CN108202339A - 吸取基板的方法与吸取装置 - Google Patents

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CN108202339A CN201710418385.7A CN201710418385A CN108202339A CN 108202339 A CN108202339 A CN 108202339A CN 201710418385 A CN201710418385 A CN 201710418385A CN 108202339 A CN108202339 A CN 108202339A
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axis
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Abstract

本发明公开了一种吸取基板的方法与吸取装置。本发明的吸取基板的方法，包括以下步骤：判断机械手臂是否吸附基板，若机械手臂未吸附基板。吸取基板的方法包含以下步骤：借由控制器传输运动讯号至机械手臂，使机械手臂朝向基板作弧形运动，判断机械手臂是否吸附基板。若机械手臂未吸附基板，借由控制器传输前进讯号至机械手臂，使机械手臂朝基板的方向移动，接着，判断机械手臂是否吸附基板。此外，一种吸取装置亦被提出。

Description

吸取基板的方法与吸取装置
技术领域
本发明是有关于一种输送方法与输送装置，且特别是有关于一种吸取基板的方法与吸取装置。
背景技术
于现代高科技产业的制造的过程中，基板需要经过多道加工程序，例如清洗、蚀刻、涂布、显影等，因此会采用吸附式移载设备以将基板输送至不同加工处或者置放处进行加工或等待下一道制程，而吸附式移载设备通常以机械手臂(robot)中的吸附元件来吸附并移载基板。
一般而言，受热后的直立式基板若出现不同程度的弯曲变形，则后续先吸附后移载基板的机械手臂，将会产生机械手臂无法在原本预定的位置抓取基板的问题。针对此问题，在现有技艺中，有通过重复抓取(retry)的方式来抓取基板，并于重复抓取特定次数(如3次)皆吸附不到基板，停止作动机械手臂，并传输异常通知。在另一现有技艺中，若机械手臂吸附不到基板，则机械手臂的整体吸附面朝基板的方向移动第一距离，若机械手臂仍吸附不到基板，机械手臂的整体吸附面再朝基板的方向移动第二距离，同理，若机械手臂继续吸附不到基板，则机械手臂的整体吸附面朝基板的方向移动第三距离，此时，若仍吸附不到基板，停止作动机械手臂，并传输异常通知。
然而，上述现有技艺的作动方式不仅吸附基板的效率较低，且机械手臂的整体吸附面向基板方向移动的作动方式，容易在机械手臂移动同时因机械手臂的整体吸附面过度施压在基板上而造成基板破损。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明的一目的在于，提高吸附并移载基板的效率，且避免造成基板破损的问题产生。
本发明提供的吸取基板的方法，用于一吸取装置吸取一基板，该吸取装置包含一机械手臂、多个吸附组件以及一控制器，该多个吸附组件设置于该机械手臂的一吸附面上，该控制器讯号连接该机械手臂，该吸取基板的方法包括以下步骤：
判断该机械手臂是否吸附该基板；以及
若该机械手臂未吸附该基板，包含以下步骤：
借由该控制器传输一运动讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝向该基板作一弧形运动；
判断该机械手臂是否吸附该基板；
若该机械手臂未吸附该基板，借由该控制器传输一前进讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝该基板的方向移动；以及
判断该机械手臂是否吸附该基板。
其中，该机械手臂具有一第一轴、一第二轴、一第三轴以及一吸附面，该第一轴垂直于该吸附面，该第二轴与该第三轴平行于该吸附面，该弧形运动为该机械手臂的该吸附面以该第二轴及/或该第三轴为轴心朝该基板旋转，所述机械手臂朝该基板的方向移动为该机械手臂沿着该第一轴的方向朝该基板移动。
其中，该基板包含一边缘区与一中央区，该边缘区位于该中央区的周缘，该弧形运动为该机械手臂的一顶端朝该基板的该边缘区移动。
其中，该机械手臂具有至少一边缘侧，该弧形运动为该机械手臂的该至少一边缘侧朝该基板的方向移动。
其中，进行判断该机械手臂是否吸附该基板的步骤之前，包含以下步骤：
借由该控制器传输一移动机械手臂讯号至机械手臂，以移动该机械手臂接近至该基板。
其中，该吸取装置包含一负压侦测元件，该多个吸附组件连通于该负压侦测元件，所述判断该机械手臂是否吸附该基板的步骤，包含以下步骤：
开启该负压侦测元件；
借由该负压侦测元件侦测该多个吸附组件中的压力是否达一阀值；以及
若达该阀值，判断该机械手臂吸附该基板。
其中，进行该机械手臂朝向该基板作该弧形运动的步骤之前，包含以下步骤：
由该控制器传输该前进讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝该基板的方向移动。
其中，该吸取装置包含一吹气装置，该吹气装置讯号连接控制器，所述吸取基板的方法包含以下步骤：
由该控制器传输一气流讯号至该吹气装置，该吹气装置朝该基板提供一气流。
其中，判断该机械手臂是否吸附该基板的步骤中，判断该机械手臂吸附该基板，包含以下步骤：
借由该控制器传输一移动基板讯号至该机械手臂，以移动该基板。.
本发明还提供一种吸取基板的方法，用于一吸取装置吸取一基板，该吸取装置包含一机械手臂、多个吸附组件以及一控制器，该多个吸附组件设置于该机械手臂的一吸附面上，该控制器讯号连接该机械手臂，该吸取基板的方法包括以下步骤：
判断该机械手臂是否吸附该基板；以及
若该机械手臂未吸附该基板，包含以下步骤：
借由该控制器传输一前进讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝该基板的方向移动；
判断该机械手臂是否吸附该基板；
若该机械手臂未吸附该基板，借由该控制器传输一运动讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝向该基板作一弧形运动；以及
判断该机械手臂是否吸附该基板。
其中，该机械手臂具有一第一轴、一第二轴、一第三轴以及一吸附面，该第一轴垂直于该吸附面，该第二轴与该第三轴平行于该吸附面，该弧形运动为该机械手臂的该吸附面以该第二轴及/或该第三轴为轴心朝该基板旋转，所述机械手臂朝该基板的方向移动为该机械手臂沿着该第一轴的方向朝该基板移动。
其中，该基板包含一边缘区与一中央区，该边缘区位于该中央区的周缘，该弧形运动系为该机械手臂的一顶端朝该基板的该边缘区移动。
其中，该机械手臂具有至少一边缘侧，该弧形运动为该机械手臂的该至少一边缘侧朝该基板的方向移动。
其中，进行判断该机械手臂是否吸附该基板的步骤之前，还包含以下步骤：
借由该控制器传输一移动机械手臂讯号至机械手臂，以移动该机械手臂接近至该基板。
其中，该吸取装置包含一负压侦测元件，该多个吸附组件连通于该负压侦测元件，其中所述判断该机械手臂是否吸附该基板的步骤，包含以下步骤：
开启该负压侦测元件；
借由该负压侦测元件侦测该多个吸附组件中之压力是否达一阀值；以及
若达该阀值，判断该机械手臂吸附该基板。
其中，进行该机械手臂朝向该基板作该弧形运动的步骤之前，包含以下步骤：
由该控制器传输该前进讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝该基板的方向移动。
其中，该吸取装置包含一吹气装置，该吹气装置讯号连接控制器，所述吸取基板的方法包含以下步骤：
由该控制器传输一气流讯号至该吹气装置，该吹气装置朝该基板提供一气流。
其中，判断该机械手臂是否吸附该基板的步骤中，判断机械手臂吸附该基板，包含以下步骤：
借由该控制器传输一移动基板讯号至该机械手臂，以移动该基板。
本发明提供一种吸取装置，用以吸取一基板，该吸取装置包括：
一控制器；以及
一机械手臂，讯号连接该控制器，其中若该机械手臂未吸附该基板；
借由该控制器传输一运动讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝向该基板作一弧形运动；及
若该机械手臂未吸附该基板，借由该控制器传输一前进讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝该基板的方向移动。
其中，该机械手臂具有一第一轴、一第二轴、一第三轴以及一吸附面，该第一轴垂直于该吸附面，该第二轴与该第三轴平行于该吸附面，该弧形运动为该机械手臂的该吸附面以该第二轴及/或该第三轴为轴心朝该基板旋转，所述机械手臂朝该基板的方向移动为该机械手臂沿着该第一轴的方向朝该基板移动。
其中，该基板包含一边缘区与一中央区，该边缘区位于该中央区的周缘，该弧形运动系为该机械手臂的一顶端朝该基板的该边缘区移动。
其中，该机械手臂具有至少一边缘侧，该弧形运动为该机械手臂的该至少一边缘侧朝该基板的方向移动。
其中，上述吸取装置，还包括：
多个吸附组件，设置于该机械手臂上；以及
一负压侦测元件，连通于该多个吸附组件，且该负压侦测元件讯号连接该控制器，其中该控制器借由该负压侦测元件侦测该多个吸附组件是否达一阀值以判断该机械手臂是否吸附该基板。
其中，上述的吸取装置，还包括：
一吹气装置，讯号连接该控制器，其中由该控制器传输一气流讯号至该吹气装置，该吹气装置朝该基板提供一气流。
本发明还提供一种吸取装置，用以吸取一基板，该吸取装置包括：
一控制器；以及
一机械手臂，讯号连接该控制器，其中若该机械手臂未吸附该基板；
借由该控制器传输一前进讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝该基板的方向移动；及
若该机械手臂未吸附该基板，借由该控制器传输一运动讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝向该基板作一弧形运动。
其中，该机械手臂具有一第一轴、一第二轴、一第三轴以及一吸附面，该第一轴垂直于该吸附面，该第二轴与该第三轴平行于该吸附面，该弧形运动为该机械手臂的该吸附面以该第二轴及/或该第三轴为轴心朝该基板旋转，所述机械手臂朝该基板的方向移动为该机械手臂沿着该第一轴的方向朝该基板移动。
其中，该基板包含一边缘区与一中央区，该边缘区位于该中央区的周缘，该弧形运动系为该机械手臂的一顶端朝该基板的该边缘区移动。
其中，该机械手臂具有至少一边缘侧，该弧形运动为该机械手臂的该至少一边缘侧朝该基板的方向移动。
其中，上述的吸取装置，还包括：
多个吸附组件，设置于该机械手臂上；以及
一负压侦测元件，连通于该多个吸附组件，且该负压侦测元件讯号连接该控制器，其中该控制器借由该负压侦测元件侦测该多个吸附组件是否达一阀值以判断该机械手臂是否吸附该基板。
其中，上述的吸取装置，还包括：
一吹气装置，讯号连接该控制器，其中由该控制器传输一气流讯号至该吹气装置，该吹气装置朝该基板提供一气流。
基于上述，在本发明的吸取基板的方法及吸取装置中，判断机械手臂未吸附基板时，机械手臂朝向基板作弧形运动来提高吸附基板的效率，并降低因机械手臂过度施压在基板的影响，进而降低基板破损的机率。
附图说明
图1为本发明的吸取装置的示意图。
图2为图1吸取装置一实施例的示意图。
图3为图2吸取装置另一视角的示意图。
图4为本发明的吸取装置一实施例的示意图。
图5为本发明的吸取基板的方法一实施例的流程图。
图6为图5中判断机械手臂是否吸附基板的流程图。
图7至图10为图5对应至本发明的吸取装置一过程的示意图。
图11为本发明的吸取基板的方法另一实施例的流程图。
图12为本发明的吸取基板的方法又一实施例的流程图。
图13为对应图12所示的一过程的示意图。
图14为本发明的吸取基板的方法再一实施例的流程图。
附图标记：
100、200 吸取装置；
110 控制器；
120 机械手臂；
120A顶端；
120B侧缘；
120C底端；
122吸附面；
124边缘侧；
130、131、132吸附组件；
140负压侦测元件；
250 吹气装置；
20基板；
22中央区；
24边缘区；
40载具；
42凹槽；
A1第一轴；
A2第二轴；
A3第三轴；
S1移动机械手臂讯号；
S2运动讯号；
S3前进讯号；
S4异常通知讯号；
S5前进讯号；
S6气流讯号；
S11移动基板讯号；
S100、S200、S300、S400吸取基板的方法；
S110~S190步骤；
S122~S126步骤；
S230~S232步骤；
S330~S360步骤；
S440、S460步骤。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
图1为本发明的吸取装置的示意图。请参阅图1。本实施例的吸取装置100包括一控制器110以及一机械手臂120。机械手臂120讯号连接控制器110。控制器110能依据不同情况对机械手臂120传输如移动机械手臂讯号S1、运动讯号S2、前进讯号S3、异常通知讯号S4、前进讯号S5及移动基板讯号S11等讯号，使机械手臂120根据讯号来执行相对应的动作。吸取装置100用以吸取一基板(图1未绘示)，若机械手臂120未吸附基板时，控制器110能对机械手臂120传输如运动讯号S2及前进讯号S3的讯号，以使机械手臂120朝基板的方向作动，借此提高吸附并移载基板的效率。以下借由图2及图3来详细说明本实施例吸取装置100的细部构件。
图2为图1吸取装置一实施例的示意图。图3为图2吸取装置另一视角的示意图。请参阅图2及图3。在本实施例中，吸取装置100包括一控制器110、一机械手臂120、多个吸附组件130以及一负压侦测元件140。在一实施例中，吸取装置100用以吸取基板20并将基板20移载至如图3所示的载具(carrier)40的一凹槽42内。然，在其他实施例中，可端视基板所欲进行的后续制程，吸取装置100可将基板移动至对应的位置处。
在本实施例中，机械手臂120例如为一叉型(fork)手臂，但本发明不对此机械手臂的型态加以限制，机械手臂120具有一顶端120A、相对的两侧缘120B、一底端120C、一吸附面122、至少一边缘侧124、一第一轴A1、一第二轴A2与一第三轴A3。机械手臂120的顶端120A、相对两侧缘120B与底端120C大致构成机械手臂120的吸附面122外侧周缘轮廓，然本发明不以此为限，端视实际机械手臂的态样，可将吸附面设计成如圆形、长方形或矩形等不同形状。
边缘侧124为指吸附面122上的周边缘位置，第一轴A1垂直于吸附面122，第二轴A2与第三轴A3平行于吸附面122且第二轴A2垂直于第三轴A3，第二轴A2与第三轴A3分别垂直于第一轴A1。以本实施例为例，机械手臂120的移动方向平行于第一轴A1，换言之，机械手臂120能沿第一轴A1的方向移动并接近至基板20，而机械手臂120的吸附面122能以第二轴A2及/或第三轴A3为轴心来朝基板20旋转。
在本实施例中，吸附组件130设置于机械手臂120的吸附面122上，以图2而言，有9个吸附组件130配置于机械手臂120的吸附面122上，这9个吸附组件130例如是借由管路(未绘示)来彼此连通至一负压源(未绘示)，借此，负压源提供负压至吸附组件130，使吸附组件130能吸附基板20。而吸附组件130例如为吸盘且具有一吸附口，于其他实施例中，吸附组件130亦可为一吸嘴或其他能吸取基板的构件，然本发明不对吸附组件的数目及型态加以限制，端视实际所欲吸取基板的尺寸规格与机械手臂的型态而可择定吸附组件的数目及配置型态。
在本实施例中，负压侦测元件140连通于吸附组件130，且负压侦测元件140讯号连接控制器110。负压侦测元件140用以侦测吸附组件130中的压力是否达一阀值以判断机械手臂120是否吸附基板。需说明的是，在此不限制阀值的数值，阀值的大小能端视实际所欲吸附基板的尺寸规格、机械手臂的型态与吸附组件配置于机械手臂的型态而定。
图4为本发明的吸取装置一实施例的示意图。请参阅图4，需说明的是，图4的吸取装置200与图2及图3的吸取装置100相似，其中相同的元件以相同的标号表示且具有相同的功效而不再重复说明，以下仅说明差异处。
图4与图2及图3的不同之处在于，吸取装置200包括一吹气装置250，基板20位于吸附组件130与吹气装置250之间，吹气装置250讯号连接控制器110，由控制器110传输一气流讯号S6至吹气装置250，吹气装置250朝基板20提供一气流。
图5为本发明的吸取基板的方法一实施例的流程图。图6为图5中判断机械手臂是否吸附基板的流程图。图7至图10为图5对应至本发明的吸取装置一过程的示意图。需说明的是，为了便于说明，图7至图10的吸取装置只画出机械手臂120与基板20，吸取装置详细构件可参照图2与图3。请先参阅图5。本实施例的吸取基板的方法S100，用于如图1至图3所示吸取装置100。吸取基板的方法S100包括以下步骤S110~S190。
首先，进行步骤S110，借由控制器110传输一移动机械手臂讯号S1至机械手臂120，以移动机械手臂120接近至基板20。当机械手臂120接近于基板20时，机械手臂120会借由吸附组件130来吸取基板20。
进行步骤S120，判断机械手臂120是否吸附基板20。当移动机械手臂120接近至基板20时，如何判断机械手臂120是否吸附基板20包含以下步骤S122~步骤S126，如图6所示。首先，进行步骤S122，开启负压侦测元件140。接着，进行步骤S124，借由负压侦测元件140侦测多个吸附组件130中的压力是否达一阀值。若达阀值，则判断机械手臂120吸附基板20。
请复参阅图5，若于步骤S120中，判断机械手臂120吸附基板20，则进行步骤S190，借由控制器110传输一移动基板讯号S11至机械手臂120，以移动基板20。以图7为例，若经由前述步骤S122~步骤S126判断基板20被机械手臂120所吸附，接着进行步骤S190，借由控制器传输移动基板讯号至机械手臂，以移动基板，机械手臂120则会移动基板20至载具40的凹槽42内存放。然，在其他实施例中，可端视基板所欲进行的后续制程，而可借由前述步骤S190将基板移动至对应的位置处。
若于步骤S120中，判断机械手臂120未吸附基板20。接着，进行步骤S140，借由控制器110传输一运动讯号S2至机械手臂120，使机械手臂120朝向基板20作一弧形运动(swim)。在一实施例中，所述弧形运动以图8为例，机械手臂120的吸附面122以第二轴A2为轴心朝基板20旋转，使得机械手臂120的一顶端120A朝向基板20作一弧形摆动的轨迹。
进一步来说，基板20包含一中央区22与一边缘区24，边缘区24位于中央区22的周缘。在一实施例中，边缘区24例如为基板20上不需制程或较少制程的区域，中央区22例如为基板20上需要完整制程或较多制程的区域，其中中央区22在制程并裁切后，可作为显示基板、触控基板、太阳能基板、电路板等电子装置。
以基板20的角度而言，弧形运动为机械手臂120的吸附面122以第二轴A2为轴心摆动，使机械手臂120的一顶端120A朝基板20的边缘区24移动，而形成弧形轨迹。以机械手臂120的角度而言，弧形运动为机械手臂120的吸附面122以第二轴A2为轴心摆动，使机械手臂120的边缘侧124朝基板20的方向移动，而形成弧形轨迹。
在另一实施例中，所述弧形运动以图9为例，机械手臂120的吸附面122以第三轴A3为轴心朝基板20旋转，形成弧形轨迹。进一步来说，弧形运动为机械手臂120之吸附面122以第三轴A3为轴心摆动，使得机械手臂120相对两侧缘120B分别依序朝向基板20的两侧缘移动，形成一左右摆动的弧形轨迹。
上述机械手臂120朝向基板20作弧形运动均可以提高机械手臂120吸附基板20的成功率，然本发明不对此加以限制，在又一实施例中，弧形运动为机械手臂120的吸附面122以第二轴A2及第三轴A3为轴心朝基板20旋转。举例而言，机械手臂120的吸附面122先以第三轴A3为轴心摆动，使得机械手臂120相对两侧缘120B中的一侧缘120B朝向基板20的一侧缘移动，接着，机械手臂120的吸附面122再以第二轴A2为轴心摆动，使机械手臂120的顶端120A朝基板20移动，而后，机械手臂120的吸附面122再换由第三轴A3为轴心摆动，并让机械手臂120相对两侧缘120B中的另一侧缘120B朝向基板20的另一侧缘移动，故机械手臂120能在基板20周缘侧形成一弧形摆动的轨迹。在此作动之下，机械手臂120朝向基板20作弧形移动的轨迹，亦即让机械手臂120的边缘(顶端120A及两侧缘120B)朝基板20的方向形成弧形移动的轨迹，除了能提升机械手臂120吸附基板20的成功率以外，由于机械手臂120并非以整体吸附面122去碰触基板20，故能降低因机械手臂120的吸附面122过度施压在基板20的影响，进而降低基板20破损的机率。
进行步骤S140后，接着，进行步骤S150，判断机械手臂120是否吸附基板20。而步骤S150判断的流程如同前述步骤S120及图6所示，若于步骤S150中，判断机械手臂120吸附至基板20，则进行步骤S190，借由控制器110传输移动基板讯号S11至机械手臂120，以移动基板20(如前述图7为例)。
若在上述步骤S150中，判断机械手臂120未吸附基板20，接着，进行步骤S160，借由控制器110传输一前进讯号S3至机械手臂120，使机械手臂120朝基板20的方向移动，如图10所示，所述前进讯号S3为让机械手臂120沿着第一轴A1的方向朝基板20移动一距离，借以接近至基板20，其中机械手臂的移动距离的范围可依据实际机械手臂与基板的实际距离而可调整。
进行步骤S160后，接着，进行步骤S170，判断机械手臂120是否吸附基板20。而步骤S170判断的流程如同前述步骤S120及图6所示，若于步骤S170中，判断机械手臂120吸附基板20，则进行步骤S190，借由控制器110传输移动基板讯号S11至机械手臂120，以移动基板20(如前述图7为例)。然而，若于步骤S170中判断机械手臂120仍未吸附基板20，则进行步骤S180，停止机械手臂，此时控制器110传输一异常通知讯号S4至吸取装置100，停止机械手臂120的动作。换言之，本实施例的吸取基板的方法S100于判断机械手臂120未吸附基板20时，借由先进行步骤S140而再进行步骤S160过程中判断机械手臂120是否有吸附基板20，若进行步骤S140及步骤S160后机械手臂120仍未吸附基板20，则停止机械手臂120的动作，换言之，本实施例是进行一次的步骤S140及步骤S160。当然，在其他实施例中，吸取基板的方法可视实际所欲吸取基板的尺寸规格、机械手臂与基板之间的距离以及机械手臂的型态来择定重复两次以上的步骤S140及步骤S160。
图11为本发明的吸取基板的方法另一实施例的流程图。请参阅图11。本实施例的吸取基板的方法S200，用于如图1至图3所示吸取装置100。需说明的是，图11的吸取基板的方法S200与图5的吸取基板的方法S100相似，其中相同的步骤流程以相同的标号表示且具有相同的功效而不再重复说明，以下仅说明差异处。
图11与图5的不同之处在于，在进行机械手臂120朝向基板20作弧形运动的步骤S140之前，吸取基板的方法S200包含以下步骤S230~步骤S232。进行步骤S230，由控制器110传输前进讯号S5至机械手臂120，使机械手臂120朝基板的方向移动(如图10所示)，换言之，本实施例在判断机械手臂120未吸附基板20时，会先让机械手臂120沿着第一轴A1的方向朝基板120移动一距离，借此降低机械手臂120与基板20的相对距离，接着借由步骤S140中机械手臂120朝向基板作弧形运动，来提高机械手臂120吸附基板20的成功率。当然，在其他实施例中，吸取基板的方法中于步骤S140之前，可视实际所欲吸取基板的尺寸规格、机械手臂与基板之间的距离以及机械手臂的型态来择定步骤S230中机械手臂的移动距离的范围，或者重复两次以上的步骤230。
图12为本发明的吸取基板的方法又一实施例的流程图。请参阅图12。本实施例的吸取基板的方法S300，用于如图4所示吸取装置200。需说明的是，图12的吸取基板的方法S300与图11的吸取基板的方法S200相似，其中相同的步骤流程以相同的标号表示且具有相同的功效而不再重复说明，以下仅说明差异处。
图12与图11的不同之处在于，在本实施例中，于步骤S120、步骤S232与步骤S150中判断机械手臂120未吸附基板20时，由控制器110传输一气流讯号S6至吹气装置250，吹气装置250朝基板20提供一气流，在此不限制吹气装置的型态。
在一实施例中，吸取基板的方法S300更可搭配如图11所示的相对应的步骤，换言之，于步骤S120中判断机械手臂120未吸附基板20时，除了能进行如图11所示相对应的步骤S230以外，也能选择性地同时或依序搭配进行如图12所示由控制器110传输气流讯号S6至吹气装置250的步骤S330，由控制器传输一气流讯号至吹气装置，吹气装置朝基板提供一气流。同理，于步骤S232与步骤S150判断机械手臂120未吸附基板20时，除了能进行如图11所示相对应的步骤S140与S160以外，也能选择性地同时或依序搭配进行如图12所示相对应的步骤S340与步骤S360。
举例而言，如图13所示，图13为对应图12所示的一过程的示意图。需说明的是，为了便于说明，图13的吸取装置只画出机械手臂120、基板20与吹气装置250，吸取装置详细构件可参照图4。并且，为了区分吸附组件的不同，图13中邻近于机械手臂120边缘侧124为吸附组件132，且吸附组件132的位置对应至基板20的边缘区24的位置，而吸附组件132则位于吸附组件131的周缘，且吸附组件131的位置对应至基板20的中央区22的位置，当机械手臂120吸附基板20时，基板20的边缘区24会被吸附组件132所吸附，而基板20的中央区22会被吸附组件131所吸附。此外，图13中的基板20例如为一弯曲变形的基板，使得基板20的中央区22远离吸附组件131。
在一实施例中，进行步骤S230及/或步骤S330后，若于步骤S232判断机械手臂120未吸附基板232，接着，进行步骤S140与步骤S340，由控制器传输一气流讯号至吹气装置，吹气装置朝基板提供一气流，在此步骤流程之下，借由步骤S140来提高吸附并移载基板20的效率，使得吸附组件132吸取基板20的边缘区24，且避免造成基板20破损的问题产生。此外，借由步骤S340，使吹气装置250提供气流至基板20的中央区22，让基板20的中央区22能能沿第一轴A1的方向移动并逐渐接近机械手臂120，以降低基板20弯曲变形程度，借此提升吸附组件131吸附基板20的中央区22的成功率，进而让吸附组件131、132确实吸附到基板20大部分的面积，使吸取装置200移载基板20时能有效地固持基板20，来降低后续吸取装置200移载基板20掉落而毁损的机率。当然，在其他实施例中，吸取基板的方法S300可视实际所欲吸取基板的尺寸规格、基板的变形情况、机械手臂与基板之间的距离以及机械手臂的型态来择定吹气装置250朝基板20提供气流的步骤次数，亦可选择性地在同一或不同步骤顺序上搭配如图11所示步骤S230、步骤S140与步骤S160。
附带一提的是，在一实施例中，图5于步骤S120与步骤S150中判断机械手臂120未吸附基板20时，除了能进行相对应的步骤S140与步骤S160以外，也同时或依序进行如图12相对应的步骤S340与S360，更有助于提升整体机械手臂120吸附基板20的效率。
图14为本发明的吸取基板的方法再一实施例的流程图。请参阅图14。本实施例的吸取基板的方法S400，用于如图1至图3所示吸取装置100。需说明的是，图14的吸取基板的方法S400与图5的吸取基板的方法S100相似，其中相同的步骤流程以相同的标号表示且具有相同的功效而不再重复说明，以下仅说明差异处。
图14与图5的不同之处在于，于步骤S120中判断机械手臂120未吸附基板20时，先进行步骤S440，借由控制器110传输一前进讯号S3至机械手臂120，使机械手臂120朝基板20的方向移动，而此步骤S440类同前述图5中的步骤S160，在此不重复赘述。接着，若于步骤S150判断机械手臂未吸附基板20时，进行步骤S460，借由控制器110传输一运动讯号S2至机械手臂120，使机械手臂120朝向基板作一弧形运动，而此步骤S460类同前述图5中的步骤S140，在此不重复赘述。换句话说，图14中的吸取基板的方法S400于第一次判断机械手臂120未吸附基板20时，先让机械手臂120沿着第一轴A1的方向朝基板20移动一距离，接着，若再判断朝基板20移动一距离的机械手臂120仍未吸附基板20，才让机械手臂120朝向基板20作弧形运动。当然，于进一步实施例中，可视实际所欲吸取基板的尺寸规格、基板的变形情况、机械手臂与基板之间的距离以及机械手臂的型态来搭配如图4、图12及图13所示的吹气装置及步骤。
综上所述，在本发明的吸取基板的方法及吸取装置中，判断机械手臂未吸附基板时，机械手臂朝向基板作弧形运动，使机械手臂的吸附面以弧形移动的轨迹来吸附基板，除了能提升机械手臂吸附基板的成功率以外，由于机械手臂并非以整体吸附面去碰触基板，故能降低因机械手臂的吸附面过度施压在基板的影响，进而降低基板破损的机率。
再者，在一实施例中，本发明能选择性地可在上述机械手臂朝向基板作弧形运动步骤前或后，搭配使机械手臂朝基板的方向移动一距离的步骤，降低机械手臂与基板的相对距离，借此提升整体机械手臂吸附基板的效率。
此外，本发明借由提供一气流至基板的中央区，使基板的中央区朝机械手臂移动，以降低基板弯曲变形程度，提升机械手臂中的吸附组件吸附基板的中央区的成功率。
进一步地，本发明可视实际所欲吸取基板的尺寸规格、机械手臂与基板之间的距离以及机械手臂的型态，来择定机械手臂朝基板作弧形运动或朝基板的方向移动一距离的步骤顺序与次数。更甚者，本发明视实际基板弯曲变形的状况来搭配前述提供气流的步骤，借此因应不同需求状况而让机械手臂吸取基板。
以上所述实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例，本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换，均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。

Claims (30)

1.一种吸取基板的方法，用于一吸取装置吸取一基板，该吸取装置包含一机械手臂、多个吸附组件以及一控制器，该多个吸附组件设置于该机械手臂的一吸附面上，该控制器讯号连接该机械手臂，其特征在于，该吸取基板的方法包括以下步骤：
判断该机械手臂是否吸附该基板；以及
若该机械手臂未吸附该基板，包含以下步骤：
借由该控制器传输一运动讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝向该基板作一弧形运动；
判断该机械手臂是否吸附该基板；
若该机械手臂未吸附该基板，借由该控制器传输一前进讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝该基板的方向移动；以及
判断该机械手臂是否吸附该基板。
2.如权利要求1所述的吸取基板的方法，其特征在于，该机械手臂具有一第一轴、一第二轴、一第三轴以及一吸附面，该第一轴垂直于该吸附面，该第二轴与该第三轴平行于该吸附面，该弧形运动为该机械手臂的该吸附面以该第二轴及/或该第三轴为轴心朝该基板旋转，所述机械手臂朝该基板的方向移动为该机械手臂沿着该第一轴的方向朝该基板移动。
3.如权利要求1所述的吸取基板的方法，其特征在于，该基板包含一边缘区与一中央区，该边缘区位于该中央区的周缘，该弧形运动为该机械手臂的一顶端朝该基板的该边缘区移动。
4.如权利要求1所述的吸取基板的方法，其特征在于，该机械手臂具有至少一边缘侧，该弧形运动为该机械手臂的该至少一边缘侧朝该基板的方向移动。
5.如权利要求1所述的吸取基板的方法，其特征在于，进行判断该机械手臂是否吸附该基板的步骤之前，包含以下步骤：
借由该控制器传输一移动机械手臂讯号至机械手臂，以移动该机械手臂接近至该基板。
6.如权利要求1所述的吸取基板的方法，其特征在于，该吸取装置包含一负压侦测元件，该多个吸附组件连通于该负压侦测元件，所述判断该机械手臂是否吸附该基板的步骤，包含以下步骤：
开启该负压侦测元件；
借由该负压侦测元件侦测该多个吸附组件中的压力是否达一阀值；以及
若达该阀值，判断该机械手臂吸附该基板。
7.如权利要求1所述的吸取基板的方法，其特征在于，进行该机械手臂朝向该基板作该弧形运动的步骤之前，包含以下步骤：
由该控制器传输该前进讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝该基板的方向移动。
8.如权利要求1所述的吸取基板的方法，其特征在于，该吸取装置包含一吹气装置，该吹气装置讯号连接控制器，所述吸取基板的方法包含以下步骤：
由该控制器传输一气流讯号至该吹气装置，该吹气装置朝该基板提供一气流。
9.如权利要求1所述的吸取基板的方法，其特征在于，判断该机械手臂是否吸附该基板的步骤中，判断该机械手臂吸附该基板，包含以下步骤：
借由该控制器传输一移动基板讯号至该机械手臂，以移动该基板。
10.一种吸取基板的方法，用于一吸取装置吸取一基板，该吸取装置包含一机械手臂、多个吸附组件以及一控制器，该多个吸附组件设置于该机械手臂的一吸附面上，该控制器讯号连接该机械手臂，其特征在于，该吸取基板的方法包括以下步骤：
判断该机械手臂是否吸附该基板；以及
若该机械手臂未吸附该基板，包含以下步骤：
借由该控制器传输一前进讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝该基板的方向移动；
判断该机械手臂是否吸附该基板；
若该机械手臂未吸附该基板，借由该控制器传输一运动讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝向该基板作一弧形运动；以及
判断该机械手臂是否吸附该基板。
11.如权利要求10所述的吸取基板的方法，其特征在于，该机械手臂具有一第一轴、一第二轴、一第三轴以及一吸附面，该第一轴垂直于该吸附面，该第二轴与该第三轴平行于该吸附面，该弧形运动为该机械手臂的该吸附面以该第二轴及/或该第三轴为轴心朝该基板旋转，所述机械手臂朝该基板的方向移动为该机械手臂沿着该第一轴的方向朝该基板移动。
12.如权利要求10所述的吸取基板的方法，其特征在于，该基板包含一边缘区与一中央区，该边缘区位于该中央区的周缘，该弧形运动系为该机械手臂的一顶端朝该基板的该边缘区移动。
13.如权利要求10所述的吸取基板的方法，其特征在于，该机械手臂具有至少一边缘侧，该弧形运动为该机械手臂的该至少一边缘侧朝该基板的方向移动。
14.如权利要求10所述的吸取基板的方法，其特征在于，进行判断该机械手臂是否吸附该基板的步骤之前，包含以下步骤：
借由该控制器传输一移动机械手臂讯号至机械手臂，以移动该机械手臂接近至该基板。
15.如权利要求10所述的吸取基板的方法，其特征在于，该吸取装置包含一负压侦测元件，该多个吸附组件连通于该负压侦测元件，其中所述判断该机械手臂是否吸附该基板的步骤，包含以下步骤：
开启该负压侦测元件；
借由该负压侦测元件侦测该多个吸附组件中之压力是否达一阀值；以及
若达该阀值，判断该机械手臂吸附该基板。
16.如权利要求10所述的吸取基板的方法，其特征在于，进行该机械手臂朝向该基板作该弧形运动的步骤之前，包含以下步骤：
由该控制器传输该前进讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝该基板的方向移动。
17.如权利要求10所述的吸取基板的方法，其特征在于，该吸取装置包含一吹气装置，该吹气装置讯号连接控制器，所述吸取基板的方法包含以下步骤：
由该控制器传输一气流讯号至该吹气装置，该吹气装置朝该基板提供一气流。
18.如权利要求10所述的吸取基板的方法，其特征在于，判断该机械手臂是否吸附该基板的步骤中，判断机械手臂吸附该基板，包含以下步骤：
借由该控制器传输一移动基板讯号至该机械手臂，以移动该基板。
19.一种吸取装置，用以吸取一基板，其特征在于，该吸取装置包括：
一控制器；以及
一机械手臂，讯号连接该控制器，其中若该机械手臂未吸附该基板；
借由该控制器传输一运动讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝向该基板作一弧形运动；及
若该机械手臂未吸附该基板，借由该控制器传输一前进讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝该基板的方向移动。
20.如权利要求19所述的吸取装置，其特征在于，该机械手臂具有一第一轴、一第二轴、一第三轴以及一吸附面，该第一轴垂直于该吸附面，该第二轴与该第三轴平行于该吸附面，该弧形运动为该机械手臂的该吸附面以该第二轴及/或该第三轴为轴心朝该基板旋转，所述机械手臂朝该基板的方向移动为该机械手臂沿着该第一轴的方向朝该基板移动。
21.如权利要求19所述的吸取装置，其特征在于，该基板包含一边缘区与一中央区，该边缘区位于该中央区的周缘，该弧形运动系为该机械手臂的一顶端朝该基板的该边缘区移动。
22.如权利要求19所述的吸取装置，其特征在于，该机械手臂具有至少一边缘侧，该弧形运动为该机械手臂的该至少一边缘侧朝该基板的方向移动。
23.如权利要求19所述的吸取装置，其特征在于，还包括：
多个吸附组件，设置于该机械手臂上；以及
一负压侦测元件，连通于该多个吸附组件，且该负压侦测元件讯号连接该控制器，其中该控制器借由该负压侦测元件侦测该多个吸附组件是否达一阀值以判断该机械手臂是否吸附该基板。
24.如权利要求19所述的吸取装置，其特征在于，还包括：
一吹气装置，讯号连接该控制器，其中由该控制器传输一气流讯号至该吹气装置，该吹气装置朝该基板提供一气流。
25.一种吸取装置，用以吸取一基板，其特征在于，该吸取装置包括：
一控制器；以及
一机械手臂，讯号连接该控制器，其中若该机械手臂未吸附该基板；
借由该控制器传输一前进讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝该基板的方向移动；及
若该机械手臂未吸附该基板，借由该控制器传输一运动讯号至该机械手臂，使该机械手臂朝向该基板作一弧形运动。
26.如权利要求25所述的吸取装置，其特征在于，该机械手臂具有一第一轴、一第二轴、一第三轴以及一吸附面，该第一轴垂直于该吸附面，该第二轴与该第三轴平行于该吸附面，该弧形运动为该机械手臂的该吸附面以该第二轴及/或该第三轴为轴心朝该基板旋转，所述机械手臂朝该基板的方向移动为该机械手臂沿着该第一轴的方向朝该基板移动。
27.如权利要求25所述的吸取装置，其特征在于，该基板包含一边缘区与一中央区，该边缘区位于该中央区的周缘，该弧形运动为该机械手臂的一顶端朝该基板的该边缘区移动。
28.如权利要求25所述的吸取装置，其特征在于，该机械手臂具有至少一边缘侧，该弧形运动为该机械手臂的该至少一边缘侧朝该基板的方向移动。
29.如权利要求25所述的吸取装置，其特征在于，还包括：
多个吸附组件，设置于该机械手臂上；以及
一负压侦测元件，连通于该多个吸附组件，且该负压侦测元件讯号连接该控制器，其中该控制器借由该负压侦测元件侦测该多个吸附组件是否达一阀值以判断该机械手臂是否吸附该基板。
30.如权利要求25所述的吸取装置，其特征在于，还包括：
一吹气装置，讯号连接该控制器，其中由该控制器传输一气流讯号至该吹气装置，该吹气装置朝该基板提供一气流。
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