CN108257951B - Scr结构及其构成的esd保护结构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种SCR结构包括:第一P阱、第二P阱、第一N阱和第二N阱由左至右交替排布在衬底上部;第一P阱上部设有第一P型重掺杂区,第一P型重掺杂区右侧第一P阱中设有第一N型重掺杂区,第一N型重掺杂区右侧第一P阱中设有第二N型重掺杂区,多晶硅栅设置在第一和第二N型重掺杂区之间的第一P阱上方;第一N阱上部设有第三N型重掺杂区,第三N型重掺杂区右侧第一N阱中设有第二P型重掺杂区;第二P阱上部设有第四N型重掺杂区,第四N型重掺杂区右侧第二P阱中设有第三P型重掺杂区;第二N阱上部设有第四P型重掺杂区,第四P型重掺杂区右侧第二N阱中设有第五N型重掺杂区。本发明还提供了一种具有所述SCR结构的ESD保护结构。
Description
技术领域
本发明涉及半导体领域,特别是涉及一种SCR结构。本发明还涉及一种具有所述SCR结构的ESD保护结构。
背景技术
静电是一种客观的自然现象,产生的方式多种,如接触、摩擦、电器间感应等。静电的特点是长时间积聚、高电压、低电量、小电流和作用时间短的特点。静电在多个领域造成严重危害。摩擦起电和人体静电是电子工业中的两大危害,常常造成电子电器产品运行不稳定,甚至损坏。ESD是20世纪中期以来形成的以研究静电的产生、危害及静电防护等的学科,国际上习惯将用于静电防护的器材统称为ESD。
SCR结构(可控硅)作为ESD保护器件有两个缺点:一是开启电压高,不方便调节;二是维持电压低,有较大latch-up风险。为了提高SCR的应用范围和降低风险,常常需要对SCR结构进行优化,实现开启电压的可调节和提高维持电压。前常用的一种方法是静电端只接P型重掺杂区而断开N阱,而N阱通过串联的正向二级管(diode)连接到地。该现有结构的第一ESD通路是通过SCR的P型重掺杂区/N阱二级管(diode)后,再通过串联的正向二级管(diode)到GND。该现有结构可通过串联二级管(diode)的数量来调节SCR的开启电压和维持电压。
该现有结构有以下几个缺点:
1、全部是由正向二级管(diode)的开启来触发,因此击穿电压较低,比较适合用在3.3V以下的应用。
2、在高温环境下,正向二级管(diode)的漏电会明显增大,增加功耗。
3、无法实现双向保护。因为N阱没有接到静电端,从GND到静电端只能通过SCR的P型重掺杂区(P型重掺杂区)/N阱反向结放电,ESD保护能力较差。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种SCR结构。
本发明要解决的另一技术问题是提供一种具有双向保护功能,能提高维持电压,能调节开启电压具有所述SCR结构的ESD保护结构。
为解决上述技术问题,本发明提供的SCR结构包括:在SCR一侧形成有一MOS,在SCR另一侧形成有一逆止器件。
其中,所述MOS为NMOS,所述逆止器件是二极管。
其中,所述SCR结构包括:第一P阱PW1、第二P阱PW2、第一N阱NW1、第二N阱NW2、多晶硅栅G、第一~第四P型重掺杂区P+1~P+4和第一~第五N型重掺杂区N+1~N+5;
第一P阱PW1、第二P阱PW2、第一N阱NW1和第二N阱NW2由左至右交替排布在衬底上部;
第一P阱PW1上部设有第一P型重掺杂区P+1,第一P型重掺杂区P+1右侧第一P阱PW1中设有第一N型重掺杂区N+1,第一N型重掺杂区N+1右侧第一P阱PW1中设有第二N型重掺杂区N+2,多晶硅栅G设置在第一N型重掺杂区N+1和第二N型重掺杂区N+2之间的第一P阱PW1上方;
第一N阱NW1上部设有第三N型重掺杂区N+3,第三N型重掺杂区N+3右侧第一N阱NW1中设有第二P型重掺杂区P+2;
第二P阱PW2上部设有第四N型重掺杂区N+4,第四N型重掺杂区N+4右侧第二P阱PW2中设有第三P型重掺杂区P+3;
第二N阱NW2上部设有第四P型重掺杂区P+4,第四P型重掺杂区P+4右侧第二N阱NW2中设有第五N型重掺杂区N+5。
其中,第一P阱PW1、第一P型重掺杂区P+1、第一N型重掺杂区N+1、第二N型重掺杂区N+2和多晶硅栅G构成所述NMOS。第一N型重掺杂区N+1作为源极、第二N型重掺杂区N+2作为漏极,多晶硅栅G作为栅极,第一P型重掺杂区P+1将衬底引出。
第二N阱NW2、第四P型重掺杂区P+4和第五N型重掺杂区N+5构成所述二极管,第四P型重掺杂区P+4是二极管阳极,第五N型重掺杂区N+5是二极管阴极。
本发明提供一种具有上述SCR结构的ESD保护结构,包括:所述SCR结构和RC电路;
所述SCR结构只有其P型重掺杂区连接静电端,所述SCR结构的N阱连接逆止器件第一端和MOS第二端,逆止器件第二端连接静电端,MOS第三端连接RC电路第一连接端,RC电路第二端连接MOS第一端和MOS衬底端并连接地,RC电路第三连接端连接静电端。
其中,逆止器件是集成在所述SCR结构一侧的二极管,其第一端是二极管的阳极,其第二端是二极管的阴极。
其中,MOS是集成在所述SCR结构另一侧NMOS,其第一端是源极,其第二端是漏极,其第三端是栅极。
其中,RC电路包括电阻和电容,电阻第一端和电容第一端相连作为该RC电路第一连接端,电阻第二端作为该RC第第二连接端,电容第二端作为该RC电路第三连接端。
在静电端发生ESD的时候,本发明的结构因为diode处于反向偏置,因此首先SCR的N阱区里P型重掺杂区/N阱正偏导通,高压传输到NMOS的Drain端。NMOS由于gate端有RC触发,因此***的开启就完全由RC触发NMOS来决定。在NMOS开启之后,Drain端电位不断抬升到SCR的N阱/Pwell/N+寄生BJT开启。因为SCR在完全开启之后已经有部分电流经过NMOS泄放,从而需要维持SCR持续开启的电压和电流都被提高了。
如果在GND端发生ESD,则ESD电流可直接通过NMOS的Pwell/N+结到diode的阳极,再经过diode的阴极进行泄放。
本发明的有益效果包括:
1、相对现有技术具有更高的维持电压;
2、本发明的开启电压方便可调;
3、本发明即使是工作在高温环境漏电流也很小;
4、本发明的面积非常小,集成度高。
附图说明
下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明:
图1是本发明的结构示意图。
图2是本发明的原理示意图。
附图标记说明
diode是二极管
PW1是第一P阱
PW2是第二P阱
NW1是第一N阱
NW2是第二N阱
P+1~P+4是第一~第四P型重掺杂区
N+1~N+4是第一~第四N型重掺杂区
G是多晶硅栅
GND是接地端
E是静电端
具体实施方式
如图1所示,本发明提供一种SCR结构,在SCR一侧形成有一NMOS,在SCR另一侧形成有一二极管。
所述SCR结构包括:第一P阱PW1、第二P阱PW2、第一N阱NW1、第二N阱NW2、多晶硅栅G、第一~第四P型重掺杂区P+1~P+4和第一~第五N型重掺杂区N+1~N+5;
第一P阱PW1、第二P阱PW2、第一N阱NW1和第二N阱NW2由左至右交替排布在衬底上部;
第一P阱PW1上部设有第一P型重掺杂区P+1,第一P型重掺杂区P+1右侧第一P阱PW1中设有第一N型重掺杂区N+1,第一N型重掺杂区N+1右侧第一P阱PW1中设有第二N型重掺杂区N+2,多晶硅栅G设置在第一N型重掺杂区N+1和第二N型重掺杂区N+2之间的第一P阱PW1上方;
第一N阱NW1上部设有第三N型重掺杂区N+3,第三N型重掺杂区N+3右侧第一N阱NW1中设有第二P型重掺杂区P+2;
第二P阱PW2上部设有第四N型重掺杂区N+4,第四N型重掺杂区N+4右侧第二P阱PW2中设有第三P型重掺杂区P+3;
第二N阱NW2上部设有第四P型重掺杂区P+4,第四P型重掺杂区P+4右侧第二N阱NW2中设有第五N型重掺杂区N+5。
其中,第一P阱PW1、第一P型重掺杂区P+1、第一N型重掺杂区N+1、第二N型重掺杂区N+2和多晶硅栅G构成所述NMOS。第一N型重掺杂区N+1作为源极、第二N型重掺杂区N+2作为漏极,多晶硅栅G作为栅极,第一P型重掺杂区P+1将衬底引出。
第二N阱NW2、第四P型重掺杂区P+4和第五N型重掺杂区N+5构成所述二极管,第四P型重掺杂区P+4是二极管阳极,第五N型重掺杂区N+5是二极管阴极。
如图1结合图2所示,本发明提供一种具有上述SCR结构的ESD保护结构,包括:所述SCR结构、电阻和电容;其中,所述MOS是NMOS,所述逆止器件是二极管
所述SCR结构只有其P型重掺杂区(第二P型重掺杂区P+2)连接静电端,所述SCR结构的N阱(第二N阱NW2)连接二极管阳极(第四P型重掺杂区P+4)和NMOS漏极(第二N型重掺杂区N+2),二极管阴极(第五N型重掺杂区N+5)连接静电端,NMOS栅极(多晶硅栅G)连接电阻第一端和电容第一端,电阻第二端连接NMOS源极(第一N型重掺杂区N+1)和NMOS衬底端(第一P型重掺杂区N+1)并连接地,电容第二端连接静电端。
以上通过具体实施方式和实施例对本发明进行了详细的说明,但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下,本领域的技术人员还可做出许多变形和改进,这些也应视为本发明的保护范围。
Claims (3)
1.一种SCR结构,其特征在于,该SCR结构包括:第一P阱(PW1)、第二P阱(PW2)、第一N阱(NW1)、第二N阱(NW2)、多晶硅栅(G)、第一~第四P型重掺杂区(P+1~P+4)和第一~第五N型重掺杂区(N+1~N+5);
衬底上部左至右顺序排布的第一P阱(PW1)、第一N阱(NW1)、第二P阱(PW2)和第二N阱(NW2);
第一P阱(PW1)上部设有第一P型重掺杂区(P+1),第一P型重掺杂区(P+1)右侧第一P阱(PW1)中设有第一N型重掺杂区(N+1),第一N型重掺杂区(N+1)右侧第一P阱(PW1)中设有第二N型重掺杂区(N+2),多晶硅栅(G)设置在第一N型重掺杂区(N+1)和第二N型重掺杂区(N+2)之间的第一P阱(PW1)上方;
第一N阱(NW1)上部设有第三N型重掺杂区(N+3),第三N型重掺杂区(N+3)右侧第一N阱(NW1)中设有第二P型重掺杂区(P+2);
第二P阱(PW2)上部设有第四N型重掺杂区(N+4),第四N型重掺杂区(N+4)右侧第二P阱(PW2)中设有第三P型重掺杂区(P+3);
第二N阱(NW2)上部设有第四P型重掺杂区(P+4),第四P型重掺杂区(P+4)右侧第二N阱(NW2)中设有第五N型重掺杂区(N+5)。
2.一种具有权利要求1所述SCR结构的ESD保护结构,其特征在于,还包括:一RC电路;
所述SCR结构其第二P型重掺杂区(P+2)连接静电端,其第二N阱(NW2)连接第四P型重掺杂区(P+4)和第二N型重掺杂区(N+2),第五N型重掺杂区(N+5)连接静电端,多晶硅栅(G)连接RC电路第一连接端,RC电路第二连接端连接第一N型重掺杂区(N+1)和第一P型重掺杂区(P+1)并连接地,RC电路第三连接端连接静电端。
3.如权利要求2所述ESD保护结构,其特征在于:RC电路包括电阻和电容,电阻第一端和电容第一端相连作为该RC电路第一连接端,电阻第二端作为该RC第二连接端,电容第二端作为该RC电路第三连接端。
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