CN108172536A - 一种晶片清洗及干燥用花篮装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种晶片清洗及干燥用花篮装置,包括:花篮外框(3),在所述花篮外框(3)的内部设置多个相向设置的固定槽(31),以上固定槽(31)与晶片夹持装置相配合,所述晶片夹持装置包括第一晶片夹持片(101)和第二晶片夹持片(102),两者之间夹有晶片(2),所述第一晶片夹持片(101)的至少两个面设置有凸起部,且以上第二晶片夹持片(102)被夹在以上凸起部内,由此两个夹持片稳定无晃动。
Description
技术领域
本发明属于晶片加工工艺技术领域,尤其涉及一种用于晶片清洗及干燥 过程降低碎片率的花篮。
背景技术
众所周知,在半导体激光器芯片制造工艺流程中,减薄后的3寸INP晶 片厚度约100μm左右,薄且脆,而在清洗时,特别是多个晶片同时清洗,通 常需要将晶片置于花篮中,在清洗和干燥过程中,减薄后的INP晶片极易发 生碎裂。目前,在芯片加工技术领域,晶片的清洗及干燥装置多采用的聚四 氟乙烯材料的花篮,现有技术通常使用的晶片清洗及干燥花篮其实物图如图1 所示,晶片的放置位置,其间隙过大,超出晶片厚度许多倍,这就易导致存 在以下问题:
(1)在晶片的清洗干燥过程,手持花篮,晶片易晃动不稳,与花篮内壁 相撞(2)晶片在烧杯中,进行有机溶液的清洗时,晶片处于水平放置,容易 流出(3)在用甩干机进行甩干晶片作业过程,晶片易卡在甩干机内壁等,以 上现象都易引起晶片碎裂,影响FAB良率。因此,在INP晶片制造工艺流程 中,结构紧凑、清洗及干燥过程安稳牢靠的花篮对于降低晶片碎片率,提高 产品良率十分重要。
发明内容
本发明的发明目的在于提供一种晶片清洗及干燥用花篮装置。
本发明解决上述技术问题所采取的技术方案如下:
一种晶片清洗及干燥用花篮装置,包括:花篮外框(3),在所述花篮外 框(3)的内部设置多个相向设置的固定槽(31),以上固定槽(31)与晶片 夹持装置相配合,所述晶片夹持装置包括第一晶片夹持片(101)和第二晶片 夹持片(102),两者之间夹有晶片(2),所述第一晶片夹持片(101)的至少 两个面设置有凸起部,且以上第二晶片夹持片(102)被夹在以上凸起部内, 由此两个夹持片稳定无晃动。
优选的是,所述花篮夹具内部为圆形,尺寸为三寸,外部为椭圆形。
优选的是,晶片夹持装置与花篮外框属于面接触。
本发明在清洗及干燥晶片过程中,移动花篮,晶片基本无晃动,可有效 减少因为晶片与花篮的撞击引起的碎片率的问题。
本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说 明书中变得显而易见,或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优 点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实 现和获得。
附图说明
下面结合附图对本发明进行详细的描述,以使得本发明的上述优点更加 明确。
图1是现有技术晶片清洗及干燥用花篮装置的结构示意图;
图2是本发明晶片清洗及干燥用花篮装置的晶片夹持装置的结构示意图;
图3是本发明晶片清洗及干燥用花篮装置的晶片夹持装置的结构示意图;
图4是本发明晶片清洗及干燥用花篮装置的结构示意图;
图5是本发明晶片清洗及干燥用花篮装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行详细地说明。
如图1到5所示,本发明的目的在于提供一种降低3寸INP晶片清洗及 干燥过程碎片率的花篮装置,其中,晶片、晶片夹持装置、花篮外框均可实 现无晃动的接触,夹持,有效降低减薄后的3寸INP晶片在清洗及干燥过程, 由于晶片在花篮中放置不稳定而引起的碎片率。
具体来说,一种晶片清洗及干燥用花篮装置,包括:花篮外框(3),在 所述花篮外框(3)的内部设置多个相向设置的固定槽(31),以上固定槽(31) 与晶片夹持装置相配合,所述晶片夹持装置包括第一晶片夹持片(101)和第 二晶片夹持片(102),两者之间夹有晶片(2),所述第一晶片夹持片(101) 的至少两个面设置有凸起部,且以上第二晶片夹持片(102)被夹在以上凸起 部内,由此两个夹持片稳定无晃动,此外,在第一晶片夹持片(101)的凸起 部上还设置有对应的孔1011。
优选的是,所述花篮夹具内部为圆形,尺寸为三寸,外部为椭圆形。
优选的是,晶片夹持装置与花篮外框属于面接触。
本发明在清洗及干燥晶片过程中,移动花篮,晶片基本无晃动,可有效 减少因为晶片与花篮的撞击引起的碎片率的问题。
其中,以上晶片夹持装置,其尺寸为3寸,用于晶片的无松动固定,避 免清洗及干燥过程晶片的晃动。花篮外框,用于安放花篮夹持装置,与花篮 夹具紧密配合,安稳牢靠实现多片晶片同时清洗干燥。花篮夹具内部为圆形, 尺寸为三寸,外部为椭圆形。两片复合式夹具将晶片夹持在中间,稳定牢靠, 无晃动。晶片夹持装置与花篮外框属于面接触(最外侧圆环),因此在清洗及 干燥晶片过程中,移动花篮,晶片基本无晃动,可有效减少因为晶片与花篮 的撞击引起的碎片率的问题。
最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限 制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的 技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或 者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作 的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种晶片清洗及干燥用花篮装置,包括:花篮外框(3),在所述花篮外框(3)的内部设置多个相向设置的固定槽(31),以上固定槽(31)与晶片夹持装置相配合,其特征在于,所述晶片夹持装置包括第一晶片夹持片(101)和第二晶片夹持片(102),两者之间夹有晶片(2),所述第一晶片夹持片(101)的至少两个面设置有凸起部,且以上第二晶片夹持片(102)被夹在以上凸起部内,由此两个夹持片稳定无晃动。
2.根据权利要求1所述的晶片清洗及干燥用花篮装置,其特征在于,所述花篮夹具内部为圆形,尺寸为三寸,外部为椭圆形。
3.根据权利要求1或2所述的晶片清洗及干燥用花篮装置,其特征在于,晶片夹持装置与花篮外框属于面接触。
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