CN108287413A - 一种1064nm波段高消光比高损伤阈值半角偏振分光镜制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种1064nm高消光比高损伤阈值半角偏振分光镜的制作方法,属于光学薄膜领域。该多功能分光镜包括有透明基底,该透明基底的两侧均镀有膜结构,其中一侧镀有偏振分光膜,另一侧镀有增透膜,分光镜上两侧膜结构的入射角均定义为45±3°。该分光镜要求可分别应用到调Q激光器和大功率激光***中,也可以应用到它们的集成***中,增加消光比,并且能够减少偏振分光镜更换频率,降低成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种1064nm高消光比高损伤阈值半角偏振分光镜的制作方法,属于光学薄膜领域。
背景技术
偏振分光镜是一种将平行偏振光(P光)和垂直偏振光(S光)高度分离的光无源器件,用于允许平行偏振光通过此产品,并且与原光线角度一致,同时45°角反射垂直偏振光,使垂直偏振光与原光线成90°角射出,从而达到分离偏振光的目的。目前实际应用中包含偏振分光镜和偏振分光棱镜两类,偏振分光棱镜是用两块等腰直角棱镜粘接而成,组成正方体,而站界面镀偏振分光膜,入射光和偏振光的通光断面均镀增透膜。目前大量商用的半角偏振分光镜采用的是45°入射形式,在入射面镀指定波段的偏振分光膜,出射面镀指定波段的增透膜,透射平行偏振光与反射垂直偏振光形成90°夹角,从而达到分光的目的。消光比是衡量偏振分光镜的重要指标,消光比越高,分光能力越强。目前国产南光800镀膜机镀制的半角偏振消光镜的消光比可达到1000:1,而国外Thorlabs公司镀制的半角偏振消光镜的消光比可达到10000:1。此外,随着工业激光的高速发展,对激光的功率要求也越来越高,所以偏振分光膜的抗损伤阈值也水涨船高。普通国产南光800镀膜机镀制的偏振分光膜层在1064nm波段,功率为5J,脉宽为10nm,连续工作20分钟之内镜片表面膜层就会损坏,拿到显微镜下观察,会发现有孔洞般的小点,这是激光将膜层烧毁的现象。越来越多的现象表面,研制出高消光比高损伤阈值阈值的偏振分光镜已迫在眉睫。
发明内容
本发明的目的在于解决现有分光镜低消光比低损伤阈值的技术难题,致力于提供一种1064nm高消光比高损伤阈值半角偏振分光镜的制作方法。
本发明的目的是通过下述技术方案实现的。
一种高消光比高损伤阈值半角偏振分光镜,该分光镜包括有透明基底,材料为光学玻璃,该透明基底的两侧均镀有膜结构,其中一侧镀有偏振分光膜,另一侧镀有增透膜,所述分光镜两侧膜结构的入射角均定义为45°±3°。在本发明的多功能分光镜中,所述的分光膜对应波长为1064nm,同时调整设计曲线的中心波长可以将对应波长调整到从400-2000nm中的任一点波长。在本发明的多功能分光镜中,所述的高损伤阈值阈值为激光功率10J,脉宽10ns,波长对应在1064nm。
有益效果
在镀制本发明的分光镜时,采用了日本光驰镀膜机,采用RF射频离子辅助***,光控自动控制***等先进工艺,可以确保膜层在致密性和厚度准确性方面满足工艺要求。本发明两侧均镀有膜结构,其中一侧镀有偏振分光膜,另一侧镀有增透膜,确保达到满足高消光比高损伤阈值的指标。利用TFCALC35薄膜设计软件在1064nm处设计1个堆栈,可以在镀膜前模拟出反射率和他透过率曲线,可以为实际镀制时膜层层数提供精确的数据。选择进口HfO2材料也可以大大是提高膜层损伤阈值。
附图说明
图1是本发明偏振分光镜的结构示意图;
图2是本发明偏振分光镜的光谱设计图;
图3是本发明偏振分光镜的光谱实测图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明做详细说明。
一种1064nm高消光比高损伤阈值半角偏振分光镜的制作方法,具体步骤如下:
步骤一、镀膜材料选用进口HfO2和SiO2材料,利用TFCALC35薄膜设计软件在1064nm处设计1个堆栈,经过优化后,使P光在1050-1100nm波段有较高的透过率,其平均透过率在99%左右,另外使S光在1030-1080nm波段有较高的反射率,其平均透过率在0.02%以下。选择进口HfO2材料也是提高膜层损伤阈值的主要手段,国产HfO2的纯度基本在98%左右,其杂质ZrO2会降低膜层的损伤阈值,而进口HfO2纯度在99.6%以上,这是提高此分光镜激光损伤阈值的关键所在。
步骤二、分光膜层数可为20-100层,由HfO2和SiO2材料交替叠加镀制而成,前多层为规整膜层,后4层根据要求在TFCALC35软件中自动进行目标值优化,确保1064nm±10nm的P光和S光满足设计要求。根据消光比公式可以算出理论消光比Ratio=99%/0.02%=4950,如图2所示。
步骤三、在镀制本发明的多功能分光镜时,采用了日本光驰镀膜机OTFC-1300,采用RF射频离子辅助***,光控自动控制***等先进工艺,确保膜层在致密性和厚度准确性方面满足工艺要求。
步骤四、实际测量。如图3、表2所示,利用安捷伦Cary-7000分光光度计(带起偏元件)设备测量结果如表2所示,实际消光比Ratio=0.98/0.00022=4454,满足设计要求。
这种1064nm波段半角偏振分光镜具有高消光比高损伤阈值的特点,该分光镜包括有透明基底,材料为光学玻璃,该透明基底的两侧均镀有膜结构,其中一侧镀有偏振分光膜,另一侧镀有增透膜,所述分光镜两侧膜结构的入射角均定义为45°±3°。在本发明的多功能分光镜中,所述的分光膜对应波长为1064nm,同时调整设计曲线的中心波长可以将对应波长调整到从400-2000nm中的任一点波长。在本发明的多功能分光镜中,所述的高损伤阈值阈值为激光功率10J,脉宽10ns,波长对应在1064nm。具体检测结果如下:
以上所述的具体描述,对发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限定本发明的保护范围,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种高消光比高损伤阈值半角偏振分光镜,其特征在于:该高损伤阈值分光镜包括有透明基底,所述透明基底的两侧均镀有膜结构,其中一侧镀有偏振分光膜,另一侧镀有增透膜,所述分光镜两侧膜结构的入射角均定义为45°±3°;所述的分光膜对应波长为1064nm,同时调整设计曲线的中心波长能够将对应波长调整到从400-2000nm中的任一点波长;所述的高损伤阈值为激光功率10J,脉宽10ns,波长对应在1064nm。
2.一种1064nm高消光比高损伤阈值半角偏振分光镜的制作方法,具体步骤如下:
步骤一、镀膜材料选用进口HfO2和SiO2材料,利用TFCALC35薄膜设计软件在1064nm处设计1个堆栈,使P光在1050-1100nm波段有较高的透过率,P光在1050-1100nm波段平均透过率在99%左右,另外使S光在1030-1080nm波段有较高的反射率,S光在1030-1080nm波段平均透过率在0.02%以下;
步骤二、分光膜层数为20-100层,由HfO2和SiO2材料交替叠加镀制而成,前多层为规整膜层,后4层根据要求在TFCALC35软件中自动进行目标值优化,确保1064nm±10nm的P光和S光满足设计要求;
步骤三、在镀制分光镜时,采用了日本光驰镀膜机OTFC-1300,采用RF射频离子辅助***和光控自动控制***,即得到1064nm高消光比高损伤阈值半角偏振分光镜。
3.如权利要求1所述的一种高消光比高损伤阈值半角偏振分光镜,其特征在于:所述透明基底的材料为光学玻璃。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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