CN108061639B - 一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪 - Google Patents
一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108061639B CN108061639B CN201711324980.0A CN201711324980A CN108061639B CN 108061639 B CN108061639 B CN 108061639B CN 201711324980 A CN201711324980 A CN 201711324980A CN 108061639 B CN108061639 B CN 108061639B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wave
- phase difference
- wavefront
- light
- aberration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 title claims abstract description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 64
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims abstract description 57
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 46
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000005457 optimization Methods 0.000 claims description 9
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 claims 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 8
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 6
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 5
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000012804 iterative process Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Eye Examination Apparatus (AREA)
Abstract
本发明公开了一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪，由光源激光器、平行光准直***、光束共轭‑匹配***、波前校正器、相位差波前传感器和高性能计算处理***组成，所述的波前测量仪：利用波前校正器为相位差波前传感器引入多组精确已知的相位差异信息，构成多通道相位差波前畸变约束，显著提高传统相位差法的像差探测范围和灵敏度；利用波前校正器、相位差波前传感器和高性能计算处理***构成自适应光学波前像差闭环校正‑测量***，对校正后的残余像差进行持续检测，使得经相位补偿后的畸变光波将逐步并最终逼近理想光学平面光波，此时波前校正器的校正量即为待测波前像差的准确数值。
Description
技术领域
本发明属于自适应光学和光学检测领域，具体涉及一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪。
背景技术
基于波前测量技术的光学检测是现代光学中的一个重要发展方向。十九世纪六十年代激光器的发明，为波前测量技术提供了很好的相干照明光源，而电子技术和计算机技术的飞速发展，又促使光、机、电等多学科的新技术能够综合应用于波前测量，大大扩展了波前测量技术的实现手段和应用范围。作为一种非接触性测量方法，波前测量技术已被广泛应用在物理实验、光学器件和***检测、光束诊断和自适应光学等领域。目前比较成熟的波前测量方法主要分为四种：干涉测量法、斜率测量法、曲率测量法和基于强度测量的反演法，这些技术对应的波前传感器具有各自优缺点。
干涉法是一种直接相位测量方法，它是通过将待测畸变波前与标准平面光波前进行比较，从而获得波前测量数据，典型装置如Michelson、Mach-Zehnder干涉仪等。干涉仪具有高空间采样率、高测量精度等优点，已广泛用于光学检测、流场光学层析测量等领域，目前Wyko、Zygo以及Precision-optical Engineering等公司均已推出商品化的干涉仪产品，但干涉法波前测量装置结构复杂，外界震动、温度变化等均会给测量结果带来较大误差，限制了其在工程恶劣环境中的应用；另一方面，干涉测量法依靠干涉条纹图记录波前相位信息，而干涉条纹的提取和处理方法较复杂，不适于随时间剧烈变化的波前像差测量，并且当待测像差尺度较大时，干涉条纹过密将导致相位测量无法计算，为此人们研制出红外干涉仪和可见光干涉仪分别应用于大动态范围和高精度波前像差测量的环境，但由于测量波长的物理限制，它们都不能同时具备大动态范围和高精度像差测量的能力。针对传统干涉测量法的不足，黄磊等提出了一种SPGD结合干涉法的自由曲面精密测量技术(Lei Huangetc.Adaptive interferometric null testing for unknown freeform opticsmetrology,Opt.Letters,2016.41(23):5539～5542.)，该方法能在一定程度上提高干涉法对几何曲面像差的测量范围，但是当待测像差中包含较多高频成份时，SPDG搜索算法难以实现初始光斑的有效收敛，干涉法测量过程将无法继续进行；此外基于干涉法的测量技术目前只适用于点目标测量对象，不能运用于扩展目标的像差测量。
斜率测量法的典型装置是哈特曼波前传感器(Hartmann-Shark wavefrontsensor，HS-WFS)，它是由微透镜阵列和质心探测器组成，其基本原理是通过微透镜阵列将待测波面分割成若干个采样单元，并假设采样单元内的光波近似为平面光波，这些采样单元的光波分别由各个独立的微透镜汇聚到位于焦面处的质心探测器，形成离散的哈特曼光斑图像，每个子孔径内的波前倾斜将造成光斑质心在水平和竖直方向的偏移，对应采样单元的光波在两个方向的波前斜率，利用子孔径波前斜率结合复原算法就可以得到待测波前像差。哈特曼波前传感器以其较高的测量实时性、合适的测量精度，已广泛应用于自适应光学、镜面检测、激光参数测量、人眼像差测量、光路准直等方面。但哈特曼波前传感器通过微透镜阵列对待测波面进行离散采样，其空间采样率通常较低，目前仅适合于几何像差检测，难以运用于高精度以及非连续波前像差测量。
曲率波前传感器最早由Roddier于1988年提出，测量过程是通过采集待测光波经透镜汇聚的两个等距离-离焦面上的光强分布，并通过求解对应的泊松方程获取待测波面相位分布，其基本思想来源于几何光学，如果待测波面存在相位畸变，即波前相位各点曲率不同，则两个离焦面上的光强分布将存在差异，一个离焦面某处光强增加，另一个离焦面对应位置的光强就会减弱。目前曲率波前传感器已用于天文望远镜自适应光学***中，其优点是结构简单、实时性好，但是对高空间频率像差的测量精度较低，无法应用于高精度波前像差测量。
相位差法(Phase Diversity，PD)属于强度测量反演技术，最早由Gonsalves和Chidlaw于1979年首次提出，并在随后的研究中指出其不仅可以用于点光源成像***的波前探测，还可以应用于扩展目标成像***的波前探测和图像复原，因而受到国内外广泛研究和关注(王欣等,相位变更方法发展简述[J].光学技术，2009，35(3)：454～460)。相位差波前测量技术的本质是同时采集入射光波的两幅或多幅存在相位差异的远场图像，在利用已知相位差对波前畸变约束的情况下，通过这些图像的光强分布计算得到波前相位信息和未知目标图像。相位差波前传感器相比传统波前探测技术的优势包括光学结构简单、对器件无特殊要求，同时适用于点目标和扩展目标像差测量等，并且可用于连续像差和拼接望远镜以及稀疏孔径望远镜等非连续像差检测(etc.A phase diversityexperiment to measure piston misalignment of the segmented primary mirror ofthe Keck II telescope[C].Proc.SPIE,1998,3356:190～201)。由于相位差波前探测方法采集的远场光斑图像包含较多高频信息，因此具有很高的探测灵敏度和精度，但传统相位差法仅采用光路中容易获取的离焦像差作为已知相位差异信息进行迭代运算(于学刚，相位差波前探测器设计[M].中国科学院研究生院硕士学位论文.2008；中国专利，一种基于相位差的人眼相差测量***，宣丽等，公开号：CN20205027561U，2011.11；中国专利，一种基于组合棱镜的相位差波前传感器，罗群等，申请号：201210027766.X，2012.02；中国专利，一种基于差分光学的相位差波前测量成像装置，鲍华等，公开号：ZL201210180083.8，2012.04)，对最优化算法的约束远不够充分，如果待测像差尺度较大，算法在求解过程中极易陷入局部最优解甚至无法收敛，因此目前正在使用的相位差波前传感器技术还不能实现大动态范围和高精度波前像差测量。
发明内容
本发明所解决的技术问题是：针对目前已有的各种波前像差测量技术都无法同时实现大动态范围和高精度波前像差测量的不足，首次提出一种自适应光学技术结合相位差波前传感器的新型波前测量仪，通过本发明所构造的闭环校正-测量***和多通道相位差约束方法，可以对点光源***和扩展目标同时实现大动态范围、高精度波前像差测量。
本发明解决上述技术问题采用的技术方案是：一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪，包括光源激光器、平行光准直***、第一分光镜、待测样品、光束共轭-匹配***、第二分光镜、波前校正器、相位差波前传感器和高性能计算处理***；光源激光器发出照明光束，平行光准直***将照明光束准直为平行光波，平行光波经第一分光镜反射后照明待测样品，待测样品反射回包含待测像差的畸变光波，畸变光波经第一分光镜进入光束共轭-匹配***，光束共轭-匹配***使波前校正器、相位差波前传感器和待测样品处于光学共轭位置，畸变光波经第二分光镜进入波前校正器，波前校正器对畸变光波引入精确已知的相位差Δφk并反射至第二分光镜，第二分光镜再将调制后的畸变光波反射至相位差波前传感器，高性能计算处理***利用相位差波前传感器采集的远场光斑图像和波前校正器引入的已知相位差Δφk计算得到畸变波前相位分布，求解过程采用最优化算法对公式(1)和(2)进行迭代计算，并驱动波前校正器对畸变光波进行相位补偿，经迭代校正后的畸变光波将逐步并最终逼近理想光学平面光波，此时波前校正器加载的校正量即为待测波前像差的数值量；
式(1)为待求解的最优化目标函数，K是通过波前校正器调制的已知相位差的远场光斑图像总帧数，Dk是第k帧远场光斑图像，Hk是采集远场光斑图像Dk时对应的光学传递函数；式(2)中φ为待测畸变光波相位分布，Δφk是与Dk对应的第k帧已知相位差，FFT(·)为快速傅里叶变换。
本发明的技术方案中波前校正器可以为相位差波前传感器提供多组动态的、不同空间频率和尺度大小的精确已知相位差，相比传统相位差波，前测量技术仅仅依靠固定的、低阶离焦像差约束待求波前畸变，本发明可以有效解决在大动态范围波前像差测量情况下最优化算法的收敛性问题，从而大大提高相位差波前测量技术的探测范围和成功率。
本发明的技术方案中波前校正器、相位差波前传感器和高性能计算处理***构成自适应光学闭环校正***，可以对畸变光波完成相位补偿后的残余像差进行多次闭环校正-迭代测量，相比其它传统波前测量技术的单次测量方法，本发明不仅可以在测量过程中逐步提高采集到的远场光斑图像信噪比，而且还可以降低测量过程对中间结果的精度要求，只需畸变光波逐渐逼近理想光学平面光波，就可以实现高精度波前像差测量。
本发明的原理是：
(1)波前校正器为相位差波前传感器提供多组动态的、不同空间频率和尺度大小的精确已知相位差，根据最优化算法的数学原理可知利用多通道已知相位差对波前畸变的约束越充分，相位差算法的求解能力就越强，从而有效解决在大动态范围波前像差测量情况下相位差法的收敛性问题。
(2)波前校正器、相位差波前传感器和高性能计算处理***构成自适应光学闭环校正-测量***，迭代过程中相位差波前传感器对自适应光学校正后的残余像差进行持续测量，在残余像差逐渐减小的基础上，畸变光波将最终逼近理想光学平面光波，从而获得高精度波前像差测量结果。
(3)在自适应光学闭环校正-测量过程中，波前校正器将持续累计对待测畸变光波的相位补偿，当校正后的畸变光波逼近理想光学平面光波时，波前校正器加载的校正量即为待测波前像差的准确数值。
本发明与现有技术相比有如下优点：
(1)本发明光学结构简单稳定，不需要额外的辅助装置，高性能计算处理***直接利用采集的远场光斑图像和已知的相位差异信息反演畸变波前相位分布；
(2)本发明采用闭环校正-测量***和多通道相位差约束方法，通过一套测量装置即可对点光源***和扩展目标同时实现大动态范围、高精度波前像差测量；
(3)本发明不仅能获得畸变波前的高精度测量结果，还可以实时监控像差校正后的远场光斑强度分布，通过远场和近场数据综合判断像差测量结果的可靠性。
本发明所具有的上述优点，为现代光学检测提供了一种新型的大动态范围、高精度波前像差测量技术，具有显著的实用价值。
附图说明
图1为本发明提出的一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前像差仪光路结构图；
图2为本发明提出的一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪工作流程图；
图3为本发明利用波前校正器为相位差波前传感器引入精确已知相位差信息的部分高阶波面示意图；
图4为采用本发明装置测量波前像差的实验结果，其中，图4(a)是通过波前校正器加载的已知待测畸变波前，图4(b)和图4(c)是相位差波前传感器采集的一组已知相位差异的远场光斑图像，图4(d)是本发明装置对已知畸变像差的测量结果，图4(e)是测量结果与已知畸变波前之间的残余误差(rms<18.0nm)，图4(f)是对畸变波前完成相位校正后的远场光斑图像。
具体实施方式
下面结合附图以及具体实施方式进一步说明本发明。
如图1所示，本发明一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪，由光源激光器1、平行光准直***2、第一分光镜3、待测样品4、光束共轭-匹配***5、第二分光镜6、波前校正器7、相位差波前传感器8和高性能计算处理***9组成。其中光源激光器1发出照明光束，平行光准直***2将照明光束经准直为平行光波，第一分光镜3反射平行光波照明待测样品4，待测样品4反射回包含待测像差的畸变光波，畸变光波经第一分光镜3进入光束共轭-匹配***5，光束共轭-匹配***5确保波前校正器7、相位差波前传感器8和待测样品4处于光学共轭位置，畸变光波经第二分光镜6进入波前校正器7，波前校正器7在畸变光波中引入多组精确已知的相位差异信息，构成多通道相位差波前畸变约束，第二分光镜6将调制后的畸变光波反射至相位差波前传感器8，并由相位差波前传感器8采集对应的远场光斑图像，高性能计算处理***9利用多组远场光斑图像和已知相位差信息计算得到畸变波前相位分布，然后驱动波前校正器7对畸变光波进行相位补偿；此后相位差波前传感器8重新采集经波前校正后的残余像差的远场光斑图像，高性能计算处理***9重复完成后续相位补偿工作，上述过程构成自适应光学波前像差闭环校正-测量***，经迭代校正后的畸变光波将最终逼近理想光学平面光波，此时波前校正器7的校正量即为待测波前像差的准确数值。
测量仪工作流程如图2所示，高性能计算处理***9利用控制波前校正器7在畸变光波中引入多组精确已知的相位差异信息，并控制相位差波前传感器8采集对应的远场光斑图像；数学求解过程采用最优化算法对公式(1)和(2)进行迭代运算，获得计算结果后高性能计算处理***9控制控制波前校正器7对畸变光波进行相位补偿；当校正后的远场光斑满足评价指标时，***退出工作流程，否则重新执行上述闭环校正过程。
式(1)为待求解的最优化目标函数，K是通过波前校正器7调制的已知相位差的远场光斑图像总帧数，Dk是第k帧远场光斑图像,Hk是采集远场光斑图像Dk时对应的光学传递函数；式(2)中φ为待测畸变光波相位分布，Δφk是与Dk对应的第k帧已知相位差，FFT(·)为快速傅里叶变换；
图4为采用本发明装置测量波前像差的实验结果，其中，图4(a)是通过波前校正器加载的已知待测畸变波前，图4(b)和图4(c)是相位差波前传感器采集的一组已知相位差异的远场光斑图像，图4(d)是本发明装置对已知畸变像差的测量结果，图4(e)是测量结果与已知畸变波前之间的残余误差(rms<18.0nm)，图4(f)是对畸变波前完成相位校正后的远场光斑图像，此时远场光斑已接近衍射极限爱里斑，可以再次证明畸变波前经相位补偿后已逼近理想光学平面光波；通过实验验证本发明装置的测量范围波面rms大于5um，测量精度波面rms优于20nm。
总之，本发明构造了一种自适应光学技术和相位差波前传感器相结合的闭环校正-测量***，并采用多通道相位差约束方法有效提高传统相位差波前探测技术的探测范围和灵敏度；通过一套测量装置即可以同时实现大动态范围和高精度波前像差测量，光学结构简单稳定，不需要额外的辅助装置，测量对象适用于点光源***和扩展目标的波前像差测量；在获得高精度测量结果的同时，还可以通过相位差波前传感器实时监控校正后的远场光斑强度分布，通过远场和近场数据综合判断像差测量结果的可靠性。本发明对光学检测领域，尤其是大口径光学望远镜的主镜加工、检测具有重要意义。
本发明未详细阐述部分属于本领域技术人员的公知技术。
Claims (4)
1.一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪，其特征在于：包括光源激光器(1)、平行光准直***(2)、第一分光镜(3)、待测样品(4)、光束共轭-匹配***(5)、第二分光镜(6)、波前校正器(7)、相位差波前传感器(8)和高性能计算处理***(9)；光源激光器(1)发出照明光束，平行光准直***(2)将照明光束准直为平行光波，平行光波经第一分光镜(3)反射后照明待测样品(4)，待测样品(4)反射回包含待测像差的畸变光波，畸变光波经第一分光镜(3)进入光束共轭-匹配***(5)，光束共轭-匹配***(5)使波前校正器(7)、相位差波前传感器(8)和待测样品(4)处于光学共轭位置，畸变光波经第二分光镜(6)进入波前校正器(7)，波前校正器(7)对畸变光波引入精确已知的相位差Δφk并反射至第二分光镜(6)，第二分光镜(6)再将调制后的畸变光波反射至相位差波前传感器(8)，高性能计算处理***(9)利用相位差波前传感器(8)采集的远场光斑图像和波前校正器(7)引入的已知相位差Δφk，计算得到畸变波前相位分布，求解过程采用最优化算法对公式(1)和(2)进行迭代计算，并驱动波前校正器(7)对畸变光波进行相位补偿，经迭代校正后的畸变光波将逐步并最终逼近理想光学平面光波，此时波前校正器(7)加载的校正量即为待测波前像差的准确数值；
式(1)为待求解的最优化目标函数，K是通过波前校正器(7)调制的已知相位差的远场光斑图像总帧数，Dk是第k帧远场光斑图像；式(2)中φ为待测畸变光波相位分布，Δφk是与Dk对应的第k帧已知相位差，FFT(·)为快速傅里叶变换。
2.根据权利要求1所述的一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪，其特征在于：波前校正器(7)可以为相位差波前传感器(8)提供多组动态的、不同空间频率和尺度大小的精确已知相位差异信息，构成多通道相位差波前畸变约束，显著提高传统相位差法的探测范围和灵敏度，有效解决在大动态范围波前像差测量情况下相位差波前探测技术的收敛性问题。
3.根据权利要求1所述的一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪，其特征在于：波前校正器(7)、相位差波前传感器(8)和高性能计算处理***(9)构成自适应光学波前像差闭环校正-测量***，测量过程中相位差波前传感器对自适应光学校正后的残余像差进行持续检测，使得经相位补偿后的畸变光波将最终逼近理想光学平面光波，此时波前校正器(7)的校正量即为待测波前像差的准确数值。
4.根据权利要求1所述的一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪，其特征在于：波前校正器(7)是液晶空间光调制器、压电陶瓷变形镜或MEMS变形镜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711324980.0A CN108061639B (zh) | 2017-12-13 | 2017-12-13 | 一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711324980.0A CN108061639B (zh) | 2017-12-13 | 2017-12-13 | 一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108061639A CN108061639A (zh) | 2018-05-22 |
| CN108061639B true CN108061639B (zh) | 2019-12-03 |
Family
ID=62138352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201711324980.0A Active CN108061639B (zh) | 2017-12-13 | 2017-12-13 | 一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108061639B (zh) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109520712B (zh) * | 2018-12-03 | 2021-08-17 | 江苏慧光电子科技有限公司 | 光学检测方法、***及光学器件制造*** |
| CN110109244A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-08-09 | 西安理工大学 | 一种校正无线激光通信中畸变信号光的***及其校正方法 |
| CN110146258B (zh) * | 2019-06-11 | 2020-03-13 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种Poisson noise模型下对扩展目标成像时的相位恢复方法 |
| CN111290116A (zh) * | 2019-12-17 | 2020-06-16 | 西南技术物理研究所 | 一种动态曲面波前发生装置 |
| CN111076904B (zh) * | 2019-12-27 | 2021-08-03 | 山东大学 | 一种高功率薄片激光器动态波前像差检测装置及方法 |
| CN111256956A (zh) * | 2020-02-14 | 2020-06-09 | 上海慧希电子科技有限公司 | 波前测量设备及波前测量方法 |
| CN111612835B (zh) * | 2020-06-06 | 2021-05-28 | 重庆连芯光电技术研究院有限公司 | 一种适用于扩展目标倾斜跟踪的***及方法 |
| CN113469983B (zh) * | 2021-07-12 | 2023-07-04 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种用于大视场自适应光学***成像质量评价方法 |
| CN114791677B (zh) * | 2022-04-13 | 2023-11-03 | 中国石油大学(华东) | 一种自由空间时频基准传输光束漂移补偿装置及补偿方法 |
| CN115307876B (zh) * | 2022-08-04 | 2023-04-18 | 长沙思木锐信息技术有限公司 | 一种近远场共光路光学探测***、构建方法和成像方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4522137B2 (ja) * | 2004-05-07 | 2010-08-11 | キヤノン株式会社 | 光学系の調整方法 |
| CN102331303B (zh) * | 2011-08-05 | 2012-10-03 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于光栅的相位差波前传感器 |
| CN102636271B (zh) * | 2012-04-19 | 2013-12-11 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于差分光学的相位差法波前测量成像装置 |
| CN102721477B (zh) * | 2012-06-04 | 2013-10-16 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种用于相位差波前传感器的离焦量测量方法 |
| CN102889935A (zh) * | 2012-09-14 | 2013-01-23 | 中国科学院光电技术研究所 | 基于相位差法的自适应光学***近场波前传感器标定装置及标定方法 |
| CN103973263B (zh) * | 2014-05-16 | 2017-02-01 | 中国科学院国家天文台 | 一种逼近滤波方法 |
| CN104482875B (zh) * | 2014-12-19 | 2017-07-21 | 合肥工业大学 | 单狭缝空间载波剪切散斑干涉测量***及测量方法 |
| CN107167299B (zh) * | 2017-06-13 | 2019-07-05 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于联合探测和相位拟合的波前检测仪 |
-
2017
- 2017-12-13 CN CN201711324980.0A patent/CN108061639B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN108061639A (zh) | 2018-05-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108061639B (zh) | 一种结合自适应光学技术的大动态范围、高精度相位差法波前测量仪 | |
| CN101788263B (zh) | 可调扩展光源照明的同轴斐索型同步移相干涉仪 | |
| CN104215176B (zh) | 高精度光学间隔测量装置和测量方法 | |
| CN100573080C (zh) | 利用分光器件实现对准功能的哈特曼波前传感器及其检测方法 | |
| CN106441816B (zh) | 计算全息法测量长焦距透镜透射波前的检测装置及检测方法 | |
| CN111220361B (zh) | 一种测量微透镜阵列焦距的方法 | |
| CN103471521B (zh) | 快速、准确的光学非球面的实时检测方法 | |
| CN103471522B (zh) | 检测范围广的凹非球面的实时检测方法 | |
| CN110057543B (zh) | 基于同轴干涉的波面测量装置 | |
| CN109000781B (zh) | 一种结构微振动线域测量装置及方法 | |
| CN105425378A (zh) | 一种虚拟孔径复振幅拼接超分辨率天文望远镜*** | |
| CN105823563B (zh) | 动态高分辨率波前测量装置及方法 | |
| Zhu et al. | 600-mm aperture simultaneous phase-shifting Fizeau interferometer | |
| CN201885805U (zh) | 环形共光路点衍射干涉波前传感装置 | |
| CN109059802B (zh) | 基于Tip\Tilt镜的动态角度调制干涉***的误差标定方法 | |
| CN107167299B (zh) | 一种基于联合探测和相位拟合的波前检测仪 | |
| CN114322848A (zh) | 一种球面波前曲率半径测量装置及测量方法 | |
| CN112097923B (zh) | 一种简易的光学件波前测量方法 | |
| CN116593013A (zh) | 一种物光复相干系数相位的绝对测量方法 | |
| CN105806493B (zh) | 基于空间相位调制的紧凑非等光程光纤点衍射干涉仪 | |
| CN112013972A (zh) | 横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法 | |
| CN205593653U (zh) | 基于空间相位调制的紧凑非等光程光纤点衍射干涉仪 | |
| CN103575229A (zh) | 共光路型多重倾斜波面补偿非零位干涉测量装置 | |
| CN108663125A (zh) | 波前传感器的参数标定装置和方法 | |
| CN113432731A (zh) | 一种光栅横向剪切干涉波前重建过程中的补偿方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |