CN107747922B - 一种基于激光超声的亚表面缺陷埋藏深度的测量方法 - Google Patents
一种基于激光超声的亚表面缺陷埋藏深度的测量方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107747922B CN107747922B CN201710920102.9A CN201710920102A CN107747922B CN 107747922 B CN107747922 B CN 107747922B CN 201710920102 A CN201710920102 A CN 201710920102A CN 107747922 B CN107747922 B CN 107747922B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- defect
- ultrasonic
- probe
- laser
- pulse laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 83
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 64
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 10
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 4
- 238000007373 indentation Methods 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 16
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 9
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 abstract description 3
- 238000002592 echocardiography Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 abstract 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 3
- 238000012625 in-situ measurement Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000009933 burial Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 229910000954 Medium-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000009659 non-destructive testing Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/07—Analysing solids by measuring propagation velocity or propagation time of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
- G01N2021/1706—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids in solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/01—Indexing codes associated with the measuring variable
- G01N2291/011—Velocity or travel time
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于激光超声的亚表面缺陷埋藏深度的测量方法。其步骤为:1)将激光器探头安装到位移平台上;2)脉冲激光器探头和超声波探头分别放置在工件亚表面缺陷的两侧;3)脉冲激光器发出脉冲激光在工件上激励出超声波,超声探头分别测得直达表面波信号R和与缺陷相互作用后的反射回信号PR;4)控制位移平台运动,使脉冲激光在亚表面缺陷的一侧以某一距离Δd扫描n(n≥2)个点,超声探头在每扫描一个点时接收直达波和反射回波;5)通过超声探头接收得到的各个扫描点的直达波信号和缺陷回波信号的到达时间,计算出亚表面缺陷的埋藏深度。本发明能够用于超精密加工在位检测和其他一些高温高压等特殊环境中的亚表面缺陷埋藏深度的检测。
Description
技术领域
本发明涉及无损检测领域,尤其涉及一种基于激光超声的亚表面缺陷埋藏深度的无损测量方法。
背景技术
亚表面缺陷,是在表面之下几微米到几百微米之间,尺寸大小在几微米到数十微米之间的裂纹和压痕,是在诸如精磨、抛光等超精密加工过程中产生的微缺陷。在零件的使用过程中,亚表面缺陷会降低零件的强度和使用寿命,对设备的安全运行产生极大的威胁,甚至可能造成不可估量的后果,轻则设备故障,重则安全事故和严重的经济损失等等。因此,亚表面缺陷必须在后续的加工过程中予以去除。但是由于亚表面缺陷具有表面不可见,深度浅,尺寸小等特征,常规方法并不容易检测到,更别提对其深度进行定量检测。为此,众多学者致力于研究检测亚表面缺陷的方法。
在已有的研究中,Balogun等人开发了一套基于皮秒激光超声的全光学扫描超声显微镜***,该***利用皮秒激光激励出频率高达GHz的超声纵波,具有探测和定量检测微小浅表缺陷的能力。但是,由于纵波只进行单点检测,所以需要配上扫描***。同时,激励和接收上GHz的超声,也使得***复杂而昂贵。Kromine等人提出了一种基于线源激光扫描技术来探测亚表面缺陷,该方法通过线源激光激励出声表面波,在线源激光扫描过程中表面波回波会发生较大的变化,通过这个信号的变化来检测亚表面缺陷。该方法能够快速探测到亚表面缺陷并对其进行定位,但是对于亚表面缺陷的埋藏深度的测量却无能为力。Cho通过使用点源激光激发的表面波检测了粘接质量,同时通过机械扫描装置扫描,对亚表面横向缺陷进行了定位,该方法同样不能对亚表面缺陷埋藏深度进行定量测量。其他无损检测方法,诸如热波成像法和X射线检测法等,在亚表面缺陷的检测中也有所应用。但是热波成像技术对于微小缺陷不敏感,且不能进行定量检测。X射线方法虽然比较成熟,但是设备成本高,且射线对人体有害,不能很好的应用到在位测量中。
在无损检测领域,探测到缺陷和对缺陷尺寸进行定量检测同样重要,对于精密和超精密加工中产生的亚表面缺陷更是如此。亚表面缺陷的埋藏深度对于后续加工去除缺陷层是一个重要的参数。在已有的无损检测方法中,很少有能对亚表面缺陷的埋藏深度进行定量测量。本发明能够快速准确的探测到亚表面缺陷并对其埋藏深度进行定量测量。如果采用激光干涉仪探测超声,该方法还可以用于在位测量,或者用于高温高压等极端环境下的缺陷检测。
发明内容
本发明是为了检测精密以及超精密加工材料在加工过程中所产生的亚表面缺陷的埋藏深度,以指导后续加工把缺陷去除掉,而提出的一种基于激光超声表面波的亚表面缺陷埋藏深度的测量方法。其具体方案如下:
一种基于激光超声的亚表面缺陷埋藏深度的测量方法,包括以下步骤:
1)将脉冲激光器探头安装在位移运动平台上,位移运动平台的运动方向与亚表面缺陷的长度方向垂直;
2)脉冲激光器探头和超声探头分别放置在亚表面缺陷的两侧,且脉冲激光器探头照射在工件上的激光光斑与超声探头的连线与亚表面缺陷垂直;
3)脉冲激光器探头照射在工件上的激光光斑在工件的表面和内部激励出超声波,利用超声探头分别测得表面波信号R1和从缺陷反射回的超声波信号PR1,继而得到表面波信号R1到达超声探头的时间tR1以及从缺陷反射回的超声波信号PR1到达超声探头的时间tPR1;
4)控制位移运动平台向缺陷移动位移Δd,重复步骤3),得到表面波信号R2到达超声探头的时间tR2以及从缺陷反射回的超声波信号PR2到达超声探头的时间tPR2,控制位移运动平台继续向缺陷移动Δd距离,继而得到表面波信号R3到达超声探头的时间tR3以及从缺陷反射回的超声波信号PR3到达超声探头的时间tPR3,依次类推,总共扫描n(n≥2)个点;
5)通过步骤3)和4)中超声探头测量得到的直达波信号和缺陷回波信号到达时间,计算出亚表面缺陷的埋藏深度h。
作为优选,所述的超声源的激发方法为点源激发,即:脉冲激光器探头发出脉冲激光经过双凸透镜聚焦成点源激光,照射在工件表面并激励出超声波。
作为优选,所述的超声源的激发方法可以为线源激发,即:脉冲激光器探头发出脉冲激光经过柱透镜聚焦成线源激光,照射在工件表面并激励出超声波;也可以为点源激发,即:脉冲激光器探头发出脉冲激光经过聚焦透镜将激光聚焦成点源激光,照射在工件表面并激励出超声波。
进一步的,所述的亚表面缺陷为圆柱形缺陷,且所述的线源激光与亚表面缺陷的长度方向平行。
作为优选,所述的步骤5)中亚表面缺陷的埋藏深度h计算公式为:
其中d为步骤3)中激光光斑与亚表面缺陷之间的距离,vR为表面声波在工件中的传播速度,vP为纵波在工件中的传播速度,vS为横波在工件中的传播速度。
进一步的,上述公式中角度θ的计算公式为:
θ=arcsin(vS/vP)
本发明相对于现有技术的有益效果为:第一,在使用干涉仪测量超声振动的情况下,本发明可以进行在位测量。不需要二次装夹,即可在位测量精密超精密加工后材料亚表面缺陷,以使得在后续加工过程中将缺陷去除。第二,精密超精密加工亚表面缺陷小,埋藏深度浅,如果使用纵波C扫描检测方法,需要高频超声,使得设备复杂,且检测速度慢。本发明方法简单,成本较低,测量速度快,精度高。
附图说明
图1是基于激光超声的亚表面缺陷埋藏深度的测量方法的一种检测状态示意图;
图2是基于激光超声的亚表面缺陷埋藏深度的测量方法点源激光和探测点示意图;
图中,工件1、二维运动平台2、脉冲激光器探头3、超声探头4、示波器5、亚表面缺陷6、激光光斑7。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明做具体说明。
本发明的实施例涉及一种基于激光超声的亚表面缺陷埋藏深度的检测方法,该方法利用聚焦成点源的脉冲激光在工件表面产生超声波,超声波遇到亚表面缺陷而产生散射回波信号,通过对散射信号的接收和分析,从而实现对工件亚表面缺陷埋藏深度的检测。
本发明的基于激光超声的亚表面缺陷宽度的检测方法基本原则与发明内容部分一致,具体步骤如下:
1)将带脉冲激光器探头3放置在二维运动平台2上,并且使二维运动平台2的其中一个运动方向与工件长边平行,另一个运动方向与工件上表面垂直;然后分别放置脉冲激光器探头3和超声探头4在工件亚表面缺陷6的两侧(如图1所示),且超声探头4和激光光斑7的连线与亚表面缺陷6的长度方向垂直(如图2所示);
2)脉冲激光器探头3发出脉冲激光,经过聚焦透镜聚焦成一点源激光光斑7,在工件1表面激励出超声波,超声探头4测得直达波信号R1和从缺陷散射回的波信号PR1,并显示在示波器5中,得到直达波信号R1到达超声探头4的时间tR1,和从缺陷散射回的波信号PR1到达超声探头4的时间tPR1;
3)控制位移运动平台2向缺陷移动位移Δd=1mm,重复步骤3),得到表面波信号R2到达超声探头4的时间tR2以及从缺陷散射回的超声波信号PR2到达超声探头4的时间tPR2,控制位移运动平台继续向缺陷移动Δd距离,继而得到表面波信号R3到达超声探头4的时间tR3以及从缺陷反射回的超声波信号PR3到达超声探头4的时间tPR3,依次类推,总共扫描8个点;
4)通过步骤2)和4)中超声探头4测量得到的直达波信号和缺陷回波信号到达时间,计算出亚表面缺陷的埋藏深度h,计算公式如下:
角度θ通过以下公式确定:
θ=arcsin(vS/vP)
其中d为步骤2)中激光光斑7与亚表面缺陷6之间的初始距离,vR为表面声波在工件1中的传播速度,vP为纵波在工件1中的传播速度,vS为横波在工件1中的传播速度。
以上述方法对某中碳钢亚表面缺陷埋藏深度进行检测,其中钢块的长100mm、宽50mm、厚5mm,用KEYENCE VHX-600测量得到亚表面缺陷埋藏深度作为参照。将钢块放置在样品平台上,并用脉冲激光器探头和超声探头分别在钢块上的亚表面缺陷的两侧激发和接收表超声波,超声探头将先后接收到从激发源直接到达的超声波R和从缺陷散射回的超声波PR,超声探头将探测到的信号传输给示波器,将数据保存并在电脑上读取,以供后续计算使用。控制装有脉冲激光探头的二维运动平台向亚表面缺陷扫描8个点,同样记录超声探头接收到的超声信号,获取超声波时间,用于计算亚表面缺陷埋藏深度。
最终实施例的测量结果及其相对误差如下表所示:
从表中可以看出,本发明对于材料亚表面缺陷埋藏深度的检测结果具有很高的精度,且本检测方法使用了接触式PZT探头,降低了使用该方法的条件和设备成本。本发明简单快速有效,不像显微镜测量需要将待测样品从加工中取下放到待测区。同时本发明也可使用干涉仪进行超声探测,以实现在位检测,提高检测效率。
以上所述的实施例只是本发明的一种较佳的方案,然其并非用以限制本发明。有关技术领域的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围的情况下,还可以做出各种变化和变型。例如,激光光斑既可以采用点光源,也可以采用线光源,即:脉冲激光器探头发出脉冲激光经过柱透镜将激光聚焦成线源激光,照射在工件表面并激励出超声波。因此凡采取等同替换或等效变换的方式所获得的技术方案,均落在本发明的保护范围内。
Claims (4)
1.一种基于激光超声的亚表面缺陷埋藏深度的测量方法,所述亚表面缺陷为裂纹或压痕,其特征在于,包括以下步骤:
将脉冲激光器探头(3)安装在位移运动平台(2)上,位移运动平台的运动方向与亚表面缺陷(6)的长度方向垂直;
2)脉冲激光器探头(3)和超声探头(4)分别放置在亚表面缺陷(6)的两侧,且脉冲激光器探头照射在工件(1)上的激光光斑(7)与超声探头(4)的连线与亚表面缺陷垂直;
3)脉冲激光器探头(3)照射在工件(1)上的激光光斑(7)在工件(1)的表面和内部激励出超声波,利用超声探头(4)分别测得表面波信号R1和从缺陷反射回的超声波信号PR1,继而得到表面波信号R1到达超声探头(4)的时间tR1以及从缺陷反射回的超声波信号PR1到达超声探头(4)的时间tPR1;
4)控制位移运动平台(2)向缺陷移动位移Δd,重复步骤3),得到表面波信号R2到达超声探头(4)的时间tR2以及从缺陷反射回的超声波信号PR2到达超声探头(4)的时间tPR2,控制位移运动平台继续向缺陷移动Δd距离,继而得到表面波信号R3到达超声探头(4)的时间tR3以及从缺陷反射回的超声波信号PR3到达超声探头(4)的时间tPR3,依次类推,总共扫描n个点,其中n≥2;
5)通过步骤3)和4)中超声探头(4)测量得到的直达波信号和缺陷回波信号到达时间,计算出亚表面缺陷的埋藏深度h,埋藏深度h的计算公式为:
其中d为步骤3)中激光光斑(7)与亚表面缺陷(6)之间的距离,vR为表面声波在工件(1)中的传播速度,vP为纵波在工件(1)中的传播速度,vS为横波在工件(1)中的传播速度;其中角度θ计算公式为:θ=arcsin(vS/vP)。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于:超声源的激发方法为点源激发,即:脉冲激光器探头(3)发出脉冲激光经过双凸透镜聚焦成点源激光,照射在工件(1)表面并激励出超声波。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于:超声源的激发方法为线源激发,即:脉冲激光器探头(3)发出脉冲激光经过柱透镜将激光聚焦成线源激光,照射在工件(1)表面并激励出超声波。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于:所述的亚表面缺陷(6)为圆柱形缺陷,且所述的线源激光与亚表面缺陷(6)的长度方向平行。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710920102.9A CN107747922B (zh) | 2017-09-30 | 2017-09-30 | 一种基于激光超声的亚表面缺陷埋藏深度的测量方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710920102.9A CN107747922B (zh) | 2017-09-30 | 2017-09-30 | 一种基于激光超声的亚表面缺陷埋藏深度的测量方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107747922A CN107747922A (zh) | 2018-03-02 |
CN107747922B true CN107747922B (zh) | 2020-05-08 |
Family
ID=61255948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710920102.9A Active CN107747922B (zh) | 2017-09-30 | 2017-09-30 | 一种基于激光超声的亚表面缺陷埋藏深度的测量方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107747922B (zh) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109828030B (zh) * | 2019-03-28 | 2021-07-27 | 烟台中凯检测科技有限公司 | 一种基于声场特征的反射体形貌提取***和提取方法 |
CN110501424A (zh) * | 2019-08-19 | 2019-11-26 | 国家电网有限公司 | 一种激光超声的全光型耐张线夹无损检测装置 |
CN111174894B (zh) * | 2020-01-19 | 2021-06-04 | 山东省科学院激光研究所 | 一种激光超声横波声速测量方法 |
CN111595949B (zh) * | 2020-05-18 | 2021-07-20 | 武汉大学 | 一种自适应不规则表面的激光超声成像检测***及检测方法 |
CN111735874A (zh) * | 2020-05-26 | 2020-10-02 | 东南大学 | 一种金属增减材在线检测装置及在线加工的方法 |
CN111735774B (zh) * | 2020-07-14 | 2021-11-19 | 西安交通大学 | 基于激光超声表面波时距曲线的裂纹缺陷尺寸定量方法 |
CN112098336A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-12-18 | 深圳先进技术研究院 | 激光超声扫描成像装置以及激光超声扫描成像*** |
CN112858182B (zh) * | 2021-01-22 | 2022-12-16 | 西安增材制造国家研究院有限公司 | 一种基于波形分离的激光超声信号缺陷回波信号提取方法 |
CN113008803B (zh) * | 2021-02-01 | 2022-09-16 | 太原理工大学 | 一种棒材表面裂纹激光超声无损在线检测方法及装置 |
CN113029966A (zh) * | 2021-03-18 | 2021-06-25 | 武汉理工大学 | 一种用于薄壁高筋构件缺陷的激光超声无损检测方法 |
CN114166942B (zh) * | 2021-11-25 | 2023-08-15 | 武汉大学 | 基于激光超声的金属增材制造层间缺陷埋藏深度测量方法 |
CN114280157A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-05 | 杭州电子科技大学 | 一种基于激光激励表面波的亚表面裂纹长度定量检测方法 |
CN114295731B (zh) * | 2021-12-28 | 2023-02-21 | 杭州电子科技大学 | 一种基于激光激励纵波测量亚表面缺陷深度的方法 |
CN115950956B (zh) * | 2023-03-15 | 2023-05-30 | 天津大学 | 一种超声波探伤装置、方法以及计算机存储介质 |
CN117269327A (zh) * | 2023-09-19 | 2023-12-22 | 浙江大学 | 一种激光超声亚表面缺陷检测定位方法及装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010091281A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Toyota Central R&D Labs Inc | 超音波計測装置 |
CN101839895A (zh) * | 2009-12-17 | 2010-09-22 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于超声tofd的近表面缺陷识别方法 |
CN106017371A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-10-12 | 浙江大学 | 基于激光超声的表面缺陷开口宽度的测量装置及其方法 |
CN106198739A (zh) * | 2016-07-07 | 2016-12-07 | 大连理工大学 | 一种基于波型转换的tofd近表面盲区缺陷定位检测方法 |
CN106950180A (zh) * | 2017-05-22 | 2017-07-14 | 九江学院 | 一种快速定位缺陷的激光超声检测***及其检测方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101490543A (zh) * | 2006-07-11 | 2009-07-22 | 财团法人电力中央研究所 | 超声波探伤装置和方法 |
CN106596732A (zh) * | 2016-12-14 | 2017-04-26 | 西安交通大学 | 基于高能光纤阵列束传输的激光超声增强激励***及方法 |
-
2017
- 2017-09-30 CN CN201710920102.9A patent/CN107747922B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010091281A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Toyota Central R&D Labs Inc | 超音波計測装置 |
CN101839895A (zh) * | 2009-12-17 | 2010-09-22 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于超声tofd的近表面缺陷识别方法 |
CN106017371A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-10-12 | 浙江大学 | 基于激光超声的表面缺陷开口宽度的测量装置及其方法 |
CN106198739A (zh) * | 2016-07-07 | 2016-12-07 | 大连理工大学 | 一种基于波型转换的tofd近表面盲区缺陷定位检测方法 |
CN106950180A (zh) * | 2017-05-22 | 2017-07-14 | 九江学院 | 一种快速定位缺陷的激光超声检测***及其检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107747922A (zh) | 2018-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107747922B (zh) | 一种基于激光超声的亚表面缺陷埋藏深度的测量方法 | |
CN107688051B (zh) | 一种基于激光超声表面波的亚表面缺陷宽度的测量方法 | |
CN103808802B (zh) | 一种材料内部缺陷的全光学激光超声测定方法 | |
EP2316018B1 (en) | Nondestructive testing apparatus and method | |
CN110672047B (zh) | 高温金属材料厚度的激光超声测量方法 | |
CN103245729A (zh) | 一种焊缝内部缺陷的检测方法和装置 | |
CN111751448B (zh) | 一种漏表面波超声合成孔径聚焦成像方法 | |
CN110779990B (zh) | 一种材料内部多缺陷的激光超声三维定位定量检测方法 | |
KR101955440B1 (ko) | 초음파 음향속도 차이를 이용한 동탄성 계수 및 잔류응력 측정 시험평가 장치 | |
CN111174894B (zh) | 一种激光超声横波声速测量方法 | |
US20090249879A1 (en) | Inspection systems and methods for detection of material property anomalies | |
CN113588566B (zh) | 基于激光超声的激光点焊微焊点质量检测装置及方法 | |
CN104849351A (zh) | 一种基于非接触空气耦合的表面声阻抗检测方法及*** | |
JP5804497B2 (ja) | ラム波損傷画像化システム | |
CN103308602B (zh) | 一种基于无损探伤探测机器零件或材料寿命的方法 | |
CN115803620A (zh) | 用于便携式超声测试的***和方法 | |
CN111665296B (zh) | 基于emat测量超声换能器三维辐射声场的方法及装置 | |
CN114280157A (zh) | 一种基于激光激励表面波的亚表面裂纹长度定量检测方法 | |
CN111693611A (zh) | 一种利用激光超声检测金属亚表面缺陷的方法及*** | |
CN115639157A (zh) | 一种基于表面波的表面裂纹位置、长度和角度测量方法 | |
Kersemans et al. | Pitfalls in the experimental recording of ultrasonic (backscatter) polar scans for material characterization | |
CN114280156B (zh) | 一种基于激光超声的亚表面裂纹长度和深度测量方法 | |
JPH05333000A (ja) | 超音波探傷装置 | |
CN104569155A (zh) | 一种表面缺陷电磁超声检测方法 | |
CN113777047A (zh) | 基于热弹效应的金属表面裂纹位置及大小的识别方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |