CN107887241B

CN107887241B - 磁控管

Info

Publication number: CN107887241B
Application number: CN201710902810.XA
Authority: CN
Inventors: 神山健太郎; 虎井礼司
Original assignee: Hitachi Power Solutions Co Ltd
Current assignee: Hitachi Power Solutions Co Ltd
Priority date: 2016-09-30
Filing date: 2017-09-29
Publication date: 2020-04-07
Anticipated expiration: 2037-09-29
Also published as: DE102017217366A1; KR20180036603A; US20180096815A1; JP2018056078A; JP6110988B1; US10170269B2; CN107887241A; KR101974742B1

Abstract

本发明的磁控管(100)配备有沿着中心轴(10)呈圆筒状延伸的阳极筒体(11)和至少一个端部固定到阳极筒体(11)上且从阳极筒体(11)的内表面向中心轴(10)延伸的多个板状翼片(21、22)，阳极筒体(11)具有使冷却剂直接与板状翼片(21、22)接触的冷却剂流路(111)。冷却剂流路(111)是使板状翼片(21、22)的端面(21b、22b)、即板状翼片(21、22)的接合端面露出的开口部，可以使冷却剂与板状翼片(21、22)直接接触。

Description

磁控管

技术领域

本发明涉及作为产生微波的电子管的磁控管。

背景技术

通常，磁控管由于可以高效率地产生高频输出，因此，在雷达装置、医疗器械、高频电子食品加热器等烹调器、半导体制造装置或者其它的微波应用设备等领域被广泛使用。作为半导体装置用或工业加热用，要求高输出的微波。在这种情况下，有必要根据微波的输出提高磁控管的冷却性能，有必要使冷却能力大型化。但是，冷却能力的大型化涉及到磁控管的大型化，导致磁控管的容纳空间的增大，装置本身会大型化，所以，要求小型的具有性能优异的冷却结构的磁控管。

在专利文献1中，记载了一种配备有冷却部件的磁控管，所述冷却部件贴紧阳极圆筒的外周壁地配置，并且在内部沿着阳极圆筒的管轴方向具有多个冷却介质(下面，称为冷却剂)的流路。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005－209426号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在专利文献1记载的磁控管中，存在着不能有效地冷却最发热的大的板状翼片的课题。特别是，在输出超过10kW的高输出型的磁控管中，有效地进行冷却是困难的。

本发明是鉴于这种情况做出的，以提供有效地冷却板状翼片的磁控管作为课题。

解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的磁控管，其特征在于，沿着中心轴呈圆筒状延伸的阳极筒体、和至少一端被固定于上述阳极筒体且从该阳极筒体的内表面向上述中心轴延伸的多个板状翼片，上述阳极筒体具有使冷却剂直接与上述板状翼片接触的冷却剂流路，上述冷却剂流路是与对应于上述板状翼片的固定部位的位置相一致地以使上述板状翼片的端部露出的方式形成的开口部。

发明的效果

根据本发明，可以提供有效地冷却板状翼片的磁控管。

附图说明

图1是表示根据本发明的第一种实施方式的磁控管的结构的图。

图2是从上面侧观察根据上述第一种实施方式的磁控管的阳极部和冷却套管时的立体图。

图3是从上面侧观察根据上述第一种实施方式的磁控管的阳极部的立体图。

图4根据第一种实施方式的磁控管的阳极部的主要部分的剖视图。

图5是说明将根据实施方式的磁控管应用于高输出型(15kW)的磁控管的情况下的效果的图。

图6是从上面侧观察根据本发明的第二种实施方式的磁控管的阳极部和冷却套管的立体图。

图7是从上面侧观察根据上述第二种实施方式的磁控管的阳极部的立体图。

图8根据上述第二种实施方式的磁控管的阳极部的主要部分的剖视图。

图9是表示根据上述第二种实施方式的磁控管的变形例1的图。

图10是表示根据上述第二种实施方式的磁控管的变形例2的图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式详细地进行说明。

(第一种实施方式)

图1是表示根据本发明的第一种实施方式的磁控管的结构的图。图2是从上面侧观察上述磁控管的阳极部和冷却套管的立体图。图3 是从上面侧观察上述磁控管的阳极部的立体图。图4上述磁控管的阳极部的主要部分的剖视图。本实施方式的磁控管例如是应用于工业用的微波振荡装置中使用的磁控管的例子。

如图1所示，磁控管100配备有：配置在中心部的真空管部1、配置在构成真空管部1的阳极筒体11的外周部的冷却套管40(冷却剂供应部)、与真空管部1同轴地配置的一对环形磁铁(磁体)3、与环形磁铁3磁连接的一对磁极4、环形磁铁3形成磁路的框状磁轭5、滤波电路部6、天线7、以及天线罩8。滤波电路部6包括扼流圈(图中未示出)。另外，天线7和天线罩8与图中未示出的绝缘体一起构成输出部。

真空管部1配备有：圆筒状的阳极筒体11、与阳极筒体11配置在同轴上且成为热电子发射源的阴极12、一对端帽13、14、呈放射状配置在阳极筒体11的中心轴10的周围的多个板状翼片21、22、每隔一个将它们电连接起来用的多个均压环(耦合环)31、32、以及一端连接到任一个板状翼片21、22上的微波输出用的天线7。阳极筒体11 沿着中心轴10呈圆筒状延伸。天线7是由铜构成的棒状，被从板状翼片21、22中的任一个导出。天线7在输出部内在中心轴上延伸。

如图2～图4所示，阳极筒体11配备有使冷却剂(冷却液，例如，冷却水)与板状翼片21、22直接接触的冷却剂流路111。具体地说，阳极筒体11与对应于板状翼片21、22的固定部位的位置及其形状相一致地配备有直接向板状翼片21、22供应冷却剂用的冷却剂流路111。在本实施方式中，冷却剂流路111与阳极筒体11的外周部的板状翼片 21、22的端面21b、22b(板状翼片21、22的接合端面)的形状相一致地呈狭缝状开口。

冷却剂流路111是从阳极筒体11的外周部向着固定有板状翼片 21、22的内周部穿设(挖削)于阳极筒体11内而形成的槽状的流路。冷却剂流路111是使板状翼片21、22的端部露出的开口部，可以使冷却剂(冷却液)直接与板状翼片21、22接触。

但是，尽管冷却剂流路111是以从外周部穿设于阳极筒体11内而到达板状翼片21、22的端面的方式设置的，但是，不与板状翼片21、 22的固定部位以外的阳极筒体11的内部空间连通。即，冷却剂流路 111形成为在板状翼片21、22的端面之中的从中央部分在上下及左右留有规定的未露出部分(接合端面)。借此，阳极筒体11即使配备有冷却剂流路111，也可以保持阳极筒体11的内部的气密性(真空状态)。

如图1～图3所示，多个板状翼片21、22相对于阳极筒体11的中心轴10呈放射状并且等间隔地配置，与阳极筒体11的内周部贴紧。板状翼片21、22从中心轴10的附近基本上呈放射状地延伸，并且被固定于阳极筒体11的内表面。

板状翼片21、22实质上分别形成长方形的板状。未被固定到阳极筒体的内表面上的一侧的板状翼片21、22的端面(游离端)21a、22a，被配置于沿着中心轴10延伸的同一圆筒面上，将该圆筒面称作翼片内接圆筒。多个板状翼片21、22被在圆周方向上每隔一个钎焊到翼片的输出侧(图1中的上侧)的端部上的上下分别成对的均压环31、32 连接起来。另外，这些板状翼片21、22也被在圆周方向上每隔一个钎焊到输入侧(图1中的下侧)的端部上的上下分别成对的均压环31、 32连接起来。均压环31、32每隔一个将这些板状翼片21、22电连接起来。顺便提及，磁控管的共振频率也根据板状翼片21、22的钎焊的状态而变化。

如图1及2所示，在阳极筒体11的外周部配置有冷却套管40。冷却套管40是用于冷却设置在由框状磁轭5包围的空间内部的振荡部本体的冷却部，使循环的冷却剂和阳极部接触。冷却套管40配备有圆环状的套管上板41、圆环状的套管中板42、圆环状的套管下板43以及套管外筒44。冷却套管40的结构部件彼此之间、以及冷却套管40 与阳极筒体11分别被接合起来。在套管外筒44上，在套管中板42 的上下两个部位形成供应冷却剂(冷却液)的送入口45和排出循环的冷却剂的送出口46。另外，送入口45和送出口46哪一个在上或在下都可以。图中未示出的管路被连接到送入口45和送出口46。也可以从管路(图中省略)的安装配置的容易性的观点出发，错开送入口45 和送出扣件46的上下位置。

如图1所示，阴极12为螺旋状，配置在阳极筒体11的中心轴10 上。另外，阴极12的两端分别被固定到端帽13、14上。端帽13、14 相对于板状翼片21、22配置在中心轴10的外侧。

另外，环状磁铁3和框状磁轭5配置成包围这种振荡部本体，形成磁路。另外，具有线圈及贯通电容器(图中省略)的滤波电路6经由图中未示出的支承杆被连接到阴极12上。

在磁控管1的动作时，在阳极管内产生的高频电场被天线7获取，作为微波被输出到外部。

下面，对于如上面所述地构成的磁控管100的冷却动作进行说明。

当冷却液被供应给连接到图中未示出的供应管上的管路(图中省略)时，如图2所示，流入到冷却套管40的套管外筒44的送入口45。

流入到冷却套管40的冷却液，流入由套管上板41、套管中板42、套管外筒44和阳极筒体11形成的圆环状的水路中。

流入上述圆环状的水路中的冷却液也流入开设在阳极筒体11上的冷却剂流路111中，直接与在阳极筒体11侧露出的板状翼片21、 22的狭缝状的端面21b、22b接触，利用冷却液直接冷却板状翼片21、 22的狭缝状的端面21b、22b(参照图4)。通过板状翼片21、22的端面21b、22b被直接冷却，可以高效率的冷却整个板状翼片21、22。

并且，在冷却套管40内流通的冷却液从套管外筒44的送出口46 被排出，最后，通过在图中未示出的排出用管向外部的热交换器(图中省略)循环，被再次冷却，并被供应给上述供应用管(图中省略)。

如上面说明的那样，根据本实施方式的磁控管100配备有：沿着中心轴10呈圆筒状延伸的阳极筒体11、至少一端被固定于阳极筒体 11且从阳极筒体11的内表面向中心轴10延伸的多个板状翼片21、22，阳极筒体11具有使冷却剂直接与板状翼片21、22接触的冷却剂流路 111。冷却剂流路111是使板状翼片21、22的端面21b、22b(板状翼片21、22的接合端面)露出的开口部，可以使冷却剂(冷却液)与板状翼片21、22直接接触。

借助这种结构，通过使冷却剂直接接触板状翼片21、22，可以有效地冷却最发热的大的板状翼片21、22。特别是，适合应用于输出超过10kW的高输出型的磁控管。

另外，根据本实施方式的磁控管100也可以适用于输出在10kW 以下的磁控管。即，由于即使在任何输出的磁控管中，都不改变本结构就可以应用，因此，即使存在将来的输出变更或应用条件的变更、替换(置换)，也可以应对，可以特别地提高通用性。

图5是说明将本实施方式的磁控管应用于高输出型(15kW)的磁控管的情况下的效果的图。在图5的纵轴上为板状翼片21、22的前端 (面对中心轴10的翼片的近旁附近)的温度(℃)，横轴为振荡时间(分钟)。

如图5所示，相对于现有技术例(参照图5的符号◇)，在本实施方式(参照图5中的符号□)中，在同一条件下确认，板状翼片21、 22的前端温度的上升被抑制，饱和温度改善10％。

(第二种实施方式)

图6是从上面侧观察根据本发明的第二种实施方式的磁控管的阳极部和冷却套管的立体图。图7是从上面侧观察上述磁控管的阳极部的立体图。图8是上述磁控管的阳极部的主要部分的剖视图。对于与图1～图4相同的结构部分，赋予相同的附图标记，省略重复部分的说明。

如图6所示，磁控管200配备有：圆筒状的阳极筒体211、呈放射状配置在阳极筒体211的中心轴10周围的多个板状翼片221、222、每隔一个将它们电连接起来用的多个均匀环31、32、配置在阳极筒体 211的外周部的冷却套管40、以及一端连接到任一个板状翼片221、222上的微波发射用的天线7。

如图6～图8所示，阳极筒体211配备有使冷却剂(冷却液)直接与板状翼片221、222接触的冷却剂流路212、213。具体地说，阳极筒体211配备有与对应于板状翼片221、222的固定部位的位置及其形状相一致并直接向板状翼片221、222供应冷却剂用的冷却剂流路212、213。在本实施方式中，冷却剂流路212、213是与板状翼片221、 222内部的空隙223(翼片内流路)(将在后面描述)连通的上下两个部位的孔。

如图6及图7所示，对于阳极筒体211的中心轴10呈放射状并且等间隔地配置偶数个板状翼片221、222，所述板状翼片221、222与阳极筒体211的内周部贴紧。板状翼片221、222从中心轴10的附近基本上呈放射状延伸，被固定到阳极筒体211的内表面(内周部)。

板状翼片221、222实质上分别形成长方形的板状。没有被固定到阳极筒体211的内表面上的一侧的板状翼片221、222的端面(游离端) 221a、222a配置在沿着中心轴10延伸的同一圆筒面上。

特别是，板状翼片221、222划定出使冷却液在内部通过用的矩形形状的空隙223。空隙223形成冷却剂流路。另外，设置在板状翼片 221、222的内部的空隙223也可以是任意的形状。空隙223可以如下面所述地制作。例如，在板状翼片221、222接合起来之前，从板状翼片221、222的端面221b、222b(阳极筒体211的内周部固定侧的接合端面)挖削内部而形成矩形形状的空隙223。并且，将形成了该空隙223的板状翼片221、222的该端面接合到阳极筒体211的内周部。

如图8所示，在板状翼片221、222上，使冷却液在内部通过用的空隙223向着阳极筒体211的内表面(内周部)开口。在阳极筒体211 上，在与一个板状翼片221、222接触的接触面内在两个部位开设冷却水通过用的圆形的孔(冷却剂流路212、213)。以上的结构对于全部板状翼片221、222和阳极筒体211的全部接触面都是一样的。即，在板状翼片211、222的个数是10个的情况下，在阳极筒体211是上下各开设10个共计20个圆形的孔(冷却剂流路212、213)。

如图6所示，在阳极筒体211的外周部，配置有冷却套管40。冷却套管40配备有圆环状的套管上板41、圆环状的套管中板42、圆环状的套管下板43以及套管外筒44。冷却套管40的结构部件彼此之间以及冷却套管40与阳极筒体211分别被接合起来。在套管外筒44上，在套管中板42的上下两个部位形成供应冷却剂(冷却液)的送入口 45和排出循环的冷却剂的送出口46。

下面，对于以上述方式构成的磁控管200的冷却动作进行说明。

如图6所示，流入冷却套管40的套管外筒44的送入口45的冷却液，流入由套管上板41、套管中板42、套管外筒44和阳极筒体211 形成的圆环状的水路。

流入上述圆环状的水路的冷却液并列地流入在阳极筒体211上开设的圆形的孔(冷却剂流路212、213)之中的上部侧的全部的圆形的孔(冷却剂流路212)中。并且，在冷却液并列地流入全部的板状翼片221、222的内部的空隙223中之后，并列地通过开设在阳极筒体 211上的圆形的孔(冷却剂流路212、213)之中的下部侧的全部的圆形的孔(冷却剂流路213)之后，流入由套管中板42、套管下板43、套管外筒44和阳极筒体211形成的圆环状的水路，最后，从套管外筒 44的送出口46被排出。

在本实施方式中，通过在板状翼片221、222内设置成为冷却剂流路的空隙223，可以直接将冷却剂供应到板状翼片221、222的内部，可以进一步有效地冷却最发热的大的板状翼片221、222。

如上述图5所示，在第一种实施方式(参照图5的标号□)中，相对于现有技术例(参照图5的标号◇)，确认饱和温度改善10％，而在第二种实施方式中(参照图5标号△)中，进而可以确认改善30％。特别是，适合应用于输出超过10kW的高输出型的磁控管。

另外，根据本实施方式的磁控管200与第一种实施方式同样，由于对于任何输出的磁控管都不改变主结构就可以应用，所以，即使存在将来的输出变更或应用条件的变更、更换(置换)也可以应对，可以格外地提高通用性。

这里，在磁控管动作时，在阳极管内产生的高频电场被天线获取，其作为微波被向外部输出。在本实施方式中，由于是在板状翼片221、 222内设置成为流路的空隙223的结构，所以，板状翼片221、222的外观形状与板状翼片21、22(参照图4)一样。特别是，板状翼片221、 222的表面，即使设置空隙223也没有凹凸等，被调整成平坦的，所以，在阳极管内产生的微波不会向输入侧泄漏。

[变形例]

图9及图10是表示根据第二种实施方式的磁控管的变形例的图。

<变形例1>

如图9所示，变形例1的磁控管200A配备有：圆筒状的阳极筒体211、在阳极筒体211的中心轴10的周围呈放射状配置的多个板状翼片221A、222A。

板状翼片221A、222A在内部形成有冷却液通过的冷却剂流路 223A(连通通路，翼片内流路)。冷却剂流路223A在截面视图中呈コ形，开口部与阳极筒体211的冷却剂流路212、213连通。如图9所示，冷却剂流路223A沿着板状翼片221A、222A的三个边一直配置到角部附近。

冷却剂流路223A可以如下面所述地进行制作。例如，从板状翼片221A、222A的端面(阳极筒体211的内周部固定侧的接合端面) 的上下两个部位起在内部平行地穿设(挖削)横向连通孔223A₁、 223A₂，进而，从板状翼片221A、222A的底面起在内部穿设纵向连通孔223A₃，以便将该两个横向连通孔223A₁、223A₂的端部上下连通。另外，纵向连通孔223A₃开口的板状翼片221A、222A的底面由翼片塞(图中省略)堵塞。另外，翼片塞的表面被与板状翼片221A、222A 的底面齐平地埋入。另外，由于挖削需要花费加工成本，所以，也可以利用模具制作具有冷却剂流路223A的板状翼片221A、222A。

如图9所示，在板状翼片221A、222A上，使冷却液在内部通过用的冷却剂流路223A向着阳极筒体211的内表面(内周部)开口。在阳极筒体211上，在与一个板状翼片221A、222A接触的接触面内，在两个部位开设冷却水通过用的圆形的孔(冷却剂流路212、213)。板状翼片221A、222A的冷却剂流路223A的上下两个部位的开口部与阳极筒体211的冷却剂流路212、213连通。以上的结构对于全部的板状翼片221A、222A和阳极筒体211的全部接触面都是一样的。

在以上的结构中，如上述图6所示，流入冷却套管40的套管外筒 44的送入口45的冷却液，流入由套管上板41、套管中板42、套管外筒44和阳极筒体211形成的圆环状的水路。

流入上述圆环状的水路的冷却液并列地流入到开设于阳极筒体 211上的圆形的孔(冷却液流路212、213)之中的上部侧的全部的圆形的孔(冷却剂流路212)。并且，如图9所示，在冷却液并列地流入全部板状翼片221A、222A的内部的冷却剂流路223A之后，并列地通过开设在阳极筒体211上的圆形的孔(冷却剂流路212、213)之中的下部侧的全部圆形的孔(冷却剂流路213)。之后，如上述图6所示，流入由套管中板42、套管下板43、套管外筒44和阳极筒体211形成的圆环状的水路，最后，从套管外筒44的送出口被排出。

在变形例1中，通过在板状翼片221、222内设置冷却剂流路223A，与第二种实施方式一样，可以直接将冷却剂供应至板状翼片221A、 222A的内部，可以更进一步有效地冷却最发热的大的板状翼片221A、 222A。

另外，如上所述，由于纵向连通孔223A₃开口的板状翼片221A、 222A的底面被调整成平坦的，所以，在阳极管内产生的微波不会向输入侧泄漏。

另外，与后面描述的变形例2比较，可以使冷却剂流路223A比变形例2的宽。更详细地说，由于可以与长方形的板状翼片221、222 的形状相一致地将冷却剂流路223A形成至靠近四角的部位，所以，可以更进一步有效地冷却板状翼片221A、222A。

<变形例2>

如图10所示，变形例2的磁控管200B配备有：圆筒状的阳极筒体211和在阳极筒体211的中心轴10的周围呈放射状配置的多个板状翼片221B、222B。

板状翼片221B、222B形成有使冷却液在内部通过的冷却剂流路 223B(连通通路，翼片内流路)。冷却剂流路223B在截面视图中呈V 形，开口部与阳极筒体211的冷却剂流路212、213连通。冷却剂流路 223B分别向着从板状翼片221B、222B的对向的上下两个边远离的方向倾斜，在内部交叉。

冷却剂流路223B能够按照下述方式制作。例如，从板状翼片 221B、222B的端面(阳极筒体211的内周部固定侧的端面)的上下两个部位起在内部穿设(挖削)以下降/上升的方式倾斜的横向连通孔 223B₁、223B₂。或者，也可以利用低成本的模具制作具有冷却剂流路223B的板状翼片221B、222B。该两个横向连通孔223B₁、223B₂的端部通过在纵向板状翼片221B、222B的内部交叉，形成V字形的冷却剂流路223B。

在变形例2中，通过在板状翼片221B、222B内设置冷却剂流路 223B，与第二种实施方式同样，可以直接将冷却剂供应至板状翼片 221B、222B的内部，可以更进一步有效地冷却最发热的大的板状翼片221B、222B。

另外，在变形例2中，由于只在板状翼片221B、222B的端面进行穿设(挖削)而形成冷却剂流路223B，所以，板状翼片221B、222B 的外观形状与板状翼片21、22(参照图4)相同、在上述变形例1中，有必要将纵向连通孔223A₃(参照图9)开口的板状翼片221A、222A 的底面调整成平坦的，但是，在变形例2中，由于在板状翼片221B、 222B的内部形成V形的冷却剂流路223B，所以，板状翼片221B、222B 的底面分别被保持为平坦的。没有因设置冷却剂流路223B而形成的凹凸等，而是调整成平坦的，所以，在阳极管内产生的微波不会向输入侧泄漏。

另外，本发明并不限于上述各种实施方式以及变形例中记载的结构，只要不超出权利要求书中所记载的本发明的主旨，可以适当地变更其结构。

例如，板状翼片及均压环的材质、形状、结构等，进而，冷却剂流路、翼片内流路的形状、配置个数等只一个例子，可以采用任意方式。

上述各种实施方式的例子，是为了容易理解本发明而详细地说明的，并不限定于配备有所说明的全部的结构的磁控管。另外，可以将一种实施方式例的结构的一部分置换成另一个实施方式例的结构，也可以在一种实施方式例的结构中加上另外一种实施方式例的结构。另外，可以对于各种实施方式例的结构的一部分，进行其它的结构的追加、删除、置换。

附图标记说明

1 真空管部

3 环状磁铁

4 磁极

5 框状磁轭

6 滤波电路部

7 天线

8 天线罩

10 中心轴

11、211 阳极筒体

12 阴极

21、22、221、222、221A、222A、221B、、222B 板状翼片

21a、22a、221a、222a 板状翼片的端面(游离端)

21b、22b、221b、222b 板状翼片的端面(接合端面)

31、32 均压环

40 冷却套管(冷却部，冷却剂供应部)

41 套管上板

42 套管中板

43 套管下板

44 套管外筒

45 送入口

46 送出口

100、200、200A、200B 磁控管

111、212、213 冷却剂流路(孔)，连通通路，翼片内流路)

223 空隙(翼片内流路)

223A、223B 冷却剂流路(连通通路，翼片内流路)

Claims

1.一种磁控管，其特征在于，配备有：

阳极筒体，所述阳极筒体沿着中心轴呈圆筒状延伸；

多个板状翼片，所述多个板状翼片的至少一端被固定于上述阳极筒体，从该阳极筒体的内表面向上述中心轴延伸；以及

冷却套管，所述冷却套管配置于所述阳极筒体的外周部，

上述阳极筒体具有使冷却剂直接与上述板状翼片接触的冷却剂流路，

所述冷却剂流路被设置成从所述阳极筒体的外周部向着内周部穿设于所述阳极筒体内而到达所述板状翼片的端部，且不与所述板状翼片的固定部位以外的所述阳极筒体的内部空间连通，

上述冷却剂流路是以与对应于上述板状翼片的固定部位的位置相一致地使上述板状翼片的端部露出的方式形成的开口部。

2.如权利要求1所述的磁控管，其特征在于，

上述冷却剂流路是以与对应于上述板状翼片的固定部位的位置相一致地向上述板状翼片的端部开口的孔。

3.如权利要求1或2所述的磁控管，其特征在于，

上述板状翼片具有将在上述冷却剂流路中流动的冷却剂导入的、设置在上述板状翼片内部的翼片内流路。

4.如权利要求3所述的磁控管，其特征在于，

上述翼片内流路是向上述冷却剂流路开口的空隙。

5.如权利要求2所述的磁控管，其特征在于，

上述翼片内流路是与上述孔连通的连通通路。

6.如权利要求5所述的磁控管，其特征在于，

上述板状翼片为长方形，

上述连通通路沿着上述板状翼片的边一直配置到角部附近。

7.如权利要求5所述的磁控管，其特征在于，

上述板状翼片为长方形，

上述连通通路分别向从上述板状翼片的对向的上下两个边分离的方向倾斜地在内部交叉。

8.如权利要求1所述的磁控管，其特征在于，

还配备有向上述冷却剂流路供应冷却剂并且从上述冷却剂流路回收冷却剂的冷却剂供应部。

9.如权利要求8所述的磁控管，其特征在于，

上述冷却剂供应部配备有冷却套管，所述冷却套管贴紧上述阳极筒体的外周壁地配置，并且，沿着在上述阳极筒体的管轴方向上配置的上述冷却剂流路向内部供应冷却剂。