CN107068526B - 一种用于微挠性零件表面形貌分析的夹持装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于微挠性零件表面形貌分析的夹持装置，包括外框(1)、台体(2)、盖板(3)和紧固螺钉(4)，其中，台体(2)嵌套在外框(1)内，外框(1)和台体(2)的厚度相同，两者嵌套安装后，两侧结合部位形成可以放置微挠性零件的沉槽，通过紧固螺钉(4)将盖板(3)固定在台体(2)上，从而夹持微挠性零件，将外框(1)从台体(2)上取下，所述微挠性零件的中部关键部位露出。

Description

一种用于微挠性零件表面形貌分析的夹持装置
技术领域
本发明属于微细零件微观形貌分析领域，特别涉及一种用于微挠性零件表面形貌分析的夹持装置。
背景技术
微挠性零件的表面微观形貌质量决定其使用性能，其形貌观测主要利用扫描电子显微镜进行。微挠性零件的在扫描电子显微镜中的固定方式直接影响影响观测的效率和质量。若固定不当，微挠性零件则容易在分析之前即发生变形，影响观察分析的结果。
目前微挠性零件的固定是利用导电双面胶带粘接于扫描电镜载物台之上，缺点是固定的质量和效率低，微挠性零件的中部关键部位易被胶带及载物台遮挡，影响形貌分析的质量和观测角度一致性，同时双面胶对零件表面易产生腐蚀，且零件从载物台上取下时易变形。
发明内容
本发明的目的：针对现有固定方式的不足，设计制作一种用于微挠性零件的夹持装置，提高微挠性零件的观测分析效率和质量，并避免零件在观测过程中损坏。
本发明的技术方案是：一种用于微挠性零件表面形貌分析的夹持装置，包括外框1、台体2、盖板3和紧固螺钉4，其中，台体2嵌套在外框1内，外框1和台体2的厚度相同，两者嵌套安装后，两侧结合部位形成可以放置微挠性零件的沉槽，通过紧固螺钉4将盖板3固定在台体2上，从而夹持微挠性零件，将外框1从台体2上取下，所述微挠性零件的中部关键部位露出。
所述台体2和盖板3选用纯铜板加工。
本发明的优点和有益效果：
与现有技术相比，本发明夹持装置可实现对微挠性零件的无损伤夹持与拆卸，一次可夹持多个微挠性零件，且持角度一致，具有较高的夹持固定效率。选用的夹持装置材料导电性能良好，可提高微挠性零件在扫面电子显微镜中的成像质量，有利于对比不同零件微观形貌之间的差异，具有较大的实际应用价值。
附图说明
图1为本发明用于微挠性零件表面形貌分析的夹持装置中外框1的主视图。
图2为本发明夹持装置的外框1沿中垂线的剖视图；
图3为本发明夹持装置的台体2的主视图；
图4为本发明夹持装置的台体2沿中垂线的剖视图；
图5为本发明夹持装置的盖板3的主视图；
图6为本发明夹持装置的盖板3沿中垂线的剖视图；
图7为本发明夹持装置的安装示意图；
图8为图7中夹持装置沿中垂线的剖视图；
图9为图7中夹持装置的A-A剖视图；
图10为本发明夹持装置去掉外框1的使用示意图；
图11为图10中夹持装置沿中垂线的剖视图；
图12为为图10中夹持装置的A-A剖视图。
其中，1-外框、2-台体、3-盖板、4-紧固螺钉、5-微挠性零件。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本发明做进一步的详细说明。
图7～图9是本发明用于微挠性零件表面形貌分析的夹持装置的结构示意图。该钻削装置包括外框1、台体2、盖板3和紧固螺钉4。
图1和图2分别是外框1的主视图和剖视图，图3和图4分别是台体2的主视图和剖视图，图5和图6分别是盖板3的主视图和剖视图。该台体2可嵌入外框中，两者的厚度一致，嵌入后，外框1和台体2结合部位可形成与零件外形轮廓相同的沉槽，外框1和台体2上沉槽的深度相同，均小于微挠性零件5的厚度，将微挠性零件5放置在沉槽中，用紧固螺钉4将盖板3固定在台体上，微挠性零件5即被台体2和盖板3夹紧，最后取下外框1，微挠性零件5一角被夹紧，其余部位悬空，如图10～图12所示。台体2和盖板3中心位置均设有通孔，可用螺钉将整个夹持装置固定在扫描电子显微镜的载物台上进行形貌分析。

Claims (2)

1.一种用于微挠性零件表面形貌分析的夹持装置，其特征是，包括外框(1)、台体(2)、盖板(3)和紧固螺钉(4)，其中，台体(2)嵌套在外框(1)内，外框(1)和台体(2)的厚度相同，两者嵌套安装后，两侧结合部位形成可以放置微挠性零件的沉槽，通过紧固螺钉(4)将盖板(3)固定在台体(2)上，从而夹持微挠性零件，将外框(1)从台体(2)上取下，所述微挠性零件的中部关键部位露出。
2.根据权利要求1所述的一种用于微挠性零件表面形貌分析的夹持装置，其特征是，台体(2)和盖板(3)选用纯铜板加工。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100239761B1 (ko) * 1997-05-06 2000-01-15 윤종용 포커스드 이온 빔(fib) 장비의 웨이퍼 홀더 구조
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