CN108261883B - 含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其包括如下步骤：(1)氯硅烷一级冷凝；(2)氯硅烷二级冷凝；(3)分离得到硅烷气；(4)气体稳压罐稳压；(5)硅烷气燃烧。本发明的优点在于：回收硅烷尾气中的氯硅烷，回收的氯硅烷可回用于硅烷生产***，减小物料损失，降低生产成本；本发明的燃烧***具备多个燃烧头，且***压力为正压，燃烧头暴露在空气中，上部为防辐射隔热罩，依靠烟囱效应，将燃烧器周围的空气积聚到燃烧器周围，与传统燃烧器相比，硅烷尾气与空气混合更加充分，因此燃烧效率明显提高，从而提高了硅烷尾气的处理量。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅烷尾气处理方法，特别是涉及一种含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法。
背景技术
目前，硅烷尾气处理的相关技术主要针对硅烷做为产品应用过程中产生的废气，比如太阳能电池生产、集成电路以及电子元件生产过程中产生的废气。传统硅烷尾气处理***一般在硅烷燃烧塔内进行，硅烷燃烧塔为一个密闭空间，硅烷尾气、空气分别通过管道通入硅烷燃烧塔内，依靠分子的扩散作用进行混合后燃烧，在燃烧过程中若空气供应发生故障，会造成硅烷气发生大量的积聚，将大量硅烷尾气短时间内排放到空气中，燃烧剧烈，可能产生闪爆，存在安全隐患，同时，燃烧效率低。
而采用火炬***处理硅烷尾气，虽然可保证工厂安全生产，但硅烷尾气在燃烧处理过程中，会生成固体颗粒，一部分质量小的固体颗粒会随着气流上升排放到大气中，造成环境污染；另一部分质量大的固体颗粒会向下沉降，堵塞燃烧孔，造成燃烧器堵塞，火炬***故障率高，防辐射隔热罩内的硅烷尾气无法充分燃烧而直接排放到大气中，污染环境。
目前，针对制备硅烷过程中产生的废气，尤其是使用反应精馏法制备硅烷生产过程中，产生的含有氯硅烷的硅烷尾气处理的相关技术较少。
发明内容
本发明的目的在于提供含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，主要用于处理反应精馏塔生产硅烷过程中，所排放的含有少量氯硅烷的硅烷尾气。通过本发明提供的技术方案实现硅烷尾气中的氯硅烷充分回收，安全、高效、稳定地利用具有多个燃烧头的燃烧器处理硅烷尾气。
本发明的目的由如下技术方案实施：含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其包括如下步骤：(1)氯硅烷一级冷凝；(2)氯硅烷二级冷凝；(3)分离得到硅烷气；(4)气体稳压罐稳压；(5)硅烷气燃烧；其中，
(1)氯硅烷一级冷凝：将生产硅烷的反应精馏塔所排放的硅烷尾气通入一级尾气冷凝器进行初步冷凝处理，使部分氯硅烷冷凝下来回收，分离出部分所述氯硅烷后的一级硅烷尾气通入二级尾气冷凝器，其中，所述一级尾气冷凝器的冷却介质为7℃冷却水，所述一级尾气冷凝器的尾气压力控制在0.1-1.0MPaG之间；
(2)氯硅烷二级冷凝：所述一级硅烷尾气在所述二级尾气冷凝器内进一步冷凝，冷凝下来的所述氯硅烷回收，分离出所述氯硅烷后的二级硅烷尾气通入气液分离罐，其中，所述二级尾气冷凝器冷却介质为-20℃冷冻盐水，所述二级尾气冷凝器的尾气压力控制在0.1-1.0MPaG之间；使二级硅烷尾气中氯硅烷含量小于5wt％，从而使硅烷气主要组分为硅烷(含有少量的氢气)；
(3)分离得到硅烷气：所述二级硅烷尾气在所述气液分离罐内，分离出所述二级硅烷尾气中含有的微量液体后得到硅烷气，其中，所述气液分离罐的操作压力控制在0.1-0.5MPaG之间；避免液体进入燃烧器，影响硅烷气的燃烧效果以及硅烷气处理量；
(4)气体稳压罐稳压：所述硅烷气流出所述气液分离罐进入所述气体稳压罐稳压，然后进入液封罐，其中，所述气体稳压罐压力控制在0.1-0.5MPaG之间，所述液封罐压力控制在0.1-0.5MPaG之间；气体稳压罐的主要作用是保证整个硅烷尾气处理***压力稳定，从而使燃烧器的硅烷尾气处理量在短时间内保持相对稳定，避免大幅度波动，从而保证硅烷尾气能够充分燃烧；液封罐主要起到防止回火的作用。
(5)硅烷气燃烧：所述硅烷气流出液封罐，进入燃烧***燃烧，所述燃烧***的所述硅烷气进气压力控制在0.02-0.2MPaG之间。
因为本发明主要用于处理硅烷反应精馏塔所排放的尾气。硅烷反应精馏塔自身操作压力在0.2-1.2MPaG，一级尾气冷凝器、二级尾气冷凝器、气液分离罐、气体稳压罐、液封罐、燃烧***共同组成硅烷尾气处理***，并且依靠压差进行流动。其中，一级尾气冷凝器、二级尾气冷凝器，选择合适的压力，便于控制尾气在冷凝器中停留时间，利于氯硅烷的冷凝。气液分离罐和气体稳压罐以及液封罐主要用于燃烧***的硅烷尾气供应，压力过高，会导致硅烷流速过快，燃烧***处理负荷过大。压力过低，会导致硅烷处理量明显降低。
优选的，所述步骤(1)中，所述一级尾气冷凝器的尾气压力控制在0.2-0.6MPaG之间。
优选的，所述步骤(2)中，所述二级尾气冷凝器的尾气压力控制在0.15-0.55MPaG之间。
优选的，所述步骤(3)中，所述气液分离罐的操作压力控制在0.2-0.4MpaG之间。
优选的，所述步骤(4)中，所述气体稳压罐压力控制在0.2-0.4MPaG之间；所述液封罐压力控制在0.2-0.4MPaG之间。
优选的，所述步骤(5)中，所述燃烧***的所述硅烷气进气压力控制在0.05-0.15MPaG。
进一步的，所述燃烧***包括防辐射隔热罩、防风消音墙、点火器、树杈式燃烧器和火焰监控***，所述防风消音墙设置在所述防辐射隔热罩外部，所述树杈式燃烧器设置在所述防辐射隔热罩内部，所述点火器的头部伸入所述防辐射隔热罩内部，并置于所述树杈式燃烧器的横管下方，所述防风消音墙上设有用于监控所述防辐射隔热罩内部的燃烧情况的火焰监控***；
所述树杈式燃烧器上方的所述防辐射隔热罩内部装设有上下设置的第一蒸汽分布器和第二蒸汽分布器，在所述树杈式燃烧器的所述横管下方的所述防辐射隔热罩内部装设有空气吹扫装置；所述空气吹扫装置包括空气环管和空气喷管，所述空气环管套设在所述树杈式燃烧器外部，在所述空气环管底部设有空气进气管，在所述树杈式燃烧器的所述横管左侧或右侧下方的所述空气环管内部水平设有所述空气喷管，所述空气喷管与所述横管一一对应平行设置；所述空气喷管一端与所述空气环管内侧连通，所述空气喷管另一端为封闭端，在所述空气喷管顶面与对应所述横管相邻的一侧开设有若干吹扫孔；所述吹扫孔由进气端向出气端，由内向外，由下向上倾斜设置，且所述吹扫孔的轴线与所述横管上部相切，所述吹扫孔的轴线与水平面之间的夹角α为30-60°。
具体的，所述树杈式燃烧器包括进气管、所述横管和弯管，在所述进气管***设有若干沿径分布的所述横管，所述弯管一端与所述进气管侧部连通，所述弯管另一端与所述横管底面中部连通，在所述横管顶面开设有若干燃烧孔。
具体的，所述第一蒸汽分布器和所述第二蒸汽分布器结构相同，所述第二蒸汽分布器包括蒸汽环管和若干分布管；在所述蒸汽环管底部设有蒸汽进汽管，所述分布管水平设置在所述蒸汽环管的下方，所述分布管两端分别通过连通管与上方的所述蒸汽环管连通；在每根所述分布管下方均设有若干蒸汽喷孔。
本发明的优点在于：(1)回收硅烷尾气中的氯硅烷，回收的氯硅烷可回用于硅烷生产***，减小物料损失，降低生产成本；(2)本发明采用二级冷凝方式回收硅烷尾气中含有的少量氯硅烷，操作方便，无污染；(2)本发明的燃烧***具备多个燃烧头，且***压力为正压，燃烧头暴露在空气中，上部为防辐射隔热罩，依靠烟囱效应，将燃烧器周围的空气积聚到燃烧器周围，与传统燃烧器相比，硅烷尾气与空气混合更加充分，因此燃烧效率明显提高，从而提高了硅烷尾气的处理量；(3)在本***中采用了气液分离罐和气体稳压罐，保证通入燃烧器的硅烷气能够充分燃烧并且***总体运行稳定；(4)本发明的燃烧器暴露在空气中，不会因为空气供应故障导致硅烷积聚，避免产生闪爆，安全可靠；(5)通过两道蒸汽分布器喷出的蒸汽可使气流中携带的小质量固体颗粒凝结成大颗粒，靠自身重力向下沉降，防止固体颗粒随气流排到大气中，更加环保；(6)独特的空气吹扫装置设计，一方面可对落在横管表明的固体颗粒进行吹扫，另一方面，可使防辐射隔热罩内部形成螺旋气流，使固体颗粒在离心力作用下甩向侧壁，防止固体颗粒沿着防辐射隔热罩中心向下沉降，进而避免燃烧孔堵塞；(7)本发明的硅烷尾气处理***为正压操作，从而避免空气进入管道和设备内，与装置内的硅烷剧烈反应***，造成人身伤害。
附图说明
图1为本发明燃烧***的整体结构示意图。
图2为第二蒸汽分布器仰视图。
图3为燃烧器和空气吹扫装置部分结构示意图。
图4为横管与对应空气喷管位置关系示意图。
防辐射隔热罩1、防风消音墙2、点火器3、燃烧器4、树杈式燃烧器4、横管4.1、进气管4.2、弯管4.3、燃烧孔4.4、火焰监控***5、第一蒸汽分布器6、第二蒸汽分布器7、蒸汽环管7.1、蒸汽进汽管7.1.2、分布管7.2、连通管7.3、蒸汽喷孔7.4、空气吹扫装置8、空气环管8.1、空气喷管8.2、封闭端8.2.1、吹扫孔8.2.2、空气进气管8.3。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行详细说明，但以下实施例并不构成对本发明的限制。
实施例1：含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其包括如下步骤：(1)氯硅烷一级冷凝；(2)氯硅烷二级冷凝；(3)分离得到硅烷气；(4)气体稳压罐稳压；(5)硅烷气燃烧；其中，
(1)氯硅烷一级冷凝：将生产硅烷的反应精馏塔所排放的硅烷尾气通入一级尾气冷凝器进行初步冷凝处理，使部分氯硅烷冷凝下来回收，分离出部分所述氯硅烷后的一级硅烷尾气通入二级尾气冷凝器，其中，所述一级尾气冷凝器的冷却介质为7℃冷却水，所述一级尾气冷凝器的尾气压力控制在0.1-1.0MPaG之间；
(2)氯硅烷二级冷凝：所述一级硅烷尾气在所述二级尾气冷凝器内进一步冷凝，冷凝下来的所述氯硅烷回收，分离出所述氯硅烷后的二级硅烷尾气通入气液分离罐，其中，所述二级尾气冷凝器冷却介质为-20℃冷冻盐水，所述二级尾气冷凝器的尾气压力控制在0.1-1.0MPaG之间；使二级硅烷尾气中氯硅烷含量小于5wt％，从而使硅烷气主要组分为硅烷(含有少量的氢气)；
(3)分离得到硅烷气：所述二级硅烷尾气在所述气液分离罐内，分离出所述二级硅烷尾气中含有的微量液体后得到硅烷气，其中，所述气液分离罐的操作压力控制在0.1-0.5MPaG之间；避免液体进入燃烧器，影响硅烷气的燃烧效果以及硅烷气处理量；
(4)气体稳压罐稳压：所述硅烷气流出所述气液分离罐进入所述气体稳压罐稳压，然后进入液封罐，其中，所述气体稳压罐压力控制在0.1-0.5MPaG之间，所述液封罐压力控制在0.1-0.5MPaG之间；气体稳压罐的主要作用是保证整个硅烷尾气处理***压力稳定，从而使燃烧器的硅烷尾气处理量在短时间内保持相对稳定，避免大幅度波动，从而保证硅烷尾气能够充分燃烧；液封罐主要起到防止回火的作用。
(5)硅烷气燃烧：所述硅烷气流出液封罐，进入燃烧***燃烧，所述燃烧***的所述硅烷气进气压力控制在0.02-0.2MPaG之间。
因为本发明主要用于处理硅烷反应精馏塔所排放的尾气。硅烷反应精馏塔自身操作压力在0.2-1.2MPaG，一级尾气冷凝器、二级尾气冷凝器、气液分离罐、气体稳压罐、液封罐、燃烧***共同组成硅烷尾气处理***，并且依靠压差进行流动。其中，一级尾气冷凝器、二级尾气冷凝器，选择合适的压力，便于控制尾气在冷凝器中停留时间，利于氯硅烷的冷凝。气液分离罐和气体稳压罐以及液封罐主要用于燃烧***的硅烷尾气供应，压力过高，会导致硅烷流速过快，燃烧***处理负荷过大。压力过低，会导致硅烷处理量明显降低。
燃烧***包括防辐射隔热罩1、防风消音墙2、点火器3、树杈式燃烧器4和火焰监控***5，防风消音墙2设置在防辐射隔热罩1外部，树杈式燃烧器4设置在防辐射隔热罩1内部，点火器3的头部伸入防辐射隔热罩1内部，并置于树杈式燃烧器4的横管4.1下方，防风消音墙2上设有用于监控防辐射隔热罩1内部的燃烧情况的火焰监控***5；
树杈式燃烧器4上方的防辐射隔热罩1内部装设有上下设置的第一蒸汽分布器6和第二蒸汽分布器7，在树杈式燃烧器4的横管4.1下方的防辐射隔热罩1内部装设有空气吹扫装置8；空气吹扫装置8包括空气环管8.1和空气喷管8.2，空气环管8.1套设在树杈式燃烧器4外部，在空气环管8.1底部设有空气进气管8.3，在树杈式燃烧器4的横管4.1左侧或右侧下方的空气环管8.1内部水平设有空气喷管8.2，空气喷管8.2与横管4.1一一对应平行设置；空气喷管8.2一端与空气环管8.1内侧连通，空气喷管8.2另一端为封闭端，在空气喷管8.2顶面与对应横管4.1相邻的一侧开设有若干吹扫孔8.2.2；吹扫孔8.2.2由进气端向出气端，由内向外，由下向上倾斜设置，且吹扫孔8.2.2的轴线与横管4.1上部相切，吹扫孔8.2.2的轴线与水平面之间的夹角α为53°。
树杈式燃烧器4包括进气管4.2、横管4.1和弯管4.3，在进气管4.2***设有若干沿径分布的横管4.1，弯管4.3一端与进气管4.2侧部连通，弯管4.3另一端与横管4.1底面中部连通，在横管4.1顶面开设有若干燃烧孔4.4。
第一蒸汽分布器6和第二蒸汽分布器7结构相同，第二蒸汽分布器7包括蒸汽环管7.1和若干分布管7.2；在蒸汽环管7.1底部设有蒸汽进汽管7.1.2，分布管7.2水平设置在蒸汽环管7.1的下方，分布管7.2两端分别通过连通管与上方的蒸汽环管7.1连通；在每根分布管7.2下方均设有若干蒸汽喷孔7.4。
实施例2：含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其包括如下步骤：(1)氯硅烷一级冷凝；(2)氯硅烷二级冷凝；(3)分离得到硅烷气；(4)气体稳压罐稳压；(5)硅烷气燃烧；其中，
(1)氯硅烷一级冷凝：将生产硅烷的反应精馏塔所排放的硅烷尾气通入一级尾气冷凝器进行初步冷凝处理，使部分氯硅烷冷凝下来回收，分离出部分所述氯硅烷后的一级硅烷尾气通入二级尾气冷凝器，其中，所述一级尾气冷凝器的冷却介质为7℃冷却水，所述一级尾气冷凝器的尾气压力控制在0.2-0.6MPaG之间；
(2)氯硅烷二级冷凝：所述一级硅烷尾气在所述二级尾气冷凝器内进一步冷凝，冷凝下来的所述氯硅烷回收，分离出所述氯硅烷后的二级硅烷尾气通入气液分离罐，其中，所述二级尾气冷凝器冷却介质为-20℃冷冻盐水，所述二级尾气冷凝器的尾气压力控制在0.15-0.55MPaG之间；使二级硅烷尾气中氯硅烷含量小于5wt％，从而使硅烷气主要组分为硅烷(含有少量的氢气)；
(3)分离得到硅烷气：所述二级硅烷尾气在所述气液分离罐内，分离出所述二级硅烷尾气中含有的微量液体后得到硅烷气，其中，所述气液分离罐的操作压力控制在0.2-0.4MpaG之间；避免液体进入燃烧器，影响硅烷气的燃烧效果以及硅烷气处理量；
(4)气体稳压罐稳压：所述硅烷气流出所述气液分离罐进入所述气体稳压罐稳压，然后进入液封罐，其中，所述气体稳压罐压力控制在0.2-0.4MPaG之间；所述液封罐压力控制在0.2-0.4MPaG之间；气体稳压罐的主要作用是保证整个硅烷尾气处理***压力稳定，从而使燃烧器的硅烷尾气处理量在短时间内保持相对稳定，避免大幅度波动，从而保证硅烷尾气能够充分燃烧；液封罐主要起到防止回火的作用。
(5)硅烷气燃烧：所述硅烷气流出液封罐，进入燃烧***燃烧，所述燃烧***的所述硅烷气进气压力控制在0.05-0.15MPaG。
因为本发明主要用于处理硅烷反应精馏塔所排放的尾气。硅烷反应精馏塔自身操作压力在0.2-1.2MPaG，一级尾气冷凝器、二级尾气冷凝器、气液分离罐、气体稳压罐、液封罐、燃烧***共同组成硅烷尾气处理***，并且依靠压差进行流动。其中，一级尾气冷凝器、二级尾气冷凝器，选择合适的压力，便于控制尾气在冷凝器中停留时间，利于氯硅烷的冷凝。气液分离罐和气体稳压罐以及液封罐主要用于燃烧***的硅烷尾气供应，压力过高，会导致硅烷流速过快，燃烧***处理负荷过大。压力过低，会导致硅烷处理量明显降低。
燃烧***包括防辐射隔热罩1、防风消音墙2、点火器3、树杈式燃烧器4和火焰监控***5，防风消音墙2设置在防辐射隔热罩1外部，树杈式燃烧器4设置在防辐射隔热罩1内部，点火器3的头部伸入防辐射隔热罩1内部，并置于树杈式燃烧器4的横管4.1下方，防风消音墙2上设有用于监控防辐射隔热罩1内部的燃烧情况的火焰监控***5；
树杈式燃烧器4上方的防辐射隔热罩1内部装设有上下设置的第一蒸汽分布器6和第二蒸汽分布器7，在树杈式燃烧器4的横管4.1下方的防辐射隔热罩1内部装设有空气吹扫装置8；空气吹扫装置8包括空气环管8.1和空气喷管8.2，空气环管8.1套设在树杈式燃烧器4外部，在空气环管8.1底部设有空气进气管8.3，在树杈式燃烧器4的横管4.1左侧或右侧下方的空气环管8.1内部水平设有空气喷管8.2，空气喷管8.2与横管4.1一一对应平行设置；空气喷管8.2一端与空气环管8.1内侧连通，空气喷管8.2另一端为封闭端，在空气喷管8.2顶面与对应横管4.1相邻的一侧开设有若干吹扫孔8.2.2；吹扫孔8.2.2由进气端向出气端，由内向外，由下向上倾斜设置，且吹扫孔8.2.2的轴线与横管4.1上部相切，吹扫孔8.2.2的轴线与水平面之间的夹角α为53°。
树杈式燃烧器4包括进气管4.2、横管4.1和弯管4.3，在进气管4.2***设有若干沿径分布的横管4.1，弯管4.3一端与进气管4.2侧部连通，弯管4.3另一端与横管4.1底面中部连通，在横管4.1顶面开设有若干燃烧孔4.4。
第一蒸汽分布器6和第二蒸汽分布器7结构相同，第二蒸汽分布器7包括蒸汽环管7.1和若干分布管7.2；在蒸汽环管7.1底部设有蒸汽进汽管7.1.2，分布管7.2水平设置在蒸汽环管7.1的下方，分布管7.2两端分别通过连通管与上方的蒸汽环管7.1连通；在每根分布管7.2下方均设有若干蒸汽喷孔7.4。
Claims (9)
1.含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其特征在于，其包括如下步骤：（1）氯硅烷一级冷凝；（2）氯硅烷二级冷凝；（3）分离得到硅烷气；（4）气体稳压罐稳压；（5）硅烷气燃烧；其中，
（1）氯硅烷一级冷凝：将生产硅烷的反应精馏塔所排放的硅烷尾气通入一级尾气冷凝器进行初步冷凝处理，使部分氯硅烷冷凝下来回收，分离出部分所述氯硅烷后的一级硅烷尾气通入二级尾气冷凝器，其中，所述一级尾气冷凝器的冷却介质为7℃冷却水，所述一级尾气冷凝器的尾气压力控制在0.1-1.0MPaG之间；
（2）氯硅烷二级冷凝：所述一级硅烷尾气在所述二级尾气冷凝器内进一步冷凝，冷凝下来的所述氯硅烷回收，分离出所述氯硅烷后的二级硅烷尾气通入气液分离罐，其中，所述二级尾气冷凝器冷却介质为-20℃冷冻盐水，所述二级尾气冷凝器的尾气压力控制在0.1-1.0MPaG之间；
（3）分离得到硅烷气：所述二级硅烷尾气在所述气液分离罐内，分离出所述二级硅烷尾气中含有的微量液体后得到硅烷气，其中，所述气液分离罐的操作压力控制在0.1-0.5MPaG之间；
（4）气体稳压罐稳压：所述硅烷气流出所述气液分离罐进入所述气体稳压罐稳压，然后进入液封罐，其中，所述气体稳压罐压力控制在0.1-0.5MPaG之间，所述液封罐压力控制在0.1-0.5MPaG之间；
（5）硅烷气燃烧：所述硅烷气流出液封罐，进入燃烧***燃烧，所述燃烧***的所述硅烷气进气压力控制在0.02-0.2MPaG之间；
所述燃烧***包括防辐射隔热罩、防风消音墙、点火器、树杈式燃烧器和火焰监控***，所述防风消音墙设置在所述防辐射隔热罩外部，所述树杈式燃烧器设置在所述防辐射隔热罩内部，所述点火器的头部伸入所述防辐射隔热罩内部，并置于所述树杈式燃烧器的横管下方，所述防风消音墙上设有用于监控所述防辐射隔热罩内部的燃烧情况的火焰监控***；
所述树杈式燃烧器上方的所述防辐射隔热罩内部装设有上下设置的第一蒸汽分布器和第二蒸汽分布器，在所述树杈式燃烧器的所述横管下方的所述防辐射隔热罩内部装设有空气吹扫装置；所述空气吹扫装置包括空气环管和空气喷管，所述空气环管套设在所述树杈式燃烧器外部，在所述空气环管底部设有空气进气管，在所述树杈式燃烧器的所述横管左侧或右侧下方的所述空气环管内部水平设有所述空气喷管，所述空气喷管与所述横管一一对应平行设置；所述空气喷管一端与所述空气环管内侧连通，所述空气喷管另一端为封闭端，在所述空气喷管顶面与对应所述横管相邻的一侧开设有若干吹扫孔；所述吹扫孔由进气端向出气端，由内向外，由下向上倾斜设置，且所述吹扫孔的轴线与所述横管上部相切，所述吹扫孔的轴线与水平面之间的夹角α为30-60°。
2.根据权利要求1所述的含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其特征在于，所述步骤（1）中，所述一级尾气冷凝器的尾气压力控制在0.2-0.6MPaG之间。
3.根据权利要求1所述的含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其特征在于，所述步骤（2）中，所述二级尾气冷凝器的尾气压力控制在0.15-0.55MPaG之间。
4.根据权利要求1所述的含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其特征在于，所述步骤（3）中，所述气液分离罐的操作压力控制在0.2-0.4MpaG之间。
5.根据权利要求1所述的含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其特征在于，所述步骤（4）中，所述气体稳压罐压力控制在0.2-0.4MPaG之间；所述液封罐压力控制在0.2-0.4MPaG之间。
6.根据权利要求1所述的含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其特征在于，所述步骤（5）中，所述燃烧***的所述硅烷气进气压力控制在0.05-0.15MPaG。
7.根据权利要求1所述的含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其特征在于，所述树杈式燃烧器包括进气管、所述横管和弯管，在所述进气管***设有若干沿径分布的所述横管，所述弯管一端与所述进气管侧部连通，所述弯管另一端与所述横管底面中部连通，在所述横管顶面开设有若干燃烧孔。
8.根据权利要求1所述的含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其特征在于，所述第一蒸汽分布器和所述第二蒸汽分布器结构相同，所述第二蒸汽分布器包括蒸汽环管和若干分布管；在所述蒸汽环管底部设有蒸汽进汽管，所述分布管水平设置在所述蒸汽环管的下方，所述分布管两端分别通过连通管与上方的所述蒸汽环管连通；在每根所述分布管下方均设有若干蒸汽喷孔。
9.根据权利要求7所述的含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其特征在于，所述第一蒸汽分布器和所述第二蒸汽分布器结构相同，所述第二蒸汽分布器包括蒸汽环管和若干分布管；在所述蒸汽环管底部设有蒸汽进汽管，所述分布管水平设置在所述蒸汽环管的下方，所述分布管两端分别通过连通管与上方的所述蒸汽环管连通；在每根所述分布管下方均设有若干蒸汽喷孔。
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