CN108450020B - 推动器装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种推动器装置，其包括：壳体，包括配置至中央且向下方开放的推动器收容空间、与上述推动器收容空间相邻地配置且可收容阀构造体的阀收容空间、一端与外部的空气流入部连接且另一端与上述阀收容空间连接的流入通路、一端与外部连接且另一端与上述阀收容空间连接的排出通路、及一端与上述阀收容空间连接且另一端与上述推动器收容空间连接的连接通路；阀构造体，使上述连接通路选择性地与上述流入通路及排出通路连通；及加压单元，于流入通路与连接通路连通而空气自空气流入部流入至推动器收容空间内时通过空气压力下降而与被检查器件接触以向检查用装置侧加压被检查器件；且上述阀构造体与加压单元配置于同一壳体内。

Description

推动器装置
技术领域
本发明涉及一种推动器装置，更详细而言，涉及一种将壳体与阀一体化而减少装置的整体尺寸及重量的推动器装置。
背景技术
通常，对检查结束的半导体器件进行电气检查。为了进行此种电气检查，需于将自外部搬送而来的半导体器件安装至特定的检查用装置后，对上述半导体器件施加特定的加压力而使上述半导体器件的端子以固定的压力与检查用装置的垫接触。
将此种用以将检查用装置侧加压半导体器件的装置称为推动器装置，此种推动器装置通常包括：壳体，在内部具有汽缸构造，通过空气压力而进行动作；及阀装置，配置至供给空气的气缸与壳体之间，接通/断开(ON/OFF)空气的供给。
此时，在壳体内部设置有填充自外部流入的空气的特定的空间，及于上述空间内上升或下降而对半导体器件的上表面进行加压的加压单元。
并且，上述阀装置于内部设置有用以连接至气缸与上述壳体而接通/断开由气缸供给的空气的阀，此种阀装置与壳体独立地设置于壳体外部。
如上所述，现有技术的推动器装置以个别地制作壳体与阀装置后使彼此附着的方式构成，故而存在整体尺寸与重量较大的问题。
发明内容
发明欲解决的课题
本发明是为了解决上述问题而提出，更详细而言，其目的在于提供一种将壳体与阀一体化而减少装置的整体尺寸及重量的推动器装置。
解决课题的手段
用以达成上述目的的本发明的推动器装置用以将被检查器件的端子加压至检查用装置，推动器装置包括：壳体，包括配置至中央且向下方开放的推动器收容空间、与上述推动器收容空间相邻地配置且可收容阀构造体的阀收容空间、一端与外部的空气流入部连接且另一端与上述阀收容空间连接的流入通路、一端与外部连接且另一端与上述阀收容空间连接的排出通路，及一端与上述阀收容空间连接且另一端与上述推动器收容空间连接的连接通路；阀构造体，使上述连接通路选择性地与上述流入通路及排出通路中的任一者连通；及加压单元，在上述流入通路与连接通路连通而空气自空气流入部流入至上述推动器收容空间内时，通过空气压力下降而与被检查器件接触，以将检查用装置侧加压上述被检查器件；且述阀构造体与加压单元配置至同一壳体内。
在上述推动器装置中，上述阀构造体可***至上述壳体的阀收容空间，在流入位置与排出位置之间移动，阀构造体在上述流入位置使上述连接通路与上述流入通路彼此连通且阻断上述连接通路与上述排出通路间的连通，阀构造体在上述排出位置使上述连接通路与上述排出通路彼此连通且阻断上述连接通路与上述流入通路间的连通。
在上述推动器装置中，若上述阀构造体移动至流入位置而空气流入至上述推动器收容空间的内部，则上述加压单元可通过空气压力下降而与被检查器件接触，以将检查用装置侧加压上述被检查器件。
在上述推动器装置中，上述阀构造体可包括：筒形状的阀衬套，***至上述阀收容空间内，具备连通上端及下端的杆***孔；阀杆，至少一部分***至阀衬套，在流入位置与排出位置之间移动；弹性偏置单元，使上述阀杆自上述排出位置向流入位置侧弹性偏置；及操作单元，配置至上述筒形状的阀构件的上端侧，可与上述阀杆接触而对上述阀杆进行加压来使上述阀杆向排出位置移动。
在上述推动器装置中，上述阀收容空间可包括连接上述流入通路的流入部分、连接上述排出通路的排出部分，及连接上述连接通路的连接部分，上述连接部分配置至流入部分与排出部分之间。
在上述推动器装置中，上述阀衬套可于上端设置使上述流入通路与内部的杆***孔连通的连通孔，在上述连通孔的下侧设置使阀衬套的外表面与上述阀收容空间之间密闭的衬套密封件。
在上述推动器装置中，上述阀杆可包括：柱部，至少一部分***至上述阀衬套的杆***孔，具有小于上述杆***孔的外径；及密闭部，与上述柱部一体地连接，设置有密闭密封件；上述流入位置是上述密闭部的密闭密封件以具有气密性的方式与上述阀衬套的杆***孔的内表面接触的位置，上述排出位置是上述密闭部的密闭密封件以具有气密性的方式与上述流入部分与连接部分之间的收容空间的内壁接触的位置。
在上述推动器装置的上述连接部分，上述阀杆与上述阀收容空间的内壁隔开特定间隔，在上述密闭部的密闭密封件位于上述流入部分时，上述连接部分的连接通路可通过阀杆的下端而与排出通路连通。
在上述推动器装置中，在上述密闭部的密闭密封件嵌入于阀杆的内部时，上述连接部分的流入通路可通过阀杆的外周面与密闭部之间的空间而彼此连通。
发明效果
上述阀构造体与加压单元配置于同一壳体内，因此具有可将用以检查半导体器件的空间最小化的优点。
附图说明
图1是本发明的一实施例的推动器装置的立体图。
图2是图1的分解立体图。
图3及图4是表示推动器装置对半导体器件进行加压前的状态的侧视图。
图5是表示推动器装置对半导体器件进行加压前的状态的俯视图。
图6是图5的Ⅵ-Ⅵ剖面图。
图7是图5的Ⅶ-Ⅶ剖面图。
图8是图5的Ⅷ-Ⅷ剖面图。
图9是表示推动器装置对半导体器件进行加压时的情况的俯视图。
图10是图9的Ⅹ-Ⅹ剖面图。
图11是图9的ⅩⅠ-ⅩⅠ剖面图。
图12是图9的ⅩⅡ-ⅩⅡ剖面图。
具体实施方式
以下，参照随附附图，详细地对本发明的一实施例的推动器装置进行说明。
参照图1至图4。本发明是有关于一种用以将被检查器件50的端子加压至检查用装置的推动器装置10，推动器装置10包括：壳体20、阀构造体30及加压单元40；上述阀构造体30与加压单元40配置于同一壳体20内。
上述壳体20整体呈长方体的形状，在其内部包括推动器收容空间21、阀收容空间22、流入通路23、排出通路24及连接通路25。
上述推动器收容空间21大致配置至中央且向下方开放，大致构成为圆筒形态。在此种推动器收容空间21连接有连接通路25的另一端。
上述阀收容空间22与上述推动器收容空间21相邻地配置且可收容阀构造体30，在内部收容阀构造体30。具体而言，阀收容空间22呈向上侧开口的槽形态。此种阀收容空间22连接流入通路23的另一端、排出通路24的另一端及连接通路25的一端。
此种阀收容空间22包括连接上述流入通路23的流入部分221、连接上述排出通路24的排出部分222，及连接上述连接通路25的连接部分223，上述连接部分223配置于流入部分221与排出部分222之间。在上述连接部分223，上述阀杆32与上述阀收容空间22的内壁隔开特定间隔，在上述密闭部322的密闭密封件322a位于上述流入部分221时，上述连接部分223的连接通路25通过阀杆32的下端而与排出通路24连通。
并且，在上述密闭部322的密闭密封件322a嵌入于阀杆32的内部时，上述连接部分223的流入通路23可通过阀杆32的外周面与密闭部322之间的空间而彼此连通。
上述流入通路23的一端与外部的空气流入部231连接，另一端与上述阀收容空间22连接。具体而言，流入通路23为如下通路：一端与外部的空气泵连接而可使自空气泵(未图示)施加的空气流入。
上述排出通路24的一端与外部的排出通路241连接，另一端与上述阀收容空间22连接，执行如下的排出通路24的功能：在加压单元40完成对被检查器件50的加压后上升时，可使空气排出。
上述连接通路25是一端与上述阀收容空间22连接，另一端与上述推动器收容空间21连接的通路。此种连接通路25用作使空气流入至推动器收容空间21的内部的通路，或也用作向外部排出推动器收容空间21内部的空气的通路。
上述阀构造体30使上述连接通路25选择性地与上述流入通路23及排出通路24中的任一者连通。具体而言，上述阀构造体30***至上述壳体20的阀收容空间22，并于流入位置与排出位置之间移动，阀构造体30在流入位置使上述连接通路25与上述流入通路23彼此连通且阻断上述连接通路25与上述排出通路24间的连通，阀构造体30在排出位置使上述连接通路25与上述排出通路24彼此连通且阻断上述连接通路25与上述流入通路23间的连通。
此种阀构造体30包括阀衬套31、阀杆32、弹性偏置单元33及操作单元34。
上述阀衬套31呈筒形状，***至上述阀收容空间22内，具备连通上下端的杆***孔311。上述阀衬套31在上端设置使上述流入通路23与内部的杆***孔311连通的连通孔312，在上述连通孔312的下侧设置有将阀衬套31的外表面与上述阀收容空间22之间密闭的衬套密封件313。
上述阀杆32的至少一部分***至阀衬套31，在流入位置与排出位置之间移动。上述阀杆32包括：柱部321，至少一部分***至上述阀衬套31的杆***孔311，具有小于上述杆***孔311的外径；及密闭部322，与上述柱部321一体地连接，设置有密闭密封件322a。此时，上述流入位置是上述密闭部322的密闭密封件322a以具有气密性的方式与上述阀衬套31的杆***孔311的内表面接触的位置，上述排出位置是上述密闭部的密闭密封件以具有气密性的方式与上述流入部分221与连接部分223之间阀收容空间22的内壁接触的位置。
上述弹性偏置单元33使上述阀杆32自上述排出位置向流入位置侧弹性偏置。具体而言，上述弹性偏置单元33配置至上述阀杆32的下端与上述阀收容空间22的下端之间而弹性支持上述阀杆32。
上述操作单元34配置至上述筒形状的阀构件的上端侧，可与上述阀杆32接触而对上述阀杆32进行加压来使上述阀杆向排出位置移动。
上述加压单元40在上述流入通路23与连接通路25连通而空气自空气流入部231流入至上述推动器收容空间21内的情形时，通过空气压力下降而与被检查器件50接触，以将检查用装置侧加压上述被检查器件50。若上述阀构造体30向流入位置移动而空气流入至上述推动器收容空间21的内部，则此种加压单元40通过空气压力下降而与被检查器件50接触，以将检查用装置侧加压上述被检查器件50。此种加压单元40包括：加压板41，与被检查器件50的上表面接触而对上述被检查器件50进行加压；活塞42，与上述加压板41连接，通过空气压力而上升或下降；及活塞弹簧43，使上述活塞42向上侧弹性偏置。上述加压单元呈如下构造：若空气流入至推动器收容空间21，则上述活塞42通过空气压力而下降，加压板41也与上述活塞一同下降，若去除空气压力，则活塞42通过活塞弹簧43而上升。此种加压单元40为推动器装置10的通常的构成，因此省略具体说明。
本发明的推动器装置10的作用及效果如下。
首先，在图5至图8中表示阀构造体30位于排出位置而加压单元40上升的情况。此时，由于连接通路25与排出通路24彼此连通，因此推动器收容空间21内部的空气排出至外部。
在上述状态下对操作单元34进行操作而使阀构造体30通过弹性偏置单元33上升的情形时，如图9至图12所示般进行动作。即，若阀构造体30上升，则密闭部322的密闭密封件322a气密地与阀杆32的内表面接触而阻断排出通路24与连接通路25连通。与此相反，使流入通路23与连接通路25彼此连通。藉此，外部的空气通过流入通路23及连接通路25而供给至推动器收容空间21，从而使加压单元40下降以将检查用装置侧加压被检查器件50。
与此相反，若再次相反地对阀进行操作，则阀构造体30下降而如图5至图8所示般密闭部322的密闭密封件322a以具有气密性的方式自连接部分223阻断流入部分221，藉此防止空气自外部流入。与此相反，使排出通路24与连接通路25彼此连通。即，推动器收容空间21内部的空气通过连接通路25、阀收容空间22的内壁与阀杆32之间的隔开空间、阀杆32的下端及阀杆32的杆***孔311而经由排出通路24排出至外部。
本发明的此种推动器装置于壳体内部一体地配置包括加压单元的阀构造体，藉此具有不仅可减少推动器装置的整体尺寸，而且也可减少重量的优点。

Claims (8)

1.一种推动器装置，用以将被检查器件的端子加压至检查用装置，所述推动器装置包括：
壳体，包括配置至中央且向下方开放的推动器收容空间、与所述推动器收容空间相邻地配置且可收容阀构造体的阀收容空间、一端与外部的空气流入部连接且另一端与所述阀收容空间连接的流入通路、一端与外部连接且另一端与所述阀收容空间连接的排出通路，及一端与所述阀收容空间连接且另一端与所述推动器收容空间连接的连接通路；
所述阀构造体，使所述连接通路选择性地与所述流入通路及所述排出通路中的任一者连通；及
加压单元，在所述流入通路与所述连接通路连通而空气自所述空气流入部流入至所述推动器收容空间内时，通过空气压力下降而与所述被检查器件接触，以将所述检查用装置侧加压所述被检查器件；且
所述阀构造体与所述加压单元配置于同一所述壳体内，
其中所述阀构造体***至所述壳体的所述阀收容空间且可于流入位置与排出位置之间移动，所述阀构造体在所述流入位置使所述连接通路与所述流入通路彼此连通且阻断所述连接通路与所述排出通路间的连通，所述阀构造体在所述排出位置使所述连接通路与所述排出通路彼此连通且阻断所述连接通路与所述流入通路间的连通。
2.根据权利要求1所述的推动器装置，其中若所述阀构造体移动至所述流入位置而空气流入至所述推动器收容空间的内部，则所述加压单元通过空气压力下降而与所述被检查器件接触，以将所述检查用装置侧加压所述被检查器件。
3.根据权利要求1所述的推动器装置，其中所述阀构造体包括：
呈筒形状的阀衬套，***至所述阀收容空间内，具备连通上端及下端的杆***孔；
阀杆，至少一部分***至所述阀衬套，在所述流入位置与所述排出位置之间移动；
弹性偏置单元，使所述阀杆自所述排出位置向所述流入位置侧弹性偏置；以及
操作单元，配置至筒形状的所述阀构件的上端侧，可与所述阀杆接触而对所述阀杆进行加压来使所述阀杆向所述排出位置移动。
4.根据权利要求3所述的推动器装置，其中所述阀收容空间包括连接所述流入通路的流入部分、连接所述排出通路的排出部分，及连接所述连接通路的连接部分，所述连接部分配置于所述流入部分与所述排出部分之间。
5.根据权利要求4所述的推动器装置，其中所述阀衬套于上端设置使所述流入通路与内部的所述杆***孔连通的连通孔，于所述连通孔的下侧设置有将所述阀衬套的外表面与所述阀收容空间之间密闭的衬套密封件。
6.根据权利要求5所述的推动器装置，其中所述阀杆包括：柱部，至少一部分***至所述阀衬套的所述杆***孔，具有小于所述杆***孔的外径；以及密闭部，与所述柱部一体地连接，设置有密闭密封件；
所述流入位置是所述密闭部的所述密闭密封件以具有气密性的方式与所述阀衬套的所述杆***孔的内表面接触的位置，
所述排出位置是所述密闭部的所述密闭密封件以具有气密性的方式与所述流入部分与所述连接部分之间的收容空间的内壁接触的位置。
7.根据权利要求6所述的推动器装置，其中于所述连接部分，所述阀杆与所述阀收容空间的内壁隔开特定间隔，在所述密闭部的所述密闭密封件位于所述流入部分时，所述连接部分的所述连接通路通过所述阀杆的下端而与所述排出通路连通。
8.根据权利要求6所述的推动器装置，其中于所述密闭部的所述密闭密封件嵌入于所述阀杆的内部时，所述连接部分的所述流入通路通过所述阀杆的外周面与所述密闭部之间的空间而彼此连通。
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