CN106989693B - 一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法 - Google Patents

一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106989693B
CN106989693B CN201710332743.2A CN201710332743A CN106989693B CN 106989693 B CN106989693 B CN 106989693B CN 201710332743 A CN201710332743 A CN 201710332743A CN 106989693 B CN106989693 B CN 106989693B
Authority
CN
China
Prior art keywords
small hole
mirror
ellipsoidal mirror
axis
height
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201710332743.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106989693A (zh
Inventor
王方
康民强
陈良明
王德恩
张崑
董一方
黄醒
周丽丹
邓颖
胡东霞
粟敬钦
郑奎兴
朱启华
郑万国
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Laser Fusion Research Center China Academy of Engineering Physics
Original Assignee
Laser Fusion Research Center China Academy of Engineering Physics
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Laser Fusion Research Center China Academy of Engineering Physics filed Critical Laser Fusion Research Center China Academy of Engineering Physics
Priority to CN201710332743.2A priority Critical patent/CN106989693B/zh
Publication of CN106989693A publication Critical patent/CN106989693A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106989693B publication Critical patent/CN106989693B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明涉及一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法，属于光学检测设备技术领域，所述检测装置依次包括干涉仪、聚焦透镜、拔高镜、第一小孔板、第二小孔板、离轴椭球镜、补偿透镜和全反镜，所述干涉仪用于输出激光束，聚焦透镜与干涉仪同光轴设置，拔高镜包括平行设置的第一反射镜和第二反射镜，第一小孔板和第二小孔板位于干涉仪光轴上且结构相同，离轴椭球镜的短焦点与聚焦透镜的焦点重合，经所述离轴椭球镜出射的反射光束与补偿透镜的光轴重合，所述全反镜与反射光束垂直放置，本发明具有结构紧凑、成本低、简单易操作、检测精度高、适用范围广的特点。

Description

一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法
技术领域
本发明属于光学检测设备技术领域，具体地说涉及一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法。
背景技术
非球面光学元件是一种非常重要的光学元件，它可以获得球面光学元件所无可比拟的成像质量和光学设计效果。离轴椭球镜作为非球面镜，由于其几何轴和光学轴不重合，其旋转不对称性导致在加工及测量中存在一定难度，因此，非球面的加工、检验是困扰其使用的一个重要因素，其中，面形是衡量光学元件质量的一个重要指标，严重影响光束质量。因此，为保证离轴椭球镜的加工质量，对其表面面形的测量非常重要，如何为非球面的加工提供准确而又可靠的面形数据对光学加工是至关重要的。
发明内容
针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种离轴椭球镜面形检测装置，依次包括：
干涉仪，用于输出激光束；
聚焦透镜，其与干涉仪同光轴设置，其焦点处设有小孔；
拔高镜，其包括平行设置的第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜位于干涉仪的光轴上，且第一反射镜与干涉仪的光轴呈45°，所述第二反射镜位于第一反射镜的正上方；
位于干涉仪光轴上且结构相同的第一小孔板和第二小孔板，所述第一小孔板上设有高度不同的第一小孔和第二小孔，所述第一小孔板和第二小孔板平行设置，所述第一小孔的高度与激光束的中心高度相同；
离轴椭球镜，其包括短焦点和长焦点，所述短焦点与聚焦透镜的焦点重合，所述离轴椭球镜的光轴与聚焦透镜的光轴重合，所述离轴椭球镜的中心高度与第二小孔的高度相同；
以及补偿透镜和全反镜，经所述离轴椭球镜出射的反射光束与补偿透镜的光轴重合，所述全反镜与反射光束垂直放置。
进一步，所述激光束的光束口径为d，其中心高度为l，所述聚焦透镜的焦长为f1，其通光口径为D1，且D1＞d。
进一步，所述离轴椭球镜的通光口径为D2，中心高度为L，反射角为α，短焦长为f2，长焦长为F，且D2＞d，所述离轴椭球镜的中心与小孔的水平距离为S，且S＝f2-(L-l)。
进一步，所述补偿透镜为负透镜，其焦长为f3，且f3＝F。
进一步，所述第一反射镜和第二反射镜的高度差为h，且h＝L-l。
进一步，所述第一小孔的高度为l，所述第二小孔的高度为L。
进一步，所述小孔的孔径为0.5mm～2mm。
另，本发明还提供一种离轴椭球镜面形检测装置的检测方法，包括如下步骤：
S1：放置干涉仪和聚焦透镜，所述干涉仪输出的激光束经过聚焦透镜后聚焦，将小孔置于聚焦透镜的焦点处；
S2：移除聚焦透镜，激光束经过小孔后变为小光束，将第一小孔板和第二小孔板推入小光束的光路中，使得所述小光束均通过第一小孔板和第二小孔板上的第一小孔；
S3：放置第一反射镜和第二反射镜，调节第二反射镜的高度和偏转角度，使得所述小光束均通过第一小孔板和第二小孔板上的第二小孔；
S4：放置离轴椭球镜，并使得其中心与所述小光束重合，调整离轴椭球镜的偏转角度，使得反射光束与入射光束夹角为α，且反射光束与入射光束的中心高度相同；
S5：放置补偿透镜和全反镜，并移除小孔、第一小孔板和第二小孔板；
S6：将聚焦透镜复位，反射光束在全反镜处被反射回原光路，最终入射至干涉仪，得到干涉图样，完成对离轴椭球镜面形检测。
进一步，所述激光束为平行光束。
本发明的有益效果是：
采用常用光学元件对离轴椭球镜面形进行检测，结构紧凑，成本低，简单易操作，采用干涉仪获取干涉图样提高检测精度，同时，采用聚焦透镜可适用于不同口径的离轴椭球镜的面形检测，适用范围广，另外，采用拔高镜可适用于不同中心高度的离轴椭球镜的面形检测，灵活度高。
附图说明
图1是本发明的整体结构俯视图；
图2是本发明整体光路示意图；
图3是本发明的整体结构前视图；
图4是推入第一小孔板和第二小孔板后的调试光路示意图；
图5是放置第一反射镜和第二反射镜后的调试光路示意图。
附图中：1-干涉仪、2-聚焦透镜、3-拔高镜、31-第一反射镜、32-第二反射镜、4-离轴椭球镜、5-补偿透镜、6-全反射、7-小孔、8-第一小孔板、81-第一小孔、82-第二小孔、9-第二小孔板。
具体实施方式
为了使本领域的人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合本发明的附图，对本发明的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施例中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本发明创造。
实施例一：
如图1-图5所示，一种离轴椭球镜面形检测装置，依次包括干涉仪1、聚焦透镜2、拔高镜3、第一小孔板8、第二小孔板9、离轴椭球镜4、补偿透镜5和全反镜6，其中，所述聚焦透镜2、拔高镜3、补偿透镜5、全反镜6的面形均优于1/8倍波长。所述干涉仪1用于输出激光束，所述激光束为平行光束，其光束口径为d，其中心高度为l，所述聚焦透镜2与干涉仪1同光轴设置，其焦点处设有小孔7，所述小孔7的孔径为0.5mm～2mm，聚焦透镜2用于对激光束进行聚焦，促使检测装置可适用于不同口径的离轴椭球镜4的面形检测。所述聚焦透镜2的焦长为f1，其通光口径为D1，且D1>d。
所述拔高镜3包括平行设置的第一反射镜31和第二反射镜32，所述第一反射镜31位于干涉仪1的光轴上，且第一反射镜31与干涉仪1的光轴呈45°，所述第二反射镜32位于第一反射镜31的正上方，也就是说，第二反射镜32与水平方向的夹角为45°。
所述第一小孔板8和第二小孔板9均位于干涉仪1光轴上，且两者结构相同。所述第一小孔板8、第二小孔板9上设有高度不同的第一小孔81和第二小孔82，所述第一小孔板8和第二小孔板9平行设置，所述第一小孔81的高度与激光束的中心高度相同，也就是说，所述第一小孔81的高度为l。
所述离轴椭球镜4包括短焦点和长焦点，所述短焦点与聚焦透镜2的焦点重合，所述离轴椭球镜4的光轴与聚焦透镜2的光轴重合，所述离轴椭球镜4的通光口径为D2，中心高度为L，反射角为α，短焦长为f2，长焦长为F，且D2>d，所述离轴椭球镜4的中心与小孔7的水平距离为S，且S＝f2-(L-l)，所述离轴椭球镜4的中心高度与第二小孔82的高度相同，也就是说，所述第二小孔82的高度为L。经所述离轴椭球镜4出射的反射光束与补偿透镜5的光轴重合，补偿透镜5为负透镜，其焦长为f3，且f3＝F，所述全反镜6与反射光束垂直放置。
实施例二：
本实施例与实施例一相同的部分不再赘述，本实施例提供了一种离轴椭球镜面形检测装置的检测方法，包括如下步骤：
S1：放置干涉仪1和聚焦透镜2，所述干涉仪1输出的激光束经过聚焦透镜2后聚焦，将小孔7置于聚焦透镜2的焦点处；
S2：如图4所示，移除聚焦透镜2，激光束经过小孔7后变为小光束，将第一小孔板8和第二小孔板9推入小光束的光路中，使得所述小光束均通过第一小孔板8和第二小孔板9上的第一小孔81，实现小光束的准直；
S3：如图5所示，放置第一反射镜31和第二反射镜32，调节第二反射镜32的高度和偏转角度，所述第一反射镜31和第二反射镜32的高度差为h，且h＝L-l，使得所述小光束均通过第一小孔板8和第二小孔板9上的第二小孔82，改变小光束的光路并实现再次准直；
S4：放置离轴椭球镜4，并使得其中心与所述小光束重合，调整离轴椭球镜4的偏转角度，使得反射光束与入射光束夹角为α，且反射光束与入射光束的中心高度相同；
S5：放置补偿透镜5和全反镜6，并移除小孔7、第一小孔板8和第二小孔板9；
S6：将聚焦透镜2复位，反射光束在全反镜6处被反射回原光路，依次经过补偿透镜5、离轴椭球镜4、第二反射镜32、第一反射镜31、聚焦透镜2，最终入射至干涉仪1，得到干涉图样，完成对离轴椭球镜4面形检测。
采用常用光学元件对离轴椭球镜4面形进行检测，结构紧凑，成本低，简单易操作，采用干涉仪1获取干涉图样提高检测精度，同时，采用聚焦透镜2可适用于不同口径的离轴椭球镜的面形检测，适用范围广，另外，采用拔高镜3可适用于不同中心高度的离轴椭球镜4的面形检测，灵活度高。此外，为了能够便捷的调试光路，所述聚焦透镜2、小孔7、第一小孔板8和第二小孔板9分别置于光学平台上，以实现推入光路和移除光路操作。
本实施例中，激光束的光束口径d为80mm，其中心高度l为50mm，聚焦透镜2的焦长f1为300mm，其通光口径D1为100mm，离轴椭球镜4的通光口径D2为200mm，中心高度L为150mm，反射角α为23°，短焦长f2为800mm，长焦长F为314m，补偿透镜5的焦长f3为-314m，小孔7的孔径为0.8mm。
以上已将本发明做一详细说明，以上所述，仅为本发明之较佳实施例而已，当不能限定本发明实施范围，即凡依本申请范围所作均等变化与修饰，皆应仍属本发明涵盖范围内。

Claims (8)

1.一种离轴椭球镜面形检测装置的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1：放置干涉仪和聚焦透镜，所述干涉仪输出的激光束经过聚焦透镜后聚焦，将小孔置于聚焦透镜的焦点处；
S2：移除聚焦透镜，激光束经过小孔后变为小光束，将第一小孔板和第二小孔板推入小光束的光路中，第一小孔板和第二小孔板的结构相同，所述第一小孔板上设有高度不同的第一小孔和第二小孔，所述第一小孔板和第二小孔板平行设置，所述第一小孔的高度与激光束的中心高度相同，所述小光束均通过第一小孔板和第二小孔板上的第一小孔；
S3：放置第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜位于干涉仪的光轴上，且第一反射镜与干涉仪的光轴呈45°，所述第二反射镜位于第一反射镜的正上方，调节第二反射镜的高度和偏转角度，使得所述小光束均通过第一小孔板和第二小孔板上的第二小孔；
S4：放置离轴椭球镜，离轴椭球镜包括短焦点和长焦点，所述短焦点与聚焦透镜的焦点重合，所述离轴椭球镜的光轴与聚焦透镜的光轴重合，所述离轴椭球镜的中心高度与第二小孔的高度相同，离轴椭球镜中心与所述小光束重合，调整离轴椭球镜的偏转角度，使得反射光束与入射光束夹角为α，且反射光束与入射光束的中心高度相同；
S5：放置补偿透镜和全反镜，并移除小孔、第一小孔板和第二小孔板，经所述离轴椭球镜出射的反射光束与补偿透镜的光轴重合，所述全反镜与反射光束垂直放置；
S6：将聚焦透镜复位，反射光束在全反镜处被反射回原光路，最终入射至干涉仪，得到干涉图样，完成对离轴椭球镜面形检测。
2.根据权利要求1所述的离轴椭球镜面形检测装置的检测方法，其特征在于，所述激光束的光束口径为d，其中心高度为l，所述聚焦透镜的焦长为f1，其通光口径为D1，且D1＞d。
3.根据权利要求2所述的离轴椭球镜面形检测装置的检测方法，其特征在于，所述离轴椭球镜的通光口径为D2，中心高度为L，反射角为α，短焦长为f2，长焦长为F，且D2＞d，所述离轴椭球镜的中心与小孔的水平距离为S，且S＝f2-(L-l)。
4.根据权利要求3所述的离轴椭球镜面形检测装置的检测方法，其特征在于，所述补偿透镜为负透镜，其焦长为f3，且f3＝F。
5.根据权利要求4所述的离轴椭球镜面形检测装置的检测方法，其特征在于，所述第一反射镜和第二反射镜的高度差为h，且h＝L-l。
6.根据权利要求3-5任一所述的离轴椭球镜面形检测装置的检测方法，其特征在于，所述第一小孔的高度为l，所述第二小孔的高度为L。
7.根据权利要求6所述的离轴椭球镜面形检测装置的检测方法，其特征在于，所述小孔的孔径为0.5mm～2mm。
8.根据权利要求7所述的离轴椭球镜面形检测装置的检测方法，其特征在于，所述激光束为平行光束。
CN201710332743.2A 2017-05-12 2017-05-12 一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法 Active CN106989693B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710332743.2A CN106989693B (zh) 2017-05-12 2017-05-12 一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710332743.2A CN106989693B (zh) 2017-05-12 2017-05-12 一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106989693A CN106989693A (zh) 2017-07-28
CN106989693B true CN106989693B (zh) 2022-10-21

Family

ID=59418650

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710332743.2A Active CN106989693B (zh) 2017-05-12 2017-05-12 一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106989693B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108426886B (zh) * 2018-06-15 2020-05-05 中国科学技术大学 一种循环肿瘤细胞的检测识别方法和***
CN109633856B (zh) * 2018-12-25 2020-11-13 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种欧浮纳展宽器凹、凸面反射镜共轴的调试方法
CN114589318B (zh) * 2022-03-14 2023-09-15 苏州科技大学 一种离轴椭球反射子镜的加工方法

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5004346A (en) * 1988-10-27 1991-04-02 Carl-Zeiss-Stiftung Method of examining an optical component
SU1712776A1 (ru) * 1989-11-09 1992-02-15 Научно-Исследовательский Институт Приборостроения Способ контрол формы вогнутых эллиптических поверхностей
US5929992A (en) * 1998-08-11 1999-07-27 Raytheon Company Compact interferometric test system for ellipses
JP2000097620A (ja) * 1998-09-22 2000-04-07 Nikon Corp 干渉計
CN102155926A (zh) * 2011-03-09 2011-08-17 浙江大学 一种非球面顶点球曲率半径的测量***及方法
CN102564340A (zh) * 2011-12-09 2012-07-11 中国科学院西安光学精密机械研究所 大口径平面镜面形检测装置
CN103335607A (zh) * 2013-06-28 2013-10-02 中国科学院西安光学精密机械研究所 大口径金属离轴椭球镜或抛物镜面形检验装置及检验方法
CN103335613A (zh) * 2013-07-18 2013-10-02 中国科学院光电技术研究所 一种大口径非球面主镜检测装置与方法
CN104121867A (zh) * 2014-08-06 2014-10-29 哈尔滨理工大学 基于液晶空间光调制器非球面镜计算全息干涉检测方法
CN104359424A (zh) * 2014-10-09 2015-02-18 无锡中科光电技术有限公司 一种椭球镜面形检测装置及方法
CN104714297A (zh) * 2013-12-11 2015-06-17 清华大学 自由曲面反射式扫描***
CN205482829U (zh) * 2016-03-17 2016-08-17 哈尔滨理工大学 一种浅度非球面动态干涉检测装置
CN106643556A (zh) * 2017-01-17 2017-05-10 哈尔滨工业大学 一种椭球反射镜面形检测装置和方法
CN206724907U (zh) * 2017-05-12 2017-12-08 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种离轴椭球镜面形检测装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6312373B1 (en) * 1998-09-22 2001-11-06 Nikon Corporation Method of manufacturing an optical system

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5004346A (en) * 1988-10-27 1991-04-02 Carl-Zeiss-Stiftung Method of examining an optical component
SU1712776A1 (ru) * 1989-11-09 1992-02-15 Научно-Исследовательский Институт Приборостроения Способ контрол формы вогнутых эллиптических поверхностей
US5929992A (en) * 1998-08-11 1999-07-27 Raytheon Company Compact interferometric test system for ellipses
JP2000097620A (ja) * 1998-09-22 2000-04-07 Nikon Corp 干渉計
CN102155926A (zh) * 2011-03-09 2011-08-17 浙江大学 一种非球面顶点球曲率半径的测量***及方法
CN102564340A (zh) * 2011-12-09 2012-07-11 中国科学院西安光学精密机械研究所 大口径平面镜面形检测装置
CN103335607A (zh) * 2013-06-28 2013-10-02 中国科学院西安光学精密机械研究所 大口径金属离轴椭球镜或抛物镜面形检验装置及检验方法
CN103335613A (zh) * 2013-07-18 2013-10-02 中国科学院光电技术研究所 一种大口径非球面主镜检测装置与方法
CN104714297A (zh) * 2013-12-11 2015-06-17 清华大学 自由曲面反射式扫描***
CN104121867A (zh) * 2014-08-06 2014-10-29 哈尔滨理工大学 基于液晶空间光调制器非球面镜计算全息干涉检测方法
CN104359424A (zh) * 2014-10-09 2015-02-18 无锡中科光电技术有限公司 一种椭球镜面形检测装置及方法
CN205482829U (zh) * 2016-03-17 2016-08-17 哈尔滨理工大学 一种浅度非球面动态干涉检测装置
CN106643556A (zh) * 2017-01-17 2017-05-10 哈尔滨工业大学 一种椭球反射镜面形检测装置和方法
CN206724907U (zh) * 2017-05-12 2017-12-08 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种离轴椭球镜面形检测装置

Non-Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Convex Aspherical Surface Testing Using Catadioptric Partial Compensating System;Jingxian Wang et al.;《Journal of Physics: Conference Series》;20161231;第1-7页 *
基于点源阵列的自由曲面非零位干涉检测***设计方法;沈华等;《光学学报》;20131210(第12期);第242-252页 *
大口径批量化离轴非球面镜的检测光路设计;徐秋云等;《光学学报》;20151010(第10期);1012005 第1-6页 *
大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验;薛栋林等;《光学精密工程》;20081215(第12期);第2491-2496页 *
小口径非球面检测的方法;朱敏等;《光电技术应用》;20060215(第01期);第4-6页 *
离轴二次非球面反射镜几何参数的高精度测量;黄阳等;《光学与光电技术》;20160210(第01期);第56-59页 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN106989693A (zh) 2017-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103267743B (zh) 一种折射率测量装置及方法
CN106989693B (zh) 一种离轴椭球镜面形检测装置及其检测方法
CN101210806B (zh) 基于辅助光源的激光发射轴与机械基准面法线沿方位轴方向角度偏差及俯仰角度偏差的测量方法
CN100442010C (zh) 单光电探测器共焦激光三角测量装置
CN102393255B (zh) 可解决小视场镜头波像差检测中光轴偏斜问题的***及方法
CN102385170B (zh) 一种高精度测量调整光学镜片中心偏差的光学***
CN103063415B (zh) 一种基于莫尔条纹匹配的长焦距透镜焦距测量方法
CN106052596B (zh) 基于远出瞳、小瞳径比设计的高精度光电自准直仪
CN112596257B (zh) 离轴反射式光学镜头的光轴校准方法
CN104749901A (zh) 一种调焦调平装置
CN205942120U (zh) 一种带有偏振分束元件的自准光路***
CN111982467B (zh) 杂光测试中平行光管光轴与光机***光轴对准装置及方法
CN108955569A (zh) 大口径长焦距菲索型球面干涉测试装置
CN105737759A (zh) 一种长程面形测量装置
CN111272083B (zh) 一种离轴抛物面镜离轴量的测量装置及测量方法
CN105758333B (zh) 一种长程光学表面面形检测仪
CN208872260U (zh) 大口径长焦距菲索型球面干涉测试装置
CN109253867B (zh) 一种光学***焦距测量***及方法
CN206724907U (zh) 一种离轴椭球镜面形检测装置
CN116047707A (zh) 非垂直自动聚焦***以及相应的光学仪器
CN205374850U (zh) 透射式光电定心仪
CN101625423B (zh) 测云仪发射器位置的调试装置及调试方法
CN105674913B (zh) 一种长程光学表面面形检测***
CN108121179A (zh) 一种调焦调平装置
CN204405031U (zh) 消杂光双光路光学定中仪

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant