CN107841722A - 一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，镀膜室、外显示器，所述镀膜室侧壁上设置有基座，所述基座外壁内侧设置有内固定板，所述基座外壁外侧设置有橡胶密封套，所述基座外侧设置有所述外显示器，所述外显示器上设置有显示屏，所述显示屏上方设置有状态指示灯，所述显示屏旁边设置有控制键盘，所述控制键盘下方侧面设置有数据导出插孔，所述基座内侧设置有液压杆，所述液压杆外侧设置有褶皱套，所述液压杆前端设置有前固定板，所述前固定板中央设置有中央设置有摄像头，所述摄像头四周设置有照明灯。有益效果在于：可以随意调整角度，精确的检测蒸镀时的镀膜参数，使用简单方便，避免镀材外泄，提高镀膜精度。
Description
技术领域
本发明涉及光学镀膜技术领域，特别是涉及一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置。
背景技术
在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。在光学镀膜领域，为了使镀膜合乎要求，必须监控光学镀膜的参数。对光学镀膜参数监控时，蒸镀材料容易随着监测孔进入镀膜机内部，最后沉积在机器内部，清理难度大，容易造成设备的损坏。申请号为201520023708.9的中国专利，公开了一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，包括DOME、支架以及铝箔包裹结构，所述支架包括三根支架，所述DOME安装到支架上，确保通孔的位置与三根支架中的任意一根对准，视线穿过这根支架，确保这根支架的位置在通孔的中间；在竖直方向，找到通孔设置在对准的那根支架上的位置，所述铝箔包裹结构为以通孔中心位置为准，在对准支架上用铝箔包裹2倍通孔的面积。上述专利结构简单，对蒸镀的监控不方便，而且使用时很不方便。
发明内容
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置。
本发明通过以下技术方案来实现上述目的：
一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，镀膜室、外显示器，所述镀膜室侧壁上设置有基座，所述基座外壁内侧设置有内固定板，所述基座外壁外侧设置有橡胶密封套，所述基座外侧设置有所述外显示器，所述外显示器上设置有显示屏，所述显示屏上方设置有状态指示灯，所述显示屏旁边设置有控制键盘，所述控制键盘下方侧面设置有数据导出插孔，所述基座内侧设置有液压杆，所述液压杆外侧设置有褶皱套，所述液压杆前端设置有前固定板，所述前固定板中央设置有中央设置有摄像头，所述摄像头四周设置有照明灯，所述摄像头后方设置有图像处理器，所述图像处理器后方设置有图像存储器，所述图像处理器外壁上述合作有卡线器，所述前固定板外壁上设置有固定架，所述固定架上设置有前护罩，所述前护罩中央设置有透视窗，所述透视窗外部设置有一次性保护膜，所述前护罩与所述镀膜室内壁接触处设置有密封条。
进一步的，所述内固定板与所述基座焊接在一起，所述基座插接在所述镀膜室侧壁上，所述内固定板通过螺钉固定在所述镀膜室上，所述橡胶密封套插接在所述基座与所述镀膜室之间的间隙内。
进一步的，所述显示屏镶嵌在所述外显示器上，所述显示屏为LED液晶屏，所述显示屏与所述图像处理器电连接。
进一步的，所述液压杆同有四根，四根所述液压杆通过螺钉固定在所述基座上，所述液压杆顶部通过销轴与所述前固定板相连接。
进一步的，四根所述液压杆可同步调节也可单独进行调节。
进一步的，所述摄像头通过螺钉固定在所述前固定板中央，所述照明灯通过螺钉固定在所述前固定板前端面四周，所述照明灯为LED灯。
进一步的，所述卡线器通过螺钉固定在所述图像处理器侧壁上，连接所述照明灯的导线通过所述卡线器固定。
进一步的，所述固定架通过螺钉固定在所述前固定板上，所述前护罩通过螺钉固定在所述固定架上，所述前护罩为外凸的弧形结构。
进一步的，所述密封条粘连在所述前护罩与所述镀膜室的接触面上，所述密封条采用棉套制成。
进一步的，所述透视窗开设在所述前护罩中央，所述透视窗的透光率不小于90％，所述透视窗的面积为所述前护罩面积的1/3-1/2。
本发明的有益效果在于：可以随意调整角度，精确的检测蒸镀时的镀膜参数，使用简单方便，避免镀材外泄，提高镀膜精度。
附图说明
图1是本发明所述一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置的结构简图；
图2是本发明所述一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置的外显示器结构简图；
图3是本发明所述一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置的安装示意图；
图4是本发明所述一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置的局部剖视图。
附图标记说明如下：
1、外显示器；2、基座；3、密封条；4、前护罩；5、镀膜室；6、一次性保护膜；7、透视窗；8、固定架；9、褶皱套；10、状态指示灯；11、显示屏；12、控制键盘；13、数据导出插孔；14、图像存储器；15、图像处理器；16、摄像头；17、照明灯；18、卡线器；19、液压杆；20、内固定板；21、橡胶密封套；22、前固定板。
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本发明作进一步说明：
如图1-图4所示，一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，镀膜室5、外显示器1，所述镀膜室5侧壁上设置有基座2，所述基座2外壁内侧设置有内固定板20，所述基座2外壁外侧设置有橡胶密封套21，所述基座2外侧设置有所述外显示器1，所述外显示器1上设置有显示屏11，所述显示屏11上方设置有状态指示灯10，所述显示屏11旁边设置有控制键盘12，所述控制键盘12下方侧面设置有数据导出插孔13，所述基座2内侧设置有液压杆19，所述液压杆19外侧设置有褶皱套9，所述液压杆19前端设置有前固定板22，所述前固定板22中央设置有中央设置有摄像头16，所述摄像头16四周设置有照明灯17，所述摄像头16后方设置有图像处理器15，所述图像处理器15后方设置有图像存储器14，所述图像处理器15外壁上述合作有卡线器18，所述前固定板22外壁上设置有固定架8，所述固定架8上设置有前护罩4，所述前护罩4中央设置有透视窗7，所述透视窗7外部设置有一次性保护膜6，所述前护罩4与所述镀膜室5内壁接触处设置有密封条3。
本实施例中，所述内固定板20与所述基座2焊接在一起，所述基座2插接在所述镀膜室5侧壁上，所述内固定板20通过螺钉固定在所述镀膜室5上，所述橡胶密封套21插接在所述基座2与所述镀膜室5之间的间隙内。
本实施例中，所述显示屏11镶嵌在所述外显示器1上，所述显示屏11为LED液晶屏，所述显示屏11与所述图像处理器15电连接。
本实施例中，所述液压杆19同有四根，四根所述液压杆19通过螺钉固定在所述基座2上，所述液压杆19顶部通过销轴与所述前固定板22相连接。
本实施例中，四根所述液压杆19可同步调节也可单独进行调节。
本实施例中，所述摄像头16通过螺钉固定在所述前固定板22中央，所述照明灯17通过螺钉固定在所述前固定板22前端面四周，所述照明灯17为LED灯。
本实施例中，所述卡线器18通过螺钉固定在所述图像处理器15侧壁上，连接所述照明灯17的导线通过所述卡线器18固定。
本实施例中，所述固定架8通过螺钉固定在所述前固定板22上，所述前护罩4通过螺钉固定在所述固定架8上，所述前护罩4为外凸的弧形结构。
本实施例中，所述密封条3粘连在所述前护罩4与所述镀膜室5的接触面上，所述密封条3采用棉套制成。
本实施例中，所述透视窗7开设在所述前护罩4中央，所述透视窗7的透光率不小于90％，所述透视窗7的面积为所述前护罩4面积的1/3-1/2。
本发明的具体工作原理为：镀膜前将一张新的所述一次性保护膜6贴敷在所述透视窗7外侧，进行蒸镀时，所述摄像头16拍摄镀膜的过程并显示在所述显示屏11上，通过所述控制键盘12可以打开所述照明灯17进行照明增加图像亮度，通过控制所述液压杆19的微型伸缩可以调整所述摄像头16的拍摄角度，方便全方便检测镀膜过程，镀膜完成后将表面粘连有镀膜材料的所述一次性保护膜6揭下重新更换新的，防止影响观测效果。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其效物界定。
Claims (10)
1.一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，其特征在于：镀膜室、外显示器，所述镀膜室侧壁上设置有基座，所述基座外壁内侧设置有内固定板，所述基座外壁外侧设置有橡胶密封套，所述基座外侧设置有所述外显示器，所述外显示器上设置有显示屏，所述显示屏上方设置有状态指示灯，所述显示屏旁边设置有控制键盘，所述控制键盘下方侧面设置有数据导出插孔，所述基座内侧设置有液压杆，所述液压杆外侧设置有褶皱套，所述液压杆前端设置有前固定板，所述前固定板中央设置有中央设置有摄像头，所述摄像头四周设置有照明灯，所述摄像头后方设置有图像处理器，所述图像处理器后方设置有图像存储器，所述图像处理器外壁上述合作有卡线器，所述前固定板外壁上设置有固定架，所述固定架上设置有前护罩，所述前护罩中央设置有透视窗，所述透视窗外部设置有一次性保护膜，所述前护罩与所述镀膜室内壁接触处设置有密封条。
2.根据权利要求1所述的一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，其特征在于：所述内固定板与所述基座焊接在一起，所述基座插接在所述镀膜室侧壁上，所述内固定板通过螺钉固定在所述镀膜室上，所述橡胶密封套插接在所述基座与所述镀膜室之间的间隙内。
3.根据权利要求1所述的一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，其特征在于：所述显示屏镶嵌在所述外显示器上，所述显示屏为LED液晶屏，所述显示屏与所述图像处理器电连接。
4.根据权利要求1所述的一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，其特征在于：所述液压杆同有四根，四根所述液压杆通过螺钉固定在所述基座上，所述液压杆顶部通过销轴与所述前固定板相连接。
5.根据权利要求1所述的一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，其特征在于：四根所述液压杆可同步调节也可单独进行调节。
6.根据权利要求1所述的一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，其特征在于：所述摄像头通过螺钉固定在所述前固定板中央，所述照明灯通过螺钉固定在所述前固定板前端面四周，所述照明灯为LED灯。
7.根据权利要求1所述的一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，其特征在于：所述卡线器通过螺钉固定在所述图像处理器侧壁上，连接所述照明灯的导线通过所述卡线器固定。
8.根据权利要求1所述的一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，其特征在于：所述固定架通过螺钉固定在所述前固定板上，所述前护罩通过螺钉固定在所述固定架上，所述前护罩为外凸的弧形结构。
9.根据权利要求1所述的一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，其特征在于：所述密封条粘连在所述前护罩与所述镀膜室的接触面上，所述密封条采用棉套制成。
10.根据权利要求1所述的一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置，其特征在于：所述透视窗开设在所述前护罩中央，所述透视窗的透光率不小于90％，所述透视窗的面积为所述前护罩面积的1/3-1/2。
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Citations (5)
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|---|---|---|---|---|
| CN2472191Y (zh) * | 2001-03-20 | 2002-01-16 | 杨树梅 | 内反射双光束膜厚监控装置 |
| CN1730720A (zh) * | 2004-08-06 | 2006-02-08 | 台达电子工业股份有限公司 | 镀膜***及其膜厚监控装置 |
| CN101161856A (zh) * | 2007-02-01 | 2008-04-16 | 河南中光学集团有限公司 | 光学镀膜膜厚监测自动控制***及监控方法 |
| CN101275218A (zh) * | 2008-05-21 | 2008-10-01 | 兰州大学 | 薄膜制备装置及薄膜生长的观察方法 |
| CN202482427U (zh) * | 2012-01-06 | 2012-10-10 | 肇庆市振华真空机械有限公司 | 光学镀膜机防遮挡视镜装置 |
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2472191Y (zh) * | 2001-03-20 | 2002-01-16 | 杨树梅 | 内反射双光束膜厚监控装置 |
| CN1730720A (zh) * | 2004-08-06 | 2006-02-08 | 台达电子工业股份有限公司 | 镀膜***及其膜厚监控装置 |
| CN101161856A (zh) * | 2007-02-01 | 2008-04-16 | 河南中光学集团有限公司 | 光学镀膜膜厚监测自动控制***及监控方法 |
| CN101275218A (zh) * | 2008-05-21 | 2008-10-01 | 兰州大学 | 薄膜制备装置及薄膜生长的观察方法 |
| CN202482427U (zh) * | 2012-01-06 | 2012-10-10 | 肇庆市振华真空机械有限公司 | 光学镀膜机防遮挡视镜装置 |
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