CN107182164A - 一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器 - Google Patents
一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107182164A CN107182164A CN201710501335.5A CN201710501335A CN107182164A CN 107182164 A CN107182164 A CN 107182164A CN 201710501335 A CN201710501335 A CN 201710501335A CN 107182164 A CN107182164 A CN 107182164A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electric discharge
- tube layer
- inner tube
- constraint
- cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 230000006698 induction Effects 0.000 title claims abstract description 22
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 22
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 45
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 17
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 claims abstract description 6
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 10
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 8
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 7
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 6
- 230000002045 lasting effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 2
- 102000010637 Aquaporins Human genes 0.000 claims 1
- 108010063290 Aquaporins Proteins 0.000 claims 1
- 108091006146 Channels Proteins 0.000 claims 1
- 239000003708 ampul Substances 0.000 abstract description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 abstract description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract description 4
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 abstract description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/28—Cooling arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/30—Plasma torches using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
本发明公开了一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，包括放电约束管外层、放电约束管内层、上紧固件、冷却水适配件、下紧固件、进气适配件和螺旋铜线圈，本发明放电约束管内层对放电区域进行约束，同时放电约束管内层上端向下开槽，使放电约束管除下端小部分区域外形成非封闭环状结构，避免形成法拉第笼对电磁场的屏蔽；薄壁的中空部分为冷却水通道，通过冷却水对放电约束管内层和附件的区域进行冷却，放电空间的部分***的高温气流通过槽口到外层石英管壁面时已被冷却，提高了放电约束管工作时的安全性、稳定性和长效性。
Description
技术领域
本发明涉及一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，属于高温等离子体技术领域。
背景技术
感应耦合热等离子体由于其频率高，又称射频感应耦合等离子体。感应耦合热等离子体具有如下特点：(1)温度高，等离子体的热量主要通过焦耳热产生，等离子体焰流的温度可以达到10000～3000K，是传统化学燃烧的5倍以上；(2)活性高，感应耦合等离子体重存在电子、离子、原子等多种粒子，对一些化学或物理变化提供了活性反应条件，加速了反应的进行；(3)气氛纯净可控，感应耦合等离子体主要依靠强烈的电磁耦合产生，不需要电极，因此不存在电极蒸发产生杂质的问题，产生的等离子体气氛纯净，且气氛可通过工作气体种类进行控制；(4)感应耦合等离子体体积较大，焰流速度低，温度分布均匀平坦。因此，感应耦合等离子体特别适用于难熔颗粒的加工(如球化、固气反应、超细粉制备等)以及对热环境气氛要求较高的深空探测器热防护材料的地面加热实验研究等。
高频感应耦合等离子体反应器是产生感应耦合热等离子体的设备，主要包括以下部分：放电约束管、产生等离子体的工作气体、射频电源和螺旋线圈。其原理是螺旋铜线圈缠绕在放电约束管上，螺旋线圈末端连接射频电源，当交变的射频电流通过螺旋线圈时，感应线圈内交变的电流产生变化的磁场，根据法拉第定律在放电管内变化的磁场又感应出电场，气体在变化的磁场作用下发生电离。电离的气体中引起电流并产生焦耳热，并且适当的控制电流和工作气体量可以形成稳定持续的高温等离子体流。因此，放电约束管的作用是提供密闭空间，约束反应器的工作气体，在其中形成高温等离子体焰流。
目前感应耦合等离子体反应器主要是采用单层石英管作为放电约束管，放电管的强度较低，放电管的安装、固定和密封难度较大，于此同时，放电管依靠放电管内壁附近的一层冷工作气气流进行冷却，这就对放电管内壁附件的气体量提出了较高的要求，降低了等离子体焰流的焓值和整套反应器运行的稳定性，金属材质的约束管易于实现安装、固定和密封，但由于封闭的金属结构对电磁感应存在屏蔽作用难以在感应耦合等离子体反应器中实现应用。
发明内容
本发明的技术解决问题是：为克服现有技术的不足，本发明提供一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，提高放电约束管和反应器的安全性和稳定性。
本发明的技术解决方案是：
一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，包括放电约束管外层、放电约束管内层、上紧固件、冷却水适配件、下紧固件、进气适配件和螺旋铜线圈，放电约束管外层、放电约束管内层的上端和下端分别通过上紧固件和下紧固件进行固定和配合，形成内外双层的放电约束管结构，放电约束管外层为石英筒状结构，与放电约束管内层配合并在周向上形成封闭空间；
上紧固件上端配合安装冷却水适配件，进气适配件置于冷却水适配件上，放电约束管内层为具有水冷通道的笼式结构，在其上端开槽，槽口沿周向均匀分布并从上端沿轴向向下端延伸，槽口下缘距放电约束管内层下端面保留一定距离，使放电约束管内层下端部分保持完整的环状结构，放电约束管内层薄壁的中空部分为冷却水通道，冷却水自上而下流动对放电约束管内层及附近的等离子体流进行冷却以保护放电约束管外层，
螺旋铜线圈缠绕在放电约束管外层***，螺旋铜线圈与放电约束管内层同轴，且布置在开有槽口区域，螺旋铜线线圈末端连接射频电源；
工作气体由进气适配件进入到放电约束管内层中，在感应区电离形成等离子体，而后经过下紧固件中心出气口喷出；
冷却水由冷却水适配件上的进水口进入冷却水适配件上的环形均水腔，而后均匀分配到约束管内层上的各个冷却水通道中，冷却水通过放电约束管内层后流到下紧固件中的集水腔中，并通过下紧固件上的出水口流出。
当交变的射频电流通过螺旋线圈时，感应线圈内交变的电流产生变化的磁场，气体在变化的磁场作用下发生电离，电离的气体中引起电流并产生焦耳热，通过对电流和工作气体量进行控制，形成稳定持续的高温等离子体流，在工作过程中，冷却水通过放电约束管内层中的冷却水通道对放电约束管和附近区域进行冷却，保护放电约束管内层和外层不被内部的高温气流烧损。
放电约束管内层的槽口数量为6～12个。
槽口下缘距放电约束管内层下端的距离为5～10mm。
槽口宽度为1～3mm，使磁场有效透入，又能有效减小放电约束管外层与放电约束管内层内部的高温等离子体气流的接触面积。
线圈最下端距离槽口下缘不小于10mm，线圈最上端位于整个槽口的1/3以下处。
上紧固件和下紧固件分别采用绝缘非金属材料和金属材料制成。
放电约束管内层为导热系数不小于300W/(m·K)的金属材质。
本发明的有益效果为：
(1)本发明放电约束管内层对放电区域进行约束，同时放电约束管内层上端向下开槽，使放电约束管除下端小部分区域外形成非封闭环状结构，避免形成法拉第笼对电磁场的屏蔽；薄壁的中空部分为冷却水通道，通过冷却水对放电约束管内层和附件的区域进行冷却，放电空间的部分***的高温气流通过槽口到外层石英管壁面时已被冷却，提高了放电约束管工作时的安全性、稳定性和长效性；
(2)本发明放电约束管主要通过内层冷却水通道的冷却水进行冷却，降低了对放电约束管内壁区域冷气量的要求，可适当提高反应器中心区域的工作气体量，感应耦合等离子体焰流的焓值有一定程度的提高；
(3)本发明放电约束管为双层结构，外层为石英管，保证放电空间的密闭性，内层为高导热性金属水冷笼式结构，提高了放电约束管整体的强度，便于安装、固定和密封。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明图1的A-A向剖视图；
图3为放电约束管内层的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对发明做进一步的详细描述。
一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，如图1、图2所示，包括放电约束管外层4、放电约束管内层5、上紧固件3、冷却水适配件2、下紧固件6、进气适配件1和螺旋铜线圈，放电约束管外层4、放电约束管内层5的上端和下端分别通过上紧固件3和下紧固件6进行固定和配合，形成内外双层的放电约束管结构，上紧固件3和下紧固件6分别采用绝缘非金属材料和金属材料制成，放电约束管外层4为石英筒状结构，与放电约束管内层5配合并在周向上形成封闭空间；
螺旋铜线圈缠绕在放电约束管外层4***，螺旋铜线圈与放电约束管内层5同轴，且布置在开有槽口区域，螺旋铜线线圈末端连接射频电源，螺旋铜线线圈布置在开有槽口区域以防止感应磁场被屏蔽；
上紧固件3上端配合安装冷却水适配件2，进气适配件1置于冷却水适配件2上，放电约束管内层5为具有水冷通道的笼式结构，如图3所示，在其上端开槽，槽口沿周向均匀分布并从上端沿轴向向下端延伸，槽口下缘距放电约束管内层5下端面保留一定距离，使放电约束管内层5下端部分保持完整的环状结构，放电约束管内层5薄壁的中空部分为冷却水通道，冷却水自上而下流动对放电约束管内层5及附近的等离子体流进行冷却以保护放电约束管外层4，放电约束管内层5为导热系数不小于300W/(m·K)的金属材质，放电约束管内层5的槽口数量为6～12个，槽口下缘距放电约束管内层5下端的距离为5～10mm，槽口宽度为1～3mm，使磁场有效透入，又能有效减小放电约束管外层4与放电约束管内层5内部的高温等离子体气流的接触面积，线圈最下端距离槽口下缘不小于10mm，线圈最上端位于整个槽口的1/3以下处。
工作气体由进气适配件1进入到放电约束管内层5中，在感应区电离形成等离子体，而后经过下紧固件6中心出气口喷出；
冷却水由冷却水适配件2上的进水口进入冷却水适配件2上的环形均水腔，而后均匀分配到约束管内层5上的各个冷却水通道中，冷却水通过放电约束管内层5后流到下紧固件6中的集水腔中，并通过下紧固件6上的出水口流出。
本发明放电约束管内层5与外层4石英管配合，该设计既实现了放电空间的密闭性，又实现了金属套筒结构对放电区域的约束，在此设计基础上，可以通过冷却水对放电约束管内层5及附件区域进行有效的冷却，在增强了放电约束管整体的强度的同时提高了放电约束管及整个反应器工作的安全性、稳定性和长效性，与此同时，该设计降低了对放电约束管内壁区域冷气量的要求，可适当提高反应器中心区域的工作气体量，感应耦合等离子体焰流的焓值有一定程度的提高。
本发明的工作原理是：螺旋铜线圈缠绕在放电约束管外层4***，螺旋铜线线圈末端连接射频电源，当交变的射频电流通过螺旋线圈时，感应线圈内交变的电流产生变化的磁场，气体在变化的磁场作用下发生电离，电离的气体中引起电流并产生焦耳热，通过对电流和工作气体量进行控制，形成稳定持续的高温等离子体流，在工作过程中，冷却水通过放电约束管内层5中的冷却水通道对放电约束管和附近区域进行冷却，保护放电约束管内层和外层不被内部的高温气流烧损。
本发明放电约束管内层对放电区域进行约束，同时放电约束管内层上端向下开槽，使放电约束管除下端小部分区域外形成非封闭环状结构，避免形成法拉第笼对电磁场的屏蔽；薄壁的中空部分为冷却水通道，通过冷却水对放电约束管内层和附件的区域进行冷却，放电空间的部分***的高温气流通过槽口到外层石英管壁面时已被冷却，提高了放电约束管工作时的安全性、稳定性和长效性。
本发明未公开技术属本领域技术人员公知常识。
Claims (8)
1.一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，其特征在于，包括放电约束管外层(4)、放电约束管内层(5)、上紧固件(3)、冷却水适配件(2)、下紧固件(6)、进气适配件(1)和螺旋铜线圈，放电约束管外层(4)、放电约束管内层(5)的上端和下端分别通过上紧固件(3)和下紧固件(6)进行固定和配合，形成内外双层的放电约束管结构，放电约束管外层(4)为石英筒状结构，与放电约束管内层(5)配合并在周向上形成封闭空间；
上紧固件(3)上端配合安装冷却水适配件(2)，进气适配件(1)置于冷却水适配件(2)上，放电约束管内层(5)为具有水冷通道的笼式结构，在其上端开槽，槽口沿周向均匀分布并从上端沿轴向向下端延伸，槽口下缘距放电约束管内层(5)下端面保留一定距离，使放电约束管内层(5)下端部分保持完整的环状结构，放电约束管内层(5)薄壁的中空部分为冷却水通道，冷却水自上而下流动对放电约束管内层(5)及附近的等离子体流进行冷却以保护放电约束管外层(4)，
螺旋铜线圈缠绕在放电约束管外层(4)***，螺旋铜线圈与放电约束管内层(5)同轴，且布置在开有槽口区域，螺旋铜线线圈末端连接射频电源；
工作气体由进气适配件(1)进入到放电约束管内层(5)中，在感应区电离形成等离子体，而后经过下紧固件(6)中心出气口喷出；
冷却水由冷却水适配件(2)上的进水口进入冷却水适配件(2)上的环形均水腔，而后均匀分配到约束管内层(5)上的各个冷却水通道中，冷却水通过放电约束管内层(5)后流到下紧固件(6)中的集水腔中，并通过下紧固件(6)上的出水口流出。
2.根据权利要求1所述的一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，其特征在于，当交变的射频电流通过螺旋线圈时，感应线圈内交变的电流产生变化的磁场，气体在变化的磁场作用下发生电离，电离的气体中引起电流并产生焦耳热，通过对电流和工作气体量进行控制，形成稳定持续的高温等离子体流，在工作过程中，冷却水通过放电约束管内层(5)中的冷却水通道对放电约束管和附近区域进行冷却，保护放电约束管内层和外层不被内部的高温气流烧损。
3.根据权利要求1所述的一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，其特征在于，放电约束管内层(5)的槽口数量为6～12个。
4.根据权利要求1所述的一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，其特征在于，槽口下缘距放电约束管内层(5)下端的距离为5～10mm。
5.根据权利要求1所述的一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，其特征在于，槽口宽度为1～3mm，使磁场有效透入，又能有效减小放电约束管外层(4)与放电约束管内层(5)内部的高温等离子体气流的接触面积。
6.根据权利要求1所述的一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，其特征在于，线圈最下端距离槽口下缘不小于10mm，线圈最上端位于整个槽口的1/3以下处。
7.根据权利要求1所述的一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，其特征在于，上紧固件(3)和下紧固件(6)分别采用绝缘非金属材料和金属材料制成。
8.根据权利要求1所述的一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器，其特征在于，放电约束管内层(5)为导热系数不小于300W/(m·K)的金属材质。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710501335.5A CN107182164B (zh) | 2017-06-27 | 2017-06-27 | 一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710501335.5A CN107182164B (zh) | 2017-06-27 | 2017-06-27 | 一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107182164A true CN107182164A (zh) | 2017-09-19 |
| CN107182164B CN107182164B (zh) | 2023-12-08 |
Family
ID=59844413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710501335.5A Active CN107182164B (zh) | 2017-06-27 | 2017-06-27 | 一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107182164B (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109041395A (zh) * | 2018-09-19 | 2018-12-18 | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 | 一种用于等离子体发生器的气冷装置和等离子体发生器 |
| CN109585032A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-04-05 | 大连民族大学 | 一种耐高温全钨面向等离子体反应器 |
| CN109883240A (zh) * | 2019-03-25 | 2019-06-14 | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 | 一种高温冷却器圆形截面壳体结构及其设计方法 |
| CN111479376A (zh) * | 2020-06-01 | 2020-07-31 | 深圳先进技术研究院 | 基于预电离点火装置的大气压射频热等离子体发生器 |
| CN112908496A (zh) * | 2019-11-19 | 2021-06-04 | 核工业西南物理研究院 | 一种适用于级联弧离子源的小尺寸环形冷却结构 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4431901A (en) * | 1982-07-02 | 1984-02-14 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Induction plasma tube |
| CN201316616Y (zh) * | 2008-11-20 | 2009-09-30 | 核工业西南物理研究院 | 带点火隧道的水冷射频等离子反应器 |
| CN104956774A (zh) * | 2012-12-27 | 2015-09-30 | 韩国基础科学支援研究院 | 电磁波-高频混性等离子体炬 |
| CN106679924A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-05-17 | 中国航天空气动力技术研究院 | 一种高频感应等离子加热风洞 |
| CN106817834A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-06-09 | 中国航天空气动力技术研究院 | 一种高频感应等离子发生器双水冷电感线圈 |
-
2017
- 2017-06-27 CN CN201710501335.5A patent/CN107182164B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4431901A (en) * | 1982-07-02 | 1984-02-14 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Induction plasma tube |
| CN201316616Y (zh) * | 2008-11-20 | 2009-09-30 | 核工业西南物理研究院 | 带点火隧道的水冷射频等离子反应器 |
| CN104956774A (zh) * | 2012-12-27 | 2015-09-30 | 韩国基础科学支援研究院 | 电磁波-高频混性等离子体炬 |
| CN106679924A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-05-17 | 中国航天空气动力技术研究院 | 一种高频感应等离子加热风洞 |
| CN106817834A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-06-09 | 中国航天空气动力技术研究院 | 一种高频感应等离子发生器双水冷电感线圈 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109041395A (zh) * | 2018-09-19 | 2018-12-18 | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 | 一种用于等离子体发生器的气冷装置和等离子体发生器 |
| CN109585032A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-04-05 | 大连民族大学 | 一种耐高温全钨面向等离子体反应器 |
| CN109883240A (zh) * | 2019-03-25 | 2019-06-14 | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 | 一种高温冷却器圆形截面壳体结构及其设计方法 |
| CN112908496A (zh) * | 2019-11-19 | 2021-06-04 | 核工业西南物理研究院 | 一种适用于级联弧离子源的小尺寸环形冷却结构 |
| CN111479376A (zh) * | 2020-06-01 | 2020-07-31 | 深圳先进技术研究院 | 基于预电离点火装置的大气压射频热等离子体发生器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN107182164B (zh) | 2023-12-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107182164A (zh) | 一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器 | |
| US10893600B2 (en) | High performance induction plasma torch | |
| CN206977778U (zh) | 一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器 | |
| CN104070172B (zh) | 一种球形铬粉的制备方法 | |
| US4431901A (en) | Induction plasma tube | |
| CN104867801B (zh) | 电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备 | |
| CN106679924B (zh) | 一种高频感应等离子加热风洞 | |
| KR101659389B1 (ko) | 배기 가스 처리 장치에 있어서의 자장에 의한 플라즈마의 제어 방법 및 그것을 이용한 배기 가스 처리 장치 | |
| CN104722764A (zh) | 循环冷却的金属粉体蒸发制取装置 | |
| KR20060113671A (ko) | 펄스형 아크 방전 및 인가된 자기장을 이용한 나노파우더합성 | |
| CN106660002B (zh) | 用于流化床反应器的感应加热器*** | |
| CN107018618A (zh) | 冷却管、电极容纳部和电极以及装置和电弧等离子喷枪 | |
| CN207993797U (zh) | 一种射频感应耦合等离子体中和器 | |
| CN105890359A (zh) | 高熔点活性金属粉末制备用感应熔炼冷坩埚*** | |
| TWI700462B (zh) | 輻射式燃燒器及處理一廢氣流之方法 | |
| US3407281A (en) | Plasma producing apparatus | |
| CN106817834A (zh) | 一种高频感应等离子发生器双水冷电感线圈 | |
| KR101721565B1 (ko) | 이중 주파수 전력 구동 유도결합 플라즈마 토치 및 이를 이용한 나노 입자 생성 장치 | |
| CN104540313B (zh) | 大气压中空基底电极等离子体射流发生装置 | |
| CN106817833A (zh) | 双旋子高频感应等离子发生器 | |
| KR20140113860A (ko) | 가열유닛 및 이를 포함한 환원로 | |
| CN206966635U (zh) | 用于高温金属粉体球化的高频等离子加热器 | |
| KR101156297B1 (ko) | 플라즈마 토치 전극의 주입관 구조 | |
| CN205834465U (zh) | 一种喷雾与干式两用等离子割炬 | |
| RU2440701C1 (ru) | Комбинированный плазмотрон |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| TA01 | Transfer of patent application right | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20210526 Address after: 618 Liangjiang Avenue, Yubei District, Chongqing Applicant after: Yunhang times (Chongqing) Technology Co.,Ltd. Address before: 17 Yungang West Road, Fengtai District, Beijing 100074 Applicant before: CHINA ACADEMY OF AEROSPACE AERODYNAMICS |
|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |