靠近于后壁16的内表面31从顶部部分24下垂。替代地或另外，致动连杆组组合件30a可与壁16、18、20或22中的一者可操作地耦合，或耦合到门组合件14。致动连杆组组合件30a可包含框架32，所述框架32包含上横向部件45及下横向部件46，其分离一对侧向部件47(图3及4)。框架32支撑在界定于框架32的侧向部件47中的枢转座37处枢转安装到框架32的上心轴34及下心轴36。枢转座37进一步界定侧向延伸穿过框架32的枢轴或旋转轴39。上心轴34及下心轴36可各自包含自其延伸的撑条38，每一撑条38包含近端侧41及远端侧42。近端侧41经枢转安装到框架32。远端侧42各自支撑圆柱形枢轴44。

在特定实施例中，偏置部件40经可操作耦合到框架32及下心轴36。针对致动连杆组组合件30a的描绘实施例，偏置部件40是连接到下心轴36的线圈弹簧40a，线圈弹簧40a围绕下心轴36的旋转轴39同心。另外或在替代例中，偏置部件40/线圈弹簧40a可经耦合到上心轴34。

在本文中，偏置部件由元件符号40共同或一般地指代，且个别由元件符号40后接字母后缀来识别(例如，线圈弹簧40a，如上文所讨论)。

在各种实施例中，致动连杆组组合件30a包含衬底保持件组合件50，所述衬底保持件组合件50包含基底部分54及与圆柱形枢轴44可操作地耦合的接合部分56。衬底保持件组合件50可包含用来防止归因于与衬底29接触的碎裂、压陷或磨损的覆模部分57，例如在本申请案的申请人所拥有的史密斯(Smith)等人的第WO 2007/146019号国际公开案中所描述，所述公开案的全部揭示内容(除其中含有的明确定义及专利权利要求书外)以引用的方式并入本文中。

衬底保持件组合件50的基底部分54可包含被横向部件61到66分离的一对轨道部分58及59(图6)。中心轴或纵向轴67经界定于横向部件61到66的跨距中点处。上夹组合件68可从横向部件62及63延伸。轴向延伸部分74(例如中心桥接部件)可在横向部件62及63之间延伸，以及在横向部件64及65之间延伸且可界定凹槽76，所述凹槽经塑形以在所述衬底保持件组合件50与致动连杆组可操作地耦合时容纳圆柱形枢轴44。每一轴向延伸部分74的特征可为具有相对轴向延伸边缘75及77。

一轴向延伸部分87(例如在横向部件65及66之间延伸的桥接板)可与轨道部分58及59及横向部件65及66协作以界定一对孔隙89。间隙器88可从衬底保持件组合件50的背侧51凸出。间隙器88经描绘为从横向部件65延伸。可利用一个以上间隙器部件88。具有自由端92的轮轭90沿着中心轴67从横向部件66延伸，其中轮94及轴96与轮轭90可操作地耦合。在此配置中，轴96在靠近自由端92处安装到轮轭90，使得轮94的外半径凸出超越轮轭90的自由端92。在各种实施例中，夹入式结构98经界定于衬底保持件组合件50的下端99，夹入式结构98经配置以将轴96保持到衬底保持件组合件50。在一些实施例中，夹入式结构98包含弹性悬臂101，所述弹性悬臂101对轴96施加偏置力以将轴96保持在轮轭90内。

在各种实施例中，致动连杆组组合件30a可选择性地配置于衬底保持位置中，如在图2中描绘，其中当门组合件14座落在门框28内时，衬底保持件组合件50与门组合件14接触且由门组合件14致动。在此实施例中，致动连杆组组合件30a也可选择性地配置于衬底非保持位置中，如在图1中描绘，其中当门组合件14不在门框28内时，所述衬底保持件组合件延伸到门框28的开口中。

功能上，偏置部件40(线圈弹簧40a)其作用以将致动连杆组组合件30a偏置于图2的非保持位置中。此偏置帮助致动连杆组组合件30a克服移动组件之间的任何摩擦，使得门组合件14从衬底容器12移除之后，衬底保持件组合件50从衬底29脱离。

参考图7，根据本发明的一个实施例描绘致动连杆组组合件30b。致动连杆组30b包含偏置部件40b，所述偏置部件40b包含侧向延伸超越枢转座37的下心轴36的延伸部分102，延伸部分102包含在远端106处的旋转止档104。在所描绘实施例中，延伸部分102侧向延伸超越框架32，使得旋转止档104接合后壁16的内表面31。延伸部分102可沿着枢轴线39侧向延伸，如在图7中描绘。

在各种实施例中，旋转止档104经配置以垂直于枢轴线39且在平行于撑条38的平面中延伸以偏置致动连杆组30b。因此，致动连杆组组合件30b被偏置在衬底非保持配置中。

功能上，在使门组合件14座落在门框28内之后，衬底保持组合件50旋转且平移到衬底容器10中，从而引起下心轴36旋转，而旋转止档104防止下心轴36的延伸部分102的远端106旋转。至少当门组合件14座落在门框28内时，沿着下心轴36的差分旋转产生扭转。扭转产生偏置扭矩，所述偏置扭矩将致动连杆组组合件30b朝向衬底非保持配置偏置，但所述偏置由门组合件14座落在门框28内而克服。在门组合件14从门框28离座之后，偏置扭矩使致动连杆组组合件30b返回到衬底非保持配置。

还预期其中旋转止档104接合框架32而非内表面31的实施例。此外，应理解，接触内表面不限于后壁16的内表面31，也可为经定位邻近于旋转止档104的任何内表面。此外，还预期其中偏置部件40b从上心轴34延伸的实施例。

参考图8到11，根据本发明的一个实施例描绘致动连杆组组合件30c。致动连杆组30c的偏置组件40c包含从框架32延伸以接触上心轴34的撑条38的一对弹簧臂122。在所描绘实施例中，当致动连杆组组合件30c从衬底非保持配置(图8及9)移动到衬底保持配置(图10及11)时，弹簧臂122滑动接触上心轴34。在本文中，“滑动接触”是当第二组件相对于第一组件移动时使所述第一组件能够保持与所述第二组件接触，使得所述第二组件在所述第一组件的表面上方滑动。弹簧臂122可大体上平行于框架32形成，其在图8中以虚线描绘。

参考图12，根据本发明的一个实施例描绘致动连杆组组合件30d。致动连杆组30d的偏置组件40d也包含从框架32延伸的一对弹簧臂122。然而，针对致动连杆组组合件30d及偏置组件40d，弹簧臂122朝向衬底保持件组合件50延伸且连接到衬底保持件组合件50。

功能上，针对致动连杆组组合件30c及30d两者，偏置部件40c及40d的弹簧臂122通过上心轴34的撑条38弹性移位。弹性移位在上心轴34或衬底保持件组合件50上施加偏置力以将上心轴34或衬底保持件组合件50朝向框架32偏置。通过使门组合件14座落在门框28内而由门组合件14在衬底保持件组合件50上施加的力来克服偏置力。此偏置力有效地将致动连杆组组合件30c及30d偏置于衬底非保持配置中(图8、9及12)。

还预期针对致动连杆组组合件30c或30d使用单个弹簧臂122或两个以上弹簧臂122的实施例。此外，还预期其中偏置部件40c或40d作用于下心轴36上的实施例。

参考图13到16，根据本发明的一个实施例描绘致动连杆组组合件30e。致动连杆组30e的偏置组件40e包含从框架32延伸到衬底保持件组合件50的连续弹性带132。在所描绘实施例中，连续弹性带132经连接到框架32的下横向部件46。此外，在此实施例中，衬底保持件组合件50包含用于安装连续弹性带132的安装结构134。

功能上，随着致动连杆组组合件30e从衬底非保持配置(图13及14)移动到衬底保持配置(图15及16)，经弹性移位的连续弹性带132施加偏置力以将衬底保持件组合件50朝向框架32偏置，所述偏置力通过使门组合件14座落在门框28内而由门在衬底保持件组合件50上施加的力来克服。此偏置力有效地将致动连杆组组合件30e偏置于衬底非保持配置中(图15及16)。

也预期利用非连续弹性部件的实施例以及利用多个弹性部件(连续或非连续)的实施例。此外，还预期其中偏置部件40e作用于一个或多个心轴34、36上而非衬底保持件组合件50上及/或在不同于下横向部件46的位置处耦合到框架的实施例。

参考图17到18，根据本发明的一个实施例描绘致动连杆组组合件30f。致动连杆组组合件30f包含许多与致动连杆组组合件30c相同的组件及属性，其由相同编号的元件符号指示。另外，致动连杆组组合件30f包含轮保持夹142及枢轴锁定夹144。轮保持夹142经安装到衬底保持件组合件50且经配置以防止夹入式结构98意外释放轴96。枢轴锁定夹144经安装到衬底保持件组合件50以将圆柱形枢轴44捕获于衬底保持件组合件50与枢轴锁定夹144之间，借此将衬底保持件组合件50锁定到相应心轴34的圆柱形枢轴44。尽管致动连杆组组合件30f包含许多与致动连杆组组合件30c相同的组件及属性，但轮保持夹142及枢轴锁定夹144可使用本发明的连杆组组合件30中的任一者实施。

参考图19到22，根据本发明的一个实施例描绘轮保持夹142。轮保持夹142包含板部分146，其具有内安装表面148及与内安装表面148相对的外表面152。一对臂部分154从外表面152延伸且超越板部分146的底部边缘153。内安装表面148可包含在方向157上延伸的多个特征156，所述方向157垂直于内安装表面148，特征156包含钩部分158及配准结构162。每一臂部分154包含也在方向157上延伸的钩部分164。在一些实施例中，每一臂部分154包含远端167处的止档结构165。

参考图23到27，根据本发明的一个实施例描绘安装轮保持夹142。在组装时，内安装表面148的特征156与衬底保持件组合件50的孔隙89对准。轮保持夹142经安装到衬底保持件组合件50，使得从板部分146延伸的每一钩部分158经耦合到衬底保持件组合件50的孔隙89中的相应者的周边，且使得配准结构162经安置在孔隙89内。臂部分154经配置以横跨轮94，且钩部分164横跨且接合轮轭90的相对侧。

在一些实施例中，每一钩部分164包含引入结构166以促进组装期间钩部分164在轮轭90的相对侧上方滑动。当钩部分164在轮轭90上方滑动时，引入结构166使钩部分164偏转。钩部分164的偏转由臂部分154的弹性扭转、钩部分164的弹性弯曲或其组合造成。一旦完成安装轮保持夹142，臂部分154及/或钩部分164的弹性就使钩部分164按扣于适当位置中，借此将轮轭90捕获于钩部分164之间。

功能上，在所描绘实施例中，轮保持夹142防止轮94及轴96变为从衬底保持件组合件50的夹入式结构98意外移出。在一些实施例中，通过阻止夹入式结构98的弹性悬臂部分101偏转来完成轴96的固定，使得轴96无法从夹入式结构98释放(除非移除轮保持夹142)。通过在孔隙89的周边处接合的板部分146的钩部分158且通过夹到轮轭90的钩部分164来将轮保持夹142固定到衬底保持件组合件50。配准结构162帮助将板部分146与孔隙89对准，且当在操作期间经受轴向及/或侧向力时，所述配准结构维持保持夹142与衬底保持件组合件50之间的稳定性及实质上固定关系。如在图26及27中所描绘，止档结构165与轮轭90协作以提供轴96的额外捕获。

参考图28到30，根据本发明的一个实施例描绘枢轴锁定夹144。枢轴锁定夹144包含主体部分170及从主体部分170延伸的多个钩部分172。主体部分170包含相对端174及176。在所描绘的实施例中，多个钩部分172包含从相对端174中的一者延伸的第一对钩部分178及从相对端176中的另一者延伸的第二对钩部分182。主体部分172可为弓形的。在各种实施例中，多个钩部分172中的一些或全部经配置为具有引入结构184。

参考图31到34，根据本发明的一个实施例描绘将枢轴锁定夹144组装到衬底保持件组合件50。在组装时，第一对钩部分178经耦合到衬底保持件组合件50以抵靠心轴34或36的圆柱形枢轴44固定主体部分172。在所描绘实施例中，多个钩部分172经耦合到轴向延伸部分74的相对轴向延伸边缘75及77。多个钩部分172中的一些或全部可经配置用于围绕衬底保持件组合件52的轴向延伸部分74弹性移位，从而夹到轴向延伸部分74上。

功能上，多个钩部分170与衬底保持件组合件50耦合以将枢轴锁定夹144固定到衬底保持件组合件50，使得相应心轴34或36的圆柱形枢轴44经正锁定在轴向延伸部分74的凹槽76内。引入结构184在被利用时经配置使得当在组装期间将枢轴锁定夹144按压到轴向延伸部分74上时，给定的一对钩部分178及182的钩部分170远离彼此偏转。枢轴锁定夹144无法通过施加于轮94上的轴向力从轴向延伸部分74移出。相反，从轴向延伸部分74移除枢轴锁定夹144需要(例如使用撬动工具)使第一钩部分对178及/或第二钩部分对182向外侧向偏转。

参考图35到40D，根据本发明的一个实施例描绘门组合件14。门组合件14包含前板202(图1)及背板204。在各种实施例中，背板204包含外周边部分206；外周边部分206也可经形成为前板202的部分，或可通过前板202与背板204的组合来界定。外周边部分206还界定穿过外周边部分206的闩锁尖端孔隙207(图35)。前板202及背板204经接合以界定门组合件14的内部腔室208。

门组合件14包含闩锁组合件210。在各种实施例中，闩锁组合件210包含闩锁凸轮212、闩锁臂214及连接到闩锁凸轮212及闩锁臂214的弓形弹簧216。闩锁凸轮212经安装到内部腔室208内的门组合件14，可围绕凸轮轴218旋转。闩锁凸轮212包含正面222(图36)及背面224(图37)。正面222可包含经界定在其上的键孔隙226，所述键孔隙226可通过形成在前板202上的弓形贯穿狭槽227(图41)接近。在所描绘实施例中，背面224包含围绕凸轮轴218同心安置的叶片228。背面224也可包含界定通向斜坡或倾斜表面234的平坦表面233的凸轮表面232，凸轮表面232还围绕凸轮轴218同心安置。在一些实施例中，闩锁凸轮212还包含径向凸出突片236。径向凸出突片236中的每一者可界定一个安装孔238，弓形弹簧216穿过所述安装孔238而安装。

在一些实施例中，门组合件14包含一个或多个凸轮止档239，其经定位以接合闩锁凸轮212且防止闩锁凸轮212旋转超越特定角旋转。举例来说，凸轮止档239可从背板204延伸且经定位以接合径向凸出突片236中的一者或多者，例如图35及39中所描绘。

闩锁臂214经安置在内部腔室208内，所述闩锁臂214各自包含在近端部分244处的凸轮接口轮廓242及在远端部分248处的闩锁尖端246。闩锁臂214经对准使得闩锁尖端246穿过外周边部分206的闩锁尖端孔隙207侧向延伸及缩回。在各种实施例中，闩锁臂214与在近端部分244处的凸轮轴承252配装。闩锁臂214还可界定具有纵向轴255的细长孔隙254，所述轴沿近端部分244与远端部分248之间的方向延伸。闩锁臂214还可包含安装孔256，弓形弹簧216穿过所述安装孔256安装到闩锁臂214。

可利用各种弓形弹簧216，例如，图40A到40D中分别描绘的弓形弹簧216a到216d。弓形弹簧一般地且共同称为弓形弹簧216，且个别由元件符号216后接字母后缀(例如，图40A的弓形弹簧216a)指示。弓形弹簧216经配置以围绕各种间隙器及组成门组合件14的其它结构排布(route)，同时仍在闩锁凸轮212与闩锁臂214之间施加补充力。弓形弹簧216各自包含第一端262及第二端264，且各自在弓形弹簧216的至少一部分上方界定第一端262与第二端264之间的至少一个弓形段266。在所描绘实施例中，每一弓形弹簧216的第一端262经枢转耦合到闩锁凸轮212的突片236中的相应者，其中第二端经枢转耦合到闩锁臂214中的相应者。弓形弹簧216还界定自由或无负载操作长度268，其经定义为第一端262与第二端264之间的直线。弓形弹簧216可由弹性金属线材料(例如不锈钢)形成。还预期聚合物弓形弹簧216。

参考图41及42，根据本发明的一个实施例描绘门组合件14a，其配备有图40D的S形弓形弹簧216d的闩锁机构210a。门组合件14a及闩锁机构210a包含许多与门组合件14及闩锁机构210相同的组件及属性，其使用相同编号的元件符号指示。前板202在图41及42中描绘为透明或半透明的以展示门组合件14a的内部运作。另外，门组合件14a包含粘附到前板202内侧的耐磨垫270，在闩锁组合件210a的致动期间，S形弓形弹簧216d可抵靠在所述耐磨垫上。

此外，门组合件14a包含在细长孔隙254处与闩锁臂214耦合的引导组合件275(图42)且包含轴毂276及偏置部件278。虽然特定偏置部件278经描绘为线圈弹簧，但技术人员预期且容易了解其它偏置部件。引导组合件275还可包含安置于偏置部件278与闩锁臂214之间的垫圈或衬套282。

功能上，在所描绘实施例中，引导组合件维持闩锁臂214的对准，使得闩锁尖端246以所要方式穿过闩锁尖端孔隙207延伸及缩回。轴毂276及细长孔隙254维持延伸及缩回方向上的必要对准，而偏置部件278抵靠引导件279偏置闩锁臂214(图44A及44B)，使得闩锁尖端246在前板202与背板204之间的所要距离处穿过孔隙。可由低摩擦或自润滑材料制成的垫圈或衬套282滑动接触闩锁臂214，从而使闩锁臂214能够在被抵靠引导件279偏置在同时侧向平移。

参考图43A到43C、图44A及44B，在本发明的实施例中描绘闩锁机构210a的操作。图43A到43C说明弓形弹簧216的操作，而图44A及44B说明闩锁凸轮212与闩锁臂214之间的相互作用。尽管所描绘特定弓形弹簧216是S形弓形弹簧216d，但本发明的弓形弹簧216中的任一者将以类似方式起作用。

闩锁凸轮212可从门处于解锁配置中的第一角定向272旋转过致动角θ(图39及43C)到门处于完全闩锁配置中的第二角定向274(图39)。在此旋转期间，弓形弹簧216经受图43A、43B及43C中分别描绘为操作长度268a、268b及268c的操作长度268的变化。操作长度268a到268c通过闩锁凸轮212相对于闩锁臂214的凸轮接口轮廓242的定向来确定。也就是说，弓形弹簧216遵循安装孔238与256之间的距离且通过所述距离来界定。因此，弓形弹簧216可维持于压缩状态中，其中操作长度268a、268b及268c比自由操作长度268短。

在各种实施例中，闩锁机构210、210a的操作如下：操作长度268a比处于解锁配置中(即，在第一角定向272下)的弓形弹簧216的自由长度268短(图43A)，使得弓形弹簧216在闩锁凸轮212与闩锁臂214之间施加压缩力。随着闩锁凸轮212通过致动旋转，闩锁凸轮212穿过中间角定向273(图43B)，其中弓形弹簧216处于最大压缩的状态中(图43B)，其中操作长度268b在致动进程内处于最小长度(即，其中安装孔238及256彼此最接近)。随着闩锁凸轮216继续穿过中间角定向274到完全闩锁配置(第二角定向274)(图43C)，弓形弹簧216呈现操作长度268c，其仍维持弓形弹簧216上的压缩负载，但并非与在中间角定向273中的压缩负载一样大。

功能上，弓形弹簧216的压缩状态在闩锁门组合件14a时起作用以迫使闩锁机构210、210a的致动。在致动期间，弓形弹簧216的压缩将闩锁臂朝向闩锁配置推进，借此提供力协助。也就是说，弓形弹簧216的压缩迫使闩锁凸轮212朝向完全闩锁配置旋转且凸轮叶片228(图37)与凸轮接口轮廓242(图38)之间的相互作用将闩锁臂214驱动到第二角定向274的闩锁配置。此外，布置闩锁机构210、210a使得弓形弹簧216在中间配置273中处于最大压缩力下也帮助将闩锁机构固定于第一角定向272的解锁配置中或第二角定向274的完全闩锁配置中。也就是说，由于弓形弹簧216在中间角定向273下施加最大压缩力，因此弓形弹簧216据说可迫使或协助迫使闩锁凸轮212进入偏心定向中(也就是说，朝向第一角定向272或第二角定向274)。偏心力还帮助防止闩锁凸轮216假性旋转。

同时，在各种实施例中且进一步参考图44A及44B，闩锁凸轮212及闩锁臂214如下相互作用：在第一角定向272的解锁配置中，凸轮轴承252与闩锁凸轮212的凸轮表面232的平坦表面233接合，其中闩锁尖端246缩回(图44A)。在所描绘实施例中，平坦表面233经定大小使得当闩锁凸轮216到达或穿过图43B的中间角定向273时，凸轮轴承252保留于平坦表面233上。应进一步注意，在所描绘实施例中，闩锁尖端246在到达中间角定向273后延伸，如图43B中所描绘。在穿过中间角定向273之后，凸轮轴承252跨骑在凸轮表面232的倾斜表面234上，其使闩锁臂214变为在门组合件14a的内部腔室208内是倾斜的。闩锁臂214的倾斜使延伸的闩锁尖端246朝向门组合件14a的前板202偏转。偏转的闩锁尖端246接合门框28以将座落力施加于门组合件14a上，从而将门组合件14a更好地密封在底部组合件26内。图43C及44B的配置(其中闩锁尖端246侧向延伸且朝向前板202偏转)在本文中称为“完全闩锁”配置。

参考图45A及45B，分别针对本发明的实施例呈现对致动闩锁机构210a及210的扭矩要求的预测292及294。图45A的预测是用于致动具有S形弓形弹簧216d的闩锁机构210a。图45B的预测是用于致动图35中说明的闩锁机构210，其包含大致对应于图40B的弓形弹簧216b的弓形弹簧216。随着闩锁机构从第一角定向272被致动到第二角定向274(即，从解锁到完全闩锁配置)，预测292及294两者呈现离散角定向下的以牛顿-米(N-m)为单位的预测扭矩。此外，相应门组合件14a及14未座落在容器部分12内；也就是说，预测单独呈现门组合件14a及14的扭矩要求，而无使闩锁尖端246座落在底部组合件26内所需的任何额外扭矩要求。

图45A及45B中呈现的预测预测在凸轮旋转结束时(即，在第二角定向274下)的最大扭矩，而无弹簧压缩期间峰值扭矩的显著增大。也就是说，针对表示S形弓形弹簧216d的图45A的预测292，第二角定向274下的扭矩处于最大预测扭矩(局部极大值296)的20％内。针对表示类似于弓形弹簧216b的弓形弹簧216的图45B的预测294，第二角定向274下的扭矩处于最大预测扭矩(局部极大值296)的50％内。这些特性归因于弹簧的一个端经安装到移动的闩锁臂214，其直接作用于闩锁臂214上以及协助闩锁凸轮212旋转。因此，尽管弓形弹簧216、216d确实存储一些能量以提供有效偏心效应，但赋予弹簧216、216d的能量中的一些在闩锁凸轮212旋转期间作用于闩锁臂214上，从而提供比仅作用于凸轮上的弹簧将提供的扭矩轮廓更均匀的扭矩轮廓。

每一组预测292及294的特征为两个局部极大值296及298，其中在其之间界定局部极小值299。局部极小值大致对应于中间角定向273(例如，图43B)。预测292及294从θ＝0°到约θ＝50°且穿过局部极大值296的部分表示将闩锁臂214从缩回配置(例如，图43A)致动到延伸配置(例如，图43B)所需的扭矩。预测292及294从约θ＝50°到约θ＝86°且穿过局部极大值298的部分表示使闩锁臂214(例如，图43C及44B)倾斜所需的扭矩。极小值299指示所提供的近似于弓形弹簧216d、216(例如，图43B)的最大压缩的力协助。

参考图46A及46B，呈现将操作门组合件14a的扭矩要求与操作常规SMIF卡匣的扭矩要求比较的测试结果312及314。在图46A及46B中，“Conv”指示常规SMIF卡匣，而“原型(Prototype)”指示本发明的门组合件14a。“单独门(Door Only)”是指独立门(即，未座落在衬底容器内)且“在圆顶中)(In Dome)”是指座落在衬底容器内的门。测试结果312呈现对闩锁常规门及门组合件14a的扭矩要求，而测试结果314呈现对解锁常规门及门组合件14a的扭矩要求。图46A及46B的扭矩单位是英寸-磅力(in-lbf)。

针对“单独门”配置，与“Conv”常规门相比，闩锁扭矩及解锁扭矩两者对“原型”(门组合件14a)来说略高。然而，针对“在圆顶中”配置，与常规门相比，闩锁扭矩及解锁扭矩两者对“原型”门组合件14a来说明显小。此出乎意料的结果可归因于由耦合到闩锁凸轮212及闩锁臂214的弓形弹簧216d所提供的力协助。也就是说，归因于压缩弓形弹簧216、216d所需的功增大，在凸轮旋转的前一半期间扭矩可增大，接着最大扭矩减小，这是因为旋转的后一半期间由弹簧提供的扭矩已包含原本将在无弓形弹簧216、216d的情况下所需要的存储能量。

参考图47，根据本发明的一个实施例描绘针对弓形弹簧216的经修改附接320。针对所描绘实施例，衬套322经连接到弓形弹簧216的第一端262且连接到闩锁凸轮212的径向凸出突片236。衬套322提供相对于弓形弹簧316的线直径的更大直径轴324，衬套322可在径向凸出突片236内旋转。衬套322还可经配置以提供顶部轴承部分326，所述顶部轴承部分326凸出到径向凸出突片236及闩锁凸轮212的正面222上方。

参考图48A及48B，描绘根据本发明的一个实施例的弓形弹簧216的另一经修改附接340。在所描绘实施例中，弓形弹簧216的第一端262界定环或眼圈342，所述环或眼圈342经定大小以围绕从径向凸出突片236延伸的轴毂344旋转。在一个或多个实施例中，盖销346经定尺寸以穿过眼圈342且按扣于轴毂344中，借此捕获弓形弹簧216的第一端262。盖销346还可包含顶部轴承部分或耐磨垫348，所述顶部轴承部分或耐磨垫348凸出到径向凸出突片236及闩锁凸轮212的正面222上方。

功能上，相对于弓形弹簧216的线直径，衬套322的更大直径轴324或轴毂344的更大直径将所赋予负载散布遍及更大面积，借此减小应力且减小颗粒产生。顶部轴承部分326及348提供可在致动期间接触前板202的大表面积且相对于与弓形弹簧216直接接触减小磨损及伴随颗粒产生。

参考图49，根据本发明的一个实施例描绘针对弓形弹簧216的第二端264的经修改附接360。针对所描绘实施例，衬套362经连接到弓形弹簧216的第二端264且连接到闩锁臂214。衬套362提供更大直径的轴364(相对于弓形弹簧216的线直径“更大”)，轴364延伸到闩锁臂214中且可在其内旋转。衬套362还可经配置以提供顶部轴承部分366。顶部轴承部分366也可界定侧向延伸狭槽368，所述侧向延伸狭槽368从顶部轴承部分366的中心延伸到其边缘。衬套界定枢轴线372，弓形弹簧216的第二端264围绕所述枢轴线372旋转。

功能上，相对于弓形弹簧216的线直径，衬套362的更大直径轴364将所赋予负载散布遍及更大面积，借此减小应力及伴随颗粒产生。顶部轴承部分366提供可在致动期间接触前板202的大表面积且相对于与弓形弹簧216直接接触减小磨损及伴随颗粒产生。侧向延伸狭槽368使弓形弹簧216的第二端264能够在组装期间轻易按扣到衬套362中，且还在枢转臂214在致动期间倾斜时(图44B)使弓形弹簧216的第二端264能够从平行于枢轴线372(图44A)倾斜到不平行于枢轴线372。

本文揭示的额外图及方法中的每一者可单独或结合其它特征及方法使用以提供改进式装置及用于制造及使用其的方法。因此，本文揭示的特征及方法的组合可能未必在本发明的最广泛意义上实践本发明，且取而代之仅经揭示以具体描述代表性及优选实施例。

所属领域的技术人员在阅读本发明之后可了解对实施例的各种修改。举例来说，所属领域的一般技术人员将认识到，针对不同实施例描述的各种特征可单独或以不同组合与其它特征适当组合、不组合及再组合。类似地，上文描述的各种特征均应视为实例实施例，而非限制本发明的范围或精神。

所属领域的一般技术人员将认识到，各种实施例可包含比在上文描述的任何个别实施例中所说明的特征更少的特征。本文中描述的实施例并不表示作为可组合各种特征的方式的穷举性呈现。因此，所述实施例并非特征的相互排斥的组合；相反，如所属领域的一般技术人员应理解，权利要求书可包含选自不同个别实施例的不同个别特征的组合。

限制以引用以上文献的方式的任何并入，使得不并入违反本文的明确揭示的标的物。进一步限制以引用以上文件的方式的任何并入使得不以引用的方式将包含于文件中的权利要求并入本文中。又进一步限制以引用以上文件的方式的任何并入使得除非在本文中清楚包含，否则不以引用的方式将文件中提供的任何定义并入本文中。

对本文包含的“(若干)实施例”、“揭示内容”、“本发明”、“本发明的(若干)实施例”、“(若干)揭示实施例”及类似物的参考是指不被承认为是现有技术的此专利申请案的说明书(包含权利要求书的文字及图)。

出于解释权利要求书的目的，明确希望，除非在相应权利要求中陈述特定术语“……的构件”或“……的步骤”，否则不援引35U.S.C.112(f)的规定。

Claims (42)

1.一种衬底容器，其包括

容器部分，其包含界定开口的门框；

门，其经配置以安装在所述门框内；

致动连杆组组合件，其包含框架、衬底保持件组合件及心轴，所述心轴经枢转安装到所述框架且安装到所述衬底保持件组合件，所述框架经安装到所述容器部分的内壁，所述衬底保持件组合件可延伸到所述门框的所述开口中，

所述致动连杆组组合件可选择性地配置于衬底保持位置中，其中当所述门座落在所述门框内时，所述衬底保持件组合件与所述门接触且由所述门致动，

所述致动连杆组组合件可选择性地配置于衬底非保持位置中，其中当所述门不在所述门框内时，所述衬底保持件组合件延伸到所述门框的所述开口中；及

偏置部件，其经操作耦合到所述框架、所述心轴及所述衬底保持件组合件中的至少一者，所述偏置部件将所述致动连杆组组合件偏置于所述衬底非保持位置中。

2.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述偏置部件包含弹簧臂，所述弹簧臂从所述框架延伸且接触所述心轴及所述衬底保持件组合件中的一者。

3.根据权利要求2所述的衬底容器，其中所述弹簧臂可滑动地接触所述心轴。

4.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述偏置部件包含经连接到所述心轴的线圈弹簧，所述线圈弹簧围绕所述心轴的旋转轴同心。

5.根据权利要求4所述的衬底容器，其中所述线圈经连接到所述框架且围绕所述框架的枢轴线同心。

6.根据权利要求4所述的衬底容器，其中所述线圈经连接到所述衬底保持件组合件且围绕所述衬底保持件组合件的枢轴线同心。

7.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述偏置部件包括弹性部件，所述弹性部件从所述框架延伸到所述心轴及所述衬底保持件组合件中的一者。

8.根据权利要求7所述的衬底容器，其中所述弹性部件是连续带。

9.根据权利要求8所述的衬底容器，其中所述连续带是O形环。

10.根据权利要求1所述的衬底容器，其中：

所述心轴在界定枢轴线的枢轴处安装到所述框架；

所述偏置部件包含侧向延伸超越所述枢轴的所述心轴的延伸部分，所述延伸部分包含旋转止档，所述旋转止档接合所述框架及所述容器的内表面中的一者以在所述旋转止档与所述心轴之间赋予偏置扭矩。

11.根据权利要求10所述的衬底容器，其中所述延伸部分侧向延伸超越所述框架且所述旋转止档接合所述内表面。

12.根据权利要求1或权利要求11所述的衬底容器，其中所述延伸部分沿着所述枢轴线侧向延伸。

13.一种用于衬底容器的门，其包括：

前板及背板，其经接合以界定内部腔室；

闩锁凸轮，其经安装到所述内部腔室内的所述门且可围绕凸轮轴旋转；

闩锁臂，其经安置在所述内部腔室内且可操作耦合到所述闩锁凸轮；及

弓形弹簧，其具有第一端及第二端，所述第一端经枢转耦合到所述闩锁凸轮，所述第二端经枢转耦合到所述闩锁臂，

其中所述闩锁凸轮可从所述门处于解锁配置中的第一角定向旋转到所述门处于闩锁配置中的第二角定向，

其中所述弓形弹簧在介于所述第一角定向与所述第二角定向之间的中间角定向处处于最大压缩中。

14.根据权利要求13所述的门，其中所述弓形弹簧从所述第一角定向到所述第二角定向处于压缩中。

15.根据权利要求13所述的门，其中所述弓形弹簧的所述第一端经连接到所述闩锁凸轮上的轴毂。

16.根据权利要求13所述的门，其中衬套经连接到所述弓形弹簧的所述第二端且连接到所述闩锁臂。

17.根据权利要求16所述的门，其中所述衬套界定枢轴线，所述弓形弹簧的所述第二端围绕所述枢轴线旋转，且其中所述衬套界定侧向延伸狭槽，所述侧向延伸狭槽使所述弓形弹簧的所述第二端能够在致动所述枢转臂时，从平行于所述枢轴线倾斜到不平行于所述枢轴线。

18.根据权利要求13所述的门，其中所述门闩锁机构包含引导组合件，其经耦合到所述闩锁臂及所述门的所述第一板及所述第二板中的一者以使所述闩锁臂朝向所述第二板及所述第一板中的另一者偏置。

19.根据权利要求18所述的门，其中所述引导组合件包含安装在轴毂上的线圈弹簧，所述轴毂从所述前板及所述背板中的一者延伸。

20.根据权利要求13所述的门，其中所述第二角定向的所述闩锁配置是完全闩锁配置。

21.根据权利要求13到20中任一权利要求所述的门，其中所述弓形弹簧包含S形段。

22.根据权利要求13到20中任一权利要求所述的门，其中所述弓形弹簧包含U形段。

23.一种衬底容器，其包括：

容器部分，其包含界定开口的门框；

门，其经配置以安装在所述门框内，所述门包含

前板及背板，其经接合以界定内部腔室，

闩锁凸轮，其经安装到所述内部腔室内的所述门且可围绕凸轮轴旋转，所述闩锁凸轮可从所述门处于解锁配置中的第一角定向旋转到所述门处于闩锁配置中的第二角定向，

闩锁臂，其经安置在所述内部腔室内且可操作耦合到所述闩锁凸轮，及弓形弹簧，其具有第一端及第二端，所述第一端经枢转耦合到所述闩锁凸轮，所述第二端经枢转耦合到所述闩锁臂，所述弓形弹簧在介于所述第一角定向与所述第二角定向之间的中间角定向处处于最大压缩中；

致动连杆组组合件，其包含框架、衬底保持件组合件及心轴，所述心轴经枢转安装到所述框架且安装到所述衬底保持件组合件，所述框架经安装到所述容器部分的内壁，所述衬底保持件组合件可延伸到所述门框的所述开口中，

所述致动连杆组组合件可选择性地配置于衬底保持位置中，其中当所述门座落在所述门框内时，所述衬底保持件组合件与所述门接触且由所述门致动，

所述致动连杆组组合件可选择性地配置于衬底非保持位置中，其中当所述门不在所述门框内时，所述衬底保持件组合件延伸到所述门框的所述开口中；

偏置部件，其经操作耦合到所述框架、所述心轴及所述衬底保持件组合件中的至少一者，所述偏置部件将所述致动连杆组组合件偏置于所述衬底非保持位置中。

24.一种用于将衬底保持在衬底载体内的方法，其包括：

将所述衬底载体内的致动连杆组组合件配置在衬底保持位置中以用于将衬底选择性地保持在所述衬底载体内；及

当所述致动连杆组组合件处于所述衬底保持位置中时，将所述致动连杆组组合件偏置于衬底非保持位置中。

25.一种衬底容器，其包括

容器部分，其包含界定开口的门框；

门，其经配置以安装在所述门框内；

致动连杆组组合件，其包含：

框架，其经安装到所述容器部分的内壁；

心轴，其经枢转安装到所述框架；

衬底保持件组合件，其经枢转安装到所述心轴，所述衬底保持件组合件可延伸到所述门框的所述开口中；

轮轴，其经安装到所述衬底保持件组合件的下端，所述轴通过界定于所述衬底保持件组合件的所述下端处的夹入式结构保持到所述衬底保持件组合件；及

轮保持夹，其经安装到所述衬底保持件组合件且经配置以防止所述轴从所述衬底保持件组合件释放，

所述致动连杆组组合件，其可选择性地配置于衬底保持位置中，其中当所述门座落在所述门框内时，所述衬底保持件组合件与所述轮接触且由所述门致动，所述轮经配置以沿着所述门的内表面滚动。

26.根据权利要求25所述的衬底容器，其中所述轮保持夹包含多个钩部分，其与所述衬底保持件组合件耦合以将所述轮保持夹固定到所述衬底保持件组合件。

27.根据权利要求26所述的衬底容器，其中：

所述衬底保持件组合件包含界定孔隙的基底；

所述轮保持夹的所述多个钩部分中的至少一者经耦合到所述孔隙的周边；及

所述轮保持夹包含用于在所述孔隙内配准所述轮保持夹的配准结构。

28.根据权利要求25所述的衬底容器，其包括在所述衬底保持件组合件的所述下端处的轮轭，所述轮轴经安装到所述轮轭，其中：

所述轮保持夹包含多个钩部分，其与所述衬底保持件组合件耦合以将所述轮保持夹固定到所述衬底保持件组合件；

所述衬底保持件组合件的所述夹入式结构包含弹性悬臂，所述弹性悬臂对所述轴施加偏置力以将所述轴保持在所述轮轭内；及

所述轮保持夹经配置以防止所述夹入式结构的所述弹性悬臂偏转，借此防止所述夹入式结构释放所述轴。

29.根据权利要求28所述的衬底容器，其中所述轮保持夹的所述多个钩部分中的至少一者与所述轮轭耦合。

30.根据权利要求29所述的衬底容器，其中所述轮保持夹经配置以使所述多个钩部分中的所述至少一者围绕所述轮轭弹性移位且在组装时夹到所述轮轭上。

31.根据权利要求29及30中任一权利要求所述的衬底容器，其中耦合到所述轮轭的所述多个钩部分中的所述至少一者中的每一者包含用于在组装期间在所述轮轭上方滑动的引入结构。

32.一种衬底容器，其包括

容器部分，其包含界定开口的门框；

门，其经配置以安装在所述门框内；

致动连杆组组合件，其包含：

框架，其经安装到所述容器部分的内壁；

心轴，其具有枢转安装到所述框架的近端侧及远端侧，所述心轴包含枢轴；

衬底保持件组合件，其可延伸到所述门框的所述开口中且枢转安装到所述心轴的所述枢轴，所述衬底保持件组合件界定凹槽，所述枢轴可在所述凹槽内相对于所述衬底保持件组合件旋转；及

枢轴锁定夹，其安装到所述衬底保持件组合件以将所述枢轴捕获于所述衬底保持件组合件与所述枢轴锁定夹之间。

33.根据权利要求32所述的衬底容器，其中所述枢轴锁定夹包含多个钩部分，其与所述衬底保持件组合件耦合以将所述枢轴锁定夹固定到所述衬底保持件组合件。

34.根据权利要求33所述的衬底容器，其中：

所述衬底保持件组合件包含界定所述凹槽的轴向延伸部分，所述轴向延伸部分界定相对轴向延伸边缘；及

所述枢轴锁定夹的所述多个钩部分中的至少一些经耦合到所述轴向延伸部分的所述相对轴向延伸边缘。

35.根据权利要求32所述的衬底容器，其中所述枢轴锁定夹包含：

弓形主体部分，其包含相对端；及

第一对钩部分，其从所述弓形主体部分的第一端延伸；

其中所述第一对钩部分经耦合到所述衬底保持件组合件以抵靠所述心轴的所述枢轴固定所述弓形主体部分。

36.根据权利要求35所述的衬底容器，其中：

所述衬底保持件组合件包含界定所述凹槽的轴向延伸部分，所述轴向延伸部分界定相对轴向延伸边缘；

所述第一对钩部分经配置以接合所述轴向延伸部分的所述相对轴向延伸边缘。

37.根据权利要求36所述的衬底容器，其中所述第一对钩部分经配置用于围绕所述衬底保持件组合件的所述轴向延伸部分弹性移位且在组装时夹到所述轴向延伸部分上。

38.根据权利要求37所述的衬底容器，其中所述第一对钩部分包含经配置以在组装期间使所述第一对钩部分远离彼此偏转的引入结构。

39.根据权利要求35所述的衬底容器，其中所述枢轴锁定夹包含从所述弓形主体部分的第二端延伸的第二对钩部分，其中所述第二对钩部分经耦合到所述衬底保持件组合件以抵靠所述心轴的所述枢轴固定所述弓形主体部分。

40.根据权利要求39所述的衬底容器，其中：

所述衬底保持件组合件包含界定所述凹槽的轴向延伸部分，所述轴向延伸部分界定相对轴向延伸边缘；

所述第一对钩部分经配置以接合所述轴向延伸部分的所述相对轴向延伸边缘；及所述第二对钩部分经配置以接合所述轴向延伸部分的所述相对轴向延伸边缘。

41.根据权利要求40所述的衬底容器，其中所述第一对钩部分及所述第二对钩部分经配置用于围绕所述衬底保持件组合件的所述轴向延伸部分弹性移位且在组装时夹到所述轴向延伸部分上。

42.根据权利要求41所述的衬底容器，其中所述第一对钩部分及所述第二对钩部分的每一钩部分包含经配置以在组装期间使所述第一对钩部分及所述第二对钩部分远离彼此偏转的引入结构。