CN107146768B - 用于安放物品的装置和对准装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于安放物品的装置和对准装置。用于安放物品的装置包括支承板、沿着相互垂直的方向布置在支承板上的多个第一榫销和多个第二榫销、具有两个第一榫眼的两个第一支承模块、和具有两个第二榫眼的两个第二支承模块,两个第一支承模块能够通过所述第一榫销与所述第一榫眼之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板上,两个第二支承模块能够通过所述第二榫销与所述第二榫眼之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板上。根据本发明可以在采用尽可能少的支承模块的情况下限定更多不同尺寸的凹部,因而,可以显著地减少备件采购成本和备件管理成本,并且显著缩短停机时间、提高生产效率。

Description

用于安放物品的装置和对准装置
技术领域
本发明涉及用于安放具有不同规格的物品的装置,尤其涉及半导体芯片制造过程中用于调整芯片方位的对准装置上的用于安放芯片的装置、以及包括这种用于安放芯片的装置的对准装置。
背景技术
在半导体工业中,无论是在芯片的制造过程中还是芯片制造后的封装测试过程中,都需要利用抓取和安放单元将芯片从一个工位取走并且转移和放置在下一个工位,以便进行下一工序的加工或处理。例如,在芯片测试分选机中,就需要利用抓取和安放单元将芯片从加热工位取走并且转移和放置在测试工位、以及在测试完成之后将芯片从测试工位取走并且转移和放置在接收盘。在将芯片被抓取和安放在测试工位之前,芯片的方位需要被调整到与其在测试工位中的方位一致。例如,通过使位于对准装置上的芯片转动,使得取自托盘的芯片的第1针脚的方位与测试接口单元的第1针脚的方位对准。为此,对准装置通常包括旋转机构和安装在旋转机构上的用于安放芯片的装置。在旋转过程中,芯片必须在对准装置上可靠地保持在位。用于安放芯片的装置必须与特定规格的芯片尺寸相适应,才能确保芯片可靠地保持在位。
在现有的对准装置中,对应于特定规格的芯片,通常在用于安放芯片的装置的支承板上设置与这种特定规格的芯片的尺寸适配的安放槽。如果芯片的规格发生变化,必须更换具有不同尺寸的安放槽的支承板,以适配规格改变的芯片的尺寸。按照这种方式,需要准备多种规格的支承板,这不仅显著地增加了备件采购成本和备件管理成本,而且更换支承板需要耗费大量时间,导致停机时间显著延长,降低了生产效率。
因而,需要对现有的用于安放物品的装置进行改进。
发明内容
本发明的一个目的就是要提出一种改进的用于安放物品的装置,这种用于安放物品的装置不仅可以显著地减少备件采购成本和备件管理成本,而且可以显著缩短停机时间、提高生产效率。
为此,根据本发明的一方面,提供一种用于安放物品的装置,包括:
支承板,在所述支承板上具有垂直相交的两条轴线;
在所述支承板上沿着所述两条轴线中的一条轴线距离所述两条轴线的交点相等距离地朝所述一条轴线的两端布置有多个第一榫销,在所述交点每侧上的相邻第一榫销的中心之间的距离相等并且为第一距离;
在所述支承板上沿着所述两条轴线中的另一条轴线距离所述交点相等距离地朝所述另一条轴线两端布置有多个第二榫销,在所述交点每侧上的相邻第二榫销的中心之间的距离相等并且为第二距离;
分别具有两个第一榫眼的两个第一支承模块,所述第一支承模块具有底表面和顶表面、以及第一端和第二端,所述两个第一榫眼沿着从所述第一支承模块的所述第一端延伸到所述第一支承模块的所述第二端的直线形成在所述第一支承模块的所述底表面上、并且用于接收所述第一榫销,所述两个第一榫眼的中心之间的距离为第三距离,所述第三距离是所述第一距离的整数倍,所述两个第一榫眼到邻近的所述第一支承模块的端部的距离不同,沿着所述直线在所述第一支承模块的所述底表面上还形成有第一凹槽,所述第一榫眼与相邻第一凹槽之间的壁厚小于相邻第一榫销之间的间隙;
分别具有两个第二榫眼的两个第二支承模块,所述第二支承模块具有底表面和顶表面、以及第一端和第二端,所述两个第二榫眼沿着从所述第二支承模块的所述第一端延伸到所述第二支承模块的所述第二端的直线形成在所述第二支承模块的所述底表面上、并且用于接收所述第二榫销,所述两个第二榫眼的中心之间的距离为第四距离,所述第四距离是所述第二距离的整数倍,所述两个第二榫眼到邻近的所述第二支承模块的端部的距离不同,沿着所述直线在所述第二支承模块的所述底表面上还形成有第二凹槽,所述第二榫眼与相邻第二凹槽之间的壁厚小于相邻第二榫销之间的间隙;
其中,所述两个第一支承模块能够通过所述第一榫销与所述第一榫眼之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板上,所述两个第二支承模块能够通过所述第二榫销与所述第二榫眼之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板上。
优选地,沿着从所述第一支承模块的所述第一端延伸到所述第一支承模块的所述第二端的直线在所述第一支承模块的顶表面上形成有用于接收所述第一榫销的两个第三榫眼,所述两个第三榫眼的中心之间的距离也为第三距离,所述两个第三榫眼到邻近的所述第一支承模块的端部的距离不同、并且与所述两个第一榫眼到邻近的所述第一支承模块的端部的距离也不同,沿着所述直线在所述第一支承模块的顶表面上形成有第三凹槽,所述第三榫眼与相邻第三凹槽之间的壁厚小于相邻第一榫销之间的间隙;
沿着从所述第二支承模块的所述第一端延伸到所述第二支承模块的所述第二端的直线在所述第二支承模块的顶表面上形成有用于接收所述第二榫销的两个第四榫眼,所述两个第四榫眼的中心之间的距离也为第四距离,所述两个第四榫眼到邻近的所述第二支承模块的端部的距离不同、并且与所述两个第二榫眼到邻近的所述第二支承模块的端部的距离也不同,沿着所述直线在第二支承模块的顶表面上形成有第四凹槽,所述第四榫眼与相邻第四凹槽之间的壁厚小于相邻第二榫销之间的间隙;
其中,所述两个第一支承模块能够通过所述第一榫销与所述第三榫眼之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板上,所述两个第二支承模块能够通过所述第二榫销与所述第四榫眼之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板上。
优选地,所述的用于安放物品的装置还包括至少一对另外的第一支承模块,所述至少一对另外的第一支承模块与所述两个第一支承模块相同,除了所述至少一对另外的第一支承模块的底表面和顶表面上的榫眼到邻近的所述另外的第一支承模块的端部的距离与所述两个第一支承模块的底表面和顶表面上的榫眼到邻近的所述第一支承模块的端部的距离不同之外。
优选地,所述的用于安放物品的装置还包括至少一对另外的第二支承模块,所述至少一对另外的第二支承模块与所述两个第二支承模块相同,除了所述至少一对另外的第二支承模块的底表面和顶表面上的榫眼到邻近的所述另外的第二支承模块的端部的距离与所述两个第二支承模块的底表面和顶表面上的榫眼到邻近的所述第二支承模块的端部的距离不同之外。
优选地,在所述第一支承模块的所述两个第一榫眼之间的所述第一凹槽的两侧的部分上形成有从所述底表面到所述顶表面贯通的细长槽;以及在所述第二支承模块的所述两个第二榫眼之间的所述第二凹槽的两侧的部分上形成有从所述底表面到所述顶表面贯通的细长槽。
优选地,在所述第一支承模块的第一端和的第二端的外侧壁上以及在所述第二支承模块的第一端和的第二端的外侧壁上形成有用于引导物品的倾斜表面。
优选地,所述倾斜表面到邻近所述倾斜表面的相应榫眼的距离不同。
优选地,所述交点位于所述支承板的中心。
优选地,在所述支承板上形成有十字形突出部,所述第一榫销和所述第二榫销被设置在所述十字形突出部上,所述第一支承模块和所述第二支承模块分别形成有支腿,在所述支腿之间限定出用于接收所述十字形突出部的凹口。
优选地,在所述支承板上形成有十字形突出部,所述第一榫销和所述第二榫销被设置在所述十字形突出部上,所述第一支承模块和所述第二支承模块分别形成有支腿,在所述支腿之间限定出用于接收所述十字形突出部的凹口,使得所述第一支承模块和所述第二支承模块呈H形。
优选地,在所述支承板上没有设置所述第一榫销和所述第二榫销的部位形成多个均匀分布的接收孔,用于可取下地安放用于接收引导销的套筒。
优选地,所述的用于安放物品的装置是用于安放芯片的装置。
根据本发明的另一方面,提供一种对准装置,所述对准装置用于调整芯片的方位,所述对准装置包括:
旋转机构;以及
安装在所述旋转机构上的用于安放芯片的装置;
其中,所述用于安放芯片的装置是如上所述的用于安放物品的装置。
优选地,所述支承板在与安装所述第一支承模块和所述第二支承模块的一侧相反的另一侧上形成有凹腔,以便与形成在所述旋转机构上的凸出部相匹配。
根据本发明的用于安放物品的装置,通过相对于榫销调整支承模块的位置,四个支承模块可以限定适合用于安放不同规格尺寸的物品的凹部。而且,由于榫眼到邻近的端部的距离不同,即使支承模块上的榫眼与同一对榫销配合,但通过使支承模块转动例如180°的方位之后实现榫接,可以限定适合用于安放另外不同规格尺寸的物品的凹部。因此,可以在采用尽可能少的支承模块的情况下限定更多不同尺寸的凹部。
附图说明
图1是根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置的示意性立体图;
图2是根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置的支承板的示意性立体图;
图3是根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置的支承模块的示意性立体图;
图4是根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置的支承模块的示意性仰视图;
图5是根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置的支承模块的示意性俯视图;以及
图6是根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置的支承板的另一侧示意性立体图。
具体实施方式
下面结合示例详细描述本发明的各优选实施例。本领域技术人员应理解的是,这些实施例是示例性的,它并不意味着对本发明形成任何限制。
图1是根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置的示意性立体图,图2是根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置的支承板的示意性立体图。如图1和2所示,根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置1包括支承板3。支承板3大体为圆形,但是根据需要,支承板3也可以形成为长方形、正方形、椭圆形或其它任何合适的形状。在支承板3上具有两条垂直相交的轴线XX和YY,轴线XX和YY的交点优选地位于支承板3的中心O。沿着轴线XX距离中心O相等距离地朝轴线XX的两端布置有多个第一榫销5,在中心O每侧上的相邻第一榫销5的中心之间的距离相等并且为第一距离。类似地,沿着轴线YY距离中心O相等距离地朝轴线YY的两端布置有多个第二榫销7,在中心O每侧上的相邻第二榫销7的中心之间的距离相等并且为第二距离。
如图1所示,根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置1还包括具有两个第一榫眼的两个第一支承模块9和具有两个第二榫眼的两个第二支承模块11。两个第一支承模块9通过第一榫销5与第一榫眼之间的榫接、并且距离中心O等距离地安装到支承板3上。类似地,两个第二支承模块11通过第二榫销7与第二榫眼之间的榫接、并且距离中心O等距离地安装到支承板3上。第一支承模块9和支承模块11可以具有完全相同的结构,也可以在某些尺寸方面略微不同。
以下参照图3和图4来详细描述第一支承模块9的结构。图3是根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置的支承模块的示意性立体图,图4是根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置的支承模块的示意性仰视图。如图3和4所示,第一支承模块9具有底表面13和顶表面15、以及第一端17和第二端19。沿着从第一端17延伸到第二端19的直线在第一支承模块9的底表面13上形成有用于接收第一榫销5的两个第一榫眼21,两个第一榫眼21的中心之间的距离为第三距离。第三距离是相邻第一榫销5的中心之间的距离(即,第一距离)的整数倍,例如,假定第一距离为2mm,则第三距离如图4所示为8mm。两个第一榫眼21到邻近的端部的距离不同,例如,邻近第一端17的榫眼21到第一端17的距离为1.875mm,而邻近第二端19的榫眼21到第二端19的距离为3.625mm。为了保证两个第一榫销5与两个第一榫眼21形成榫接时其它第一榫销5不妨碍该两个第一榫销5***两个第一榫眼21中,沿着从第一端17延伸到第二端19的直线在第一支承模块9的底表面13上还形成有第一凹槽23,第一榫眼21与相邻第一凹槽23之间的壁厚小于相邻第一榫销之间的间隙。在两个第一榫眼21之间的第一凹槽23的两侧的部分上还可以形成有从底表面13到顶表面15贯通的细长槽25,以便当第一支承模块9安装到支承板3上之后通过穿过细长槽25拧入支承板3的螺钉27将第一支承模块9可靠地固定在支承板3上。
类似地,第二支承模块11也具有底表面和顶表面、以及第一端和第二端。沿着从第一端延伸到第二端的直线在第二支承模块11的底表面上形成有用于接收第二榫销7的两个第二榫眼,两个第二榫眼的中心之间的距离为第四距离。第四距离是相邻第二榫销的中心之间的距离(即,第二距离)的整数倍。两个第二榫眼到邻近的端部的距离不同。为了保证两个第二榫销7与两个第二榫眼形成榫接时其它第二榫销不妨碍该两个第二榫销***两个第二榫眼中,沿着从第一端延伸到第二端的直线在第二支承模块11的底表面上还形成有第二凹槽,第二榫眼与相邻第二凹槽之间的壁厚小于相邻第二榫销之间的间隙。在两个第二榫眼之间的第二凹槽的两侧的部分上还可以形成有从底表面到顶表面贯通的细长槽,以便当第二支承模块11安装到支承板3上之后通过穿过细长槽拧入支承板3的螺钉27将第二支承模块11可靠地固定在支承板3上。
优选地,在每个支承模块的第一端和第二端的外侧壁上形成倾斜表面29,以用于引导物品被安放在正确的位置。作为一种示例,物品也可以被安放在相对设置的支承模块的倾斜表面29上,即,倾斜表面29本身也可以作为支承物品的支承表面。在每个支承模块的第一端和的第二端附近的倾斜表面到邻近倾斜表面的榫眼的距离不同。例如,在图4所示的第一支承模块9的示意性仰视图中,在第一支承模块9的第一端17附近并且位于底表面侧的倾斜表面29到邻近该倾斜表面29的第一榫眼21的距离为1mm,而在第一支承模块的第二端19附近并且位于底表面侧的倾斜表面29到邻近该倾斜表面29的第一榫眼21的距离为2.75mm;在图5所示的第一支承模块9的示意性俯视图中,在第一支承模块9的第一端17附近并且位于顶表面侧的倾斜表面29到邻近该倾斜表面29的第三榫眼31的距离为2.50mm,而在第一支承模块的第二端19附近并且位于顶表面侧的倾斜表面29到邻近该倾斜表面29的第三榫眼31的距离为1.25mm。
当两个第一支承模块9通过第一榫销5与第一榫眼之间的榫接、并且距离中心O等距离地安装到支承板3上、以及两个第二支承模块11通过第二榫销7与第二榫眼之间的榫接、并且距离中心O等距离地安装到支承板3上时,两个第一支承模块9和两个第二支承模块11一起限定大体长方形或正方形的凹部,以用于接收需要被安放的物品。通过相对于榫销来调整支承模块的位置,四个支承模块可以限定适合用于安放不同规格尺寸的物品的凹部。而且,由于榫眼到邻近的端部的距离不同,即使支承模块上的榫眼与同一对榫销配合,但通过使支承模块以转动180°的方位之后实现榫接,可以限定适合用于安放另外不同规格尺寸的物品的凹部。因此,可以在采用尽可能少的支承模块的情况下限定更多不同尺寸的凹部。
图5是根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置的支承模块的示意性俯视图。优选地,如图3和5所示,沿着从第一端17延伸到第二端19的直线在第一支承模块9的顶表面15上也形成有用于接收第一榫销5的两个第三榫眼31,两个第三榫眼31的中心之间的距离也为第三距离。第三距离是相邻第一榫销5的中心之间的距离(即,第一距离)的整数倍,例如,假定第一距离为2mm,则第三距离如图5所示为8mm。两个第三榫眼31到邻近的端部的距离不同,例如,邻近第一端17的榫眼31到第一端17的距离为3.375mm,而邻近第二端19的榫眼31到第二端19的距离为2.125mm。为了保证两个第一榫销5与两个第三榫眼31形成榫接时其它第一榫销5不妨碍该两个第一榫销5***两个第三榫眼31中,沿着从第一端17延伸到第二端19的直线在第一支承模块9的顶表面13上还形成有第三凹槽33,第三榫眼31与相邻第三凹槽33之间的壁厚小于相邻第一榫销之间的间隙。
类似地,沿着从第一端延伸到第二端的直线在第二支承模块11的顶表面上也形成有用于接收第二榫销7的两个第四榫眼,两个第四榫眼的中心之间的距离也为第四距离。第四距离是相邻第二榫销7的中心之间的距离(即,第二距离)的整数倍。两个第四榫眼到邻近的端部的距离不同。为了保证两个第二榫销与两个第四榫眼形成榫接时其它第二榫销7不妨碍该两个第二榫销7***两个第四榫眼中,沿着从第一端延伸到第二端的直线在第二支承模块的顶表面上还形成有第四凹槽,第四榫眼与相邻第四凹槽之间的壁厚小于相邻第二榫销之间的间隙。
由于分别形成在底表面和顶表面上的榫眼到邻近的端部的距离不同,即使支承模块的底表面和顶表面上的榫眼与同一对榫销配合,但通过使支承模块变换方位之后实现榫接,使得沿着同一轴线XX或YY可以限定四组不同的尺寸,进而限定适合用于安放不同规格尺寸的物品的凹部。因此,可以在采用尽可能少的支承模块的情况下限定更多不同尺寸的凹部。
作为示例,在芯片制造过程中,芯片规格尺寸通常以0.5mm的级差进行变化。在调节支承模块位置时,为了保持芯片位于用于安放芯片的装置的中心,沿着同一轴线XX或YY上的两个支承模块必须相同地被调整。在假定榫销中心之间的距离为2mm的情况下,如果同一轴线XX或YY上的两个支承模块都被调整2mm时,它们之间的间隙变化是4mm。通过为用于安放芯片的装置设置两种规格的第一支承模块和/或两种规格的第二支承模块,每种第一支承模块和每种第二支承模块的区别仅在于在底面和顶面上的榫眼到邻近的端部的距离各不相同,就可以限定适合于规格尺寸以0.5mm为级差变化的芯片的多种不同尺寸的凹部。当然,也可以根据需要为用于安放芯片的装置设置更多种规格的第一支承模块和/或更多种规格的第二支承模块。
为了有助于支承模块快速地与榫销对齐并且安装在位,可以在支承板3上形成十字形突出部35,第一榫销5和第二榫销7被设置在十字形突出部35上。对应地,第一支承模块9和第二支承模块11分别形成有支腿37,在支腿37之间限定出用于接收十字形突出部35的凹口39。优选地,第一支承模块9和第二支承模块11大体呈H形。在第一支承模块9和第二支承模块11的支腿37上还可以形成有孔41,以便当限定的用于安放物品的凹部尺寸过大时通过定位销和螺钉在第一支承模块9和第二支承模块11上拼接延伸部(未示出)。
正如本领域所知的是,为了使被抓取的芯片被准确地放置在对准装置上,例如抓取和安放单元上的引导销需要***用于安放芯片的装置上的套筒43中。由于芯片规格的变化、以及为了适应不同抓取和安放单元上的引导销,在支承板3上没有设置第一榫销5和第二榫销7的部位形成多个均匀分布的接收孔45,用于安放套筒43。带有接收孔的套筒43可以接收诸如抓取和安放单元上的引导销。因此,在芯片规格发生变化或者为了适应不同抓取和安放单元上的引导销的位置时,只需要将套筒43拔出、并且重新***与芯片规格相适应的或者与不同抓取和安放单元上的引导销相适应的接收孔45中。
图6是根据本发明优选实施例的用于安放物品的装置的支承板的另一侧示意性立体图。如图6所示,支承板3在与安装支承模块一侧相反的另一侧上形成有凹腔47,以便与形成在对准装置的旋转机构上的凸出部相匹配,从而可以快速准确地将用于安放芯片的装置安放在旋转机构上。支承板3在与安装支承模块一侧相反的另一侧上还可以形成有用于安放磁铁的安放孔49,以便使用于安放芯片的装置与旋转机构形成磁性联接,从而实现用于安放芯片的装置的快速拆装。
以上结合具体实施例对本发明进行了详细描述。显然,以上描述以及在附图中示出的实施例均应被理解为是示例性的,而不构成对本发明的限制。例如,在优选实施例中,本发明被描述为在半导体制造工业中用于调整芯片方位的对准装置上的用于安放芯片的装置,但应理解的是,本发明适用于安放多种规格或尺寸的任何物品的装置。对于本领域技术人员而言,可以在不脱离本发明的精神的情况下对其进行各种变型或修改,这些变型或修改均不脱离本发明的范围。

Claims (15)

1.一种用于安放物品的装置(1),包括:
支承板(3),在所述支承板(3)上具有垂直相交的两条轴线(XX,YY);
在所述支承板(3)上沿着所述两条轴线中的一条轴线(XX)距离所述两条轴线的交点相等距离地朝所述一条轴线的两端布置有多个第一榫销(5),在所述交点每侧上的相邻第一榫销(5)的中心之间的距离相等并且为第一距离;
在所述支承板(3)上沿着所述两条轴线中的另一条轴线(YY)距离所述交点相等距离地朝所述另一条轴线两端布置有多个第二榫销(7),在所述交点每侧上的相邻第二榫销(7)的中心之间的距离相等并且为第二距离;
分别具有两个第一榫眼(21)的两个第一支承模块(9),所述第一支承模块(9)具有底表面(13)和顶表面(15)、以及第一端(17)和第二端(19),所述两个第一榫眼(21)沿着从所述第一支承模块(9)的所述第一端(17)延伸到所述第一支承模块(9)的所述第二端(19)的直线形成在所述第一支承模块(9)的所述底表面(13)上、并且用于接收所述第一榫销(5),所述两个第一榫眼(21)的中心之间的距离为第三距离,所述第三距离是所述第一距离的整数倍,所述两个第一榫眼(21)到邻近的所述第一支承模块的端部的距离不同,沿着所述直线在所述第一支承模块(9)的所述底表面(13)上还形成有第一凹槽(23),所述第一榫眼(21)与相邻第一凹槽(23)之间的壁厚小于相邻第一榫销之间的间隙;
分别具有两个第二榫眼的两个第二支承模块(11),所述第二支承模块(11)具有底表面和顶表面、以及第一端和第二端,所述两个第二榫眼沿着从所述第二支承模块(11)的所述第一端延伸到所述第二支承模块(11)的所述第二端的直线形成在所述第二支承模块(11)的所述底表面上、并且用于接收所述第二榫销(7),所述两个第二榫眼的中心之间的距离为第四距离,所述第四距离是所述第二距离的整数倍,所述两个第二榫眼到邻近的所述第二支承模块的端部的距离不同,沿着所述直线在所述第二支承模块(11)的所述底表面上还形成有第二凹槽,所述第二榫眼与相邻第二凹槽之间的壁厚小于相邻第二榫销之间的间隙;
其中,所述两个第一支承模块(9)能够通过所述第一榫销(5)与所述第一榫眼(21)之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板(3)上,所述两个第二支承模块(11)能够通过所述第二榫销(7)与所述第二榫眼之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板上。
2.根据权利要求1所述的用于安放物品的装置(1),其特征在于:
沿着从所述第一支承模块(9)的所述第一端(17)延伸到所述第一支承模块(9)的所述第二端(19)的直线在所述第一支承模块(9)的顶表面(15)上形成有用于接收所述第一榫销(5)的两个第三榫眼(31),所述两个第三榫眼(31)的中心之间的距离也为第三距离,所述两个第三榫眼(31)到邻近的所述第一支承模块的端部的距离不同、并且与所述两个第一榫眼(21)到邻近的所述第一支承模块的端部的距离也不同,沿着所述直线在所述第一支承模块(9)的顶表面(13)上形成有第三凹槽(33),所述第三榫眼(31)与相邻第三凹槽(23)之间的壁厚小于相邻第一榫销(7)之间的间隙;
沿着从所述第二支承模块(11)的所述第一端延伸到所述第二支承模块(11)的所述第二端的直线在所述第二支承模块(11)的顶表面上形成有用于接收所述第二榫销(7)的两个第四榫眼,所述两个第四榫眼的中心之间的距离也为第四距离,所述两个第四榫眼到邻近的所述第二支承模块的端部的距离不同、并且与所述两个第二榫眼到邻近的所述第二支承模块的端部的距离也不同,沿着所述直线在第二支承模块的顶表面上形成有第四凹槽,所述第四榫眼与相邻第四凹槽之间的壁厚小于相邻第二榫销之间的间隙;
其中,所述两个第一支承模块(9)能够通过所述第一榫销(5)与所述第三榫眼(31)之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板(3)上,所述两个第二支承模块(11)能够通过所述第二榫销(7)与所述第四榫眼之间的榫接并且距离所述交点等距离地安装到所述支承板上。
3.根据权利要求2所述的用于安放物品的装置(1),其特征在于,所述的用于安放物品的装置(1)还包括至少一对另外的第一支承模块(9),所述至少一对另外的第一支承模块(9)与所述两个第一支承模块(9)相同,除了所述至少一对另外的第一支承模块(9)的底表面和顶表面上的榫眼到邻近的所述另外的第一支承模块的端部的距离与所述两个第一支承模块(9)的底表面和顶表面上的榫眼到邻近的所述第一支承模块的端部的距离不同之外。
4.根据权利要求2所述的用于安放物品的装置(1),其特征在于,所述的用于安放物品的装置(1)还包括至少一对另外的第二支承模块(11),所述至少一对另外的第二支承模块(11)与所述两个第二支承模块(11)相同,除了所述至少一对另外的第二支承模块(11)的底表面和顶表面上的榫眼到邻近的所述另外的第二支承模块的端部的距离与所述两个第二支承模块(11)的底表面和顶表面上的榫眼到邻近的所述第二支承模块的端部的距离不同之外。
5.根据权利要求1或2所述的用于安放物品的装置(1),其特征在于,所述第一支承模块(9)和所述第二支承模块(11)相同。
6.根据权利要求1或2所述的用于安放物品的装置(1),其特征在于,在所述第一支承模块(9)的所述两个第一榫眼(21)之间的所述第一凹槽(23)的两侧的部分上形成有从所述底表面(13)到所述顶表面(15)贯通的细长槽(25);以及
在所述第二支承模块(11)的所述两个第二榫眼之间的所述第二凹槽的两侧的部分上形成有从所述底表面到所述顶表面贯通的细长槽。
7.根据权利要求1或2所述的用于安放物品的装置(1),其特征在于,在所述第一支承模块(9)的第一端和第二端的外侧壁上以及在所述第二支承模块(11)的第一端和第二端的外侧壁上形成有用于引导物品的倾斜表面(29)。
8.根据权利要求7所述的用于安放物品的装置(1),其特征在于,所述倾斜表面(29)到邻近所述倾斜表面(29)的相应榫眼的距离不同。
9.根据权利要求1或2所述的用于安放物品的装置(1),其特征在于,所述交点位于所述支承板(3)的中心(O)。
10.根据权利要求1所述的用于安放物品的装置(1),其特征在于,在所述支承板(3)上形成有十字形突出部(35),所述第一榫销(5)和所述第二榫销(7)被设置在所述十字形突出部(35)上,所述第一支承模块(9)和所述第二支承模块(11)分别形成有支腿(37),在所述支腿(37)之间限定出用于接收所述十字形突出部(35)的凹口(39)。
11.根据权利要求2所述的用于安放物品的装置(1),其特征在于,在所述支承板(3)上形成有十字形突出部(35),所述第一榫销(5)和所述第二榫销(7)被设置在所述十字形突出部(35)上,所述第一支承模块(9)和所述第二支承模块(11)分别形成有支腿(37),在所述支腿(37)之间限定出用于接收所述十字形突出部(35)的凹口(39),使得所述第一支承模块(9)和所述第二支承模块(11)呈H形。
12.根据权利要求1或2所述的用于安放物品的装置(1),其特征在于,在所述支承板(3)上没有设置所述第一榫销(5)和所述第二榫销(7)的部位形成多个均匀分布的接收孔(45),用于可取下地安放用于接收引导销的套筒(43)。
13.根据权利要求1或2所述的用于安放物品的装置(1),其特征在于,所述的用于安放物品的装置(1)是用于安放芯片的装置。
14.一种对准装置,所述对准装置用于调整芯片的方位,所述对准装置包括:
旋转机构;以及
安装在所述旋转机构上的用于安放芯片的装置;
其中,所述用于安放芯片的装置是根据权利要求1-13任一所述的用于安放物品的装置(1)。
15.根据权利要求14所述的对准装置,其特征在于,所述支承板(3)在与安装所述第一支承模块和所述第二支承模块的一侧相反的另一侧上形成有凹腔(47),以便与形成在所述旋转机构上的凸出部相匹配。
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