CN108398093A - 一种基于输送部的石英坩埚壁厚检测*** - Google Patents

一种基于输送部的石英坩埚壁厚检测*** Download PDF

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CN108398093A CN201710067319.XA CN201710067319A CN108398093A CN 108398093 A CN108398093 A CN 108398093A CN 201710067319 A CN201710067319 A CN 201710067319A CN 108398093 A CN108398093 A CN 108398093A
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刘福鸿
陈宝昌
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JIANGSU HUAER QUARTZ MATERIALS CO Ltd
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JIANGSU HUAER QUARTZ MATERIALS CO Ltd
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    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
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Abstract

本发明公开了一种基于输送部的石英坩埚壁厚检测***,包括输送部和检测部,输送部包括两根平行的横梁,两根横梁之间具有多个平行设置的传送辊,输送部还包括驱动多个传送辊的驱动装置;检测部包括液压缸和设置在液压缸自由端的横杆,横杆的两端分别设置有第一竖杆和第二竖杆,第一竖杆上具有第一激光测距装置,第二竖杆上具有第二激光测距装置,第二竖杆上还设置有第三激光测距装置,检测部还包括顶板和设置在顶板上的第四激光测距装置;相邻的两个传送辊之间具有间隙,当第一竖杆穿过其中一个间隙时,第二竖杆穿过另一间隙。本发明的测量装置效率高,且测量准确。

Description

一种基于输送部的石英坩埚壁厚检测***
技术领域
本发明涉及石英坩埚领域,具体涉及一种基于输送部的石英坩埚壁厚检测***。
背景技术
光伏市场中,硅太阳电池占据大部分的市场份额。因此对于硅太阳能电池有着较高的需求,在制作硅太阳能电池时,石英坩埚是常用的设备,在石英坩埚的制作过程中,需要对坩埚的壁厚进行检测,如果不合格需要返工,现有的石英坩埚壁厚检测很多是通过人工完成,效率低且不准确。
发明内容
发明目的:本发明旨在克服现有技术的缺陷,提供一种基于输送部的石英坩埚壁厚检测***。
技术方案:一种石英坩埚壁厚检测***,包括输送部和检测部,所述输送部包括两根平行的横梁,两根横梁之间具有多个平行设置的传送辊,所述输送部还包括驱动多个传送辊的驱动装置;所述检测部包括液压缸和设置在液压缸自由端的横杆,所述横杆的两端分别设置有第一竖杆和第二竖杆,所述第一竖杆上具有第一激光测距装置,所述第二竖杆上具有第二激光测距装置,所述第二竖杆上还设置有第三激光测距装置,所述检测部还包括顶板和设置在顶板上的第四激光测距装置,所述第一、二激光测距装置位于同一条直线上,所述第三、四激光测距装置位于同一条直线上;相邻的两个传送辊之间具有间隙,当第一竖杆穿过其中一个间隙时,第二竖杆穿过另一间隙。
进一步地,所述第一、三激光测距装置均位于第一竖杆的端部;所述第二激光测距装置位于所述第二竖杆的端部。
进一步地,所述检测***还包括PLC控制器,所述驱动装置、液压缸、第一激光测距装置、第二激光测距装置、第三激光测距装置和第四激光测距装置均与所述控制器相连。
进一步地,所述检测部还包括基板,所述液压缸安装在所述基板上,所述顶板通过支架固定在所述基板上。
有益效果:本发明的检测***,能够在输送线上对壁厚进行检测,检测效率高,结果准确。
附图说明
图1为检测***示意图。
具体实施方式
附图标记:1液压缸;2横梁;3传送辊;4.1第一竖杆;4.2第二竖杆;4.3横杆;5.1第一激光测距装置;5.2第二激光测距装置;5.3第三激光测距装置;6顶板;6.1第四激光测距装置;20石英坩埚。
一种石英坩埚壁厚检测***,包括输送部和检测部,所述输送部包括两根平行的横梁2,两根横梁之间具有多个平行设置的传送辊3,所述输送部还包括驱动多个传送辊的驱动装置;所述检测部包括液压缸1和设置在液压缸1自由端的横杆4.3,所述横杆4.3的两端分别设置有第一竖杆4.1和第二竖杆4.2,所述第一竖杆4.1上具有第一激光测距装置5.1,所述第二竖杆4.2上具有第二激光测距装置5.2,所述第二竖杆上还设置有第三激光测距装置5.3,所述检测部还包括顶板6和设置在顶板上的第四激光测距装置6.1,所述第一、二激光测距装置5.1、5.2位于同一条直线上,所述第三、四激光测距装置5.3、6.1位于同一条直线上;相邻的两个传送辊之间具有间隙,当第一竖杆穿过其中一个间隙时,第二竖杆穿过另一间隙。所述第一、三激光测距装置均位于第一竖杆的端部;所述第二激光测距装置位于所述第二竖杆的端部。所述检测***还包括PLC控制器,所述驱动装置、液压缸、第一激光测距装置、第二激光测距装置、第三激光测距装置和第四激光测距装置均与所述控制器相连。所述检测部还包括基板,所述液压缸安装在所述基板上,所述顶板通过支架固定在所述基板上。
本发明的检测***,当石英坩埚输送到检测位置时,暂停,液压缸升高,从而第一、二激光测距装置测出坩埚的侧壁厚度,第三、四激光测距装置测量出坩埚的底部的厚度。由于第一、二激光测距装置之间的距离是已知的,测量时第三、四激光测距装置之间的距离也是已知的(液压缸的原始高度和顶板的高度是已知的,液压缸上升的高度是设定好的,也是已知的),因此通过已知距离减去两个激光测距装置的测量值就是相应的壁厚值。测量完毕后,液压缸降低,继续输送石英坩埚。
尽管本发明就优选实施方式进行了示意和描述,但本领域的技术人员应当理解,只要不超出本发明的权利要求所限定的范围,可以对本发明进行各种变化和修改。

Claims (4)

1.一种基于输送部的石英坩埚壁厚检测***,其特征在于,包括输送部和检测部,所述输送部包括两根平行的横梁,两根横梁之间具有多个平行设置的传送辊,所述输送部还包括驱动多个传送辊的驱动装置;所述检测部包括液压缸和设置在液压缸自由端的横杆,所述横杆的两端分别设置有第一竖杆和第二竖杆,所述第一竖杆上具有第一激光测距装置,所述第二竖杆上具有第二激光测距装置,所述第二竖杆上还设置有第三激光测距装置,所述检测部还包括顶板和设置在顶板上的第四激光测距装置,所述第一、二激光测距装置位于同一条直线上,所述第三、四激光测距装置位于同一条直线上;相邻的两个传送辊之间具有间隙,当第一竖杆穿过一个间隙时,第二竖杆穿过另一间隙。
2.根据权利要求1所述的基于输送部的石英坩埚壁厚检测***,其特征在于,所述第一、三激光测距装置均位于第一竖杆的端部;所述第二激光测距装置位于所述第二竖杆的端部。
3.根据权利要求1所述的基于输送部的石英坩埚壁厚检测***,其特征在于,所述检测***还包括PLC控制器,所述驱动装置、液压缸、第一激光测距装置、第二激光测距装置、第三激光测距装置和第四激光测距装置均与所述控制器相连。
4.根据权利要求1所述的基于输送部的石英坩埚壁厚检测***,其特征在于,所述检测部还包括基板,所述液压缸安装在所述基板上,所述顶板通过支架固定在所述基板上。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108592844A (zh) * 2018-04-23 2018-09-28 内蒙古欧晶科技股份有限公司 一种自动测量坩埚透明层厚度的装置及方法

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