CN107577366B - 一种显示面板及显示装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种显示面板及显示装置。所述显示面板包括基板,所述基板包括相对的第一表面和第二表面,所述第一表面一侧设置有至少一个压力传感电桥,所述压力传感电桥中的第一感应电阻、第二感应电阻、第三感应电阻和第四感应电阻的材料相同;至少一个所述感应电阻与其余感应电阻距离所述基板第二表面的距离不相等;远离所述第二表面的感应电阻与所述第二表面之间的膜层构成整体结构,所述整体结构具有与第二表面相对的第三表面,所述第三表面设置凹槽,靠近所述第二表面的感应电阻设置于所述凹槽内。本发明实施例提供的技术方案,达到了增大压力传感电桥压力应变差异,进而提升压力传感电桥灵敏度的有益效果。

Description

一种显示面板及显示装置
技术领域
本发明实施例涉及触控技术,尤其涉及一种显示面板及显示装置。
背景技术
触控功能的添加使得用户只需通过手指触摸显示面板上的标识就能够实现对电子设备的操作,简化了人机交互过程。为更好的满足用户需求,通常在显示面板中设置既能够采集触控位置信息又能够采集触控压力大小的压力传感器,以丰富触控显示技术的应用范围。
现有技术中压力传感器包括压力传感电桥,所述压力传感电桥由四个感应电阻按照惠斯通电桥原理连接构成,按压显示面板时,压力传感电桥因受到来自显示面板上与其对应位置处剪切力的作用,其内部各电阻阻值发生变化,从而使得压力传感电桥的电压输出值发生变化,据此确定触控压力的大小。由于受上述四个感应电阻设置位置的限制,上述压力传感电桥的压力应变差异较小,导致灵敏度较低。
发明内容
本发明提供了一种显示面板及显示装置,以增大压力传感电桥的压力应变差异,提高其灵敏度。
第一方面,本发明实施例提供了一种显示面板,所述显示面板包括基板;
所述基板包括相对的第一表面和第二表面,所述第一表面一侧设置有至少一个压力传感电桥;
所述压力传感电桥包括第一电源信号输入端、第二电源信号输入端、第一感应信号检测端以及第二感应信号检测端,所述压力传感电桥还包括第一感应电阻、第二感应电阻、第三感应电阻和第四感应电阻;
所述第一感应电阻的第一端以及所述第四感应电阻的第一端与所述第一电源信号输入端电连接,所述第一感应电阻的第二端以及所述第二感应电阻的第一端与所述第一感应信号检测端电连接,所述第四感应电阻的第二端以及所述第三感应电阻的第一端与所述第二感应信号检测端电连接,所述第二感应电阻的第二端以及所述第三感应电阻的第二端与所述第二电源信号输入端电连接;
所述第一电源信号输入端和所述第二电源信号输入端用于向所述压力传感电桥输入偏置电压信号;所述第一感应信号检测端和所述第二感应信号检测端用于从所述压力传感电桥输出压感检测信号;
所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻和所述第四感应电阻的材料相同;
至少一个所述感应电阻与其余感应电阻距离所述基板第二表面的距离不相等;远离所述第二表面的感应电阻与所述第二表面之间的膜层构成整体结构,所述整体结构具有与第二表面相对的第三表面,所述第三表面设置凹槽,靠近所述第二表面的感应电阻设置于所述凹槽内。
第二方面,本发明实施例还提供了一种显示装置,所述显示装置包括上述第一方面所述的显示面板。
本发明实施例提供的显示面板包括基板,基板包括相对的第一表面和第二表面,第一表面一侧设置有至少一个压力传感电桥,压力传感电桥中的第一感应电阻、第二感应电阻、第三感应电阻和第四感应电阻的材料相同,至少一个感应电阻与其余感应电阻距离基板第二表面的距离不相等,远离第二表面的感应电阻与第二表面之间的膜层构成整体结构,整体结构具有与第二表面相对的第三表面,第三表面设置凹槽,靠近第二表面的感应电阻设置于凹槽内,达到了增大压力传感电桥压力应变差异,进而提升压力传感电桥灵敏度的有益效果。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1是本发明实施例提供的一种显示面板的部分俯视结构示意图;
图2是沿图1中虚线AB的剖面结构示意图;
图3是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图;
图4是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图;
图5是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图;
图6是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图;
图7是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图;
图8是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图;
图9是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图;
图10是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图;
图11是本发明实施例提供的一种显示装置的结构示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本发明提出的一种显示面板及其制作方法的具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。
本发明实施例提供了一种显示面板,所述显示面板包括基板;
所述基板包括相对的第一表面和第二表面,所述第一表面一侧设置有至少一个压力传感电桥;
所述压力传感电桥包括第一电源信号输入端、第二电源信号输入端、第一感应信号检测端以及第二感应信号检测端,所述压力传感电桥还包括第一感应电阻、第二感应电阻、第三感应电阻和第四感应电阻;
所述第一感应电阻的第一端以及所述第四感应电阻的第一端与所述第一电源信号输入端电连接,所述第一感应电阻的第二端以及所述第二感应电阻的第一端与所述第一感应信号检测端电连接,所述第四感应电阻的第二端以及所述第三感应电阻的第一端与所述第二感应信号检测端电连接,所述第二感应电阻的第二端以及所述第三感应电阻的第二端与所述第二电源信号输入端电连接;
所述第一电源信号输入端和所述第二电源信号输入端用于向所述压力传感电桥输入偏置电压信号;所述第一感应信号检测端和所述第二感应信号检测端用于从所述压力传感电桥输出压感检测信号;
所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻和所述第四感应电阻的材料相同;
至少一个所述感应电阻与其余感应电阻距离所述基板第二表面的距离不相等;远离所述第二表面的感应电阻与所述第二表面之间的膜层构成整体结构,所述整体结构具有与第二表面相对的第三表面,所述第三表面设置凹槽,靠近所述第二表面的感应电阻设置于所述凹槽内。
本发明实施例提供的显示面板包括基板,基板包括相对的第一表面和第二表面,第一表面一侧设置有至少一个压力传感电桥,压力传感电桥中的第一感应电阻、第二感应电阻、第三感应电阻和第四感应电阻的材料相同,至少一个感应电阻与其余感应电阻距离基板第二表面的距离不相等,远离第二表面的感应电阻与第二表面之间的膜层构成整体结构,整体结构具有与第二表面相对的第三表面,第三表面设置凹槽,靠近第二表面的感应电阻设置于凹槽内,达到了增大压力传感电桥压力应变差异,进而提升压力传感电桥灵敏度的有益效果。
以上是本申请的核心思想,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下,所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明,但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其他实施方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广,因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
其次,本发明结合示意图进行详细描述,在详述本发明实施例时,为便于说明,表示装置器件结构的示意图并非按照一般比例作局部放大,而且示意图只是示例,其在此不应限制本发明保护的范围。此外,在实际制作中应包含长度、宽度以及高度的三维空间尺寸。
图1是本发明实施例提供的一种显示面板的部分俯视结构示意图。图2是沿图1中虚线AB的剖面结构示意图。如图1和图2所示,显示面板包括基板110,所述基板110包括相对的第一表面111和第二表面112,所述第一表面111一侧设置有至少一个压力传感电桥200。参见图1,所述压力传感电桥200包括第一电源信号输入端221、第二电源信号输入端222、第一感应信号检测端231以及第二感应信号检测端232,所述压力传感电桥200还包括第一感应电阻211、第二感应电阻212、第三感应电阻213和第四感应电阻214,所述第一感应电阻211的第一端a以及所述第四感应电阻214的第一端a’与所述第一电源信号输入端221电连接,所述第一感应电阻211的第二端b以及所述第二感应电阻212的第一端b’与所述第一感应信号检测端231电连接,所述第四感应电阻214的第二端d以及所述第三感应电阻213的第一端d’与所述第二感应信号检测端232电连接,所述第二感应电阻212的第二端c以及所述第三感应电阻213的第二端c’与所述第二电源信号输入端222电连接,所述第一电源信号输入端221和所述第二电源信号输入端222用于向所述压力传感电桥200输入偏置电压信号,所述第一感应信号检测端231和所述第二感应信号检测端232用于从所述压力传感电桥200输出压感检测信号。所述第一感应电阻211、所述第二感应电阻212、所述第三感应电阻213和所述第四感应电阻214的材料相同,如图2所示,至少一个所述感应电阻与其余感应电阻距离所述基板110第二表面112的距离不相等,远离所述第二表面112的感应电阻与所述第二表面112之间的膜层构成整体结构,所述整体结构具有与第二表面112相对的第三表面113,所述第三表面113设置凹槽300,靠近所述第二表面112的感应电阻设置于所述凹槽300内。
需要说明的是,在图2中第三感应电阻213与第四感应电阻214距离基板110第二表面112的距离不相等,第三感应电阻213为远离第二表面112的感应电阻,第四感应电阻214为靠近第二表面112的感应电阻,因此远离第二表面112的感应电阻与第二表面112之间的膜层包括缓冲层120、栅极绝缘层140以及基板110,由缓冲层120、栅极绝缘层140以及基板110构成整体结构,整体结构上与第二表面112相对的第三表面113设置凹槽300,值得注意的是,基板110位于远离第二表面112的感应电阻与第二表面112之间,属于整体结构的一部分。还需要说明的是,压力传感电桥的工作原理如下:第一感应电阻211、第二感应电阻212、第三感应电阻213和第四感应电阻214构成惠斯通电桥结构,当向第一电源信号输入端221和第二电源信号输入端222输入偏置电压信号时,惠斯通电桥中各支路均有电流通过,此时,按压显示面板时,压力传感电桥因受到来自显示面板上与其对应位置处剪切力的作用,其内部各电阻(包括第一感应电阻211、第二感应电阻212、第三感应电阻213和第四感应电阻214)发生形变,进而电阻阻值发生变化,从而使得压力传感电桥的第一感应信号测量端231和第二感应信号测量端232的输出电信号之差与无按压时压力传感电桥的第一感应信号测量端231和第二感应信号测量端232的输出电信号之差不同,据此,可以确定触控压力的大小。进一步的,设第一电源信号输入端221和第二电源信号输入端222输入的偏置电压为Uin,第一感应信号测量端231和第二感应信号测量端232的输出电信号之差为Uout;未施加按压力时,第一感应电阻211的阻值为R1,第二感应电阻212的阻值为R2,第三感应电阻213的阻值为R3,第四感应电阻214的阻值为R4;施加按压力后,第一感应电阻211的阻值变化量为ΔR1,第二感应电阻212的阻值变化量为ΔR2,第三感应电阻213的阻值变化量为ΔR3,第四感应电阻214的阻值变化量为ΔR4,则Uout=Uin[(R1+ΔR1)/(R1+ΔR1+R2+ΔR2)-(R4+ΔR4)/(R3+ΔR3+R4+ΔR4)],因此,ΔR1增大、ΔR2减小、ΔR3增大和ΔR4减小中至少一个发生时,均能够使得Uout增大,进而提升压力传感电桥的灵敏度。可以理解的是,相同按压力作用下,沿阵列基板上各膜层层叠方向,与基板110第二表面112距离不同的位置处设置的相同电阻的形变量不同,对应的电阻值变化量不同,据此,本实施例设置至少一个感应电阻与其余感应电阻距离基板110第二表面112的距离不同,相对于现有技术中设置四个感应电阻与基板110第二表面112距离相等的方案,本实施例的上述方案能够使得ΔR1增大、ΔR2减小、ΔR3增大和ΔR4减小中至少一个发生,进而达到提升压力传感电桥灵敏度的有益效果。值得注意的是,根据上述推倒可知,ΔR1与ΔR3的变化趋势需相同,ΔR2和ΔR4的变化趋势需相同,因此两个感应电阻与其余感应电阻距离基板110第二表面112的距离不相等时,两个感应电阻应为R1和R3或两个感应电阻应为R2和R4。所以对于图2未示意出的第一感应电阻211和第四感应电阻214,可以将第一感应电阻211设置于第三表面113上,将第二感应电阻212设置于第三表面113或凹槽300内,也可以将第一感应电阻211和第二感应电阻212都设置于凹槽300内。可以理解的是,图2仅作为示例对第三感应电阻213以及第四感应电阻214的设置位置进行说明,在本实施例的其他实施方式中,也可以是第三感应电阻213设置于凹槽300内,第四感应电阻214设置于第三表面113上,或者,第三感应电阻213和第四感应电阻214同时设置于第三表面113上或凹槽300内,然后根据上述对压力传感电桥200工作原理的分析,对应调整第一感应电阻211和第二感应电阻212的设置位置。对于设置于凹槽300内的感应电阻至少为两个的情况,至少两个感应电阻可以同时设置于同一凹槽300内,也可以每个感应电阻设置于一个凹槽300内。
优选的,远离所述第二表面112的感应电阻可以为第一感应电阻211和第三感应电阻213,靠近所述第二表面112的感应电阻可以为第二感应电阻212和第四感应电阻214,或者,远离所述第二表面112的感应电阻可以为第二感应电阻212和第四感应电阻214,靠近所述第二表面112的感应电阻可以为第一感应电阻211和第三感应电阻213。
需要说明的是,根据Uout=Uin[(R1+ΔR1)/(R1+ΔR1+R2+ΔR2)-(R4+ΔR4)/(R3+ΔR3+R4+ΔR4)]可知,当ΔR1和ΔR3同时增大,且ΔR2和ΔR4同时减小时,Uout的增大量相对于其他情况能够达到最大,进而更为有效的提升压力传感电桥的灵敏度,所以本实施例较佳的对四个感应电阻位置进行上述设置。
在本实施例中,凹槽300的形成使得与基板110第二表面112距离不同的四个感应电阻能够在同一工艺步骤中采用同种材料形成,一方面实现了压力传感电桥灵敏度的提升,另一方面使得在上述四个感应电阻厚度相同的情况下,可以直接通过控制感应电阻垂直于厚度方向的横截面的面积实现对其电阻阻值的调整,以方便的得到电阻值满足初始比例关系的第一感应电阻211、第二感应电阻212、第三感应电阻213以及第四感应电阻214,简化计算和操作过程。
需要说明的是,本实施例中凹槽300的深度小于上述整体结构的总厚度即可,可以理解的是,远离第二表面112的感应电阻与第二表面112之间的膜层至少包括基板110,还可以包括至少一个绝缘层。对于远离第二表面112的感应电阻与第二表面112之间的膜层仅包括基板110的情况,凹槽300形成于基板110的第一表面111上,深度小于基板110的厚度;对于远离第二表面112的感应电阻与第二表面112之间的膜层包括基板110和至少一个绝缘层的情况,凹槽300形成于至少一个绝缘层远离基板110的表面上,深度小于至少一个绝缘层与基板110的厚度之和。
本实施例提供的显示面板包括基板110,基板110包括相对的第一表面111和第二表面112,第一表面111一侧设置有至少一个压力传感电桥200,压力传感电桥200中的第一感应电阻211、第二感应电阻212、第三感应电阻213和第四感应电阻214的材料相同,至少一个感应电阻与其余感应电阻距离基板110第二表面112的距离不相等,远离第二表面112的感应电阻与第二表面112之间的膜层构成整体结构,整体结构具有与第二表面112相对的第三表面113,第三表面113设置凹槽300,靠近第二表面112的感应电阻设置于凹槽300内,达到了增大压力传感电桥200压力应变差异,进而提升压力传感电桥200灵敏度的有益效果。
继续参见图1,所述基板110包括显示区101和围绕显示区101设置的非显示区102,所述至少一个压力传感电桥200可以设置于所述非显示区102内。这样的设置一方面能够使得压力传感电桥200能够有充足的空间来进行布线,降低了压力传感电桥200的布线难度,另一方面使得用于设置靠近基板110第二表面112的感应电阻的凹槽300能够避开显示区101较多的元件,避免影响显示面板的正常工作。
可选的,如图1所示,所述第一感应电阻211由第一端a到第二端b的延伸长度在第一延伸方向X上的分量大于在第二延伸方向Y上的分量,所述第二感应电阻212由第一端b’到第二端c的延伸长度在第二延伸方向Y上的分量大于在第一延伸方向X上的分量,所述第三感应电阻213由第一端d’到第二端c’的延伸长度在第一延伸方向X上的分量大于在第二延伸方向Y上的分量,所述第四感应电阻214由第一端a’到第二端d的延伸长度在第二延伸方向Y上的分量大于在第一延伸方向X上的分量,所述第一延伸方向X和所述第二延伸方向Y平行于所述基板110所在平面且相互交叉。
这样设置可以使得第一感应电阻211和第三感应电阻213感应第一延伸方向X的应变,第二感应电阻212和第四感应电阻214感应第二延伸方向Y的应变。由于第一感应电阻211感应应变的方向与第二感应电阻212感应应变的方向不同,第四感应电阻214感应应变的方向与第三感应电阻213感应应变的方向不同,可以将第一感应电阻211、第二感应电阻212,以及第三感应电阻213和第四感应电阻214分布在空间同一处或者距离相近的位置,从而使得第一感应电阻211和第二感应电阻212,以及第三感应电阻213和第四感应电阻214有同步温度变化,消除温度差异的影响,提高了压力感应精度。
如图2所示,位于所述凹槽300内的感应电阻的厚度可以小于所述凹槽300的深度。这样的设置能够使得远离第二表面112的感应电阻和靠近第二表面112的感应电阻之间的距离较大,以增加压力传感电桥200的应变差,更好的提升压力传感电桥200的灵敏度。
继续参见图2,所述凹槽300的底部与所述第二表面112的距离可以小于所述基板110的厚度。即凹槽300从第三表面113一直挖至基板110内部,这样的设置使得凹槽300的深度较大,设置于凹槽300内的感应电阻与位于第三表面113的感应电阻之间的距离较大,同样能够达到增大压力传感电桥200应变差,提升压力传感电桥200灵敏度的有益效果。
示例性的,如图2所示,所述基板110上设置有依次层叠的缓冲层120、有源层130、栅极绝缘层140、栅极金属层150、第一绝缘层160以及源漏金属层170。其中,所述缓冲层120用于阻挡氧和湿气,防止湿气或杂质通过基板110扩散,并且在基板110的上表面(第一表面111)上提供平坦的表面;所述有源层130包括多个薄膜晶体管的半导体有源层,所述半导体有源层通过掺杂N型杂质离子或P型杂质离子而形成的源极区域和漏极区域,在源极区域和漏极区域之间的区域是其中不掺杂杂质的沟道区域;所述栅极绝缘层140包括诸如氧化硅、氮化硅或金属氧化物的无机层,并且可以包括单层或多个层;所述栅极金属层150包括多个薄膜晶体管的栅电极,所述栅电极位于栅极绝缘层140上特定区域中;所述第一绝缘层160可以由氧化硅或氮化硅等的绝缘无机层形成,也可以由绝缘有机层形成;所述源漏金属层170包括多个薄膜晶体管的源极和漏极,所述源极和漏极分别通过接触孔电连接(或结合)到源极区域和漏极区域,接触孔是通过选择性地去除栅极绝缘层140和第一绝缘层160而形成的。可选的,所述第一感应电阻211、所述第二感应电阻212、所述第三感应电阻213以及所述第四感应电阻214与所述栅极金属层150同层设置,所述远离所述第二表面112的感应电阻与所述第二表面112之间的膜层包括所述栅极绝缘层140、所述缓冲层120以及所述基板110,所述凹槽300的深度小于所述栅极绝缘层140、所述缓冲层120以及所述基板110的厚度之和。
图3是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图。如图3所示,所述基板110上设置有依次层叠的缓冲层120、有源层130、栅极绝缘层140、栅极金属层150、第一绝缘层160以及源漏金属层170。可选的,所述第一感应电阻211、所述第二感应电阻212、所述第三感应电阻213以及所述第四感应电阻214可以与所述有源层130同层设置,所述远离所述第二表面112的感应电阻与所述第二表面112之间的膜层包括所述缓冲层120以及所述基板110,所述凹槽300的深度小于所述缓冲层120以及所述基板110的厚度之和。
图4是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图。如图4所示,所述基板110上设置有依次层叠的缓冲层120、有源层130、栅极绝缘层140、栅极金属层150、第一绝缘层160以及源漏金属层170。可选的,所述第一感应电阻211、所述第二感应电阻212、所述第三感应电阻213以及所述第四感应电阻214与所述源漏金属层170同层设置,所述远离所述第二表面112的感应电阻与所述第二表面112之间的膜层包括所述第一绝缘层160、所述栅极绝缘层140、所述缓冲层120以及所述基板110,所述凹槽300的深度小于所述第一绝缘层160、所述栅极绝缘层140、所述缓冲层120以及所述基板110的厚度之和。
图5是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图。如图5所示,所述基板110上设置有依次层叠的缓冲层120、有源层130、栅极绝缘层140、栅极金属层150、第一绝缘层160以及源漏金属层170。可选的,所述显示面板还包括位于所述源漏金属层170远离所述基板110一侧的第二绝缘层180以及位于所述第二绝缘层180远离所述基板110一侧的触控走线层190,所述第一感应电阻211、所述第二感应电阻212、所述第三感应电阻213以及所述第四感应电阻214与所述触控走线层190同层设置,所述远离所述第二表面112的感应电阻与所述第二表面112之间的膜层包括所述第二绝缘层180、所述第一绝缘层160、所述栅极绝缘层140、所述缓冲层120以及所述基板110,所述凹槽300的深度小于所述第二绝缘层180、所述第一绝缘层160、所述栅极绝缘层140、所述缓冲层120以及所述基板110的厚度之和。
图6是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图。如图6所示,所述基板110上设置有依次层叠的缓冲层120、栅极金属层150、栅极绝缘层140、有源层130、第一绝缘层160以及源漏金属层170。可选的,所述第一感应电阻211、所述第二感应电阻212、所述第三感应电阻213以及所述第四感应电阻214与所述栅极金属层150同层设置,所述远离所述第二表面112的感应电阻与所述第二表面112之间的膜层包括所述缓冲层120以及所述基板110,所述凹槽300的深度小于所述缓冲层120以及所述基板110的厚度之和。
图7是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图。如图7所示,所述基板110上设置有依次层叠的缓冲层120、栅极金属层150、栅极绝缘层140、有源层130、第一绝缘层160以及源漏金属层170。可选的,所述第一感应电阻211、所述第二感应电阻212、所述第三感应电阻213以及所述第四感应电阻214与所述有源层130同层设置,所述远离所述第二表面112的感应电阻与所述第二表面112之间的膜层包括所述栅极绝缘层140、所述缓冲层120以及所述基板110,所述凹槽300的深度小于所述栅极绝缘层140、所述缓冲层120以及所述基板110的厚度之和。
图8是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图。如图8所示,所述基板110上设置有依次层叠的缓冲层120、栅极金属层150、栅极绝缘层140、有源层130、第一绝缘层160以及源漏金属层170。可选的,所述第一感应电阻211、所述第二感应电阻212、所述第三感应电阻213以及所述第四感应电阻214与所述源漏金属层170同层设置,所述远离所述第二表面112的感应电阻与所述第二表面112之间的膜层包括所述第一绝缘层160、所述栅极绝缘层140、所述缓冲层120以及所述基板110,所述凹槽300的深度小于所述第一绝缘层160、所述栅极绝缘层140、所述缓冲层120以及所述基板110的厚度之和。
图9是沿图1中虚线AB的又一种剖面结构示意图。如图9所示,所述基板110上设置有依次层叠的缓冲层120、栅极金属层150、栅极绝缘层140、有源层130、第一绝缘层160以及源漏金属层170。可选的,所述显示面板还包括位于所述源漏金属层170远离所述基板110一侧的第二绝缘层180以及位于所述第二绝缘层180远离所述基板110一侧的触控走线层190,所述第一感应电阻211、所述第二感应电阻212、所述第三感应电阻213以及所述第四感应电阻214与所述触控走线层190同层设置,所述远离所述第二表面112的感应电阻与所述第二表面112之间的膜层包括所述第二绝缘层180、所述第一绝缘层160、所述栅极绝缘层140、所述缓冲层120以及所述基板110,所述凹槽300的深度小于所述第二绝缘层180、所述第一绝缘层160、所述栅极绝缘层140、所述缓冲层120以及所述基板110的厚度之和。
需要说明的是,上述图2至图9的相关说明中,“同层设置”指第一感应电阻211、第二感应电阻212、第三感应电阻213、第四感应电阻214以及对应膜层属于同一功能膜层,可以在同一工艺步骤中采用同种材料形成,而非对上述各结构位置的限定。
还需要说明的是,如图1所示,显示面板包括多个薄膜晶体管400,图2至图5中薄膜晶体管400为顶栅型薄膜晶体管,图6至图9中薄膜晶体管400为底栅型薄膜晶体管,由于薄膜晶体管400的结构不同,使得图2至图5中栅极金属层150、栅极绝缘层140、有源层130、第一绝缘层160以源漏金属层170的相对位置关系不同于图6至图9。在本发明的其他实施例中,底栅型薄膜晶体管中的源漏金属层170与有源层130之间也可以不设置第一绝缘层160,如图10所示。此时,第一感应电阻211、第二感应电阻212、第三感应电阻213以及第四感应电阻214与源漏金属层170同层设置时,第三表面113与第二表面112之间的膜层包括栅极绝缘层140、缓冲层120以及基板110,第三表面113上设置的凹槽300的深度应小于栅极绝缘层140、缓冲层120以及基板110的厚度之和。
可选的,作为辅助提升显示面板性能的非必要膜层,图2至图9中的缓冲层120也可以省略。
还需要说明的是,图2至图9所示结构均将第一感应电阻211、第二感应电阻212、第三感应电阻213以及第四感应电阻214与显示面板某一固有功能膜层同层设置,这样的设置一方面无需为上述四个感应电阻预留膜层空间,有利于显示面板的薄化,另一方面,使得上述四个感应电阻能够与该功能膜层在同一工艺步骤中采用同种材料形成,能够达到简化工艺步骤的有益效果。
此外,图2至图9均示例性的示意出了从第三表面113一直挖至基板110内部获得的凹槽300,可以理解的是,根据实际需要,在本实施例的其他实施方式中,凹槽300的深度可以小于图2至图9所示凹槽300的深度。相对于其他情况,图2至图9所示凹槽300的设置方式能够使得凹槽300的深度更大,靠近第二表面112的感应电阻与远离第二表面112的感应电阻之间的距离更远,进而增大压力传感电桥200的应变差,提升压力传感电桥200的灵敏度。
图11是本发明实施例提供的一种显示装置的结构示意图。如图11所示,显示装置20包括本发明任意实施例所述的显示面板10。
注意,上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本发明不限于这里的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明,但是本发明不仅仅限于以上实施例,在不脱离本发明构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (15)

1.一种显示面板,包括基板,其特征在于:
所述基板包括相对的第一表面和第二表面,所述第一表面一侧设置有至少一个压力传感电桥;
所述压力传感电桥包括第一电源信号输入端、第二电源信号输入端、第一感应信号检测端以及第二感应信号检测端,所述压力传感电桥还包括第一感应电阻、第二感应电阻、第三感应电阻和第四感应电阻;
所述第一感应电阻的第一端以及所述第四感应电阻的第一端与所述第一电源信号输入端电连接,所述第一感应电阻的第二端以及所述第二感应电阻的第一端与所述第一感应信号检测端电连接,所述第四感应电阻的第二端以及所述第三感应电阻的第一端与所述第二感应信号检测端电连接,所述第二感应电阻的第二端以及所述第三感应电阻的第二端与所述第二电源信号输入端电连接;
所述第一电源信号输入端和所述第二电源信号输入端用于向所述压力传感电桥输入偏置电压信号;所述第一感应信号检测端和所述第二感应信号检测端用于从所述压力传感电桥输出压感检测信号;
所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻和所述第四感应电阻的材料相同;
至少一个所述感应电阻与其余感应电阻距离所述第二表面的距离不相等;远离所述第二表面的感应电阻与所述第二表面之间的膜层构成整体结构,所述整体结构具有与所述第二表面相对的第三表面,所述第三表面设置凹槽,靠近所述第二表面的感应电阻设置于所述凹槽内。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,两个所述感应电阻与其余感应电阻距离所述基板第二表面的距离不相等时,远离所述第二表面的感应电阻为第一感应电阻和第三感应电,靠近所述第二表面的感应电阻为第二感应电阻和第四感应电阻;或者,
远离所述第二表面的感应电阻为第二感应电阻和第四感应电阻,靠近所述第二表面的感应电阻为第一感应电阻和第三感应电阻。
3.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述基板上设置有依次层叠的缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极金属层、第一绝缘层以及源漏金属层。
4.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻以及所述第四感应电阻与所述栅极金属层同层设置;
所述远离所述第二表面的感应电阻与所述第二表面之间的膜层包括所述栅极绝缘层、所述缓冲层以及所述基板,所述凹槽的深度小于所述栅极绝缘层、所述缓冲层以及所述基板的厚度之和;
其中,所述同层设置指所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻、所述第四感应电阻以及所述栅极金属层属于同一功能膜层,在同一工艺步骤中采用同种材料形成。
5.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻以及所述第四感应电阻与所述有源层同层设置;
所述远离所述第二表面的感应电阻与所述第二表面之间的膜层包括所述缓冲层以及所述基板,所述凹槽的深度小于所述缓冲层以及所述基板的厚度之和;
其中,所述同层设置指所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻、所述第四感应电阻以及所述有源层属于同一功能膜层,在同一工艺步骤中采用同种材料形成。
6.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述基板上设置有依次层叠的缓冲层、栅极金属层、栅极绝缘层、有源层、第一绝缘层以及源漏金属层。
7.根据权利要求6所述的显示面板,其特征在于,所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻以及所述第四感应电阻与所述栅极金属层同层设置;
所述远离所述第二表面的感应电阻与所述第二表面之间的膜层包括所述缓冲层以及所述基板,所述凹槽的深度小于所述缓冲层以及所述基板的厚度之和;
其中,所述同层设置指所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻、所述第四感应电阻以及所述栅极金属层属于同一功能膜层,在同一工艺步骤中采用同种材料形成。
8.根据权利要求6所述的显示面板,其特征在于,所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻以及所述第四感应电阻与所述有源层同层设置;
所述远离所述第二表面的感应电阻与所述第二表面之间的膜层包括所述栅极绝缘层、所述缓冲层以及所述基板,所述凹槽的深度小于所述栅极绝缘层、所述缓冲层以及所述基板的厚度之和;
其中,所述同层设置指所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻、所述第四感应电阻以及所述有源层属于同一功能膜层,在同一工艺步骤中采用同种材料形成。
9.根据权利要求3或6所述的显示面板,其特征在于,所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻以及所述第四感应电阻与所述源漏金属层同层设置;
所述远离所述第二表面的感应电阻与所述第二表面之间的膜层包括所述第一绝缘层、所述栅极绝缘层、所述缓冲层以及所述基板,所述凹槽的深度小于所述第一绝缘层、所述栅极绝缘层、所述缓冲层以及所述基板的厚度之和;
其中,所述同层设置指所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻、所述第四感应电阻以及所述源漏金属层属于同一功能膜层,在同一工艺步骤中采用同种材料形成。
10.根据权利要求3或6所述的显示面板,其特征在于,还包括位于所述源漏金属层远离所述基板一侧的第二绝缘层以及位于所述第二绝缘层远离所述基板一侧的触控走线层,所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻以及所述第四感应电阻与所述触控走线层同层设置;
所述远离所述第二表面的感应电阻与所述第二表面之间的膜层包括所述第二绝缘层、所述第一绝缘层、所述栅极绝缘层、所述缓冲层以及所述基板,所述凹槽的深度小于所述第二绝缘层、所述第一绝缘层、所述栅极绝缘层、所述缓冲层以及所述基板的厚度之和;
其中,所述同层设置指所述第一感应电阻、所述第二感应电阻、所述第三感应电阻、所述第四感应电阻以及所述触控走线层属于同一功能膜层,在同一工艺步骤中采用同种材料形成。
11.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,位于所述凹槽内的感应电阻的厚度小于所述凹槽的深度。
12.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述凹槽的底部与所述第二表面的距离小于所述基板的厚度。
13.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述基板包括显示区和围绕显示区设置的非显示区,所述至少一个压力传感电桥设置于所述非显示区内。
14.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一感应电阻由第一端到第二端的延伸长度在第一延伸方向上的分量大于在第二延伸方向上的分量,所述第二感应电阻由第一端到第二端的延伸长度在第二延伸方向上的分量大于在第一延伸方向上的分量,所述第三感应电阻由第一端到第二端的延伸长度在第一延伸方向上的分量大于在第二延伸方向上的分量,所述第四感应电阻由第一端到第二端的延伸长度在第二延伸方向上的分量大于在第一延伸方向上的分量;所述第一延伸方向和所述第二延伸方向平行于所述基板所在平面且相互交叉。
15.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求1-14任一项所述的显示面板。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111142696B (zh) * 2018-11-05 2023-04-28 上海和辉光电股份有限公司 一种可弯折触控屏
CN109920330B (zh) 2019-02-22 2021-03-05 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种基板和显示装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105867699A (zh) * 2016-06-20 2016-08-17 上海天马微电子有限公司 显示面板及触控压力检测方法
CN105955535A (zh) * 2016-05-13 2016-09-21 上海天马微电子有限公司 一种显示面板
CN105975137A (zh) * 2016-07-07 2016-09-28 上海天马微电子有限公司 一种触控显示面板及触控显示装置
CN106201063A (zh) * 2016-06-27 2016-12-07 华为技术有限公司 一种触摸压力检测装置、显示屏及触控电子设备
CN106354328A (zh) * 2016-09-14 2017-01-25 宸鸿科技(厦门)有限公司 压力感测模组、压力触控感测***

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2634552B1 (en) * 2012-02-28 2015-04-08 Sony Mobile Communications AB Electronic device and method for determining a temperature of an electronic device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105955535A (zh) * 2016-05-13 2016-09-21 上海天马微电子有限公司 一种显示面板
CN105867699A (zh) * 2016-06-20 2016-08-17 上海天马微电子有限公司 显示面板及触控压力检测方法
CN106201063A (zh) * 2016-06-27 2016-12-07 华为技术有限公司 一种触摸压力检测装置、显示屏及触控电子设备
CN105975137A (zh) * 2016-07-07 2016-09-28 上海天马微电子有限公司 一种触控显示面板及触控显示装置
CN106354328A (zh) * 2016-09-14 2017-01-25 宸鸿科技(厦门)有限公司 压力感测模组、压力触控感测***

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