CN106985003A - 磨削磨轮以及磨削方法 - Google Patents

磨削磨轮以及磨削方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106985003A
CN106985003A CN201610825912.1A CN201610825912A CN106985003A CN 106985003 A CN106985003 A CN 106985003A CN 201610825912 A CN201610825912 A CN 201610825912A CN 106985003 A CN106985003 A CN 106985003A
Authority
CN
China
Prior art keywords
grinding
emery wheel
tool
ground
base station
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201610825912.1A
Other languages
English (en)
Inventor
藤谷凉子
中川义康
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Disco Corp
Original Assignee
Disco Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Corp filed Critical Disco Corp
Publication of CN106985003A publication Critical patent/CN106985003A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
    • B24D7/06—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor with inserted abrasive blocks, e.g. segmental
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
    • B24B53/12—Dressing tools; Holders therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
    • B24B55/02—Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/02—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor involving a reciprocatingly-moved work-table
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/04—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor involving a rotary work-table
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
    • B24D7/10—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor with cooling provisions

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Abstract

提供磨削磨轮以及磨削方法，能够良好地进行树脂或金属等被加工物的薄化，并且当磨削磨具的形状恶化时，在短时间内容易地恢复磨削性能。磨削磨轮(40)包含：磨轮基台(41)，其固定在主轴上；多个磨削磨具(50)，它们固定在磨轮基台上；以及多个磨削水提供口(46)，它们对磨削磨具提供磨削水。多个磨削磨具是分段磨具，它们倾斜成从磨削磨轮朝向外侧扩展，并且多个磨削模具以规定的间隔呈环状安装在磨轮基台上，在磨轮基台的内周壁上，与各磨削磨具对应地，在连接各磨削磨具与旋转轴心的线上形成有多个磨削水提供口。

Description

磨削磨轮以及磨削方法
技术领域
本发明涉及对树脂基板等被加工物进行磨削的磨削磨轮以及磨削方法。
背景技术
通常，在车刀切削装置中对树脂或金属等韧性材料实施平坦化或薄化等切削(例如，参照专利文献1)。在专利文献1记载的车刀切削装置中，在绕着铅直轴旋转的主轴的安装座上安装有磨轮基台，在磨轮基台的外周部分的一部分上固定有金刚石刃或超硬车刀等车刀工具。并且，车刀工具绕着主轴的铅直轴旋转，由此，通过车刀工具的锐角的切削刃来削刮作为保持在卡盘工作台上的被加工物的韧性材料而使其平坦化或薄化。
专利文献1：日本特开2000-173954号公报
在专利文献1记载的车刀切削装置的磨削磨轮中，当加工张数不断增加时，由于车刀工具的锐角的切削刃的形状渐渐变形而使加工品质恶化，所以需要定期地进行车刀工具的形状修正。但是，对于金刚石刃或超硬车刀等车刀工具的形状修正而言，需要放电加工等特殊的加工，存在需要形状修正用的其他设备和大量的时间的问题。
发明内容
本发明是鉴于该点而完成的，其目的在于提供磨削磨轮以及磨削方法，能够在短时间内容易地对作为切削刃而使用的磨削磨具进行形状修正。
本发明的磨削磨轮是对树脂基板进行磨削的磨削磨轮，其特征在于，该磨削磨轮具有：磨轮基台，其具有自由端部以及固定于主轴的固定部；多个磨削磨具，它们固定于该磨轮基台的该自由端部；以及磨削水提供口，其对该磨削磨具提供磨削水，该磨削磨具是利用金属粘合剂将金刚石磨粒结合而成的分段磨具，并且形成为外周端面从该磨轮基台的自由端部侧朝向下方倾斜成向旋转方向外侧扩展的形状，该磨削磨具在该磨轮基台的该自由端部以规定的间隔呈环状安装有多个，在该磨轮基台的内周壁上，与各磨削磨具对应地，在连接各磨削磨具与旋转轴心的线上的各磨削磨具的附近形成有多个磨削水提供口。
根据该结构，多个磨削磨具的外周端面与树脂基板的正面所成的角度形成为锐角，多个磨削磨具被当作切削刃来使用。一边使磨削磨具的倾斜的外周端面作用于树脂基板一边对树脂基板进行磨削，由此，能够良好地进行树脂基板的薄化。此时，由于利用多个磨削磨具不断地磨削树脂基板，所以磨削屑变细而不会使磨削屑堵塞在装置内，能够避免排水故障。并且，即使磨削磨具的形状恶化也能够通过修整板对磨削磨具进行形状修正。因此，可以不用新设置形状修正用的设备而在短时间内容易地对磨削磨具进行形状修正，所以经济性好。进而，由于从磨削水提供口对各磨削磨具提供磨削水，所以对磨削中产生于各磨削磨具的摩擦热进行有效地冷却。
本发明的磨削方法是在磨削装置中使用磨削磨轮对韧性材料基板进行磨削的磨削方法，该磨削装置具有：卡盘工作台，其对韧性材料基板进行保持；磨削单元，其具有主轴，该主轴将上述的磨削磨轮保持为能够旋转，该磨削磨轮对该卡盘工作台上所保持的韧性材料基板进行磨削；磨削进给单元，其使该磨削单元和该卡盘工作台相对地在磨削进给方向上接近和远离；以及进退单元，其使该磨削单元和该卡盘工作台相对地在该卡盘工作台的径向上移动，该磨削方法的特征在于，通过如下的蠕动进给磨削而对韧性材料基板进行磨削：使旋转的该磨削磨轮相对于该卡盘工作台上所保持的韧性材料基板相对地进行水平移动。
根据本发明，利用使外周端面倾斜的多个磨削磨具对树脂基板进行磨削，由此，能够在不产生较大的磨削屑的情况下良好地对树脂基板进行薄化。并且，能够在磨削磨具的形状恶化时在短时间内容易地对磨削磨具进行形状修正，从磨削水提供口对各磨削磨具提供磨削水，由此，能够对产生于各磨削磨具的摩擦热进行有效地冷却。
附图说明
图1是本实施方式的磨削装置的立体图。
图2是示出由本实施方式的磨削装置进行的磨削加工的立体图。
图3的(a)、(b)是本实施方式的磨削磨轮的部分立体图。
图4是比较例的磨削磨轮的部分立体图。
图5的(a)、(b)是由本实施方式的磨削磨具进行的磨削加工的说明图。
图6是本实施方式的磨削磨具的形状变化的说明图。
图7的(a)、(b)是示出树脂基板的磨削屑的照片。
图8的(a)～(d)是本实施方式的磨削动作和修整加工的说明图。
图9是示出实验例的磨削磨具的刃宽度与孔基台的关系的图。
标号说明
1：磨削装置；15：卡盘工作台；20：进退单元；25：磨削进给单元；30：磨削单元；32：主轴；40：磨削磨轮；41：磨轮基台；42：固定部；43：自由端部；45：内周壁；46：磨削水提供口；50：磨削磨具；54：外周端面；W：树脂基板(韧性材料基板)。
具体实施方式
以下，参照附图对本实施方式的磨削装置进行说明。图1是本实施方式的磨削装置的立体图。图2是示出由本实施方式的磨削装置进行的磨削加工的立体图。另外，本实施方式的磨削装置并不限定于图1所示的磨削加工专用的装置结构，例如，也可以组装到全自动地实施磨削加工、研磨加工、清洗加工等一系列的加工的全自动类型的加工装置中。
如图1所示，磨削装置1构成为：一边在X轴方向上低速地对保持了树脂基板W的卡盘工作台15进行加工进给，一边通过磨削磨具50对树脂基板W的上表面进行蠕动进给(creep feed)磨削。并且，通过在磨削装置1的卡盘工作台15上代替树脂基板W而保持用于定期地整形修整和磨光修整的修整板D并对修整板D进行蠕动进给磨削，来对磨削磨具50进行修整加工。另外，虽然在本实施方式中，例示了树脂基板W来作为被加工物，但被加工物也可以是金属基板等由其他的韧性材料形成的韧性材料基板。
在磨削装置1的基台10的上表面形成有在X轴方向上延伸的矩形状的开口，该开口被能够与卡盘工作台15一起移动的移动板16和折皱状的防水罩17覆盖。在防水罩17的下方设置有使卡盘工作台15在径向(X轴方向)上移动的滚珠丝杠式的进退单元20。在卡盘工作台15的表面上形成有保持面18，该保持面18通过多孔质的多孔质材料对树脂基板W进行吸附。保持面18通过卡盘工作台15内的流路而与吸引源(未图示)连接，通过在保持面18上产生的负压来对树脂基板W进行吸引保持。
在基台10上的柱11上设置有磨削进给单元25，该磨削进给单元25使磨削单元30在磨削进给方向(Z轴方向)上相对于卡盘工作台15接近和远离。磨削进给单元25具有：一对导轨26，其配置在柱11上并与Z轴方向平行；以及Z轴工作台27，其以能够在一对导轨26上滑动的方式设置并由电动机驱动。在Z轴工作台27的背面侧形成有未图示的螺母部，滚珠丝杠28与这些螺母部螺合。通过与滚珠丝杠28的一端部连结的驱动电动机29来对滚珠丝杠28进行旋转驱动，由此，磨削单元30沿着导轨26在Z轴方向上移动。
磨削单元30构成为借助外壳31而安装在Z轴工作台27的前表面上，在圆筒状的主轴32的下端设置有安装座33。在主轴32上设置有凸缘34，借助凸缘34将磨削单元30支承在外壳31上。在安装座33的下表面保持有磨削磨轮40，在该磨削磨轮40上呈环状配置有多个磨削磨具50。各磨削磨具50例如由分段磨具构成，该分段磨具利用金属粘合剂将金刚石磨粒结合。另外，在后述中对磨削磨轮40和磨削磨具50的详细结构进行说明。
如图2所示，在这样构成的磨削装置1中，一边通过主轴32使磨削磨轮40绕着Z轴旋转，一边使磨削单元30接近卡盘工作台15。并且，朝向树脂基板W提供磨削水，并使多个磨削磨具50与树脂基板W旋转接触，由此，使各磨削磨具50与树脂基板W相对地滑动而对树脂基板W进行磨削。在通过该多个磨削磨具50对树脂基板W进行磨削的状态下，使卡盘工作台15在X轴方向上低速地水平移动，由此，通过磨削磨具50对树脂基板W进行蠕动进给磨削。
此外，一般地优选利用金刚石刃或超硬车刀等车刀工具对韧性材料的树脂基板W进行切削加工，但当车刀工具磨损时，需要时间和专用的设备来进行形状修正。因此，在本实施方式的磨削磨轮40中，在磨削磨具50上形成车刀工具那样的切削刃，由此，容易使树脂基板W薄化。并且，在磨削磨具50磨损了的情况下，代替树脂基板W而将修整板D(参照图1)保持在卡盘工作台15上，由此，使在磨削装置1上进行的磨削磨具50的形状修正成为可能。
并且，在以往的使用了车刀切削装置的车刀工具的切削加工中，利用固定在安装座的外周的单一的车刀工具来切削树脂基板W，存在因加工屑呈片状而引起排水故障的可能性。因此，在本实施方式的磨削磨轮40中，通过多个磨削磨具50来不断地对树脂基板W进行磨削而使磨削屑变细。进而，在本实施方式的磨削磨轮40中，在与各磨削磨具50对应的位置处形成对磨削磨具50提供磨削水的磨削水提供口46(参照图3的(b))，对磨削磨具50进行磨削时产生的摩擦热进行有效地冷却。
以下，参照图3对本实施方式的磨削磨轮进行说明。图4是比较例的磨削磨轮的立体图。另外，图3的(a)示出了从斜上方观察磨削磨轮的立体图，图3的(b)示出了从背面侧观察磨削磨轮的立体图。
如图3的(a)所示，磨削磨轮40构成为在环状的磨轮基台41上设置有多个磨削磨具50。磨轮基台41的上表面成为固定部42，该固定部42借助安装座33固定在主轴32(参照图2)上，磨轮基台41的下表面成为自由端部43。在自由端部43上以规定的间隔呈环状安装有多个磨削磨具50。各磨削磨具50由从侧面看大致为平行四边形的分段磨具构成。在该情况下，各磨削磨具50的外周侧的外周端面54以如下方式倾斜：从磨轮基台41的自由端部43朝向下方而向旋转方向外侧扩展(伸出)，即从磨轮基台41的侧面向外侧扩展(伸出)。
并且，各磨削磨具50如上述那样是利用金属粘合剂将金刚石磨粒结合(烧结)而形成的。利用金属粘合剂结合的磨削磨具50的硬度高，即使以车刀切削的方式使用磨削磨具50对树脂基板W进行加工，也容易维持形状。并且，与一般的磨削磨具相同，能够使用卡盘工作台15(参照图1)上的修整板D(参照图1)来进行形状修正。另外，虽然在本实施方式中例示了利用金属粘合剂将金刚石磨粒结合的磨削磨具50，但只要能够在加工中维持磨削磨具50的形状，磨削磨具50也可以由树脂粘合剂或陶瓷粘合剂等其他的粘合剂和其他的磨粒构成。
如图3的(b)所示，在磨轮基台41上隔着规定的间隔呈环状排列有多个磨削磨具50。各磨削磨具50的横宽51形成为比一般的磨削磨具的宽度窄，例如，形成为比相邻的磨削磨具50彼此的间隔窄。因此，各磨削磨具50与树脂基板W(参照图1)的接触面积变小而使摩擦热降低，并且容易利用磨削水进行冷却。并且，与磨削磨具50的横宽51变小相应地，在磨轮基台41上配置大量的磨削磨具50。通过多个磨削磨具50对树脂基板W进行磨削，由此，能够使树脂基板W的磨削屑变细。
并且，在磨轮基台41的内周壁45上，与各磨削磨具50对应地，在连接了各磨削磨具50与旋转轴心的线L上，在各磨削磨具50的附近形成有多个磨削水提供口46。即，固定在磨轮基台41的外周壁47上的各磨削磨具50的横宽方向的中心位置P1和形成在磨轮基台41的内周壁45上的各磨削水提供口46的中心位置P2位于从旋转轴心在径向上延伸的线L上。因此，由于从磨削水提供口46提供的磨削水受到磨削时的离心力而朝向磨削磨具50流动，所以能够对磨削磨具50进行良好地冷却。
与此相对，在图4所示的比较例的磨轮基台61的内周壁65上，在相对于连接了各磨削磨具68与旋转轴心的线L偏离的位置处形成有多个磨削水提供口66。即，固定在磨轮基台61的外周壁67上的各磨削磨具68的横宽方向的中心位置P1与形成在磨轮基台61的内周壁65上的各磨削水提供口66的中心位置P2在周向上存在位置偏离。因此，由于从磨削水提供口66提供的磨削水受到磨削时的离心力而从相邻的磨削磨具68之间喷出，所以磨削水不与磨削磨具68充分地接触，不能对磨削磨具68进行良好地冷却。
当使用比较例的磨削磨轮60来持续地对树脂基板W进行磨削时，树脂基板W的一部分因树脂基板W的磨削时的摩擦热而熔化并附着在磨削磨具68上。在该情况下，磨削时附着在磨削磨具68上的树脂69会带来不好的影响，使磨削后的树脂基板W的外观恶化。这样，在使用多个磨削磨具68对树脂基板W进行磨削的情况下，即使将磨削磨具68的横宽63变窄而进行冷却，如果在连接了磨削磨具68与旋转轴心的线L上没有磨削水提供口66，则也不能通过磨削水来充分地冷却磨削磨具68。
另外，当本案发明者对本实施方式的磨削磨轮40的磨削磨具50按照每隔一个的方式形成磨削水提供口46而对树脂基板W进行磨削时，没有看到树脂附着在磨削磨具50上。这是因为磨削水从磨削水提供口46与磨削磨具50接触，由此，磨削水所朝向的流动会作用在不与磨削水提供口46对应的相邻的磨削磨具50上。因此，如果与磨削磨具50对应地在连接了磨削磨具50与旋转轴心的线L上且在磨削磨具50的附近形成有多个磨削水提供口46，则不一定需要与全部的磨削磨具50对应地形成磨削水提供口46。
接着，参照图5到图7对使用了磨削磨轮的磨削加工进行说明。图5的(a)、(b)是由本实施方式的磨削磨具进行的磨削加工的说明图。图6是本实施方式的磨削磨具的形状变化的说明图。图7的(a)、(b)是示出树脂基板的磨削屑的照片。其中，图5的(a)示出了使用本实施方式的磨削磨轮的磨削加工，图5的(b)示出了使用其他比较例的磨削磨轮的磨削加工。图7的(a)示出了多个磨削磨具的情况下的树脂基板的磨削屑，图7的(b)示出了单一的磨削磨具的情况下的树脂基板的磨削屑。
如图5的(a)所示，形成外周端面54与底面52的角部53以使树脂基板W的正面与磨削磨具50的外周端面54所成的角度为锐角。在蠕动进给磨削中，该磨削磨具50以主轴32(参照图2)的旋转轴为中心而回转，卡盘工作台15(参照图1)上的树脂基板W相对于磨削磨具50在X轴方向上水平移动。并且，通过磨削磨具50的旋转方向前方侧的侧面55(参照图3的(a))和外周端面54在周向(纸面内侧)上对树脂基板W进行磨削，顺着X轴方向不断削挖从而对树脂基板W进行磨削。
此时，由于磨削磨具50的外周端面54倾斜，所以当进行树脂基板W的磨削时对磨削磨具50产生的磨削阻力变小。即，由于反力作用在相对于倾斜的外周端面54垂直的方向上，所以对于磨削磨具50的反力的水平方向(X轴方向)成分变小。因此，磨削后的树脂基板W的被磨削面不会因摩擦而白化，得到了良好的外观性。这样，通过使外周端面54相对于磨削磨具50的底面52呈锐角倾斜，能够以车刀切削方式使用磨削磨具50而对树脂基板W进行良好地磨削。
另一方面，如图5的(b)所示，关于其他比较例的从侧面看为长方形的磨削磨具70，外周端面71与底面72所成的角为直角，并不像本实施方式的磨削磨具50那样形成为锐角。因此，在比较例的磨削磨具70中，相对于外周端面71在水平方向(X轴方向)上作用有较大的反力，在进行树脂基板W的磨削时在磨削磨具70上产生的磨削阻力变大。因此，磨削后的树脂基板W的被磨削面因摩擦而局部白化，在被磨削面上产生较深的深浅差异而使外观性变差。这样，在其他比较例的磨削磨具70中，不能对树脂基板W进行良好地磨削。
并且，如图6的图示左侧所示，关于本实施方式的磨削磨具50，外周端面54与底面52所成的角部53形成为锐角。由于该外周端面54与底面52的角部53有助于树脂基板W的磨削，所以如图6的图示中央所示，磨削磨具50的形状因长时间的磨损而开始变形，从角部53起棱边消失而带有圆角。在该情况下，如图6的图示右侧所示，代替树脂基板W而利用磨削磨具50对修整板D进行蠕动进给磨削，由此，从底面52侧对磨削磨具50进行削刮。由此，外周端面54与底面52的角部53被形状修正成锐角。
这样，在本实施方式的磨削磨轮40(参照图3)中，能够通过修整板D来一次性地形状修正全部的磨削磨具50。因此，不需要车刀工具的形状修正那样的特別的设备，能够在短时间内进行形状修正。另外，修整板D是利用树脂粘合剂等粘合剂将绿碳化硅(GC)类、白刚玉(WA)类的磨粒固定而成形为圆板状。使磨削磨具50切入修整板D，由此，实施针对磨削磨具50的整形修整和磨光修整。并且，修整板D形成为与树脂基板W大致同径以使修整板D容易地保持在卡盘工作台15(参照图1)上。
接着，对树脂基板W的磨削屑进行说明。如图7的(a)所示，当本案发明者利用具有多个磨削磨具50(参照图3的(a))的磨削磨轮40(参照图3的(a))对树脂基板W进行磨削时，得到了粉状的磨削屑。这是因为多个磨削磨具50无间隔地持续地对树脂基板W进行磨削。因此，粉状的磨削屑不会堵塞在磨削装置1(参照图1)内，不会产生排水故障。与此相对，如图7的(b)所示，当本案发明者利用具有单一的磨削磨具50的磨削磨轮(未图示)对树脂基板W进行了磨削时，确认了片状的磨削屑。这样，利用多个磨削磨具50来进行磨削从而使磨削屑变细。
参照图8对磨削动作和修整加工进行说明。图8的(a)～(d)是本实施方式的磨削动作和修整加工的说明图。图8的(a)和图8的(b)示出了针对树脂基板的磨削动作，图8的(c)和图8的(d)示出了针对磨削磨具的修整加工。另外，图8所示的磨削动作和修整加工并不仅限于一例，能够进行适当变更。
如图8的(a)所示，树脂基板W被保持在卡盘工作台15的中心，磨削磨具50位于比树脂基板W的外缘靠外侧的位置。磨削磨具50一边以主轴32的旋转轴为中心高速地回转，一边下降到规定的切入深度，卡盘工作台15相对于磨削磨具50相对地水平移动。由此，通过多个磨削单元30从树脂基板W的一端56侧朝向另一端57侧开始进行蠕动进给磨削。在蠕动进给磨削中，一边在X轴方向上进行进给，一边通过磨削磨具50的旋转方向前方侧的侧面55和外周端面54来圆弧状地削刮树脂基板W的正面。
此时，如图8的(b)所示，由于磨削磨具50的外周端面54相对于底面52呈锐角倾斜，所以当在X轴方向上对树脂基板W进行进给时，角部53容易相对于树脂基板W行进。因此，磨削磨具50在进行树脂基板W的磨削时的磨削阻力变小，不会因在树脂基板W的被磨削面的颜色中产生较浓的深浅差异而使外观性恶化。并且，由于通过多个磨削磨具50来磨削树脂基板W，所以磨削屑成为粉状而不会使磨削屑堆积在装置内的排水口处。进而，由于与各磨削磨具50对应地形成有磨削水提供口46(参照图3)，所以能够抑制磨削磨具50在磨削中产生的摩擦热。
如图8的(c)所示，当各磨削磨具50的角部53(参照图8的(d))因树脂基板W的蠕动进给磨削而磨损时，代替树脂基板W而将修整板D保持在卡盘工作台15上。并且，与树脂基板W同样地从修整板D的一端58侧朝向另一端59侧对修整板D开始进行蠕动进给磨削。在蠕动进给磨削中，一边将多个磨削磨具50推抵于修整板D，一边在X轴方向上对修整板D进行加工进给，并通过修整板D来一次性地对全部的磨削磨具50进行修整。
如图8的(d)所示，通过修整板D来修整磨削磨具50的底面52，由此，将圆角从各磨削磨具50的外周端面54与底面52的角部53除去。由此，全部的磨削磨具50的外周端面54与底面52的角部被形状修正成锐角，恢复了各磨削磨具50的磨削性能。这样，使磨削磨具50成为车刀工具那样的形状，由此，像车刀工具那样提高了针对树脂基板W的磨削性能，并且通过修整板D来使形状修正变得容易。
(实验例)
以下，对实验例进行说明。在实验例中，使用改变了磨削磨具的刃宽度和个数的磨削磨轮对评价工件进行磨削，并对评价工件的磨削面的状态进行确认。即使在刃宽度发生了变化的情况下，也设定磨削磨具的个数以使与评价工件的接触面积相同。作为磨削磨轮，使用在磨轮直径为200mm的磨轮基台上安装了同一粒径的金属粘合磨具的磨削磨轮，作为评价工件，使用130×130mm的树脂基板。并且，作为加工条件，按照下述的加工条件来进行实施。
主轴转速：6000【rpm】
进给速度：10【mm/sec】
加工张数：10【张】
该结果是，得到了如下述表1所示的结果。
【表1】
测试No. 刃宽度【mm】 刃数量【个】 结果
1 2 96 NG
2 3 72 OK
3 4 54 OK
4 4.5 48 最优
5 5 43 OK
6 6 36 OK
7 7 31 OK
8 8 27 OK
9 9 24 NG
关于No.1，仅磨削磨具的刃尖的外周端面有助于磨削，在树脂基板上确认了稍微粗糙的磨削面。关于No.9，磨削力不足，在树脂基板上确认了粗糙的磨削面。关于No.2～8，在树脂基板上确认了良好的磨削面。因此，磨削磨具的刃宽度优选为3～8【mm】，更优选为4～6【mm】。换言之，如图9所示，优选从磨轮基台41的中心O(旋转中心)与磨削磨具50的刃宽度方向的两端A、B连接的直线OA、OB所成的角度θ的范围为1.7°～4.6°，进而更优选为2.3°～3.4°。此时，关于刃宽度，刃(分段)的外周缘不从磨轮基台41的外周边缘弧突出，磨削力也充分。另外，在将磨轮基台41的磨轮直径从200mm变更为100mm或300mm的情况下，作为最优的刃宽度会成比例地变化。并且，虽然刃宽度有助于磨削结果，但还发现了当刃数量增加时磨具的寿命提高且磨削屑变细的趋势。
如以上所述那样，在本实施方式的磨削磨轮40中，多个磨削磨具50的外周端面54与树脂基板W的正面所成的角度形成为锐角，像切削刃那样使用多个磨削磨具50。一边将磨削磨具50的倾斜的外周端面54作用于树脂基板W，一边对树脂基板W进行磨削，由此，能够良好地进行树脂基板W的薄化。此时，由于利用多个磨削磨具50来不断地磨削树脂基板W，所以磨削屑变细而不会使磨削屑堵塞在装置内，能够避免排水故障。并且，即使磨削磨具50的形状恶化，也能够通过修整板D对磨削磨具50进行形状修正。因此，可以不用新设置形状修正用的设备而在短时间内容易地对磨削磨具50进行形状修正，所以经济性好。进而，由于从磨削水提供口46对各磨削磨具50提供磨削水，所以对磨削中产生于各磨削磨具50的摩擦热进行有效地冷却。
另外，本发明并不限定于上述实施方式，能够实施各种变更。在上述实施方式中，关于在附图中图示的大小或形状等，并不限定于此，能够在发挥本发明的效果的范围内进行适当地变更。另外，只要在不脱离本发明的目的的范围内便能够实施适当地变更。
例如，虽然在上述的实施方式中，多个磨削磨具50由从侧面看大致为平行四边形的分段磨具构成，但并不仅限于该结构。各磨削磨具50具有从磨轮基台41的自由端部43朝向下方而向旋转方向外侧扩展(伸出)的外周端面54即可，例如，磨削磨具50也可以由从侧面看大致为梯形的分段磨具构成。
并且，虽然在上述的实施方式中，磨削进给单元25构成为使磨削单元30相对于卡盘工作台15移动而使卡盘工作台15与磨削单元30在磨削进给方向上接近和远离，但并不仅限于该结构。磨削进给单元25构成为使磨削单元30与卡盘工作台15在磨削进给方向上相对地接近和远离即可，例如，也可以使卡盘工作台15相对于磨削单元30移动而使卡盘工作台15与磨削单元30在磨削进给方向上接近和远离。
并且，在上述的实施方式中，进退单元20构成为使卡盘工作台15在径向上相对于磨削单元30移动，但并不仅限于该结构。进退单元20构成为使磨削单元30与卡盘工作台15在卡盘工作台15的径向上相对地移动即可，例如，也可以使磨削单元30在卡盘工作台15的径向上相对于卡盘工作台15移动。
并且，虽然在上述的实施方式中，说明了将磨削磨轮40使用于蠕动进给磨削的结构，但并不限定于该结构。也可以将磨削磨轮40使用于横向进给(infeed)磨削。
如以上说明的那样，本发明具有能够在短时间内容易地对作为切削刃而使用的磨削磨具进行形状修正的效果，尤其对于对由树脂或金属等韧性材料形成的被加工物进行磨削的磨削方法有用。

Claims (2)

1.一种磨削磨轮，其对树脂基板进行磨削，其特征在于，
该磨削磨轮具有：
磨轮基台，其具有自由端部以及固定于主轴的固定部；
多个磨削磨具，它们固定于该磨轮基台的该自由端部；以及
磨削水提供口，其对该磨削磨具提供磨削水，
该磨削磨具是利用金属粘合剂将金刚石磨粒结合而成的分段磨具，并且形成为外周端面从该磨轮基台的该自由端部侧朝向下方倾斜成向旋转方向外侧扩展的形状，该磨削磨具在该磨轮基台的该自由端部以规定的间隔呈环状安装有多个，
在该磨轮基台的内周壁上，与各磨削磨具对应地，在连接各磨削磨具与旋转轴心的线上的各磨削磨具的附近形成有多个磨削水提供口。
2.一种磨削方法，在磨削装置中使用磨削磨轮对韧性材料基板进行磨削，该磨削装置具有：
卡盘工作台，其对韧性材料基板进行保持；
磨削单元，其具有主轴，该主轴将权利要求1所述的磨削磨轮保持为能够旋转，该磨削磨轮对该卡盘工作台上所保持的韧性材料基板进行磨削；
磨削进给单元，其使该磨削单元和该卡盘工作台相对地在磨削进给方向上接近和远离；以及
进退单元，其使该磨削单元和该卡盘工作台相对地在该卡盘工作台的径向上移动，
该磨削方法的特征在于，
通过如下的蠕动进给磨削而对韧性材料基板进行磨削：使旋转的该磨削磨轮相对于该卡盘工作台上所保持的韧性材料基板相对地进行水平移动。
CN201610825912.1A 2015-09-17 2016-09-14 磨削磨轮以及磨削方法 Pending CN106985003A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015183865A JP2017056522A (ja) 2015-09-17 2015-09-17 研削ホイール及び研削方法
JP2015-183865 2015-09-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106985003A true CN106985003A (zh) 2017-07-28

Family

ID=58276415

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610825912.1A Pending CN106985003A (zh) 2015-09-17 2016-09-14 磨削磨轮以及磨削方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10112285B2 (zh)
JP (1) JP2017056522A (zh)
CN (1) CN106985003A (zh)
TW (1) TW201711805A (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109129221A (zh) * 2018-09-30 2019-01-04 广州汇专工具有限公司 一种粗加工打磨工具
CN109483352A (zh) * 2017-09-13 2019-03-19 株式会社迪思科 磨削磨轮和磨削装置
CN109746842A (zh) * 2017-11-06 2019-05-14 株式会社迪思科 磨削磨轮
CN111347304A (zh) * 2018-12-20 2020-06-30 株式会社冈本工作机械制作所 包含树脂的复合基板的磨削方法和磨削装置
CN111438580A (zh) * 2019-01-17 2020-07-24 株式会社迪思科 被加工物的加工方法

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7012454B2 (ja) * 2017-04-27 2022-01-28 株式会社岡本工作機械製作所 静電吸着チャックの製造方法並びに半導体装置の製造方法
JP7127972B2 (ja) * 2017-09-05 2022-08-30 株式会社ディスコ 加工方法
US10682738B2 (en) * 2017-09-29 2020-06-16 Uchicago Argonne, Llc Channel cut polishing machine
JP7129895B2 (ja) * 2018-12-10 2022-09-02 株式会社ディスコ 被加工物の研削方法
US11590630B2 (en) * 2020-07-16 2023-02-28 Disco Corporation Workpiece grinding method
JP2023047458A (ja) 2021-09-27 2023-04-06 株式会社ディスコ 研削装置
CN113714917B (zh) * 2021-10-23 2022-07-01 深圳市二砂深联有限公司 一种用于钢轨切割的树脂砂轮组及其使用方法
CN114378660B (zh) * 2021-12-31 2023-05-30 安徽舒凯砂浆有限公司 一种干混砂浆自动磨平装置

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3181281A (en) * 1962-07-17 1965-05-04 Tysaman Machine Company Inc Grinding wheels
US3243922A (en) * 1963-07-09 1966-04-05 Engelhard Hanovia Inc Surfacing of materials
JPS6048262A (ja) * 1983-08-24 1985-03-15 Fujimi Kenmazai Kogyo Kk ダイヤモンド砥石
JPS60257524A (ja) * 1984-06-04 1985-12-19 Disco Abrasive Sys Ltd 多層ブレ−ド式研削ホイ−ル
CN1647255A (zh) * 2002-04-03 2005-07-27 东邦工程株式会社 抛光垫及使用该垫制造半导体衬底的方法
CN101491880A (zh) * 2008-01-23 2009-07-29 株式会社迪思科 晶片磨削方法
JP2010094789A (ja) * 2008-10-20 2010-04-30 Disco Abrasive Syst Ltd 研削ホイール
JP2010103192A (ja) * 2008-10-21 2010-05-06 Disco Abrasive Syst Ltd 研削方法
WO2013107030A1 (zh) * 2012-01-19 2013-07-25 大连理工大学 一种多功能的基片磨抛装置及其磨抛方法
CN103313826A (zh) * 2010-07-12 2013-09-18 圣戈班磨料磨具有限公司 用于对工业材料成型的磨料物品
CN203418448U (zh) * 2013-08-26 2014-02-05 河南万克钻石工具有限公司 一种斜边树脂结合剂金刚石砂轮

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USRE25410E (en) * 1963-07-02 wayland
US1611352A (en) * 1924-10-29 1926-12-21 Norton Co Mounting for segmental wheels
US3793783A (en) * 1972-10-02 1974-02-26 Norton Co Segmental cut-off grinding wheel
JP4249827B2 (ja) 1998-12-04 2009-04-08 株式会社ディスコ 半導体ウェーハの製造方法
TWI599454B (zh) * 2015-03-04 2017-09-21 聖高拜磨料有限公司 磨料製品及使用方法

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3181281A (en) * 1962-07-17 1965-05-04 Tysaman Machine Company Inc Grinding wheels
US3243922A (en) * 1963-07-09 1966-04-05 Engelhard Hanovia Inc Surfacing of materials
JPS6048262A (ja) * 1983-08-24 1985-03-15 Fujimi Kenmazai Kogyo Kk ダイヤモンド砥石
JPS60257524A (ja) * 1984-06-04 1985-12-19 Disco Abrasive Sys Ltd 多層ブレ−ド式研削ホイ−ル
CN1647255A (zh) * 2002-04-03 2005-07-27 东邦工程株式会社 抛光垫及使用该垫制造半导体衬底的方法
CN101491880A (zh) * 2008-01-23 2009-07-29 株式会社迪思科 晶片磨削方法
JP2010094789A (ja) * 2008-10-20 2010-04-30 Disco Abrasive Syst Ltd 研削ホイール
JP2010103192A (ja) * 2008-10-21 2010-05-06 Disco Abrasive Syst Ltd 研削方法
CN103313826A (zh) * 2010-07-12 2013-09-18 圣戈班磨料磨具有限公司 用于对工业材料成型的磨料物品
WO2013107030A1 (zh) * 2012-01-19 2013-07-25 大连理工大学 一种多功能的基片磨抛装置及其磨抛方法
CN203418448U (zh) * 2013-08-26 2014-02-05 河南万克钻石工具有限公司 一种斜边树脂结合剂金刚石砂轮

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109483352A (zh) * 2017-09-13 2019-03-19 株式会社迪思科 磨削磨轮和磨削装置
CN109746842A (zh) * 2017-11-06 2019-05-14 株式会社迪思科 磨削磨轮
CN109129221A (zh) * 2018-09-30 2019-01-04 广州汇专工具有限公司 一种粗加工打磨工具
CN111347304A (zh) * 2018-12-20 2020-06-30 株式会社冈本工作机械制作所 包含树脂的复合基板的磨削方法和磨削装置
US11745299B2 (en) 2018-12-20 2023-09-05 Okamoto Machine Tool Works, Ltd. Grinding method of composite substrate including resin and grinding apparatus thereof
CN111347304B (zh) * 2018-12-20 2023-12-22 株式会社冈本工作机械制作所 包含树脂的复合基板的磨削方法和磨削装置
CN111438580A (zh) * 2019-01-17 2020-07-24 株式会社迪思科 被加工物的加工方法
CN111438580B (zh) * 2019-01-17 2023-09-19 株式会社迪思科 被加工物的加工方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20170080547A1 (en) 2017-03-23
US10112285B2 (en) 2018-10-30
JP2017056522A (ja) 2017-03-23
TW201711805A (zh) 2017-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106985003A (zh) 磨削磨轮以及磨削方法
TWI402904B (zh) 於研磨墊形成彎曲溝槽
US8911283B2 (en) Abrasive tool and a method for finishing complex shapes in workpieces
KR20160135113A (ko) 희토류 자석의 멀티 절단 가공 방법, 및 연삭액 공급 노즐, 자석 고정 지그 및 이들을 구비하는 희토류 자석 절단 가공 장치
JP6360750B2 (ja) ウエーハの加工方法
CN104736300B (zh) 磨具以及使用了该磨具的磨削抛光装置
US7121928B2 (en) High smoothness grinding process and apparatus for metal material
CN102189460A (zh) 圆盘状工件的倒角装置
JP2014128877A (ja) 表面加工装置及び方法
WO2008044672A1 (fr) Procédé de relâchement de la pression dynamique du liquide de rectification lors d'une opération de rectification, procédé de rectification utilisant le procédé de relâchement et meule destinée a être utilisée dans le procédé de rectification
JP6445894B2 (ja) 両頭平面研削用研削砥石および両頭平面研削方法
US10092997B2 (en) Grinding wheel
JP6312530B2 (ja) 研削方法
JP2013099831A (ja) 砥石
JP2008073832A (ja) 薄型ウェハ製作用研削砥石及び研削方法
JP4537778B2 (ja) ビトリファイドボンド砥石の目立て方法
JP5502385B2 (ja) 両頭平面研削方法および装置
CN205111464U (zh) 全等厚蓝宝石半球、超半球整流罩的加工设备
US9498865B2 (en) System and methods for rough grinding
JP2016198878A (ja) 砥石、加工装置、被加工物の加工方法
JP2003291069A (ja) 研削盤用の砥石及びこの砥石を使用する研削方法
CN213080965U (zh) 一种可旋转的毛刺打磨平台
CN104136171A (zh) 使用多晶体cvd合成金刚石修整机来修整磨轮的方法以及制造它的方法
JP6281988B2 (ja) 表面加工装置及び方法
CN113524054B (zh) 磨头刀具

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20170728