CN107787108A

CN107787108A - 一种低温等离子体发生装置及运行方法

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Publication number: CN107787108A
Application number: CN201610779507.0A
Authority: CN
Inventors: 柳继红
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2016-08-31
Filing date: 2016-08-31
Publication date: 2018-03-09

Abstract

一种低温等离子体发生装置，属于气体放电与应用技术领域，其特征在于，包括电源控制部分和并联的由介质阻挡放电装置与可调电感组串联连接组成的介质阻挡放电单元组成的放电模块部分。介质阻挡放电单元运行于固定的工作频率、工作电压下时其阻抗呈固定阻抗特性，克服了介质阻挡放电装置直接并联连接使用时阻抗呈负阻抗特性的缺陷。本发明还公开了一种低温等离子体发生装置的运行方法，利用多个具有限制性的测试控制参数，逐步检测控制装置运行于多个状态，避免故障发生或故障范围扩大。相比现有技术具有放电功率一致、激励电源的要求低、介质阻挡放电装置处理流量大及运行维护管理简单的优点。

Description

一种低温等离子体发生装置及运行方法

技术领域

本发明属于气体放电与应用技术领域，涉及一种基于大气压介质阻挡放电的低温等离子体发生装置，本发明还涉及一种低温等离子体发生装置的运行方法。

背景技术

近年来等离子体被广泛地应用于半导体制造、物质材料表面清理与改良、杀菌、臭氧合成、废气净化、废水净化等领域。等离子体技术在上述众多领域的成功应用缘于等离子体的非平衡特性。特别是基于介质阻挡放电技术低温等离子体发生器在臭氧合成、废气净化、废水净化领域应用广泛，实际处理大流量气体时通过增加介质阻挡放电装置并联数量达到使用要求。由于一个电源驱动多个并联的介质阻挡放电装置的技术方案，具有处理流量大、设备成本低廉的优点，被需要处理大流量气体的应用领域广泛采用；但是由于介质阻挡放电装置负载特性是负阻抗特性，以及因材料及制造误差引起的介质阻挡放电装置的特性差异，工作时会使并联中部分介质阻挡放电装置先行放电，随着放电电压升高介质阻挡放电装置的等效阻抗减小，使先行放电的介质阻挡放电装置放电功率剧烈增加，受电源内阻的限制，导致其他并联使用介质阻挡放电装置放电功率小，甚至不放电。为了提高放电均匀性，虽然现有技术通过减小放电间隙、预电离的方法，缩小并联的介质阻挡放电装置放电功率差异，但是没有克服介质阻挡放电装置负阻抗负载特性的影响，一个电源驱动多个并联的介质阻挡放电装置的技术方案的介质阻挡放电装置中仍然存在放电功率差异大、对激励电源要求高、单个介质阻挡放电装置处理流量小、***运行维护管理难度大的缺点。

发明内容

本发明的目的是：针对现有低温等离子体发生装置的不足，提供一种低温等离子体发生装置及运行方法。相比现有技术具有放电功率一致、激励电源的要求低、单个介质阻挡放电装置处理流量大及运行维护管理简单的优点。

本发明技术解决方案是：本发明一种低温等离子体发生装置，包括电源控制部分和放电模块部分；所述电源控制部分包括电源变换电路、控制电路、功率变换电路、变压器、温度传感器、显示操作模块、通讯接口，所述放电模块部分包括多组并联连接的介质阻挡放电单元，其特征在于：介质阻挡放电单元包括介质阻挡放电装置、可调电感组，所述介质阻挡放电装置与可调电感组串联连接，使介质阻挡放电单元运行于固定的工作频率、工作电压下时其阻抗呈固定阻抗特性，克服了介质阻挡放电装置直接并联连接使用时阻抗呈负阻抗特性的缺陷；所述电源控制部分的变压器与并联连接的介质阻挡放电单元连接。

基于上述基本方案，本发明还做如下限定和改进：

所述介质阻挡放电单元的介质阻挡放电装置可以是同轴管式介质阻挡放电装置，也可以是平板式介质阻挡放电装置或管管式介质阻挡放电装置。

所述介质阻挡放电单元的可调电感组与介质阻挡放电装置其中一个电极串联连接，或者将可调电感组分成两组分别与介质阻挡放电装置的两个电极串联连接。

所述电源控制部分通过匹配谐振电容与变压器漏感的参数使其串联谐振频率及运行频率，等于介质阻挡放电单元的介质阻挡放电装置放电时的等效电容与可调电感的串联谐振频率，与放电模块部分匹配运行；或者通过匹配谐振电容与变压器漏感的参数使其串联谐振频率及运行频率，小于介质阻挡放电单元的介质阻挡放电装置放电时的等效电容与可调电感的串联谐振频率，与放电模块部分匹配运行。

本发明进一步的改进在于，不使用谐振电容，电源控制部分通过匹配运行频率等于变压器漏感、放电模块部分等效电容、放电模块部分等效电感的串联谐振频率，与放电模块部分匹配运行。

本发明进一步的改进在于，可调电感组由多个电感串联组成其中有至少有一个电感量可调。

本发明进一步的改进在于，介质阻挡放电单元还可以由：一个可调电感组与多个电并联连接的介质阻挡放电装置串联连接组成。

本发明还提供一种低温等离子体发生装置的运行方法，包括自检及运行监控过程。

所述自检过程为：当控制电路接收到显示操作模块或通讯接口启动命令时，控制电路利用多个具有限制性的测试参数，并且以每个测试参数为一个测试步骤逐步控制装置运行于具有限制的状态，检测每个步骤下功率变换电路、变压器的输出端电压、电流的幅度及相位特性与正常运行时该步骤下功率变换电路、变压器工作输出的电压、电流的幅度及相位特性的最大参数值及最小参数值比较，判断具有限制的电路工作状态，异常时停止装置运行以及通过显示操作模块显示异常提示、通过通讯接口发送异常状态数据，方便维护人员根据提示进行维护。所述测试参数包括控制电源变换电路输出电压的输出电压参数，及限制控制电源变换电路输出电流的电流限制参数，以及驱动功率变换电路运行的测试频率参数。所述多个具有限制性的测试参数有一个测试参数控制装置工作时符合即使功率变换电路、变压器故障也不会引起故障范围扩大及损坏电源变换电路的特点。所述多个具有限制性的测试参数至少有一个测试参数控制装置工作时还符合即使变压器输出空载的情况下也能安全运行的特点。所述多个具有限制性的测试参数至少有一个测试参数控制装置工作时还符合介质阻挡放电装置获得激励电压小于并接近于最小放电电压的特点。所述多个具有限制性的测试参数至少有一个测试参数控制装置工作时还符合介质阻挡放电装置获得激励电压等于或稍大于最小放电电压的特点。

所述运行监控过程为：自检过程完成后进入运行监控状态，控制电路以显示操作模块设置的或通讯接口接收的运行参数，控制电源变换电路及功率变换电路工作驱动变压器激励并联连接的介质阻挡放电单元工作，使介质阻挡放电装置获得10KV～200KV电压放电工作。控制电路检测电源变换电路、功率变换电路及变压器输出端的电压、电流的幅度及相位特性，以及电源变换电路、功率变换电路功率零件的工作温度，与控制电路以该运行参数控制装置正常运行时电源变换电路、功率变换电路及变压器输出端的电压、电流的幅度及相位特性及工作温度的最大参数值及最小参数比较，判断电路工作状态，异常时停止装置运行以及通过显示操作模块显示异常提示、通过通讯接口发送异常状态数据，方便维护人员根据提示进行维护。所述运行参数包括控制电源变换电路输出电压的输出电压参数，及限制控制电源变换电路输出电流的电流限制参数，以及驱动功率变换电路运行的运行频率参数。

相对于现有技术本发明具有如下优点：

1、本发明通过在介质阻挡放电装置增加串联连接可调电感组，使介质阻挡放电单元运行于固定的谐振频、电压下时，介质阻挡放电单元的负载特性呈阻抗稳定状态，使工作时的介质阻挡放电装置能以相同的放电功率进行放电，降低了激励电源的要求；不再需要减小放电间隙去缩小介质阻挡放电装置放电功率差异，使用大放电间隙介质阻挡放电装置工作，提高了单介质阻挡放电装置处理流量，相同流量下减少了放电模块部分使用介质阻挡放电装置的数量，便于安装与维护。

2、本发明装置启动时电源控制部分的控制电路利用多个具有限制性的测试参数，控制装置在多个状态下逐步检测运行，判断具有限制的电路工作状态；以及运行时通过检测主电源变换、功率变换电路及变压器输出端的电压、电流的幅度及相位特性以及电源变换电路、功率变换电路功率零件的工作温度，判断电路工作状态，避免***装置工作时因过流、过压及工作温度高导致电源控制部分损坏，异常时停止装置运行以及通过显示操作模块显示异常提示、通过通讯接口发送异常状态数据，方便维护人员根据提示进行维护，提高了装置的可靠性，降低了运行维护管理难度。

附图说明

图1为本发明一种低温等离子体发生装置的原理结构示意图。

图2为本发明一种低温等离子体发生装置原理简化示意图。

图3为本发明一种低温等离子体发生装置无谐振电容原理简化示意图。

图4为本发明一种低温等离子体发生装置的放电模块部分实施例结构示意图。

图5为本发明一种低温等离子体发生装置实施例的运行流程图。

图6为本发明一种低温等离子体发生装置实施例的运行流程图。

图中附图标记的含义：

1、电源控制部分，2、放电模块部分，3、控制电路，4、电源变换电路，5，功率变换电路，6、功率管，7、谐振电容，8、变压器，9、介质阻挡放电单元，10、可调电感组，11、介质阻挡放电装置，12、温度传感器，13、显示操作模块，14、通讯接口，21、电源控制部分1等效激励电源，22、放电模块部分2的等效电感，23、变压器漏感，24、放电模块部分2的放电功率的等效电容，25，谐振等效电容， 31、高压连接电缆，32、高压接线端，33、接地连接电缆，34、接地连接板，35、放电模块壳体，36、高压连接线，37、气体流动方向，38、可调电感组，39、内介质层，40、外介质层，41、同轴管式介质阻挡放电装置外电极，42、同轴管式介质阻挡放电装置内电极，43、同轴管式介质阻挡放电装置，121、电源控制部分1等效激励电源，122、放电模块部分2的等效电感，123、变压器漏感，124、放电模块部分2的放电功率的等效电容。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本发明的内容进一步的详细说明：

参照图1，本发明一种低温等离子体发生装置的原理结构示意图，包括电源控制部分1和放电模块部分2。所述电源控制部分1包括控制电路3、电源变换电路4、功率变换电路5、变压器8、温度传感器12、显示操作模块13、通讯接口14，其中所述功率变换电路5包括功率管6、谐振电容7。所述放电模块部分包括多组并联连接的介质阻挡放电单元9，其介质阻挡放电单元9包括介质阻挡放电装置11、可调电感组10，所述介质阻挡放电装置11与可调电感组串联连接10，使介质阻挡放电单元9运行于固定的工作频率、工作电压下时其阻抗呈固定阻抗特性，克服了介质阻挡放电装置11直接并联连接使用时阻抗呈负阻抗特性的缺陷；调节可调电感组10的电感值，克服介质阻挡放电单元9因材料及制造误差引起的介质阻挡放电单元9的阻抗特性差异。所述电源控制部分1的变压器8与并联连接的介质阻挡放电单元9连接并且。控制电路3控制电源变换电路4将交流AC380V的工频电源转换成直流电压为50V～1200V功率变换电路5提供电源；控制电路3以3KHz以上的运行频率驱动功率变换电路5工作，激励变压器8使放电模块部分2并联连接的介质阻挡放电单元9的介质阻挡放电装置11获得1KV～200KV的激励电压，以相同的放电功率进行放电。

为了说明电源控制部分1与放电模块部分2匹配运行，参照图2，为本发明一种低温等离子体发生装置原理简化示意图，匹配谐振等效电容25与变压器漏感23的参数使其LC串联谐振频率及运行频率，等于放电模块部分2的放电功率的等效电容24与放电模块部分2的等效电感22的LC串联谐振频率，使电源控制部分1与放电模块部分2匹配运行，有利于提高装置运行频率；或者匹配谐振等效电容25与变压器漏感23的参数使其LC串联谐振频率及运行频率，小于放电模块部分2的放电功率的等效电容24与放电模块部分的等效电感22的LC串联谐振频率，使电源控制部分1与放电模块部分2匹配运行，其运行频率等于谐振等效电容25、变压器漏感23、放电模块部分2的放电功率的等效电容24、放电模块部分的等效电感22组成的串联谐振电路的LC串联谐振频率，有利于降低变压器8对漏感要求。

为了说明电源控制部分1无谐振电容时与放电模块部分2匹配运行，参照图3，本发明一种低温等离子体发生装置无谐振电容原理简化示意图，匹配电源控制部分1等效激励电源121的运行频率等于放电模块部分2的放电功率的等效电容124与放电模块部分的等效电感122、变压器漏感123组成的串联谐振电路的LC串联谐振频率，使电源控制部分1与放电模块部分2匹配运行。使介质阻挡放电装置上的电压，等于变压器与可调电感组上的电压和，有利于介质阻挡放电装置获取更高的工作电压。

参照图4，本发明一种低温等离子体发生装置的放电模块部分实施例结构示意图，包括高压连接电缆31，高压接线端32，接地连接电缆33，接地连接板34，放电模块壳体35，高压连接线36，可调电感组38，同轴管式介质阻挡放电装置43；所述同轴管式介质阻挡放电装置43包括同轴管式介质阻挡放电装置内介质层39，同轴管式介质阻挡放电装置外介质层40，同轴管式介质阻挡放电装置外电极41，同轴管式介质阻挡放电装置内电极42；所述同轴管式介质阻挡放电装置外电极41通过高压连接线36与高压接线端32连接，高压接线端32通过高压连接电缆31与外部电源高压端连接；所述接地连接板34与可调电感组38、同轴管式介质阻挡放电装置43内介质层39串联连接，并通过接地连接电缆33与外部电源地连接；所述可调电感组由四个电感串联组成，每个电感的电感量为1H，可调电感组安装固定于同轴管式介质阻挡放电装置43内介质层39内并相互隔离绝缘，靠外侧的电感为可调电感；所述接地连接板34通过接地座44安装固定于放电模块壳体35上，同轴管式介质阻挡放电装置43的内介质层39安装固定于接地连接板34上，同轴管式介质阻挡放电装置43的外电极41固定于放电模块壳体35上。所述同轴管式介质阻挡放电装置43的内介质层39与外介质层40形成的放电间隙为10mm，最小放电电压为33KV，同轴管式介质阻挡放电装置43放电等效电容为20pF～170pF，所述同轴管式介质阻挡放电装置并联数量为40根，所述放电模块部分2的放电等效电容C_n为800pF～6800pF，所述放电模块部分2的放电等效电感量L_n为0.1H，其串联谐振频率为6.1～17.8 KHz。匹配电源控制部分1变压器8漏感为0.05H及谐振等效电容为30nF，电源控制部分以5.5～14.7 KHz的运行频率工作激励放电模块部分，使同轴管式介质阻挡放电装置43获得33KV以上的工作电压而放电工作。

为了说明本发明电源控制部分与图4所示的放电模块部分运行的方法，参照图5至图6，为本发明一种低温等离子体发生装置实施例的运行流程图，包括以下步骤：

步骤一：当控制电路3通过显示操作模块13或通讯接口14接收到启动命令时，控制电路3以第一测试参数控制电源变换电路4、功率变换电路5运行，所述第一测试参数为控制电源变换电路4工作输出电压为50V的输出电压参数及最大输出电流小于0.5A的电流限制参数，以及测试频率为14.7 KHz的测试频率参数。控制电路3以第一测试参数控制装置运行时，由于工作电压及限制电流小即使功率变换电路4、变压器8故障，也不会引起故障范围扩大及损坏电源变换电路4。检测功率变换电路5及变压器8的输出端的电压、电流的幅度及相位与该步骤下正常时的电压、电流的幅度及相位特性的最大参数值及最小参数值比较，用以判断驱动功率变换电路5、变压器8工作状态，避免故障时直接运行导致故障范围扩大。若正常则进入下一步，否则异常则停止运行及通过显示操作模块13显示异常提示并通过通讯接口14发送异常状态数。

步骤二：控制电路3以第二测试参数控制电源变换电路4及功率变换电路5运行，所述第二测试参数为控制电源变换电路4工作输出电压为200V的输出电压参数及最大输出电流小于1A的电流限制参数，以及测试频率为14.7 KHz的测试频率参数。控制电路3以第二测试参数控制装置运行时，由于供给功率变换电路5的电源电压较低，即使变压器8输出空载其变压器8输出电压也不会高于其最高工作电压。检测功率变换电路5及变压器8的输出端的电压、电流的幅度及相位特性与该步骤下正常时的电压、电流的幅度及相位特性的最大参数值及最小参数值比较，用于判断变压器8与放电模块部分的连接状态，避免变压器8输出空载时直接运行时变压器8输出过高得电压而损坏变压器、功率变换电路5及电源变换电路4。若正常则进入下一步，否则异常则停止运行及通过显示操作模块13显示异常提示并通过通讯接口14发送异常状态数据。

步骤三：控制电路3以第三测试参数控制电源变换电路4及驱动功率变换电路5运行，所述第三测试参数为控制电源变换电路4工作输出电压为600V的输出电压参数及最大输出电流小于10A的电流限制参数，以及测试频率为14.7 KHz的测试频率参数。控制电路3以第三测试参数控制装置运行时，同轴管式介质阻挡放电装置43获得激励电压接近于并且低于33KV。检测功率变换电路5及变压器8的输出端的电压、电流的幅度及相位特性与该步骤下正常时的电压、电流的幅度及相位特性的最大参数值及最小参数值比较，用于判断放电模块部分及变压器8接近正常工作的工作状态，避免放电模块部分及变压器8的存在严重故障或同轴管式介质阻挡放电装置43击穿时直接运行导致损坏变压器8、电源变换电路4及功率变换电路5。若正常则进入下一步，否则为异常停止运行及通过显示操作模块13显示异常提示并通过通讯接口14发送异常状态数据。

步骤四：控制电路3以第四测试参数控制电源变换电路4及功率变换电路5运行，所述第四测试参数为控制电源变换电路4工作输出电压为700V的输出电压参数及最大输出电流小于60A的电流限制参数，以及测试频率为14.7 KHz的测试频率参数。控制电路3以第四测试参数控制装置运行时，同轴管式介质阻挡放电装置43获得的激励电压等于或稍大于33KV。检测功率变换电路5及变压器8的输出端的电压、电流的幅度及相位特性与该步骤下正常时的电压、电流的幅度及相位特性的最大参数值及最小参数值比较，用于判断放电模块部分及变压器8工作于最小放电功率的工作状态，避免放电模块部分及变压器8故障时直接运行导致损坏变压器8、电源变换电路4及功率变换电路5。异常停机保护通过显示操作模块13显示异常提示，并且通过通讯接口14发送异常状态数据，若正常则通过显示操作模块13及通过通讯接口14显示、发送自检完成的状态数据并进入运行监控过程。

运行监控过程为：控制电路3以显示操作模块13设置的或通过通讯接口14接收的运行参数，控制电源变换电路4及功率变换电路5工作驱动谐振电容7、变压器8激励放电模块部分工作，同轴管式介质阻挡放电装置43获得33KV～45KV的激励电压而以相同的功率进行放电工作。控制电路检测电源变换电路4、功率变换电路5及变压器8输出端的电压、电流的幅度及相位特性以及电源变换电路4、功率变换电路5功率元件的工作温度，与控制电路3以该运行参数控制装置正常运行时电源变换电路4、功率变换电路5及变压器8输出端的电压、电流的幅度及相位特性及工作温度的最大参数值及最小参数比较，判断电路工作状态。避免***装置工作时因过流、过压及工作温度高导致电源变换电路4、功率变换电路5及变压器8的损坏，以及避免介质阻挡放电装置受到污染使介质阻挡放电装置放电功率小或不放电时导致的非正常工作状态运行。若检测的参数大于范围参数，则通过显示操作模块13显示异常状态数据及通讯接口14 发送异常状态数据并停机保护；若检测的参数小于范围参数，则通过显示操作模块13显示警报提示及通讯接口14发送警报提示数据并停机保护。若正常则继续运行，直到控制电路3通过显示操作模块13及通讯接口14接收到停机命令数据时，控制电路3控制装置停止运行。运行时控制电路3根据显示操作模块13或通过通讯接口14接受的修改运行参数，调节电源变换电路4的输出电压及功率变换电路5的运行频率，调节放电模块部分的同轴管式介质阻挡放电装置41放电功率。所述运行参数包括：为控制电源变换电路4工作输出电压的输出电压参数及限制电流输出的电流限制参数，还包括驱动功率变换电路5运行的运行频率参数。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式对本发明所做的进一步详细说明，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都应当视为本发明的保护范围。

Claims

1.一种低温等离子体发生装置，包括电源控制部分和放电模块部分；所述电源控制部分包括电源变换电路、控制电路、功率变换电路、变压器、温度传感器、显示操作模块、通讯接口，所述放电模块部分包括多组并联连接的介质阻挡放电单元，其特征在于：介质阻挡放电单元包括介质阻挡放电装置、可调电感组，介质阻挡放电装置与可调电感组串联连接；所述电源控制部分的变压器与并联连接的介质阻挡放电单元连接。

2.如权利要求1所述的一种低温等离子体发生装置，其特征在于：所述介质阻挡放电单元的介质阻挡放电装置可以是同轴管式介质阻挡放电装置，也可以是平板式介质阻挡放电装置或管管式介质阻挡放电装置。

3.如权利要求1所述的一种低温等离子体发生装置，其特征在于：所述介质阻挡放电单元的可调电感组与介质阻挡放电装置其中一个电极串联连接，或将可调电感组分成两组分别与介质阻挡放电装置的两个电极串联连接。

4.如权利要求1所述的一种低温等离子体发生***，其特征在于：所述介质阻挡放电单元的可调电感组由多个电感串联组成其中有至少有一个电感量可调。

5.如权利要求1所述的一种低温等离子体发生***，其特征在于：所述介质阻挡放电单元还可以由：一个可调电感组与多个电并联连接的介质阻挡放电装置串联连接组成，。

6.如权利要求1所述的一种低温等离子体发生***，其特征在于：所述电源控制部分通过匹配谐振电容与变压器漏感的参数使其串联谐振频率及运行频率，等于介质阻挡放电单元的介质阻挡放电装置放电时的等效电容与可调电感的串联谐振频率，与放电模块部分匹配运行；或者通过匹配谐振电容与变压器漏感的参数使其串联谐振频率及运行频率，小于介质阻挡放电单元的介质阻挡放电装置放电时的等效电容与可调电感的串联谐振频率，与放电模块部分匹配运行。

7.如权利要求1所述的一种低温等离子体发生***，其特征在于：还包括，不使用谐振电容，电源控制部分通过匹配运行频率等于变压器漏感、放电模块部分等效电容、放电模块部分等效电感的串联谐振频率，与放电模块部分匹配运行。

8.本发明还提供一种低温等离子体发生***的运行方法，包括自检过程及运行监控过程其特征在于：自检过程为：当控制电路接收到显示操作模块或通讯接口启动命令时，控制电路利用多个具有限制性的测试参数，并且以每个测试参数为一个测试步骤逐步控制装置运行于具有限制的状态，检测每个步骤下功率变换电路、变压器的输出端电压、电流的幅度及相位特性与正常运行时该步骤下功率变换电路、变压器工作输出的电压、电流的幅度及相位特性的最大参数值及最小参数值比较，判断具有限制的电路工作状态，异常时停止装置运行以及通过显示操作模块显示异常提示、通过通讯接口发送异常状态数据；所述测试参数包括控制电源变换电路输出电压的输出电压参数，及限制控制电源变换电路输出电流的电流限制参数，以及驱动功率变换电路运行的测试频率参数；所述多个具有限制性的测试参数有一个测试参数控制装置工作时符合即使功率变换电路、变压器故障也不会引起故障范围扩大及损坏电源变换电路的特点；所述多个具有限制性的测试参数至少有一个测试参数控制装置工作时还符合即使变压器输出空载的情况下也能安全运行的特点；所述多个具有限制性的测试参数至少有一个测试参数控制装置工作时还符合介质阻挡放电装置获得激励电压小于并接近于最小放电电压的特点；所述多个具有限制性的测试参数至少有一个测试参数控制装置工作时还符合介质阻挡放电装置获得激励电压等于或稍大于最小放电电压的特点；

所述运行监控过程为：自检过程完成后进入运行监控状态，控制电路以显示操作模块设置的或通讯接口接收的运行参数，控制电源变换电路及功率变换电路工作驱动变压器激励并联连接的介质阻挡放电单元工作，使介质阻挡放电装置获得10KV～200KV电压放电工作；控制电路检测电源变换电路、功率变换电路及变压器输出端的电压、电流的幅度及相位特性，以及电源变换电路、功率变换电路功率零件的工作温度，与控制电路以该运行参数控制装置正常运行时电源变换电路、功率变换电路及变压器输出端的电压、电流的幅度及相位特性及工作温度的最大参数值及最小参数比较，判断电路工作状态，异常时停止装置运行以及通过显示操作模块显示异常提示、通过通讯接口发送异常状态数据；所述运行参数包括控制电源变换电路输出电压的输出电压参数，及限制控制电源变换电路输出电流的电流限制参数，以及驱动功率变换电路运行的运行频率参数。