CN107923751B - 用于汽车应用的双轴超稳健转速传感器 - Google Patents

Abstract

提出转速传感器，具有衬底、第一转速传感器结构、第二转速传感器结构，衬底具有主延伸平面，第一转速传感器结构用于探测第一转速、第二转速传感器结构用于探测第二转速，第一轴线平行于主延伸平面延伸，第二轴线垂直于主延伸平面延伸，其中，转速传感器包括驱动装置，既用于偏转第一转速传感器结构的至少一个第一结构，以及第一转速传感器结构的至少一个第二结构，而且驱动装置也用于偏转第二转速传感器结构的至少一个第三结构，以及第二转速传感器结构的至少一个第四结构，使得第一结构、第二结构、第三结构以及第四结构能够被激励到机械耦合的振动。

Description

用于汽车应用的双轴超稳健转速传感器

背景技术

单轴的转速传感器被用于汽车领域中的安全重要的应用中，所述单轴的转速传感器可以分别测量围绕定义轴线的转速。在将不同应用(例如电子稳定程序(ESP)或翻车感测)组合的情况下，需要同时测量围绕不同轴线的转速，这目前通过使用多个单个的传感器来实现。

本发明从根据本发明的转速传感器出发。

这类转速传感器例如由US 2012/0210788 A1已知。

发明内容

与现有技术相比，根据本发明的转速传感器具有如下优点：在相对于现有技术更小的衬底面积上提供一种对于线性加速度和旋转加速度稳健的转速传感器。在此，为了探测转速，该微机械结构仅需要相对于现有技术更小的衬底面积。

这尤其通过如下方式实现：与现有技术相反，第一结构和第四结构能够被激励到彼此基本上线性的同相的振动，并且能够被激励到相对于第二结构和第三结构的基本上线性的反相的振动，第一结构和第四结构的振动分别具有基本上平行于第三轴线的运动分量，第三轴线垂直于第一轴线并且垂直于第二轴线延伸，其中，该转速传感器如此配置，使得作用于第一结构的第一力作用以及作用于第二结构的相对于第一力作用基本上反相的第二力作用能够基于第一转速被探测，并且使得作用于第三结构的第三力作用以及作用于第四结构的相对于第三力作用基本上反相的第四力作用能够基于第二转速被探测。

由此，以简单的、成本有利的并且机械稳健的方式尤其提供一种相对于线性加速度和旋转加速度稳健的双轴转速传感器。这尤其通过如下方式实现：将两个转速传感器芯部进行组合并且共同驱动。例如借助本发明可以实现，将用于Z转速的传感器芯部与用于X转速的传感器芯部组合成一个新的传感器芯部，所述新的传感器芯部仅具有仅一个驱动电路并且可以测量围绕两个轴线的转速。同时，该传感器是相对于外部线性加速度和旋转加速度稳健的，并且因此满足对于汽车领域中的安全重要的应用的要求。通过将两个共同驱动的传感器芯部进行组合，既可以节省传感器芯部中的部件，也可以节省ASIC(专用集成电路)中的部件。因此，最终产品变得更加紧凑，并且在制造成本上与两个单个传感器相比更加成本有利。共同的驱动既可以节省驱动结构，也可以节省电连接焊盘(Anschlusspad)。附加地，共同的驱动可以实现ASIC的更紧凑的结构方式，因为必须提供仅一个驱动调节回路。共同的驱动的优点尤其在于，避免两个芯部的两个驱动频率不同。因此，例如避免由驱动力的寄生串扰而引起的相互影响。在单个芯部的情况下，分别将必须能够在驱动方向和探测方向上运动的科里奥利质量通过适当的耦合结构与驱动结构连接，该驱动结构应该仅在驱动方向上振动。在本发明中，使各个通道的科里奥利质量直接耦合。由此例如可以提供一种转速传感器，其中，处于内部的科里奥利质量由处于外部的科里奥利质量所驱动。在此，驱动结构例如仅抓握处于外部的科里奥利质量。

本发明的有利构型和扩展方案例如由下面参照附图的描述中获知。

根据一种优选扩展方案设置，第一转速传感器结构包括能够相对于衬底并且相对于第一和第二结构运动的至少一个第五结构以及能够相对于衬底并且相对于第一、第二和第五结构运动的至少一个第六结构，其中，第五结构和第六结构能够被激励到机械耦合的振动，其中，第五结构能够被激励到相对于第二和第三结构基本上线性的同相的振动，并且能够被激励到相对于第一、第四和第六结构基本上线性的反相的振动，第五结构的振动具有基本上平行于第三轴线的运动分量，其中，该转速传感器如此配置，使得作用于第五结构的第五力作用以及作用于第六结构的相对于第五力作用基本上反相的第六力作用能够基于第一转速被探测。由此，可以以有利的方式实现，第一转速能够以紧凑的、简单的并且尤其以相对于线性加速度和旋转加速度稳健的方式被探测。由此尤其可以以相对于现有技术更小的空间需求实现一种用于探测围绕两个彼此垂直延伸的轴线的两个转速的转速传感器。由此还可以实现，将具有四个质量的相对于线性加速度和旋转加速度稳健的X转速传感器与具有两个质量的相对于线性加速度和旋转加速度稳健的Z转速传感器进行组合。

根据一种优选扩展方案设置，第二转速传感器结构包括能够相对于衬底并且相对于第三和第四结构运动的至少一个第七结构、能够相对于衬底并且相对于第三、第四和第七结构运动的至少一个第八结构，其中，第七和第八结构能够被激励到机械耦合的振动，其中，第七结构能够被激励到相对于第一和第四结构和/或第六结构基本上线性的同相的振动，并且能够被激励到相对于第二、第三和第八结构和/或第五结构基本上线性的反相的振动，第七结构的振动具有基本上平行于第三轴线的运动分量，其中，该转速传感器如此配置，使得作用于第七结构的第七力作用以及作用于第八结构的相对于第七力作用基本上反相的第八力作用能够基于第二转速被探测。由此可以以有利的方式实现，第二转速可以以紧凑的、简单的并且尤其以相对于线性加速度和转速加速度稳健的方式被探测。由此尤其可以实现，向上或向下运动的质量是相同的。由此尤其可以实现，同相振动的结构的质量总和基本上相应于反相振动的结构的质量总和。因此，通过对称性确保，驱动运动中的部分振动器(Teilschwinger)的幅度全部相同，并且也可以不随工艺变化而不同。对称的布置尤其相对于外部加速度更稳健，这是因为可激励的模式也是相应对称的并且由于差分评估而不提供信号。

根据一种优选扩展方案设置，驱动装置包括至少一个第一驱动单元、与第一驱动单元耦合的至少一个第二驱动单元、与第一和第二驱动单元空间上分离的至少一个第三驱动单元以及与第三驱动单元耦合的至少一个第四驱动单元，其中，第一、第二、第三和第四驱动单元基本上相同地构造。由此可以有利地实现，尤其在驱动频率的情况下通过驱动装置中的机械耦合支持各个结构之间的机械耦合的振动以及尤其基本上线性的同相或反相的振动。

根据一种优选扩展方案设置，第三结构包括用于探测第三力作用的第一部分结构，第四结构包括用于探测第四力作用的第二部分结构，其中，第一部分结构和第二部分结构基本上相同地构造。因此，以有利的方式将驱动运动与用于探测第二转速的探测运动机械分离。这可以实现对基于第二转速的探测信号的特别简单的分析处理。

根据一种优选扩展方案设置，第七结构包括用于探测第七力作用的第三部分结构，第八结构包括用于探测第八力作用的第四部分结构，其中，第三部分结构和第四部分结构基本上相同地构造。因此，以有利的方式将驱动运动与用于探测第二转速的探测运动机械分离，并且提供一种相对于线性加速度和旋转加速度稳健的转速传感器。这可以在相对于线性加速度和旋转加速度稳健的转速传感器的情况下实现对基于第二转速的探测信号的特别简单的分析处理。在将z探测梳

缩短到一半以便在没有第七和第八结构的情况下实现与非对称情况下相同的探测能力时，保持科里奥利框架(Coriolisrahmen)和探测梳加倍。

根据一种优选扩展方案设置，该转速传感器包括至少一个第一耦合件，

-该第一耦合件要么用于使第一、第二、第三和第四结构与驱动装置耦合和/或使第三结构与第五结构耦合和/或使第四结构与第六结构耦合，

-该第一耦合件要么用于使第三、第四、第七和第八结构与驱动转置耦合并且使第一结构与第七结构耦合并且使第二结构与第八结构耦合和/或使第三结构与第五结构耦合和/或使第四结构与第六结构耦合，

其中，第一耦合件能够在基本上平行于第一轴线的方向上和基本上平行于第二轴线的方向上弹性变形，并且在基本上平行于第三轴线的方向上基本上形状稳定(formstabil)。第一耦合件例如如此构造在X通道的科里奥利质量与Z通道的科里奥利质量之间，使得将驱动方向上的力、即平行于Y轴线作用的力良好地从一个科里奥利质量传输到另一科里奥利质量，并且同时将所连接的科里奥利质量的探测方向上的力、即平行于X轴线和Z轴线作用的力尽可能少地从一个科里奥利质量传输到另一科里奥利质量，从而直接彼此耦合的科里奥利质量不相互干扰。由此以简单的、机械稳健的并且成本有利的方式提供一种具有共同驱动的两个传感器芯部的组合的转速传感器。由此尤其可以实现，将驱动运动从外部结构、即从直接与驱动装置通过第一耦合件相互作用的结构传输到内部结构上、即传输到不直接与驱动装置通过第一耦合件相互作用的结构上，因此，外部结构和内部结构可以被激励到机械耦合的振动。

根据一种优选扩展方案设置，转速传感器包括用于使第一部分结构与第二部分结构耦合和/或用于使第三部分结构与第四部分结构耦合的至少一个第二耦合件，其中，该第二耦合件如此构造，使得第一部分结构与第二部分结构彼此基本上仅能够反相地偏转，和/或使得第三部分结构与第四部分结构彼此基本仅能够上反相地偏转。由此，以有利的方式提供一种用于探测第二转速的转速传感器，该转速传感器具有相对于线性加速度和旋转加速度更高的稳健性。

根据一种优选扩展方案设置，转速传感器包括用于耦合第一、第二、第五和第六结构的至少一个第三耦合件，其中，该第三耦合件如此包括第一耦合件结构和第二耦合件结构，使得第一耦合件结构和第二耦合件结构能够围绕基本上平行于第三轴线延伸的轴线以基本上相反的方向摆动。由此以有利的方式提供一种用于探测第一转速的转速传感器，该转速传感器具有相对于线性加速度和旋转加速度的更高的稳健性。由此尤其如此实现第一、第二、第五和第六结构的耦合，使得第一、第二、第五和第六结构能够被激励到机械耦合的振动，并且同时能够沿着第一、第二、第五和第六力作用偏转。

根据一种优选扩展方案设置，转速传感器包括用于使第一结构与第五结构耦合并且用于使第二结构与第六结构耦合的至少一个第四耦合件，其中，该第四耦合件构造成能够围绕基本上平行于第一轴线延伸的轴线摆动，其中，在机械耦合的振动情况下，第四耦合件的质心相对于衬底基本上固定。由此可以以有利的方式实现，第四耦合件在驱动运动中静止，并且在探测运动中作出从平行于主延伸平面的平面倾斜的运动。由此，不仅可以将第四耦合件用作机械耦合结构，而且同时也可以将其用作用于科里奥利探测或正反馈(Mitkopplung)的电极。由此可以以有利的方式实现一种紧凑的传感器设计。

附图说明

图1以示意图示出根据本发明的第一示例性实施方式的转速传感器；

图2以示意图示出根据图1的转速传感器；

图3以示意图示出根据本发明的第二示例性实施方式的转速传感器；

图4以示意图示出根据图3的转速传感器。

具体实施方式

在不同附图中，相同的构件始终设有相同的附图标记，并且因此通常也分别仅提到或提及一次。

在图1中示出根据本发明的第一示例性实施方式的转速传感器1的示意图，其中，转速传感器1包括：具有主延伸平面100的衬底3、用于探测转速传感器1的围绕基本上平行于第一轴线X延伸的轴线的第一转速的第一转速传感器结构2、以及用于探测转速传感器1的围绕基本上平行于第二轴线Z延伸的轴线的第二转速的第二转速传感器结构4。转速传感器1还如此包括驱动装置17，

-该驱动装置既用于偏转第一转速传感器结构2的各个能够相对于衬底3运动的第一结构5、能够相对于衬底3并且相对于第一结构5运动的第二结构9、能够相对于衬底3并且相对于第一和第二结构5、9运动的第五结构7、能够相对于衬底3并且相对于第一、第二和第五结构5、9、7运动的第六结构11；

-而且该驱动装置也用于偏转第二转速传感器结构4的各个能够相对于衬底3运动的第三结构13、能够相对于衬底3并且相对于第三结构13运动的第四结构15，

使得第一、第二、第三、第四、第五和第六结构5、9、13、15、7、11能够被激励到机械耦合的振动。

例如在此，第一结构5、第四结构15以及第六结构11能够被激励到彼此基本上线性的同相的振动，并且能够被激励到相对于第二结构9、第三结构13以及第五结构7基本上线性的反相的振动，第一结构、第四结构以及第六结构的振动分别具有基本上平行于第三轴线Y的运动分量。此外，转速传感器1例如如此配置，既使得作用于第一结构5的第一力作用以及作用于第二结构9的相对于第一力作用基本上反相的第二力作用能够基于第一转速被探测，而且还使得作用于第五结构7的第五力作用以及作用于第六结构11的相对于第五力作用基本上反相的第六力作用能够基于第一转速被探测。转速传感器1例如还如此配置，使得作用于第三结构13的第三力作用以及作用于第四结构15的相对于第三力作用基本上反相的第四力作用能够基于第二转速被探测。

图2以示意图示出根据图1的转速传感器1，其中，在图2中示出转速传感器1的示意性的运动形式。在此，质量或结构5、7、9、11、13和15旁边的箭头示出示例性的驱动运动。此外，虚线箭头示出待测量的外部转速。示例性地，这在图2中是结构5、7、9、11上的第一转速以及结构13和15上的第二转速。质量上的实线箭头还示出由于施加的第一和第二转速所得的力作用，该力作用例如导致质量沿着相应的力作用偏转。

在图3中，以示意图示出根据本发明的第二示例性实施方式的转速传感器1，其中，第二转速传感器结构4包括能够相对于衬底3并且相对于第三和第四结构13、15运动的第七结构51、以及能够相对于衬底3并且相对于第三、第四以及第七结构13、15、51运动的第八结构53，其中第七和第八结构51、53能够被激励到机械耦合的振动。在此，第七结构51例如能够被激励到相对于第一、第四和第六结构5、15、11基本上线性的同相的振动，并且能够被激励到相对于第二、第三、第八以及第五结构9、13、53、7基本上线性的反相的振动，所述第七结构的振动具有基本上平行于第三轴线Y的运动分量。此外，转速传感器1例如如此配置，使得作用于第七结构51的第七力作用以及作用于第八结构53的相对于第七力作用基本上反相的第八力作用能够基于第二转速被探测。附加地，图3中示出的转速传感器例如包括两个侧向翘板(Wippe)，所述侧向翘板使第三结构13与第七结构51耦合，并且使第四结构15与第八结构53耦合。由此，以有利的方式获得共同的Z探测频率。

图4以示意图示出根据图3的转速传感器1，其中，在图4中示出转速传感器1的示意性的运动形式。类似于图2，在此，质量旁边的箭头示出示例性的驱动运动，虚线箭头示出待测量的外部转速，并且实线箭头示出作用于质量的最终力作用。

在图1和图3示出的实施例中，驱动装置17例如包括：第一驱动单元21、与第一驱动单元21耦合的第二驱动单元31、与第一和第二驱动单元21、31空间上分离的第三驱动单元27以及与第三驱动单元27耦合的第四驱动单元37。在图1和图3中示出的实施例中，第一、第二、第三和第四驱动单元21、31、27、37基本上相同地构造。第一驱动单元21与第二驱动单元31以及第三驱动单元27与第四驱动单元37例如借助DE 2011 006394A1中的驱动翘板K4耦合。

此外，在图1和图3中示例性示出的实施例的情况下，第三结构13包括用于探测第三力作用的第一部分结构213，并且第四结构15包括用于探测第四力作用的第二部分结构215，其中，第一部分结构213和第二部分结构215基本上相同地构造。在图3中示例性示出的实施例的情况下，第七结构51包括用于探测第七力作用的第三部分结构251，并且第八结构53包括用于探测第八力作用的第四部分结构253，其中，第三部分结构251和第四部分结构253基本上相同地构造。

附加地，图1和图3中示出的转速传感器1包括第一耦合件101、第二耦合件102、第三耦合件103以及第四耦合件104。第一耦合件101例如包括在X方向和Z方向上软的并且在驱动方向Y上硬的耦合弹簧K1，第二耦合件102包括DE 10 2011 006 394 A1中的Z探测的耦合结构K2，第三耦合件103包括DE 10 2010 061 755 A1中的X通道的耦合结构K3，并且第四耦合件104包括DE 10 2010 061 755 A1中的X通道的耦合翘板K4。

第一耦合件101

-要么如图1所示，设置用于使第一、第二、第三和第四结构5、9、13、15与驱动装置17耦合并且使第三结构13与第五结构7耦合并且使第四结构4与第六结构11耦合；

-要么如图3所示，设置用于使第三、第四、第七和第八结构13、15、51、53与驱动装置17耦合并且使第一结构5与第七结构51耦合、使第二结构9与第八结构53耦合并且使第三结构13与第五结构7耦合并且使第四结构15与第六结构11耦合。

在此，第一耦合件101能够在基本上平行于第一轴线X的方向上以及基本上平行于第二轴线Z的方向上弹性变形或是软的，并且在基本上平行于第三轴线Y的方向上是基本上形状稳定的或硬的。

此外，第二耦合件102设置用于使第一部分结构213与第二部分结构215(图1)耦合和/或用于使第三部分结构251与第四部分结构253(图3)耦合。在此，第二耦合件102如此构造，使得第一部分结构213与第二部分结构215彼此基本上仅能够反相地偏转，和/或使得第三部分结构251与第四部分结构253彼此基本上仅能够反相地偏转。

第三耦合装置103还设置用于耦合第一、第二、第五和第六结构5、9、7、11。在此，第三耦合件103如此包括第一耦合件结构1103和第二耦合件结构2013，使得第一耦合件结构1103与第二耦合件结构2103能够围绕基本上平行于第三轴线Y延伸的轴线以基本上相反的方向摆动。

最后，第四耦合件104设置用于使第一结构5与第五结构7耦合，并且用于使第二结构9与第六结构11耦合。在此，第四耦合件104构造成能够围绕基本上平行于第一轴线X延伸的轴线摆动。此外，在机械耦合的振动的情况下，第四耦合件104的质心相对于衬底3基本上固定。

Claims (9)

1.一种转速传感器(1)，其具有衬底(3)、至少一个第一转速传感器结构(2)和至少一个第二转速传感器结构(4)，所述衬底具有主延伸平面(100)，所述至少一个第一转速传感器结构用于探测所述转速传感器(1)的围绕基本上平行于第一轴线(X)的轴线的第一转速，所述第一轴线平行于所述主延伸平面(100)延伸，所述至少一个第二转速传感器结构用于探测所述转速传感器(1)的围绕基本上平行于第二轴线(Z)的轴线的第二转速，所述第二轴线垂直于所述主延伸平面(100)延伸，其中，所述转速传感器(1)如此包括驱动装置(17)——所述驱动装置既用于偏转所述第一转速传感器结构(2)的能够相对于所述衬底(3)运动的至少一个第一结构(5)以及所述第一转速传感器结构(2)的能够相对于所述衬底(3)并且相对于所述第一结构(5)运动的至少一个第二结构(9)；所述驱动装置也用于偏转所述第二转速传感器结构(4)的能够相对于所述衬底(3)运动的至少一个第三结构(13)以及所述第二转速传感器结构(4)的能够相对于所述衬底(3)并且相对于所述第三结构(13)运动的至少一个第四结构(15)——使得所述第一结构(5)、所述第二结构(9)、所述第三结构(13)和所述第四结构(15)能够被激励到机械耦合的振动，其特征在于，所述第一结构(5)和所述第四结构(15)能够被激励到彼此基本上线性的同相的振动，并且能够被激励到相对于所述第二结构(9)和所述第三结构(13)基本上线性的反相的振动，所述第一结构的振动和所述第四结构的振动分别具有基本上平行于第三轴线(Y)的运动分量，所述第三轴线垂直于所述第一轴线(X)并且垂直于所述第二轴线(Z)，其中，所述转速传感器(1)如此配置，使得作用于所述第一结构(5)的第一力作用以及作用于所述第二结构(9)的相对于所述第一力作用基本上反相的第二力作用能够基于所述第一转速被探测，并且使得作用于所述第三结构(13)的第三力作用以及作用于所述第四结构(15)的相对于所述第三力作用基本上反相的第四力作用能够基于所述第二转速被探测，其中，所述第一转速传感器结构(2)包括能够相对于所述衬底(3)并且相对于所述第一结构(5)和所述第二结构(9)运动的至少一个第五结构(7)以及能够相对于所述衬底(3)并且相对于所述第一结构(5)、第二结构(9)和第五结构(7)运动的至少一个第六结构(11)，其中，所述第五结构(7)和所述第六结构(11)能够被激励到机械耦合的振动，其中，所述第五结构(7)能够被激励到相对于所述第二结构(9)和所述第三结构(13)基本上线性的同相的振动，并且能够被激励到相对于所述第一结构(5)、所述第四结构(15)和所述第六结构(11)基本上线性的反相的振动，所述第五结构的振动具有基本上平行于所述第三轴线(Y)的运动分量，其中，所述转速传感器(1)如此配置，使得作用于所述第五结构(7)的第五力作用以及作用于所述第六结构(11)的相对于所述第五力作用基本上反相的第六力作用能够基于所述第一转速被探测。

2.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述第二转速传感器结构(4)包括能够相对于所述衬底(3)并且相对于所述第三结构(13)和所述第四结构(15)运动的至少一个第七结构(51)以及能够相对于所述衬底(3)并且相对于所述第三结构(13)、第四结构(15)和第七结构(51)运动的至少一个第八结构(53)，其中，所述第七结构(51)和所述第八结构(53)能够被激励到机械耦合的振动，其中，所述第七结构(51)能够被激励到相对于所述第一结构(5)和所述第四结构(15)和/或所述第六结构(11)基本上线性的同相的振动，并且能够被激励到相对于所述第二结构(9)、所述第三结构(13)和所述第八结构(53)和/或所述第五结构(7)基本上线性的反相的振动，所述第七结构的振动具有基本上平行于所述第三轴线(Y)的运动分量，其中，所述转速传感器(1)如此配置，使得作用于所述第七结构(51)的第七力作用以及作用于所述第八结构(53)的相对于所述第七力作用基本上反相的第八力作用能够基于所述第二转速被探测。

3.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述驱动装置(17)包括至少一个第一驱动单元(21)、与所述第一驱动单元(21)耦合的至少一个第二驱动单元(31)、与所述第一驱动单元(21)和所述第二驱动单元(31)空间上分离的至少一个第三驱动单元(27)以及与所述第三驱动单元(27)耦合的至少一个第四驱动单元(37)，其中，所述第一驱动单元(21)、所述第二驱动单元(31)、所述第三驱动单元(27)以及所述第四驱动单元(37)基本上相同地构造。

4.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述第三结构(13)包括用于探测所述第三力作用的第一部分结构(213)，所述第四结构(15)包括用于探测所述第四力作用的第二部分结构(215)，其中，所述第一部分结构(213)和所述第二部分结构(215)基本上相同地构造。

5.根据权利要求2所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述第七结构(51)包括用于探测所述第七力作用的第三部分结构(251)，并且所述第八结构(53)包括用于探测所述第八力作用的第四部分结构(253)，其中，所述第三部分结构(251)和所述第四部分结构(253)基本上相同地构造。

6.根据权利要求2所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)包括至少一个第一耦合件(101)，所述第一耦合件要么设置用于使所述第一结构(5)、所述第二结构(9)、所述第三结构(13)和所述第四结构(15)与所述驱动装置(17)耦合，和/或使所述第三结构(13)与所述第五结构(7)耦合，和/或使所述第四结构(15)与所述第六结构(11)耦合；所述第一耦合件要么设置用于使所述第三结构(13)、所述第四结构(15)、所述第七结构(51)以及所述第八结构(53)与所述驱动装置(17)耦合，并且使所述第一结构(5)与所述第七结构(51)耦合，并且使所述第二结构(9)与所述第八结构(53)耦合，和/或使所述第三结构(13)与所述第五结构(7)耦合，和/或使所述第四结构(15)与所述第六结构(11)耦合，其中，所述第一耦合件(101)能够在基本上平行于所述第一轴线(X)的方向上以及基本上平行于所述第二轴线(Z)的方向上弹性变形，并且在基本上平行于所述第三轴线(Y)的方向上基本上形状稳定。

7.根据权利要求5所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述第三结构(13)包括用于探测所述第三力作用的第一部分结构(213)，所述第四结构(15)包括用于探测所述第四力作用的第二部分结构(215)，其中，所述第一部分结构(213)和所述第二部分结构(215)基本上相同地构造，并且所述转速传感器(1)包括至少一个第二耦合件(102)，所述至少一个第二耦合件用于使所述第一部分结构(213)与所述第二部分结构(215)耦合，和/或用于使所述第三部分结构(251)与所述第四部分结构(253)耦合，其中，所述第二耦合件(102)如此构造，使得所述第一部分结构(213)与所述第二部分结构(215)彼此基本上仅能够反相偏转，和/或使得所述第三部分结构(251)与所述第四部分结构(253)彼此基本上仅能够反相偏转。

8.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)包括用于耦合所述第一结构(5)、所述第二结构(9)、所述第五结构(7)和所述第六结构(11)的至少一个第三耦合件(103)，其中，所述第三耦合件(103)如此包括第一耦合件结构(1103)和第二耦合件结构(2103)，使得所述第一耦合件结构(1103)和所述第二耦合件结构(2103)能够围绕基本上平行于所述第三轴线(Y)延伸的轴线基本上以相反的方向摆动。

9.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1)，其特征在于，所述转速传感器(1)包括至少一个第四耦合件(104)，所述至少一个第四耦合件用于使所述第一结构(5)与所述第五结构(7)耦合并且用于使所述第二结构(9)与所述第六结构(11)耦合，其中，所述第四耦合件(104)构造成能够围绕基本上平行于所述第一轴线(X)延伸的轴线摆动，其中，在机械耦合的振动的情况下，所述第四耦合件(104)的质心相对于所述衬底(3)基本上固定。

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