CN107063112A - 一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法 - Google Patents
一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107063112A CN107063112A CN201710203339.5A CN201710203339A CN107063112A CN 107063112 A CN107063112 A CN 107063112A CN 201710203339 A CN201710203339 A CN 201710203339A CN 107063112 A CN107063112 A CN 107063112A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- defect layer
- measuring method
- surface defect
- depth measuring
- layer depth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/22—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring depth
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明属于光学零件缺陷层检测技术,具体涉及一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法。所述玻璃孔表面缺陷层深度测量方法包括具有孔结构的试件制备、孔表面的微量腐蚀、缺陷层的精密检测,所述具有孔结构的试件设置两块带有角度的楔形零件,所述孔表面微量腐蚀采用HF腐蚀,所述缺陷层的精密检测应用KEYENCE激光共聚焦显微镜在1500X下进行观测。本发明一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法应用金刚石钻头在玻璃中打孔通过光胶面时光胶面与孔***接处无二次缺陷的原理,通过光胶面孔口的微量化学腐蚀将孔表面损伤层显现出来,然后通过KEYENCE激光共聚焦显微镜观测将损伤层深度测量出来。
Description
技术领域
本发明属于光学零件缺陷层检测技术,具体涉及一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法。
背景技术
激光陀螺是一种精密的激光角速率传感器,腔体作为其核心部件,其加工质量制约着激光陀螺性能的提升。腔体放电回路毛细孔缺陷层是否完全去除影响腔体寿命的可靠性,目前玻璃平面缺陷层的测量研究方法较多,孔表面缺陷层的测量方法较少,有一种角度抛光法可以进行测量,但是该方法要求对加工后的孔口进行精密研磨抛光,工作量大而且带来孔口的二次破坏,造成测量不准确。
发明内容
本发明的目的是:为了解决现有技术激光陀螺玻璃零件孔表面缺陷层难于测量,测量数据不真实的缺点。
本发明的技术方案是:一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法,其将两块楔形零件的角度面光学抛光后达到光胶要求之后将两角度面光胶在一起,并打孔得到贯通的孔结构,然后采用液位上升的方法对孔结构表面进行微量腐蚀,并利用显微镜对缺陷层进行测量。
所述孔结构3轴线与角度面成30度角并贯穿角度面2。
将具有孔结构的楔形零件1以角度面2向下放置在存放HF酸4的容器口并保持平行,在容器中添加HF酸4以致其液位上升至角度面2接触,从而对孔结构3表面进行微量腐蚀。
所述缺陷层测量在激光共聚焦显微镜1500X下对表面缺陷7进行观测后应用设备自带分析测量软件对表面缺陷7进行测量。
本发明的优点是:本发明玻璃孔表面缺陷层深度测量方法利用角度面抛光好的角度块光胶在一起,打孔后光胶面与孔***接处对孔表面缺陷层没有二次损伤,从而消除了角度面抛光方法中再次精密研磨抛光角度面的要求,在角度面微量腐蚀后通过激光共聚焦显微镜可以直接观测到微损伤形貌及测量其尺寸。该方法简单、实用、测量精度高。
附图说明
图1是本发明玻璃孔表面缺陷层深度测量方法中角度块光胶后打孔试件的模型图;
图2是本发明玻璃孔表面缺陷层深度测量方法中化学微量腐蚀方法的模型图;
图3是本发明玻璃孔表面缺陷层深度测量方法的缺陷层观测图;
图4是本发明玻璃孔表面缺陷层深度测量方法的缺陷层测量模型图;
其中,1-楔形零件、2-角度面、3-孔结构、4-HF酸、5-试件表面、6-孔面、7-表面缺陷。
具体实施方式
下面通过具体实施方式对本发明作进一步的详细说明:
请同时参阅图1、图2、图3和图4,其中,图1是本发明玻璃孔表面缺陷层深度测量方法中角度块光胶后打孔试件的模型图;图2是本发明玻璃孔表面缺陷层深度测量方法中化学微量腐蚀方法的模型图;图3是本发明玻璃孔表面缺陷层深度测量方法的缺陷层观测图;图4是本发明玻璃孔表面缺陷层深度测量方法的缺陷层测量模型图。
所述玻璃孔表面缺陷层深度测量方法包括具有孔结构的试件制备、孔表面的微量腐蚀、缺陷层的精密检测三部分。本发明将两块楔形零件的角度面光学抛光后达到光胶要求,之后将两角度面光胶在一起,并进行打孔得到贯通的孔结构。其中,所述孔结构轴线与角度面成30度角并贯穿角度面;所述孔表面采用液位上升的方法进行微量腐蚀;所述缺陷层测量在KEYENCE激光共聚焦显微镜在1500X下进行观测后应用设备自带分析测量软件直接测量。具体过程如下:
步骤1:试件制备
将两块角度为30°楔形零件1的角度面2进行光学抛光后达到光胶要求,之后将两角度面2光胶在一起,在数控机床上应用金刚石钻头在光胶好的试件上打孔,其中孔结构轴线与角度面成30度角并贯穿角度面。
步骤2:孔表面微量腐蚀
将具有孔结构的楔形零件1以角度面2向下放置在存放HF酸4的容器口并保持平行,在容器中添加HF酸4以致其液位上升至角度面2接触,以达到对孔结构表面进行微量腐蚀的目的。
步骤3:缺陷层的精密检测
将缺陷层测量在KEYENCE激光共聚焦显微镜1500X下对楔形零件1的角度面2进行观测,可以清晰地看到孔表面缺陷7的生长方式,应用显微镜自带分析测量软件直接测量出表面缺陷7的尺寸。
本发明玻璃孔表面缺陷层深度测量方法利用玻璃光胶之间的范德华力,应用金刚石打孔后光胶面之间孔口无二次损伤的原理,通过HF酸4液位上升对孔结构表面进行微量腐蚀,在KEYENCE激光共聚焦显微镜1500X下可以直接观测孔表面损伤同时可以对表面损伤进行直接测量。本发明填补了玻璃孔结构表面损伤快速精密检测的技术空白,试验方法简单、检测精度高,能有效的开展激光陀螺光学零件孔结构要素表面的为损伤检测,为后续化学抛光去除微损伤提供了可靠的理论数据支持。
Claims (4)
1.一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法,其特征在于:将两块楔形零件的角度面光学抛光后达到光胶要求之后将两角度面光胶在一起,并打孔得到贯通的孔结构,然后采用液位上升的方法对孔结构表面进行微量腐蚀,并利用显微镜对缺陷层进行测量。
2.根据权利要求1所述的玻璃孔表面缺陷层深度测量方法,其特征在于:所述孔结构[3]轴线与角度面成30度角并贯穿角度面[2]。
3.根据权利要求2所述的玻璃孔表面缺陷层深度测量方法,其特征在于:将具有孔结构的楔形零件[1]以角度面[2]向下放置在存放HF酸[4]的容器口并保持平行,在容器中添加HF酸[4]以致其液位上升至角度面[2]接触,从而对孔结构[3]表面进行微量腐蚀。
4.根据权利要求3所述的玻璃孔表面缺陷层深度测量方法,其特征在于:所述缺陷层测量在激光共聚焦显微镜1500X下对表面缺陷[7]进行观测后应用设备自带分析测量软件对表面缺陷[7]进行测量。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710203339.5A CN107063112B (zh) | 2017-03-30 | 2017-03-30 | 一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710203339.5A CN107063112B (zh) | 2017-03-30 | 2017-03-30 | 一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107063112A true CN107063112A (zh) | 2017-08-18 |
CN107063112B CN107063112B (zh) | 2019-01-01 |
Family
ID=59602452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710203339.5A Active CN107063112B (zh) | 2017-03-30 | 2017-03-30 | 一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107063112B (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109632828A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-04-16 | 彩虹显示器件股份有限公司 | 一种平板玻璃缺陷复检***及复检方法 |
CN114295731A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-08 | 杭州电子科技大学 | 一种基于激光激励纵波测量亚表面缺陷深度的方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1233006A1 (ru) * | 1984-12-06 | 1986-05-23 | Физико-механический институт им.Г.В.Карпенко | Способ испытани образцов на в зкость разрушени в коррозионной среде |
CN101403707A (zh) * | 2008-11-18 | 2009-04-08 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 用分子着色剂检测玻璃微裂纹的方法 |
CN101819163A (zh) * | 2010-06-03 | 2010-09-01 | 成都精密光学工程研究中心 | 光学元件亚表面缺陷的检测装置及其方法 |
CN102110625A (zh) * | 2009-12-24 | 2011-06-29 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种针孔类生长缺陷的检测方法 |
JP2013029462A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Chiba Univ | 欠陥計測方法 |
CN105447851A (zh) * | 2015-11-12 | 2016-03-30 | 刘新辉 | 一种玻璃面板的音孔缺陷检测方法及*** |
CN105717137A (zh) * | 2016-01-27 | 2016-06-29 | 中国建筑材料科学研究总院 | 石英玻璃微缺陷检测方法 |
-
2017
- 2017-03-30 CN CN201710203339.5A patent/CN107063112B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1233006A1 (ru) * | 1984-12-06 | 1986-05-23 | Физико-механический институт им.Г.В.Карпенко | Способ испытани образцов на в зкость разрушени в коррозионной среде |
CN101403707A (zh) * | 2008-11-18 | 2009-04-08 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 用分子着色剂检测玻璃微裂纹的方法 |
CN102110625A (zh) * | 2009-12-24 | 2011-06-29 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种针孔类生长缺陷的检测方法 |
CN101819163A (zh) * | 2010-06-03 | 2010-09-01 | 成都精密光学工程研究中心 | 光学元件亚表面缺陷的检测装置及其方法 |
JP2013029462A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Chiba Univ | 欠陥計測方法 |
CN105447851A (zh) * | 2015-11-12 | 2016-03-30 | 刘新辉 | 一种玻璃面板的音孔缺陷检测方法及*** |
CN105717137A (zh) * | 2016-01-27 | 2016-06-29 | 中国建筑材料科学研究总院 | 石英玻璃微缺陷检测方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
关鄂等: "激光打孔工艺缺陷的检测", 《实验力学》 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109632828A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-04-16 | 彩虹显示器件股份有限公司 | 一种平板玻璃缺陷复检***及复检方法 |
CN109632828B (zh) * | 2018-10-29 | 2021-11-09 | 彩虹显示器件股份有限公司 | 一种平板玻璃缺陷复检***及复检方法 |
CN114295731A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-08 | 杭州电子科技大学 | 一种基于激光激励纵波测量亚表面缺陷深度的方法 |
CN114295731B (zh) * | 2021-12-28 | 2023-02-21 | 杭州电子科技大学 | 一种基于激光激励纵波测量亚表面缺陷深度的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107063112B (zh) | 2019-01-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101410338B1 (ko) | 콘크리트구조물의 비파괴시험용 반발경도측정을 위한 측점표시장치 | |
CN103792151B (zh) | 脆性材料动态拉伸裂纹扩展速度的测量装置及测量方法 | |
CN105717137B (zh) | 石英玻璃微缺陷检测方法 | |
CN105571461A (zh) | 一种精密锥孔精度测量方法 | |
CN104596845A (zh) | 一种金属焊接结构的真实应力应变曲线的测量方法 | |
CN108535174A (zh) | 基于化学腐蚀的光学玻璃亚表面损伤深度测量方法 | |
US5792941A (en) | Measurement of surface tension and viscosity by open capillary techniques | |
CN207717524U (zh) | 一种混凝土抗折试验机 | |
CN107063112B (zh) | 一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法 | |
CN104061853A (zh) | 一种光学材料亚表面损伤层深度及形貌测量方法 | |
CN205209415U (zh) | 一种精密锥孔精度测量装置 | |
CN103512816A (zh) | 一种循环加载过程中岩样损伤的实时测量方法 | |
CN106123803A (zh) | 一种岩板不均匀酸蚀参数评价方法 | |
CN105334141A (zh) | 一种硅片亲水性检测平台 | |
CN105115407A (zh) | 便携式多功能平面度检测装置及其使用方法 | |
CN107063180B (zh) | 便携式岩土工程双轴测斜仪 | |
CN114812327B (zh) | 一种测量混凝土构件表面不规则破坏面最深度的量尺 | |
CN106404535A (zh) | 用于岩石iii型断裂韧度测试的试件组件及测试方法 | |
CN204438992U (zh) | 一种高精度垂直度的精密测量装置 | |
KR20140114518A (ko) | 원통형 기계부품 외경 측정장치 | |
CN203479248U (zh) | 平面度测量仪 | |
CN205374231U (zh) | 一种硅片亲水性检测平台 | |
CN204666056U (zh) | 刀口形深度千分尺 | |
CN203965293U (zh) | 岩石滴定试验用试验台 | |
CN100538253C (zh) | 单晶棒v型槽槽深的测量方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |