CN107340665B - 电泳显示面板和制造方法 - Google Patents

Abstract

本申请实施例公开了一种电泳显示面板和制造方法。该电泳显示面板包括：基板，包括显示区和非显示区；位于基板上的第一金属层，第一金属层形成有第一电容极板；位于第一金属层上的第二金属层，第二金属层形成有多个遮光区；位于第一金属层与第二金属层之间的第三金属层，第三金属层形成有第二电容极板；多条沿第二方向延伸且沿第一方向排列的金属换线，用于向数据线传输数据信号，其中，各金属换线中的至少一条金属换线位于显示区，且至少一条金属换线中，存在至少一条形成于第二金属层的金属换线。该实施方式可以减少金属换线对第一金属层和/或第三金属层的占用，从而可以增加第一电容极板与第二电容极板之间的电容量，以满足显示要求。

Description

电泳显示面板和制造方法

技术领域

本申请涉及显示技术领域，具体涉及电泳显示面板和制造方法。

背景技术

目前，电泳显示的基本原理通常是通过电场控制电泳粒子移动的位置，通过移动的位置控制光的反射情况，从而实现所需亮度。现有的电泳显示面板的结构一般是在像素电极与公共电极之间形成电泳膜。这样，分别向像素电极和公共电极提供直流电压信号，可以在两者之间形成电场，从而实现画面显示。电泳显示面的具体结构可以参见图1，其示出了现有电泳显示面板的一种结构示意图。

如图1所示，现有电泳显示面板一般包括像素电极011和向像素电极011提供数据信号的数据线012。数据线012沿第一方向延伸，且沿第二方向排列。数据线012通过两个串联的薄膜晶体管与像素电极011电连接。且两个薄膜晶体管的栅极与用于提供栅极驱动信号的扫描线013电连接。其中，扫描线013沿第二方向延伸，且沿第一方向排列。此时，为了减少走线占用非显示区的空间，有助于窄边框设计，从图1可以看出，在电泳显示面板的显示区可以设置有用于向数据线012传输数据信号的金属换线014。而为了简化生产工艺，金属换线014可以与扫描线013同层设置，且沿第二方向延伸。这样也有利于面板的薄型化设计。

另外，现有的电泳显示面板中，通常会在数据线012和扫描线013所在膜层分别形成两个电容极板，如图中粗实线所形成的区域。在充电阶段，两个电容极板充电以存储电能。在保持阶段，两个电容极板分别向像素电极和公共电极充电，以补充像素电极受薄膜晶体管自身特性的影响而逐渐下降的电位，从而保证电泳粒子移动所需的电场，实现画面显示。

然而，由于扫描线013、金属换线014和电容极板设置于同一膜层，这样会影响该膜层中电容极板的面积，从而减小了两个电容极板之间在充电阶段的电容量，进而不能满足在保持阶段的设计需求。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷，本申请提供了一种改进的电泳显示面板和制造方法，来解决以上背景技术部分提到的技术问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种电泳显示面板。该电泳显示面板包括：基板，包括显示区和非显示区；位于基板上的第一金属层，第一金属层形成有第一电容极板；位于第一金属层上的第二金属层，第二金属层形成有多个遮光区；位于第一金属层与第二金属层之间的第三金属层，第三金属层形成有第二电容极板；多条沿第二方向延伸且沿第一方向排列的金属换线，用于向数据线传输数据信号，其中，各金属换线中的至少一条金属换线位于显示区，且至少一条金属换线中，存在至少一条形成于第二金属层的金属换线。

在一些实施例中，电泳显示面板包括薄膜晶体管、多条扫描线和多条数据线，用于向各像素电极提供数据信号；薄膜晶体管包括栅极、源极、漏极和沟道，其中，沟道向第二金属层的正投影位于其中一个遮光区内；栅极形成于第一金属层，源极和漏极形成于第三金属层，沟道形成于半导体层，其中，半导体层位于第一金属层与第三金属层之间；多条扫描线形成于第一金属层，沿第二方向延伸且沿第一方向排列，用于向栅极提供栅极驱动信号；多条数据线形成于第三金属层，沿第一方向延伸且沿第二方向排列，且数据线与至少一条金属换线电连接。

在一些实施例中，电泳显示面板包括像素电极层和公共电极层；像素电极层位于第二金属层与公共电极层之间，且像素电极层与公共电极层之间设置有电泳膜；像素电极层的像素电极接收数据信号，且公共电极层的公共电极接收公共电压信号。

在一些实施例中，第一电容极板与像素电极电连接，第二电容极板与公共电极电连接。

在一些实施例中，电泳显示面板包括公共信号线，用于向公共电极传输公共电压信号；公共信号线形成于第三金属层，且第二电容极板与公共电极通过公共信号线电连接；第一电容极板与像素电极通过过孔电连接，其中，过孔设置于第一电容极板向像素电极层的正投影与其中一个像素电极的至少部分重叠区。

在一些实施例中，像素电极向第二金属层的正投影与至少一条金属换线部分重叠。

在一些实施例中，电泳显示面板还包括第一绝缘层，第一绝缘层位于像素电极层与第二金属层之间。

在一些实施例中，电泳显示面板还包括第二绝缘层，第二绝缘层位于第一金属层与半导体层之间，其中，第二绝缘层与第一绝缘层具有相同厚度。

在一些实施例中，第一绝缘层的厚度L满足：L≤350纳米。

在一些实施例中，第一绝缘层的厚度L满足：250纳米≤L≤350纳米。

第二方面，本申请实施例提供了一种制造方法，该制造方法用于制造如第一方面中的任一实施例所描述的电泳显示面板。该制造方法包括：准备一基板，基板包括显示区和非显示区；在基板的显示区形成第一金属层，并对第一金属层进行处理，以形成第一电容极板；在第一金属层上形成第三金属层，并对第三金属层进行处理，以形成第二电容极板；在第三金属层上形成第二金属层，对第二金属层进行处理，以形成多个遮光区和至少一条金属换线；其中，电泳显示面板包括多条金属换线，用于向数据线传输数据信号。

在一些实施例中，电泳显示面板包括像素电极层和第一绝缘层，该制造方法还包括：在第二金属层上形成第一绝缘层，以使第一绝缘层覆盖第二金属层；在第一绝缘层上形成像素电极层，并对像素电极层进行处理，以形成各像素电极。

本申请实施例提供的电泳显示面板和制造方法，通过将位于显示区的至少一条金属换线设置于第二金属层，有利于面板的薄型化设计的同时，可以减少占用第一金属层和/或第三金属层的空间。这样，可以增加第一电容极板和/或第二电容极板的面积，从而增加两者之间的重合面积，进而增加两者之间在充电阶段的电容量，以满足显示需求。另外，利用第二金属层来设置部分金属换线的走线，可以满足任意条数的数据线的换线需求，从而使电泳显示面板的设计更加灵活，而不受数据线与扫描线之间比例关系的影响。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1是现有电泳显示面板的俯视结构示意图；

图2是本申请提供的电泳显示面板的一种实施例的结构示意图；

图3是图2所示的电泳显示面板的A-A＇处的剖视结构图；

图4是本申请提供的电泳显示面板的又一种实施例的结构示意图；

图5是图4所示的电泳显示面板的B-B＇处的剖视结构图；

图6是图4所示的电泳显示面板的C-C＇处的剖视结构图；

图7是本申请提供的电泳显示面板的再一种实施例的结构示意图；

图8是本申请提供的电泳显示面板的一种走线示意图；

图9是本申请提供的制造方法的一个实施例的流程图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请的原理和特征作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

请参见图2和图3，图2示出了本申请提供的电泳显示面板的一种实施例的结构示意图；图3是图2所示的电泳显示面板的A-A＇处的剖视结构图。如图3所示，电泳显示面板可以包括：基板10、第一金属层11、第二金属层12和第三金属层13。

在本实施例中，基板10可以包括显示区(如图2中虚线所形成的区域)和非显示区(如图2中虚线与实线之间的区域)。第一金属层11位于基板10上，且第一金属层11形成有第一电容极板21。第二金属层12位于第一金属层11上，且第二金属层12形成有多个遮光区23。而第三金属层13可以位于第一金属层11与第二金属层12之间，且第三金属层13形成有第二电容极板22。也就是说，第一金属层11、第三金属层13和第二金属层12沿远离基板10的方向依次叠置。

需要说明的是，图3中括号外的标号(如21)代表电泳显示面板中的各电子元件的标号。图3中括号内的标号(如11)代表各电子元件所在膜层的标号。在下面各实施例的附图中，同样采用这种标号方式。

在本实施例中，电泳显示面板还可以包括多条沿第二方向延伸且沿第一方向排列的金属换线。金属换线可以用于向数据线传输数据信号。其中，各金属换线中的至少一条金属换线可以位于显示区，这样可以减少金属换线占用非显示区的空间，从而有利于窄边框设计。在这里，位于显示区的金属换线可以设置于电泳显示面板的任意膜层。例如，在电泳显示面板上增加一层用于形成金属换线的金属膜层。再例如，为了简化生产工艺，可以在电泳显示面板现有的任意金属膜层上形成金属换线。

在本实施例中，位于显示区的至少一条金属换线中，存在至少一条形成于第二金属层的金属换线。如图3所示，金属换线241和金属换线242可以形成在第一金属层11，而金属换线243和金属换线244则可以形成在第二金属层12。这样可以减少金属换线占用第一金属层11和/或第三金属层13的空间，从而可以增加第一电容极板21和/或第二电容极板22的面积。如图2所示，金属换线241和金属换线242与第一电容极板21同层设置，且分别与一条数据线27通过过孔电连接。金属换线243和金属换线244与遮光区23同层设置，且通过过孔与一条数据线27电连接。由于两电容极板之间的电容量与两者之间的重合面积相关，即在相同条件下，重合面积越大，电容量也就越大。此时，与位于金属换线241和金属换线242之间的第一电容板21和第二电容板22相比，位于金属换线242和金属换线244之间的第一电容极板21和第二电容极板22可以在第一方向上向靠近金属换线244的方向延伸，以增加第一电容极板21和第二电容极板22的面积，从而可以增加两者之间的重合面积，进而增加两者之间在充电阶段的电容量。这样一来，在保持阶段，若其他条件相同的情况下(如各像素电极的面积相同)，第一电容极板和第二电容极板分别可以更好地向像素电极和公共电极补充电能，从而使电泳粒子移动至相应位置，以满足显示需求，实现画面显示。

可以理解的是，本实施例中电泳显示面板仅描述了与发明相关的膜层结构。各膜层之间还可以包含其他膜层结构，如绝缘层、薄膜晶体管等。此外，图2中所示的各电子元件的数量仅仅是示意性的，电泳显示面板的显示区通常会设置多条数据线、多条金属换线、多组电容极板以及多个像素电极等。而且将至少部分金属换线形成于第二金属层后，可以任意设置与每条数据线电连接的金属换线的数量，以降低电阻影响，增加数据信号的传输强度。

继续参见图4-图6，图4是本申请提供的电泳显示面板的又一种实施例的结构示意图；图5是图4所示的电泳显示面板的B-B＇处的剖视结构图；图6是图4所示的电泳显示面板的C-C＇处的剖视结构图。如图5所示，与图2相同的是，本实施例中的电泳显示面板同样包括基板10、第一金属层11、第二金属层12、第三金属层13、第一电容极板21、第二电容极板22、遮光区23和金属换线24。各膜层之间的位置关系可以参见图3中的相关描述，此处不再赘述。

与图2不同的是，本实施例中的电泳显示面板还可以包括薄膜晶体管、多条扫描线26和多条数据线27。通过这些电子元件可以向各像素电极提供数据信号。如图6所示，薄膜晶体管包括栅极251、源极252、漏极253和沟道254。扫描线一般与薄膜晶体管的栅极251电连接；数据线与薄膜晶体管的源极252和漏极253中的一端电连接；同时，薄膜晶体管的源极252和漏极253中的另一端与像素电极28电连接。

这里的薄膜晶体管可以是非晶硅(amorphous silicon，α-Si)薄膜晶体管。在薄膜晶体管的沟道的制作工艺中，可以采用多种气相沉积技术(如辉光放电、真空蒸镀、化学气相沉积等)对单硅烷或二硅烷等原材料进行处理，以形成非晶态硅膜；再将该非晶态硅膜图形化为沟道。另外，薄膜晶体管也可以是低温多晶硅(Low Temperature Poly-silicon，LTPS)薄膜晶体管。此时，在薄膜晶体管的沟道的制作工艺中，可以首先沉积一层非晶硅材料；之后采用准激光分子退火(Excimer Laser Annealing，ELA)技术，利用一定波长的激光使该层非晶硅的硅晶转化为多晶硅；再将该多晶硅图形化为沟道。

需要说明的是，电泳显示面板一般是采用全反射技术进行画面显示，即依靠外界环境中的光源或设置于电泳显示面板的表面的光源的照射，如图6中箭头所示照射方向。此时，为了避免光源对沟道254中的载流子产生影响，薄膜晶体管要一般位于第二金属层12的下侧(即背离光源的一侧)。并且沟道254向第二金属层12的正投影位于其中一个遮光区23内。

在本实施例中，为了简化生产工艺，且有助于面板的薄型化设计，栅极251、源极252、漏极253、扫描线26和数据线27可以分别形成在电泳显示面板中现有的各金属膜层。作为示例，如图6所示，栅极251可以形成于第一金属层11。源极252和漏极253可以形成于第三金属层13。沟道254形成于半导体层14。其中，半导体层14可以(但不限于)如图6所示位于第一金属层11与第三金属层13之间。在一些应用场景中，半导体层也可以位于基板与第一金属层之间。另外，从图4和图5中可以看出，多条扫描线26也可以形成于第一金属层11，以便于向栅极提供栅极驱动信号。且扫描线26沿第二方向延伸、沿第一方向排列。而多条数据线27则可以形成于第三金属层13，以便于向源极或漏极提供数据信号。数据线27沿第一方向延伸、沿第二方向排列，且与至少一条金属换线24电连接。

如图4所示，数据线27可以通过过孔与两条金属换线24电连接。其中一条金属换线24可以与扫描线26同层，而另一条金属换线24可以与遮光区23同层。这样可以降低因数据线27的电阻导致数据信号的衰减，从而提升数据线27上传输的数据信号的强度。

从图5可知，本实施例中的电泳显示面板还可以包括像素电极层15和公共电极层16。其中，像素电极层15位于第二金属层12与公共电极层16之间。且像素电极层15与公共电极层16之间设置有电泳膜17。像素电极层15的像素电极28接收数据信号，且公共电极层16的公共电极接收公共电压信号。在充电阶段，当像素电极28接收到数据信号，且公共电极接收到公共电压信号之后，像素电极28与公共电极之间可以形成电场。这样，在电场的作用下，电泳膜17中的电泳粒子发生移动，从而实现画面显示。

此外，为了使第一电容极板21和第二电容极板22在充电阶段可以存储电能，并在保持阶段可以将电能传输给像素电极28和公共电极，第一电容极板21可以接收数据信号，且与像素电极28电连接；而第二电容极板22则可以接收公共电压信号，且与公共电极电连接。

如图4所示，电泳显示面板还可以包括公共信号线29。公共信号线29可以用于向公共电极传输公共电压信号。为了进一步简化生产工艺，公共信号线29可以形成于第三金属层，以便于与第二电容极板22电连接。并且第二电容极板22与公共电极之间可以通过公共信号线29电连接。例如公共信号线29在显示区与第二电容极板22接触连接，同时公共信号线29在非显示区与公共电极通过过孔电连接。可以理解的是，这里的公共信号线29也可以沿第一方向延伸且沿第二方向排列，从而避免与数据线27的走线发生干涉，且使面板的整体走线更加规律和美观，提升显示效果。

进一步地，第一电容极板21与像素电极28也可以通过过孔电连接。其中，过孔设置于第一电容极板21向像素电极层的正投影与其中一个像素电极28的至少部分重叠区。如图4所示，双栅结构的薄膜晶体管的源极与数据线27连接，且该薄膜晶体管的漏极通过过孔20同时与第一电容极板21、像素电极28电连接。结合图6可知，薄膜晶体管的漏极252、第一电容极板21和像素电极28向基板10的正投影存在重叠区。且过孔20设置于三者之间的重叠区。

可以理解的是，为了减小过孔深度，降低生产工艺难度和生产不良率，作为示例，第二电容极板可以与像素电极电连接。而第一电容极板则可以与公共电极电连接。此时，公共信号线可以形成于第一金属层。且为了避免与扫描线的走线发生干涉，公共信号线可以沿第二方向延伸且沿第一方向排列。

由上述可知，电泳显示面板通常为全反射式显示结构，且第二金属层仅设置有遮光区23。所以在不影响遮光区功能的情况下，可以在第二金属层任意设置金属换线24。且像素电极28向第二金属层的正投影可以与至少一条金属换线24部分重叠。如图4所示，通过对第二金属层图形化，可以形成部分金属换线24，这样增加了第一电容极板21与第二电容极板22之间的电容量，也可以使面板的设计更加灵活性。为了进一步增加第一电容极板21与第二电容极板22之间的电容量，如图7所示，各金属换线24均可以形成在第二金属层。另外，在一些应用场景中，除了增加第一电容极板和第二电容极板的面积之外，还可以增加像素电极的面积，从而可以增加像素电极与公共电极之间的重合面积。这样一来，在充电阶段，像素电极与公共电极之间也可以形成并存储更多的电容量。

需要指出的是，如图5所示，当用于传输数据信号的金属换线24设置于第二金属层12时，考虑到第二金属层12紧邻像素电极层15，所以为了避免数据信号经金属换线24直接提供给像素电极，电泳显示面板还可以包括位于像素电极层15与第二金属层12之间的第一绝缘层18。这样，第一绝缘层18可以在两者之间起到相互阻隔绝缘的作用。且第一绝缘层18的厚度可以根据实际情况进行设置。

与此同时，为了使薄膜晶体管起到开关控制作用，如图6所示，电泳显示面板还可以包括位于第一金属层11与半导体层14之间的第二绝缘层19。这样，第二绝缘层19可以在栅极与沟道之间起到绝缘作用。需要注意的是，为了保证在栅极接收到栅极驱动信号后，薄膜晶体管可以导通，第二绝缘层19的厚度通常不会设置得很厚。也就是说，第二绝缘层19的厚度既可以起到绝缘作用，又不会影响薄膜晶体管的性能。

可选地，为了简化生产工艺，第一绝缘层18可以与第二绝缘层19具有相同厚度。且第一绝缘层18与第二绝缘层19可以采用相同材料制成，从而减少生产原材料的种类和生产工艺参数的调整等。另外，需要说明的是，当第二电容极板22与公共电极电连接后，第二电容极板22与像素电极28之间同样会产生电容。由于电容量与电容极板之间的距离有关，所以第一绝缘层18的厚度越小，可以使第二电容极板22与像素电极28之间的距离越小。这样可以有助于增加两者之间的电容量，进而提高像素电极所存储的电能。

可以理解的是，随着生产技术的不断发展，电泳显示面板中各膜层的厚度也在不断改变。作为示例，为了实现电泳显示面板的薄型化设计，第一绝缘层的厚度L可以满足：L≤350纳米。也就是说，随着生产技术的进步，电泳显示面板可以越做越薄。随之，第一绝缘层的厚度L也可以越来越来小。对于目前的生产技术来说，可以使第一绝缘层的厚度L满足：250纳米≤L≤350纳米。

此外，从图1中可以看出，当像素电极在第二方向的行数大于像素电极在第一方向的列数时，即便一条数据线与一条金属换线电连接，也会导致部分数据线不能进行换线。而本申请的上述各实施例中的电泳显示面板，通过将至少一条金属换线设置于第二金属层，可以使金属换线的数目不受像素电极的行数与列数的比例的限制，从而使各条数据线都可以与至少一条金属换线电连接，以传输数据信号。可以参见图8，其示出了本申请提供的电泳显示面板的一种走线示意图。

本实施例中的电泳显示面板包括8行×5列的像素电极阵列(图中未示出)。此时，为了实现画面显示，如图8所示，电泳显示面板可以包括至少5条沿第二方向延伸的扫描线26、至少8条沿第一方向延伸的数据线27以及至少8条沿第二方向延伸的金属换线24。其中，与前5条数据线27电连接的金属换线241-金属换线245可以形成于第一金属层，即与扫描线26同层设置。而与剩下3条数据线27电连接的金属换线246-金属换线248可以形成于第二金属层，即与遮光区同层设置。这样，无论电泳显示面板为横屏结构，还是竖屏结构，都能满足数据线的换线需求。而且将金属换线246-金属换线248设置于第二金属层，不会影响与第5列像素电极对应的电容极板的面积。

可选地，设置于第二金属层的金属换线向第一金属层的正投影可以与扫描线至少部分重叠。也就是说，图8中的金属换线246-金属换线248可以分别与其中一条扫描线26在显示区重叠。这样可以使走线更加规律和美观，提升显示效果。

本申请实施例还提供了一种制造方法，该制造方法可以用于制造上述各实施例所描述的电泳显示面板。参见图9，其示出了本申请提供的制造方法的一种实施例的流程图。该制造方法包括以下步骤：

步骤901，准备一基板。其中，该基板可以包括显示区和非显示区。这里的基板可以是外购(采购)的；也可以是自制的，例如从原材料开始经过一系列的工艺制作。

步骤902，在基板的显示区形成第一金属层，并对第一金属层进行处理，以形成第一电容极板。

步骤903，在第一金属层上形成第三金属层，并对第三金属层进行处理，以形成第二电容极板。这里的第二电容极板向第一金属层的正投影，应该与第一电容极板大部分重合。

步骤904，在第三金属层上形成第二金属层，对第二金属层进行处理，以形成多个遮光区和至少一条金属换线。其中，电泳显示面板可以包括多条金属换线，用于向数据线传输数据信号。

在本实施例的一些可选的实现方式中，电泳显示面板还可以包括像素电极层和第一绝缘层。此时，该制造方法还可以包括：在第二金属层上形成第一绝缘层，以使第一绝缘层覆盖第二金属层；在第一绝缘层上形成像素电极层，并对像素电极层进行处理，以形成各像素电极。

作为示例，利用本实施例的制造方法来制作上述图7实施例中的电泳显示面板的主要工艺过程可以如下：

1)在准备的基板对应于显示区的位置形成第一金属层。对第一金属层图形化，以形成第一电容极板、扫描线和薄膜晶体管的栅极。

2)形成覆盖第一金属层的绝缘层。这里的绝缘层即为上述的第二绝缘层。该绝缘层的厚度不宜过厚，否则会影响沟道中载流子在栅极驱动信号的作用下的运动，从而影响薄膜晶体管的性能。

3)在绝缘层上形成半导体层。对半导体层进行处理以形成薄膜晶体管的沟道。

4)形成覆盖半导体层的绝缘层。并在绝缘层对应于第一电容极板、沟道的位置分别形成过孔。

5)在步骤4)的绝缘层上形成第三金属层。对第三金属层图形化，以形成第二电容极板、数据线、公共信号线、薄膜晶体管的源极和漏极。其中，薄膜晶体管的源极和漏极分别通过过孔与沟道连接。且漏极通过过孔与第一电容极板连接。

6)形成覆盖第三金属层的绝缘层。并在绝缘层对应于数据线的位置形成过孔。

7)在步骤6)的绝缘层上形成第二金属层。对第二金属层图形化，以形成遮光区和金属换线。其中，金属换线通过过孔与数据线连接。

8)形成覆盖第二金属层的绝缘层。并在绝缘层对应于薄膜晶体管的漏极的位置形成过孔。这里的绝缘层即为上述第一绝缘层。为了降低对像素电极与第二电容极板之间的电容量的影响，该绝缘层的厚度同样不易过厚。例如该绝缘层的厚度可以与步骤2)中的绝缘层的厚度相同。再例如随着生产技术的不断改进，该绝缘层的厚度可以不大于350纳米。在一些生产工艺中，该绝缘层的厚度L还可以满足：250纳米≤L≤350纳米。

9)在步骤8)的绝缘层上形成像素电极层。并对像素电极层进行处理，以形成像素电极阵列。其中，各像素电极分别通过过孔与薄膜晶体管的漏极连接。

需要说明的是，制作图7实施例中的电泳显示面板的工艺过程还包括形成公共电极以及在公共电极与像素电极之间形成电泳膜等。这些工艺过程与现有制造工艺相同，此处不再赘述。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (12)

1.一种电泳显示面板，其特征在于，所述电泳显示面板包括：

基板，包括显示区和非显示区；

位于所述基板上的第一金属层，所述第一金属层形成有第一电容极板；

位于所述第一金属层上的第二金属层，所述第二金属层形成有多个遮光区；

位于所述第一金属层与所述第二金属层之间的第三金属层，所述第三金属层形成有第二电容极板；

多条沿第二方向延伸且沿第一方向排列的金属换线，用于向数据线传输数据信号，其中，各所述金属换线中的至少一条金属换线位于显示区，且所述至少一条金属换线中，存在至少一条形成于所述第二金属层的金属换线。

2.根据权利要求1所述的电泳显示面板，其特征在于，所述电泳显示面板包括薄膜晶体管、多条扫描线和多条数据线，用于向各像素电极提供数据信号；

所述薄膜晶体管包括栅极、源极、漏极和沟道，其中，所述沟道向所述第二金属层的正投影位于其中一个遮光区内；

所述栅极形成于所述第一金属层，所述源极和所述漏极形成于所述第三金属层，所述沟道形成于半导体层，其中，所述半导体层位于所述第一金属层与所述第三金属层之间；

所述多条扫描线形成于所述第一金属层，沿第二方向延伸且沿第一方向排列，用于向所述栅极提供栅极驱动信号；

所述多条数据线形成于所述第三金属层，沿第一方向延伸且沿第二方向排列，且所述数据线与至少一条金属换线电连接。

3.根据权利要求2所述的电泳显示面板，其特征在于，所述电泳显示面板包括像素电极层和公共电极层；

所述像素电极层位于所述第二金属层与所述公共电极层之间，且所述像素电极层与所述公共电极层之间设置有电泳膜；

所述像素电极层的像素电极接收数据信号，且所述公共电极层的公共电极接收公共电压信号。

4.根据权利要求3所述的电泳显示面板，其特征在于，所述第一电容极板与所述像素电极电连接，所述第二电容极板与所述公共电极电连接。

5.根据权利要求4所述的电泳显示面板，其特征在于，所述电泳显示面板包括公共信号线，用于向所述公共电极传输公共电压信号；

所述公共信号线形成于所述第三金属层，且所述第二电容极板与所述公共电极通过所述公共信号线电连接；

所述第一电容极板与所述像素电极通过过孔电连接，其中，所述过孔设置于所述第一电容极板向所述像素电极层的正投影与其中一个像素电极的至少部分重叠区。

6.根据权利要求3所述的电泳显示面板，其特征在于，所述像素电极向所述第二金属层的正投影与至少一条金属换线部分重叠。

7.根据权利要求3-6之一所述的电泳显示面板，其特征在于，所述电泳显示面板还包括第一绝缘层，所述第一绝缘层位于所述像素电极层与所述第二金属层之间。

8.根据权利要求7所述的电泳显示面板，其特征在于，所述电泳显示面板还包括第二绝缘层，所述第二绝缘层位于所述第一金属层与所述半导体层之间，其中，所述第二绝缘层与所述第一绝缘层具有相同厚度。

9.根据权利要求7所述的电泳显示面板，其特征在于，所述第一绝缘层的厚度L满足：L≤350纳米。

10.根据权利要求9所述的电泳显示面板，其特征在于，所述第一绝缘层的厚度L满足：250纳米≤L≤350纳米。

11.一种制造方法，其特征在于，所述制造方法用于制造如权利要求1-10之一所述的电泳显示面板，所述制造方法包括：

准备一基板，所述基板包括显示区和非显示区；

在所述基板的显示区形成第一金属层，并对所述第一金属层进行处理，以形成第一电容极板；

在所述第一金属层上形成第三金属层，并对所述第三金属层进行处理，以形成第二电容极板；

在所述第三金属层上形成第二金属层，对所述第二金属层进行处理，以形成多个遮光区和至少一条金属换线；

其中，所述电泳显示面板包括多条金属换线，用于向数据线传输数据信号。

12.根据权利要求11所述的制造方法，其特征在于，所述电泳显示面板包括像素电极层和第一绝缘层，所述制造方法还包括：

在所述第二金属层上形成所述第一绝缘层，以使所述第一绝缘层覆盖所述第二金属层；

在所述第一绝缘层上形成所述像素电极层，并对所述像素电极层进行处理，以形成各像素电极。

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