CN108389888B - 柔性显示面板及其制造方法、显示装置 - Google Patents
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Abstract
本发明是关于一种柔性显示面板及其制造方法、显示装置，属于显示技术领域。所述柔性显示面板包括：柔性基底，柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，每两个相邻的柱面结构的侧边相连；柔性基底上保形地设置有柔性器件。本发明通过柱面结构使得柔性显示面板的整体结构是曲面结构，解决了相关技术中平面结构的柔性显示面板中无机膜层易受到应力影响而产生裂痕甚至断裂，造成柔性显示面板质量的下降甚至损坏失效的问题，实现了提高柔性显示面板质量的效果，用于显示装置。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种柔性显示面板及其制造方法、显示装置。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示面板因其自发光、轻薄、宽视角、高亮度、高对比度等特点，逐渐成为显示领域的主流。OLED显示面板广泛应用于智能手机、平板电脑、电视等终端产品。其中，柔性OLED显示面板具有可弯曲特点，可以应用于各种特殊结构的终端产品。
相关技术中，在制造柔性OLED显示面板时，常常会形成有无机膜层。弯折前柔性OLED显示面板是平面结构，在后续进行频繁弯折或者拉伸时，无机膜层易受到应力的影响而产生裂痕甚至断裂，最终造成柔性显示面板质量的下降甚至损坏失效。
发明内容
本发明实施例提供了一种柔性显示面板及其制造方法、显示装置，可以解决相关技术中平面结构中柔性显示面板的无机膜层易受到应力影响而产生裂痕甚至断裂，造成柔性显示面板质量的下降甚至损坏失效的问题。所述技术方案如下：
根据本发明实施例的第一方面，提供一种柔性显示面板，包括：
柔性基底，所述柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，每两个相邻的柱面结构的侧边相连；
所述柔性基底上保形地设置有柔性器件。
可选的，所述柔性器件包括多个显示结构，每个所述显示结构包括至少一个像素，所述多个显示结构与所述多个柱面结构一一对应，相邻的两个显示结构之间电连接。
可选的，每个所述显示结构包括2～12个像素，每个所述像素包括至少两个子像素。
根据本发明实施例的第二方面，提供一种显示装置，包括第一方面所述的柔性显示面板。
根据本发明实施例的第三方面，提供一种柔性显示面板的制造方法，所述方法包括：
形成支撑件，所述支撑件包括呈阵列排布的多个支撑结构；
在所述支撑件上保形地形成柔性基底，所述支撑结构与所述柔性基底接触的一面为曲面，所述曲面为凹面或凸面，所述柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，每两个相邻的柱面结构的侧边相连，所述多个柱面结构与所述多个支撑结构一一对应；
在形成有所述柔性基底的支撑件上保形地形成柔性器件；
将所述支撑件与形成有所述柔性器件的柔性基底分离，以得到所述柔性显示面板。
可选的，所述形成支撑件，包括：
形成衬底基板；
在所述衬底基板上形成可移除层，以得到所述支撑件，所述可移除层包括所述多个支撑结构；
所述将所述支撑件与形成有所述柔性器件的柔性基底分离，包括：
去除形成在所述衬底基板上的可移除层；
将去除所述可移除层之后的衬底基板与形成有所述柔性器件的柔性基底分离。
可选的，所述柔性器件包括多个显示结构，每个所述显示结构包括至少一个像素，
所述在形成有所述柔性基底的支撑件上保形地形成柔性器件，包括：
在形成有所述柔性基底的支撑件上形成所述多个显示结构，所述多个显示结构与所述多个柱面结构一一对应，相邻的两个显示结构之间电连接。
可选的，可移除层由二氧化硅材料制成，
所述去除形成在所述衬底基板上的可移除层，包括：
在所述可移除层上喷洒二氧化硅溶解剂，以去除形成在所述衬底基板上的可移除层。
可选的，每个所述显示结构包括2～12个像素，每个所述像素包括至少两个子像素。
可选的，所述衬底基板为玻璃基板。
本发明实施例提供的技术方案至少包括以下有益效果：
本发明实施例提供的柔性显示面板及其制造方法、显示装置，该柔性显示面板中柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，每两个相邻的柱面结构的侧边相连，柔性基底上保形地设置有柔性器件，该柔性显示面板的整体结构为曲面结构，所以后续在进行弯折或拉伸时，无机膜层不易受到应力的影响，因此，可以提高柔性显示面板质量。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的实施例，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1A是本发明实施例提供的一种柔性显示面板的结构示意图；
图1B是本发明实施例提供的一种显示结构被拉伸的示意图；
图2是本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图；
图3是一种显示结构的结构示意图；
图4是本发明实施例提供的一种柔性显示面板的制造方法的流程图；
图5是本发明实施例提供的形成的支撑件的结构示意图；
图6是本发明实施例提供的形成的柔性基底的结构示意图；
图7是本发明实施例提供的形成的柔性器件的结构示意图；
图8是本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的制造方法的流程图；
图9是本发明实施例提供的形成的衬底基板的结构示意图；
图10是本发明实施例提供的形成的可移除层的结构示意图；
图11是本发明实施例提供的形成的柔性基底的结构示意图；
图12是本发明实施例提供的形成的柔性器件的结构示意图。
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部份实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供了一种柔性显示面板，如图1A所示，该柔性显示面板包括：
柔性基底100，该柔性基底100包括呈阵列排布的多个柱面结构110，每两个相邻的柱面结构110的侧边相连；
柔性基底100上保形地设置有柔性器件200。图1A示出的是柔性显示面板的侧视图。
需要说明的是，本发明实施例中的“保形”指的是将柔性器件设置在柔性基底时，柔性器件与柔性基底具有相同或相似的表面形貌。
由于相关技术中，在制造柔性显示面板时，为保证电学特性，常常会形成有大量的无机膜层。弯折前柔性显示面板是平面结构，所以在后续进行频繁弯折或者拉伸时，无机膜层易受到应力的影响而产生裂痕甚至断裂，最终造成柔性显示面板质量的下降甚至损坏失效。而本发明实施例中，柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，这样一来，柔性显示面板的整体结构是曲面结构，所以在后续进行弯折或拉伸时，由于是柔性显示面板是曲面结构，所以柔性显示面板中的无机膜层不易受到应力的影响。
综上所述，本发明实施例提供的柔性显示面板，柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，柔性基底上保形地设置有柔性器件，该柔性显示面板的整体结构是曲面结构，所以后续在进行弯折或拉伸时，无机膜层不易受到应力的影响，因此，可以提高柔性显示面板质量。
可选的，参见图1A，柔性器件200可以包括多个显示结构210，每个显示结构210包括至少一个像素，多个显示结构210与多个柱面结构110一一对应，相邻的两个显示结构210之间电连接。比如，相连的两个显示结构之间可以通过金属走线电连接。其中，每个显示结构210也为柱面结构。
比如，参见图1A，柔性器件200包括4个显示结构210，柔性基底100包括4个柱面结构110，4个显示结构210与4个柱面结构110一一对应，也即是，每个柱面结构110上设置有一个显示结构210。
可选的，可以根据产品分辨率来确定显示结构的数量，以及两个相邻的显示结构之间的距离。比如当产品分辨率较小时，显示结构可以较少，相邻的两个显示结构之间的距离较大；当产品分辨率较大时，显示结构可以较多，相邻的两个显示结构之间的距离较小。
可选的，每个显示结构可以包括2～12个像素。每个像素包括至少两个子像素，示例的，每个像素可以包括红色子像素、蓝色子像素和绿色子像素等。
当显示结构包括2～12个像素时，可以使柔性显示面板的拉伸效果更好，且面板结构更容易实现。
示例的，图1B示出了包括一个像素的显示结构被拉伸的示意图，参见图1B，当沿着水平方向(如图1B中x所指示的方向及其反方向)对显示结构拉伸时，该显示结构会沿着垂直方向(如图1B中y所指示的方向)产生形变。相较于水平结构的显示结构，本发明实施例中柱面结构的显示结构存在拉伸的余地，拉伸效果更好。
需要说明的是，在本发明实施例中，柔性基底包括的柱面结构110与柔性器件接触的一面可以为凸面，也可以为凹面。当柱面结构110与柔性器件接触的一面为凸面时，本发明实施例提供的柔性显示面板的结构示意图如图1A所示，图1A中的多个显示结构210与多个柱面结构110一一对应，每个柱面结构110与对应的显示结构210的形状相同，柱面结构110与柔性器件接触的一面为凸面；当柱面结构110与柔性器件接触的一面为凹面时，本发明实施例提供的柔性显示面板的结构示意图可以如图2所示，图2中的柔性基底100上设置有多个显示结构210，多个显示结构210与多个柱面结构110一一对应。每个柱面结构110与对应的显示结构210的形状相同，柱面结构110与柔性器件接触的一面为凹面。
示例的，本发明实施例提供的柔性显示面板可以为柔性OLED显示面板，比如可以为柔性有源矩阵有机发光二极体(Active-matrix organic light emitting diode，AMOLED)显示面板。以柔性AMOLED显示面板为例，参见图3，图1A或图2中的每个显示结构210可以包括：
缓冲层(buffer)211；
缓冲层211上依次设置有有源层图形212、栅绝缘层213、栅极图形214、绝缘层215、源漏极图形216、平坦层217、像素层218、像素定义层219和支撑层220。其中，该有源层图形可以由多晶硅(Poly-Silicon，P-Si)薄膜形成。
另外，在对本发明实施例提供的柔性显示面板进行封装时，示例的，可以采用薄膜封装(Thin Film Encapsulation，TFE)工艺进行封装，进而得到所需要的预拉伸面板。
本发明实施例提供的柔性显示面板，可以减少柔性器件在被拉伸时走线形变程度与膜层形变程度，提高了柔性器件比如像素区和走线区对于形变的耐受性，从而提高产品信赖性以及良率。同时，由于柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，所以对该柔性显示面板进行拉伸时，发光面积变化较小。对该柔性显示面板进行拉伸时，当拉伸程度较小时，该柔性显示面板发生的亮度差异程度较小，不会影响柔性显示面板的正常显示；当拉伸程度较大时，需要补偿的亮度值也较小。
综上所述，本发明实施例提供的柔性显示面板，该柔性显示面板中柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，每两个相邻的柱面结构的侧边相连，柔性基底上保形地设置有柔性器件，该柔性显示面板的整体结构为曲面结构，所以后续在进行弯折或拉伸时，无机膜层不易受到应力的影响，因此，可以提高柔性显示面板质量。
本发明实施例还提供了一种显示装置，包括上述柔性显示面板，该柔性显示面板可以如图1A或图2所示。
图4是本发明实施例提供的一种柔性显示面板的制造方法的流程图，参见图4，该制造方法可以包括：
步骤601、形成支撑件。
示例的，参见图5，形成的支撑件500包括呈阵列排布的多个支撑结构510。图5示出的是支撑件500的侧视图。
步骤602、在支撑件上保形地形成柔性基底。
其中，“保形”指的是将柔性基底形成在支撑件时，柔性基底与支撑件具有相同或相似的表面形貌。
示例的，参见图6，在支撑件500上保形地形成柔性基底100，支撑结构与柔性基底100接触的一面为凹面或凸面。图6示例性示出了支撑结构与柔性基底100接触的一面为凸面时的结构示意图。
参见图6，柔性基底100包括呈阵列排布的多个柱面结构110，每两个相邻的柱面结构110的侧边相连。多个柱面结构110与多个支撑结构一一对应。
步骤603、在形成有柔性基底的支撑件上保形地形成柔性器件。
其中，“保形”指的是将柔性器件形成在柔性基底时，柔性器件与柔性基底具有相同或相似的表面形貌。
示例的，参见图7，在形成有柔性基底100的支撑件500上保形地形成柔性器件200。
需要补充说明的是，在本步骤中，可以以该支撑件上的柔性基底作为衬底，直接在柔性基底上形成整个柔性器件，也可以在另一衬底上形成柔性器件，然后将形成好的柔性器件转移至本发明实施例中形成有柔性基底的支撑件上。
步骤604、将支撑件与形成有柔性器件的柔性基底分离，以得到柔性显示面板。
示例的，将图7所示的支撑件500与形成有柔性器件200的柔性基底100分离，以得到柔性显示面板，如图1A所示。
在本实施例中，图5至图7示例性示出的是支撑结构与柔性基底接触的一面为凸面的侧视图。
在对本发明实施例提供的柔性显示面板进行封装时，示例的，可以采用TFE工艺进行封装，进而得到所需要的预拉伸面板。
综上所述，本发明实施例提供的柔性显示面板的制造方法，由于是先在支撑件上保形地形成柔性基底，然后在形成有柔性基底的支撑件上保形地形成柔性器件，之后将支撑件与形成有柔性器件的柔性基底分离，进而得到柔性显示面板，其中，柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，该柔性显示面板的整体结构为曲面结构，所以后续在进行弯折或拉伸时，无机膜层不易受到应力的影响，因此，可以提高柔性显示面板质量。
采用本发明实施例提供的柔性显示面板的制造方法所制造的柔性显示面板中，柱面结构与柔性器件接触的一面可以为凸面，也可以为凹面，下面以柱面结构与柔性器件接触的一面为凸面为例对该柔性显示面板的制造方法进行说明，参见图8，该制造方法可以包括：
步骤701、形成衬底基板。
示例的，参见图9，形成衬底基板001。
其中，衬底基板可以为玻璃基板。
此外，衬底基板也可以为其他具有一定硬度的基板，本发明实施例对衬底基板的类型不作限定。
步骤702、在衬底基板上形成可移除层，以得到支撑件。
示例的，参见图10，在衬底基板001上形成可移除层002，以得到支撑件500。
示例的，可以在衬底基板001上涂覆一层二氧化硅材料，以形成可移除层002。
示例的，可移除层的材料也可以为其他材料，比如，氮化硅(SiNx)，氧化后的钼(Mo)等，或者可以为在特定紫外光照射下能够降解的其他材料等。
此外，除了采用涂覆方式形成可移除层外，还可以采用沉积方式形成可移除层，本发明实施例对可移除层的材料以及形成可移除层的方式不做限定。
其中，可移除层002包括呈阵列排布的多个支撑结构510。
步骤703、在支撑件上保形地形成柔性基底。
示例的，参见图11，在支撑件500上保形地形成柔性基底100。其中，支撑结构510与柔性基底100接触的一面为凸面，柔性基底100包括呈阵列排布的多个柱面结构110，每两个相邻的柱面结构110的侧边相连，多个柱面结构110与多个支撑结构510一一对应。
步骤704、在形成有柔性基底的支撑件上保形地形成柔性器件。
示例的，参见图12，在形成有柔性基底100的支撑件500上保形地形成柔性器件200。柱面结构110与柔性器件200接触的一面为凸面。
可选的，参见图12，柔性器件200包括多个显示结构210，每个显示结构210包括至少一个像素，相应的，步骤704可以包括：
在形成有柔性基底100的支撑件500上形成多个显示结构210，多个显示结构210与多个柱面结构110一一对应，相邻的两个显示结构210之间电连接。比如，相连的两个显示结构之间可以通过金属走线电连接。
其中，参见图12，显示结构210远离柔性基底100的一面为凸面。显示结构为柱面结构，便于后续对柔性显示面板进行弯折或拉伸。
可选的，可以根据产品分辨率来确定显示结构的数量，以及两个相邻的显示结构之间的距离。比如当产品分辨率较小时，显示结构可以较少，相邻的两个显示结构之间的距离较大；当产品分辨率较大时，显示结构可以较多，相邻的两个显示结构之间的距离较小。
以柔性AMOLED显示面板为例，在本发明实施例中，参见图3，形成每个显示结构可以包括：
形成缓冲211；
在缓冲层上依次形成有源层图形212、栅绝缘层213、栅极图形214、绝缘层215、源漏极图形216、平坦层217、像素层218、像素定义层219和支撑层220。
示例的，每个显示结构可以包括2～12个像素。每个像素包括至少两个子像素，比如每个像素可以包括红色子像素、蓝色子像素和绿色子像素等。
当显示结构包括2～12个像素时，可以使柔性显示面板的拉伸效果更好，且面板结构更容易实现。
步骤705、去除形成在衬底基板上的可移除层。
在本步骤中，去除可移除层时可以选择与可移除层发生反应，且与衬底基板不发生反应的材料，然后将该材料涂布在可移除层，在指定条件下，使其与可移除层反应，进而去除可移除层。比如，该指定条件可以为在目标波长的光照条件下，或者可以为在预设时段条件下。本发明实施例对去除可移除层的方式不作限定。
示例的，可移除层由二氧化硅材料制成，相应的，步骤705可以包括：
在可移除层上喷洒二氧化硅溶解剂，以去除形成在衬底基板上的可移除层。
示例的，可以在图12所示的可移除层002上喷洒二氧化硅溶解剂，以去除形成在衬底基板001上的可移除层002。
示例的，可移除层的材料也可以为其他材料，比如，氮化硅(SiNx)，氧化后的钼(Mo)等，或者可以为在特定紫外光照射下能够降解的其他材料等。实际实现时，可以根据可移除层的材料选择对应的可移除层去除方式。
步骤706、将去除可移除层之后的衬底基板与形成有柔性器件的柔性基底分离，以得到柔性显示面板。
示例的，将去除可移除层之后的衬底基板与形成有柔性器件的柔性基底分离，得到的柔性显示面板可以如图1A所示。
此外，在本发明实施例中，也可以根据不执行步骤705，即去除形成在衬底基板上的可移除层。比如当可移除层的材料为氮化硅或者二氧化硅材料时，也可以通过施加外力的方式来将衬底基板与形成有柔性器件的柔性基底进行分离。
进一步的，本发明实施例提供的柔性显示面板的制造方法还可以包括：采用TFE工艺对步骤706得到的柔性显示面板进行封装，进而得到所需要的预拉伸面板。
综上所述，本发明实施例提供的柔性显示面板的制造方法，由于是先在支撑件上保形地形成柔性基底，然后在形成有柔性基底的支撑件上保形地形成柔性器件，之后将支撑件与形成有柔性器件的柔性基底分离，进而得到柔性显示面板，其中，柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，柱面结构与柔性器件接触的一面为凸面，该柔性显示面板的整体结构是凸面结构，所以后续在进行弯折或拉伸时，无机膜层不易受到应力的影响，因此，可以提高柔性显示面板质量。
当柱面结构与柔性器件接触的一面为凹面时，该柔性显示面板的制造方法可以包括：
1、形成衬底基板。该衬底基板可以为玻璃基板。
2、在衬底基板上形成可移除层，以得到支撑件。示例的，可以在衬底基板上涂覆一层二氧化硅材料，以形成可移除层。其中，可移除层包括呈阵列排布的多个支撑结构。
3、在支撑件上保形地形成柔性基底。支撑结构与柔性基底接触的一面为凹面，柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，每两个相邻的柱面结构的侧边相连，多个柱面结构与多个支撑结构一一对应。
4、在形成有柔性基底的支撑件上保形地形成柔性器件。柱面结构与柔性器件接触的一面为凹面。
可选的，柔性器件包括多个显示结构，每个显示结构包括至少一个像素，相应的，该步骤可以包括：在形成有柔性基底的支撑件上形成多个显示结构，多个显示结构与多个柱面结构一一对应，相邻的两个显示结构之间电连接。比如，相连的两个显示结构之间可以通过金属走线电连接。每个显示结构可以包括2～12个像素。每个像素包括至少两个子像素，比如可以包括红色子像素、蓝色子像素和绿色子像素等。
其中，显示结构远离柔性基底的一面为凹面。显示结构为柱面结构，便于后续对柔性显示面板进行弯折或拉伸。
5、去除形成在衬底基板上的可移除层。比如，可移除层由二氧化硅材料制成，那么可以在可移除层上喷洒二氧化硅溶解剂，以去除形成在衬底基板上的可移除层。
6、将去除可移除层之后的衬底基板与形成有柔性器件的柔性基底分离，以得到柔性显示面板。得到的柔性显示面板可以如图2所示。
本发明实施例提供的柔性显示面板的制造方法步骤的具体过程可以参考上述步骤701至步骤706。
进一步的，本发明实施例提供的柔性显示面板的制造方法还可以包括：采用TFE工艺对步骤6得到的柔性显示面板进行封装，进而得到所需要的预拉伸面板。
综上所述，本发明实施例提供的柔性显示面板的制造方法，由于是先在支撑件上保形地形成柔性基底，然后在形成有柔性基底的支撑件上保形地形成柔性器件，之后将支撑件与形成有柔性器件的柔性基底分离，进而得到柔性显示面板，其中，柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，柱面结构与柔性器件接触的一面为凹面，该柔性显示面板的整体结构是凹面结构，所以后续在进行弯折或拉伸时，无机膜层不易受到应力的影响，因此，可以提高柔性显示面板质量。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里发明的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本申请旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由权利要求指出。
应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。
Claims (7)
1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括：
柔性基底，所述柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，每两个相邻的柱面结构的侧边相连；
所述柔性基底上保形地设置有柔性器件；
所述柔性器件包括多个显示结构，每个所述显示结构包括2～12个像素，每个所述像素包括至少两个子像素，所述多个显示结构与所述多个柱面结构一一对应，每个所述柱面结构与对应的所述显示结构的形状相同，相邻的两个显示结构之间电连接。
2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述相邻的两个显示结构之间通过金属走线电连接。
3.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求1或2所述的柔性显示面板。
4.一种柔性显示面板的制造方法，其特征在于，所述方法包括：
形成支撑件，所述支撑件包括呈阵列排布的多个支撑结构；
在所述支撑件上保形地形成柔性基底，所述支撑结构与所述柔性基底接触的一面为曲面，所述曲面为凹面或凸面，所述柔性基底包括呈阵列排布的多个柱面结构，每两个相邻的柱面结构的侧边相连，所述多个柱面结构与所述多个支撑结构一一对应；
在形成有所述柔性基底的支撑件上保形地形成柔性器件；
将所述支撑件与形成有所述柔性器件的柔性基底分离，以得到所述柔性显示面板；
所述柔性器件包括多个显示结构，每个所述显示结构包括至少一个像素，
所述在形成有所述柔性基底的支撑件上保形地形成柔性器件，包括：
在形成有所述柔性基底的支撑件上形成所述多个显示结构，所述多个显示结构与所述多个柱面结构一一对应，每个所述柱面结构与对应的所述显示结构的形状相同，相邻的两个显示结构之间电连接，每个所述显示结构包括2～12个像素，每个所述像素包括至少两个子像素。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述形成支撑件，包括：
形成衬底基板；
在所述衬底基板上形成可移除层，以得到所述支撑件，所述可移除层包括所述多个支撑结构；
所述将所述支撑件与形成有所述柔性器件的柔性基底分离，包括：
去除形成在所述衬底基板上的可移除层；
将去除所述可移除层之后的衬底基板与形成有所述柔性器件的柔性基底分离。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述可移除层由二氧化硅材料制成，
所述去除形成在所述衬底基板上的可移除层，包括：
在所述可移除层上喷洒二氧化硅溶解剂，以去除形成在所述衬底基板上的可移除层。
7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，
所述衬底基板为玻璃基板。
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