CN107886205A - 压降恢复*** - Google Patents
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Abstract
本发明揭示了一种压降恢复***。所述压降恢复***包括：设备恢复调度模块，提供设备恢复优先级；风险分析模块，对受影响产品的风险等级进行评估，提供实时风险等级；产品处理模块，依据所述实时风险等级对受影响的产品进行处理，并与所述风险分析模块实时交互，以更新所述实时风险等级；以及健康度监控模块，监控恢复后的设备是否正常。本发明的压降恢复***能够高效实现电力故障后的工厂生产恢复。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种压降恢复***。
背景技术
工厂电力故障(Fab Power Glitch issue)是由于外网电路传输过程中出现问题，导致的fab内电力发生压降的现象。当电力故障产生时，会对设备产生影响，造成设备报警，影响晶圆的生产过程，严重的会导致设备宕机(down)，引发晶圆报废(scrap)。Fab在电力恢复正常后，会对机台复机，并对相关数据进行测试(monitor)，以及对产品的风险进行评估，进行后续的部署。这些通常都是人为评估，大部分基于经验的手动操作，这样既耗时，又不能更优化的处理这些问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种压降恢复***，以便高效实现电力故障后的工厂生产恢复。
为解决上述技术问题，本发明提供一种压降恢复***，包括：
设备恢复调度模块，提供设备恢复优先级；
风险分析模块，对受影响产品的风险等级进行评估，提供实时风险等级；
产品处理模块，依据所述实时风险等级对受影响的产品进行处理，并与所述风险分析模块实时交互，以更新所述实时风险等级；以及
健康度监控模块，监控恢复后的设备是否正常。
可选的，对于所述的压降恢复***，所述设备恢复调度模块分别连接一在制品***、一制造执行***及一历史信息数据库，所述在制品***向所述设备恢复调度模块提供在制品信息，所述制造执行***向所述设备恢复调度模块提供设备是否单机信息，所述历史信息数据库向所述设备恢复调度模块提供设备历史异常信息，所述设备恢复调度模块结合所述在制品信息、设备是否单机信息及设备历史异常信息决定所述设备恢复优先级。
可选的，对于所述的压降恢复***，所述设备恢复优先级＝基于在制品的原始优先级+基于制造执行***和历史信息数据库的优先级改变量。
可选的，对于所述的压降恢复***，若设备为单机，则所述优先级改变量为-2～-1；若设备存在历史异常，则所述优先级改变量为1～2。
可选的，对于所述的压降恢复***，所述对受影响产品的风险等级进行评估为：通过初始风险等级和一调整因子来获得受影响产品的风险等级，所述调整因子对所述初始风险等级进行调整。
可选的，对于所述的压降恢复***，所述风险分析模块连接一失效模式和效果分析***及一制造执行***，以获得初始风险等级。
可选的，对于所述的压降恢复***，所述风险等级包括第一风险等级和第二风险等级，所述产品处理模块对第一风险等级的受影响产品进行报废或者测试可靠性，对第二风险等级的受影响产品进行缺陷检测、探针检测及允收检测，所述第一风险等级高于第二风险等级。
可选的，对于所述的压降恢复***，所述产品处理模块连接一可靠性数据库、一争议评审******及一工程数据分析***，所述产品处理模块将测得的可靠性数据传递至所述可靠性数据库，并获得所述可靠性数据库处理后的第一数据；所述产品处理模块将测得的缺陷数据、探针数据及允收数据皆传递至所述争议评审******、工程数据分析***及制造执行***，并获得所述争议评审******、工程数据分析***及制造执行***处理后的第二数据。
可选的，对于所述的压降恢复***，所述处理后的第一数据和处理后的第二数据更新所述调整因子，并传递至所述失效模式和效果分析***。
可选的，对于所述的压降恢复***，所述健康度监控模块包括连接一统计过程控制***的统计过程控制部分和设备匹配部分，定期监控恢复后的设备是否正常。
本发明提供的压降恢复***，有着如下优点：
1)提供优化的设备恢复调度模块，避免传统方法单纯考量WIP的情况，使得设备恢复有序高效；
2)风险分析模块和产品处理模块实时交互，从而可以与结合产品处理过程中遇到的问题，及时的作出合理的调整，提高了对产品处理的效率；
3)健康度监控模块能够在设备恢复后持续监控，及时发现压降后的潜伏的异常情况，实现全面监控；
4)所述压降恢复***连接到各个已有管理***，实现自动输出所需信息，降低人工操作的需求程度，节省了人力物力，提高了效率。
附图说明
图1为本发明中压降恢复***的示意图；
图2为本发明中压降恢复***的设备恢复调度模块的示意图；
图3为本发明中压降恢复***的风险分析模块和产品处理模块之间的关系图；
图4为本发明中压降恢复***的健康度监控模块的示意图。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的压降恢复***进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
发明人在长期的生产工作中发现，目前当电力故障发生后，主要进行对设备的恢复，对产品风险的评估，以及对受影响产品(impact lot)的处理，这些操作都是人工操作，且相对固定，不会考虑多种因素并实时做出调整，基本不具有协调性，这使得电力故障后的恢复效率不高。
于是，发明人提出一种压降恢复***，如图1所示，包括：
设备恢复调度模块，提供设备恢复优先级；
风险分析模块，对受影响产品的风险等级进行评估；
产品处理模块，依据所述实时风险等级对受影响的产品进行处理，并与所述风险分析模块实时交互，以更新所述实时风险等级；以及
健康度监控模块，监控恢复后的设备是否正常。
下面请结合图2-图4，对本发明的压降恢复***进行详细说明。其中，图2为本发明中压降恢复***的设备恢复调度模块的示意图；图3为本发明中压降恢复***的风险分析模块和产品处理模块之间的关系图；图4为本发明中压降恢复***的健康度监控模块的示意图。
可以理解的是，设备恢复是电力恢复后的首要动作，在工厂中有着多种多样的设备，例如包括主机台(Fab tool)、厂务机台(FAC tool)、量测机台(Metrology tool)、检测机台(QRE tool)等，而考虑到人力有限，必须要对这些设备的恢复优先级(priority)做出正确指示。所述设备恢复调度模块通过连接相关***获取相关信息，输出每个部门(module)对应机台的优先级，从而为复机人员提供最合理的优先级。
如图2所示，所述设备恢复调度模块连接于一WIP(Working In Process，在制品)***、一MES***(Manufacturing Execution System，制造执行***)及一历史信息数据库，所述WIP***向所述设备恢复调度模块提供在制品信息，所述MES***向所述设备恢复调度模块提供设备是否单机信息，所述历史信息数据库向所述设备恢复调度模块提供设备历史异常信息，所述设备恢复调度模块结合所述WIP***提供的WIP信息、所述MES***提供的设备是否单机及所述历史信息数据库提供的设备历史异常信息决定设备恢复优先级。例如，考虑到某些设备在断电复机后容易出现缺陷(defect)较高等异常现象，对该类设备应该降低优先级，避免由于过多测试(monitor)以及处理异常批次产品，造成更久的延误。
因此，所述设备恢复调度模块可以通过如下标准来给出设备恢复优先级：所述设备恢复优先级＝基于WIP的原始优先级+基于MES***和历史信息数据库的优先级改变量。
具体的，若设备为单机，则提高1-2的优先级，即所述优先级改变量为-2～-1若设备存在历史异常，则降低1-2的优先级，即所述优先级改变量为1～2。当然，若对于既是单机，又是存在历史异常的情况，则需要结合具体需求来判断，以免造成不必要的损失。
在所述设备恢复调度模块做出设备恢复优先级之后，将通知到对应的部门，在本发明实施例中，可以选择邮件自动通知模式，辅助电话沟通模式，争取在第一时间将指令下达，以使得相关部门能够快速、有效的完成设备恢复操作。
电力恢复后，需要对受影响产品进行风险评估，对于不同风险等级的产品，会有不同的处理方法。目前对于风险等级的定义都是预先设定的，然而，受影响产品的风险等级还会受到当时情况的影响，并且还需要考虑到是否会存在潜伏期，即是否在前道工序未发现异常，但在后道工序却引发异常。基于此，本发明中的所述风险分析模块将会根据历史数据以及同类型产品的工作数据(batch data)对风险等级做出相应的调整，实现实时更新调整风险等级。
具体的，所述对受影响产品的风险等级进行评估为通过初始风险等级和一调整因子来获得受影响产品的风险等级，所述调整因子对所述初始风险等级进行调整。如图3所示，所述风险分析模块连接一FMEA(Failure Mode and Effect Analysis，失效模式和效果分析)***及一MES***，以获得初始风险等级。而调整因子即为根据历史数据以及同类型产品的工作数据做出的调整。在本发明中，所述风险分析模块与所述产品处理模块相连接并相互作用，因而将结合所述产品处理模块对调整因子进行描述。
所述风险等级包括第一风险等级和第二风险等级，所述产品处理模块对第一风险等级的受影响产品进行报废(scrap)或者测试可靠性(reliability)，对第二风险等级的受影响产品进行缺陷检测(trace defect)、探针检测(CP test)及允收检测(WaferAcceptance Test，WAT)，其中，所述第一风险等级高于第二风险等级，即相比来讲，第一风险等级为高风险，第二风险等级为低风险，具体风险等级的高低可以由所述风险分析模块依据所述FMEA***及所述MES***的数据而设定。
所述产品处理模块连接一可靠性数据库(reliability database)、一DRB***(Dispution Review Board，争议评审***)及一EDA(Engineer Data Analysis，工程数据分析)***，将测得的可靠性数据传递至所述可靠性数据库，通过相同或相似产品的数据对比，获得处理后的第一数据；将测得的缺陷数据、探针数据及允收数据皆传递至所述DRB***、SEDA***及MES***，并通过相同或相似产品的数据对比，获得处理后的第二数据。然后，借助于所述处理后的第一数据和处理后的第二数据更新所述调整因子，并传递至所述FMEA***，实现对初始风险等级的调整，获得更新后的风险等级(即实时风险等级)，并依据所述更新后的风险等级对产品进行处理。由此即实现了所述风险分析模块与所述产品处理模块的相互作用，对受影响产品做出科学、正确的处理方法。
所述健康度监控模块实现设备恢复后的定期监控，防止设备性能产生偏移。请参考图4，所述健康度监控模块包括连接一SPC***(Statistical Process Control，统计过程控制***)的SPC部分和设备匹配部分，定期监控恢复后的设备是否正常。例如，在正常情况下，设备都需要进行PM(定期维护)，但是PM周期较长，一般包括一个月一次，一个季度一次等，依据具体周期，维护方案也不一致。但是，在电力故障后，有可能导致设备内外环境等因素发生改变，如若还坚持正常的PM流程，很容易导致设备参数变动，会对产品造成不可预料的影响。于是，通过所述健康度监控模块，实现设备恢复后的定期监控，例如一天内的参数情况、一周内的参数情况等，以及时发现不良情况，将损失降至最低。
一方面，通过SPC部分来监控设备的SPC表格(chart)的变动，例如可以设立P-value(P值)的比较等。若通过SPC部分发现不合格情况，则立即通知相关部门，及时进行停机检查。
另一方面，通过设备匹配部分来监控设备的匹配率(matching ratio)，例如可以比较均值变动(mean shift)，标准差变动(SD shift)等。同样的，若通过设备匹配部分发现不合格情况，则立即通知相关部门，及时进行停机检查。
综上所述，本发明提供的压降恢复***，包括设备恢复调度模块，提供设备恢复优先级；风险分析模块，对受影响产品的风险等级进行评估，提供实时风险等级；产品处理模块，依据所述实时风险等级对受影响的产品进行处理，并与所述风险分析模块实时交互，以更新所述实时风险等级；以及健康度监控模块，监控恢复后的设备是否正常。
因此，本发明提供的压降恢复***有着如下优点：
1)提供优化的设备恢复调度模块，避免传统方法单纯考量WIP的情况，使得设备恢复有序高效；
2)风险分析模块和产品处理模块实时交互，从而可以与结合产品处理过程中遇到的问题，及时的作出合理的调整，提高了对产品处理的效率；
3)健康度监控模块能够在设备恢复后持续监控，及时发现压降后的潜伏的异常情况，实现全面监控；
4)所述压降恢复***连接到各个已有管理***，实现自动输出所需信息，降低人工操作的需求程度，节省了人力物力，提高了效率。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种压降恢复***，其特征在于，包括：
设备恢复调度模块，提供设备恢复优先级；
风险分析模块，对受影响产品的风险等级进行评估，提供实时风险等级；
产品处理模块，依据所述实时风险等级对受影响的产品进行处理，并与所述风险分析模块实时交互，以更新所述实时风险等级；以及
健康度监控模块，监控恢复后的设备是否正常。
2.如权利要求1所述的压降恢复***，其特征在于，所述设备恢复调度模块分别连接一在制品***、一制造执行***及一历史信息数据库，所述在制品***向所述设备恢复调度模块提供在制品信息，所述制造执行***向所述设备恢复调度模块提供设备是否单机信息，所述历史信息数据库向所述设备恢复调度模块提供设备历史异常信息，所述设备恢复调度模块结合所述在制品信息、设备是否单机信息及设备历史异常信息决定所述设备恢复优先级。
3.如权利要求2所述的压降恢复***，其特征在于，所述设备恢复优先级＝基于在制品的原始优先级+基于制造执行***和历史信息数据库的优先级改变量。
4.如权利要求3所述的压降恢复***，其特征在于，若设备为单机，则所述优先级改变量为-2～-1；若设备存在历史异常，则所述优先级改变量为1～2。
5.如权利要求1所述的压降恢复***，其特征在于，所述对受影响产品的风险等级进行评估为：通过初始风险等级和一调整因子来获得受影响产品的风险等级，所述调整因子对所述初始风险等级进行调整。
6.如权利要求5所述的压降恢复***，其特征在于，所述风险分析模块连接一失效模式和效果分析***及一制造执行***，以获得初始风险等级。
7.如权利要求6所述的压降恢复***，其特征在于，所述风险等级包括第一风险等级和第二风险等级，所述产品处理模块对第一风险等级的受影响产品进行报废或者测试可靠性，对第二风险等级的受影响产品进行缺陷检测、探针检测及允收检测，所述第一风险等级高于第二风险等级。
8.如权利要求7所述的压降恢复***，其特征在于，所述产品处理模块连接一可靠性数据库、一争议评审******及一工程数据分析***，所述产品处理模块将测得的可靠性数据传递至所述可靠性数据库，并获得所述可靠性数据库处理后的第一数据；所述产品处理模块将测得的缺陷数据、探针数据及允收数据皆传递至所述争议评审******、工程数据分析***及制造执行***，并获得所述争议评审******、工程数据分析***及制造执行***处理后的第二数据。
9.如权利要求8所述的压降恢复***，其特征在于，所述处理后的第一数据和处理后的第二数据更新所述调整因子，并传递至所述失效模式和效果分析***。
10.如权利要求1所述的压降恢复***，其特征在于，所述健康度监控模块包括连接一统计过程控制***的统计过程控制部分和设备匹配部分，定期监控恢复后的设备是否正常。
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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