CN106960916A - 一种oled器件的薄膜封装结构及其制备方法 - Google Patents

一种oled器件的薄膜封装结构及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106960916A
CN106960916A CN201710332632.1A CN201710332632A CN106960916A CN 106960916 A CN106960916 A CN 106960916A CN 201710332632 A CN201710332632 A CN 201710332632A CN 106960916 A CN106960916 A CN 106960916A
Authority
CN
China
Prior art keywords
layer
inorganic
thin film
organic buffer
film layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710332632.1A
Other languages
English (en)
Inventor
何超
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN201710332632.1A priority Critical patent/CN106960916A/zh
Publication of CN106960916A publication Critical patent/CN106960916A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/844Encapsulations
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/844Encapsulations
    • H10K50/8445Encapsulations multilayered coatings having a repetitive structure, e.g. having multiple organic-inorganic bilayers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

本发明公开了一种OLED器件的薄膜封装结构,包括:位于OLED基板上的底层无机薄膜层和顶层无机薄膜层;在所述底层无机薄膜层和顶层无机薄膜层之间,设有一个或多个有机缓冲层,所述多个有机缓冲层之间通过无机薄膜层相互隔开;其中,至少一个有机缓冲层内掺有无机疏水颗粒。本发明的OLED器件的薄膜封装结构,通过在缓冲层中掺有无机疏水颗粒,使水氧在薄膜封装结构中的渗透路径变长,或者难以形成,从而达到改善水氧渗透、提高封装效果的目的。本发明同时还提供了一种OLED器件的薄膜封装结构的制备方法,本方法操作简单,原料易得,易于大规模工业化生产。

Description

一种OLED器件的薄膜封装结构及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种OLED器件的薄膜封装结构及其制备方法,属于OLED器件封装领域。
背景技术
OLED(有机电致发光二极管)等自发光器件具有自发光、视角广、寿命长和节能环保等特点,目前OLED显示器与照明行业发展迅速,已成为重要的显示设计。
其中薄膜封装是一种优选的应用于类似OLED等自发光器件的封装方式,其通过在OLED基板表面沉积各功能层薄膜,达到隔水氧的目的,无须使用其他盖板,易于实现柔性显示。
然而,现有薄膜封装存在的主要问题是水氧渗透率目前还比较难达到量产标准。水氧的主要渗透模式有两种(如图1所示):
1.通过阻挡层(Barrier Layer)间的气孔(Pin hole)进行渗透;
2.表面的颗粒(Particle)造成的缺陷渗透。
因此,本发明提出一种新型薄膜封装结构,用于改善渗透模式1,降低薄膜的水氧渗透率,提升封装效果。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术存在的技术问题,提供一种OLED器件的薄膜封装结构,通过在缓冲层中掺有无机疏水颗粒,使水氧在薄膜封装结构中的渗透路径变长或者难以形成,从而延缓水氧的渗透,达到改善水氧渗透、提高封装效果的目的。本发明同时还提供了一种OLED器件的薄膜封装结构的制备方法,本方法操作简单,原料易得,易于大规模工业化生产。
根据本发明的一个方面,提供了一种OLED器件的薄膜封装结构,包括:
位于OLED基板上的底层无机薄膜层和顶层无机薄膜层;在所述底层无机薄膜层和顶层无机薄膜层之间,设有一个或多个有机缓冲层;
其中,至少一个有机缓冲层内掺有无机疏水颗粒。
根据本发明的一些实施方式,对于所述无机疏水颗粒没有特别的限定,可为本领域任何疏水的无机颗粒。优选包括氮化硅、氧化硅和氮化铝中的至少一种。
根据本发明的优选实施例,所述无机疏水颗粒的粒径为0.1-0.5μm。
根据本发明的一个实施例,所述掺有无机疏水颗粒的有机缓冲层中无机疏水颗粒的质量含量为15%-40%,优选为20%-35%。
如图2所示,在掺有无机疏水颗粒的有机缓冲层中,由于无机疏水颗粒疏水,水氧的渗透需要避开无机疏水颗粒,因此渗透途径更长,更难形成,从而降低了渗透效率。
根据本发明的优选实施方式,当存在多个有机缓冲层时,所述多个有机缓冲层之间通过无机薄膜层相互隔开。
根据本发明的另一个方面,提供了一种上述薄膜封装结构的制备方法,包括:
步骤A:在OLED基板上制备无机薄膜层;
步骤B:在所述无机薄膜上制备有机缓冲层;
步骤C:在所述有机缓冲层上制备无机薄膜层;
步骤D:任选地,重复步骤B和步骤C;
其中,至少一个有机缓冲层内掺有无机疏水颗粒。
根据本发明的一些实施方式,所述无机薄膜层通过化学气相沉积法或原子层沉积法制备。
根据本发明的优选实施例,所述无机薄膜层的制备方法具体包括:通过化学气相沉积法或原子层沉积法将无机材料沉积在无机薄膜载体上,制备无机薄膜层。
根据本发明的一个优选实施例,所述无机材料包括金属氧化物,优选包括氮化硅、氧化硅、碳氮化硅和氧化铝中的至少一种。
根据本发明的一些优选实施例,所述无机薄膜载体包括OLED基板和有机缓冲层。
根据本发明的一些实施方式,所述有机缓冲层通过溶液成膜法制备。
根据本发明的优选实施例,所述有机缓冲层的制备方法具体包括:
将无机疏水颗粒加入有机溶剂中,混合均匀,配制有机缓冲层膜液;
通过溶液成膜法将所述有机缓冲层膜液在所述无机薄膜上制备有机缓冲层。
根据本发明的一个优选实施例,所述有机溶剂选自丙烯酸类(Acrylic)、六甲基二甲硅醚、聚丙烯酸酯类、聚碳酸脂类和聚苯乙烯等。
根据本发明的一个优选实施例,对于所述膜液的配制方法没有特别的限定,例如可对加入了无机疏水颗粒的有机溶剂进行超声震荡或搅拌等处理,配制有机缓冲层膜液。
根据本发明的优选实施方式,可任选地重复步骤B和步骤C一次或多次,以在所述底层无机薄膜层和顶层无机薄膜层之间制备多个有机缓冲层。
根据本发明的一个实施方式,至少一个有机缓冲层的膜液中含有无机疏水颗粒。
本发明的一个优选实施例,所述无机疏水颗粒包括氮化硅、氧化硅和氮化铝中的至少一种。
根据本发明的一些实施方式,所述无机疏水颗粒的粒径为0.1-0.5μm。
根据本发明的一些优选实施例,所述溶液成膜法包括提拉法、网印法、喷墨打印法和旋涂法中的至少一种。
根据本发明,对于所述OLED基板没有特别的限定,可为本领域各种常见的OLED基板,例如可为包含陈列器件和有机器件层的OLED基板。
本发明的优点和有益技术效果如下:
本发明的OLED器件的薄膜封装结构,通过在缓冲层中掺有无机疏水颗粒,使水氧在薄膜封装结构中的渗透路径变长,或者难以形成,降低了水氧的渗透效率,从而达到改善水氧渗透、提高封装效果的目的。本发明OLED器件薄膜封装结构的制备方法,操作简单,原料易得,易于大规模工业化生产。
附图说明
图1为现有技术水氧渗透模式示意图;
图2为根据本发明水氧渗透模式示意图;
图3为本发明OLED器件薄膜封装结构的制备方法流程图;
图4为根据本发明实施例1的OLED器件的薄膜封装结构示意图;
图5为根据本发明实施例2的OLED器件的薄膜封装结构示意图;
图6为根据本发明实施例3的OLED器件的薄膜封装结构示意图;
附图标记说明:1、无机薄膜层;2、有机缓冲层;3、气孔;4、无机疏水颗粒;5、基板;6、颗粒。
具体实施方式
下面将结合具体实施例对本发明进一步解释说明:
如图4-6所示,本发明OLED器件的薄膜封装结构包括:位于OLED基板5上的底层无机薄膜层1和顶层无机薄膜层1,在所述底层无机薄膜层和顶层无机薄膜层之间设有一个或多个有机缓冲层2,所述多个有机缓冲层2之间通过无机薄膜层1相互隔开;至少一个有机缓冲层2内掺有无机疏水颗粒4。
在本发明的一个实施例中,本发明的OLED器件的薄膜封装结构包括位于OLED基板5上的底层无机薄膜层1和顶层无机薄膜层1;在底层无机薄膜层1和顶层无机薄膜层1中间,设有两层有机缓冲层2,靠近底层无机薄膜层1的有机缓冲层内掺有无机疏水颗粒4;两层有机缓冲层2之间通过一层无机薄膜层1相互隔开(如图4所示)。
在本发明的一个实施例中,本发明的OLED器件的薄膜封装结构包括位于OLED基板5上的底层无机薄膜层1和顶层无机薄膜层1;在底层无机薄膜层1和顶层无机薄膜层1中间,设有两层有机缓冲层2,靠近顶层无机薄膜层1的有机缓冲层内掺有无机疏水颗粒4;两层有机缓冲层2之间通过一层无机薄膜层1相互隔开(如图5所示)。
在本发明的一个实施例中,本发明的OLED器件的薄膜封装结构包括位于OLED基板5上的底层无机薄膜层1和顶层无机薄膜层1;在底层无机薄膜层1和顶层无机薄膜层1中间,设有三层有机缓冲层2,三层有机缓冲层内均掺有无机疏水颗粒4;三层有机缓冲层2之间通过两层无机薄膜层1相互隔开(如图6所示)。
实施例1
制备如图4所示的OLED器件的薄膜封装结构:
(1)通过化学气相沉积法将氮化硅沉积在OLED基板上,在OLED基板上制备底层无机薄膜层;
(2)将氮化硅加入六甲基二甲硅醚中,搅拌混合,制得有机缓冲层膜液,然后通过炫涂法将膜液涂布在所述底层无机薄膜层上,干燥后制得掺有无机疏水颗粒的有机缓冲层;
(3)通过化学气相沉积法将氧化硅沉积在步骤(2)制得的有机缓冲层上,在有机缓冲层上制备无机薄膜层;
(4)通过旋涂法将六甲基二甲硅醚溶液涂布在步骤(3)制得的无机薄膜层上,干燥后制得不掺有无机疏水颗粒的有机缓冲层;
(5)通过化学气相沉积法将氮化硅沉积在步骤(4)制得的有机缓冲层上,在有机缓冲层上制备顶层无机薄膜层。
实施例2
制备如图5所示的封装结构:
(1)通过原子层沉积法将氮化硅沉积在OLED基板上,在OLED基板上制备底层无机薄膜层;
(2)通过旋涂法将聚苯乙烯涂布在所述底层无机薄膜层上,干燥后制得不掺有无机疏水颗粒的有机缓冲层;
(3)通过化学气相沉积法将氧化硅沉积在步骤(2)制得的有机缓冲层上,在有机缓冲层上制备无机薄膜层;
(4)将氮化铝加入聚苯乙烯中,超声使其混合,制得有机缓冲层膜液,然后通过提拉法在步骤(3)制得的无机薄膜层上制得掺有无机疏水颗粒的有机缓冲层;
(5)通过原子层沉积法将氮化硅沉积在步骤(4)制得的有机缓冲层上,在有机缓冲层上制备顶层无机薄膜层。
实施例3
制备如图6所示的封装结构:
(1)通过化学气相沉积法将氧化硅沉积在OLED基板上,在OLED基板上制备底层无机薄膜层;
(2)将氮化硅加入聚苯乙烯中,搅拌混合,制得有机缓冲层膜液,然后通过喷墨打印法将膜液打印在所述底层无机薄膜层上,制得掺有无机疏水颗粒的有机缓冲层;
(3)通过化学气相沉积法将氧化硅沉积在步骤(2)制得的有机缓冲层上,在有机缓冲层上制备无机薄膜层;
(4)重复步骤(2)-(3)两次;
(5)通过原子层沉积法将碳氮化硅沉积在步骤(4)制得的有机缓冲层上,在有机缓冲层上制备顶层无机薄膜层。
在本发明中的提到的任何数值,如果在任何最低值和任何最高值之间只是有两个单位的间隔,则包括从最低值到最高值的每次增加一个单位的所有值。例如,如果声明一种组分的量,或诸如温度、压力、时间等工艺变量的值为50-90,在本说明书中它的意思是具体列举了51-89、52-88……以及69-71以及70-71等数值。对于非整数的值,可以适当考虑以0.1、0.01、0.001或0.0001为一单位。这仅是一些特殊指明的例子。在本申请中,以相似方式,所列举的最低值和最高值之间的数值的所有可能组合都被认为已经公开。
应当注意的是,以上所述的实施例仅用于解释本发明,并不构成对本发明的任何限制。通过参照典型实施例对本发明进行了描述,但应当理解为其中所用的词语为描述性和解释性词汇,而不是限定性词汇。可以按规定在本发明权利要求的范围内对本发明作出修改,以及在不背离本发明的范围和精神内对本发明进行修订。尽管其中描述的本发明涉及特定的方法、材料和实施例,但是并不意味着本发明限于其中公开的特定例,相反,本发明可扩展至其他所有具有相同功能的方法和应用。

Claims (10)

1.一种OLED器件的薄膜封装结构,包括:
位于OLED基板上的底层无机薄膜层和顶层无机薄膜层;
在所述底层无机薄膜层和顶层无机薄膜层之间,设有一个或多个有机缓冲层;
其中,至少一个有机缓冲层内掺有无机疏水颗粒。
2.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,所述无机疏水颗粒包括氮化硅、氧化硅和氮化铝中的至少一种。
3.根据权利要求2所述的结构,其特征在于,所述无机疏水颗粒的粒径为0.1-0.5μm。
4.根据权利要求3所述的结构,其特征在于,所述掺有无机疏水颗粒的有机缓冲层中无机疏水颗粒的质量含量为15%-40%。
5.根据权利要求1-4中任意一项所述的结构,其特征在于,当存在多个有机缓冲层时,所述多个有机缓冲层之间通过无机薄膜层相互隔开。
6.权利要求1-5中任意一项所述薄膜封装结构的制备方法,包括:
步骤A:在OLED基板上制备无机薄膜层;
步骤B:在所述无机薄膜层上制备有机缓冲层;
步骤C:在所述有机缓冲层上制备无机薄膜层;
步骤D:任选地,重复步骤B和步骤C;
其中,至少一个有机缓冲层内掺有无机疏水颗粒。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述无机薄膜层通过化学气相沉积法或原子层沉积法制备。
8.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述有机缓冲层通过溶液成膜法制备。
9.根据权利要求6所述的钻具,其特征在于,所述无机疏水颗粒包括氮化硅、氧化硅和氮化铝中的至少一种。
10.根据权利要求6或9所述的方法,其特征在于,所述无机疏水颗粒的粒径为0.1-0.5μm。
CN201710332632.1A 2017-05-12 2017-05-12 一种oled器件的薄膜封装结构及其制备方法 Pending CN106960916A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710332632.1A CN106960916A (zh) 2017-05-12 2017-05-12 一种oled器件的薄膜封装结构及其制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710332632.1A CN106960916A (zh) 2017-05-12 2017-05-12 一种oled器件的薄膜封装结构及其制备方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106960916A true CN106960916A (zh) 2017-07-18

Family

ID=59482204

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710332632.1A Pending CN106960916A (zh) 2017-05-12 2017-05-12 一种oled器件的薄膜封装结构及其制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106960916A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107565052A (zh) * 2017-08-25 2018-01-09 京东方科技集团股份有限公司 封装结构及其制造方法、显示装置
CN111540840A (zh) * 2020-04-28 2020-08-14 昆山国显光电有限公司 显示面板及显示装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101471425A (zh) * 2007-12-28 2009-07-01 比亚迪股份有限公司 一种电致发光器件
US20120146492A1 (en) * 2010-12-10 2012-06-14 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same
CN102945927A (zh) * 2012-11-09 2013-02-27 京东方科技集团股份有限公司 一种封装方法及显示器件
CN105098091A (zh) * 2015-06-15 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 Oled器件的封装结构及其封装方法
CN106206994A (zh) * 2016-09-26 2016-12-07 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板及制备方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101471425A (zh) * 2007-12-28 2009-07-01 比亚迪股份有限公司 一种电致发光器件
US20120146492A1 (en) * 2010-12-10 2012-06-14 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same
CN102945927A (zh) * 2012-11-09 2013-02-27 京东方科技集团股份有限公司 一种封装方法及显示器件
CN105098091A (zh) * 2015-06-15 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 Oled器件的封装结构及其封装方法
CN106206994A (zh) * 2016-09-26 2016-12-07 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板及制备方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107565052A (zh) * 2017-08-25 2018-01-09 京东方科技集团股份有限公司 封装结构及其制造方法、显示装置
CN107565052B (zh) * 2017-08-25 2020-04-17 京东方科技集团股份有限公司 封装结构及其制造方法、显示装置
US10665818B2 (en) 2017-08-25 2020-05-26 Boe Technology Group Co., Ltd. Encapsulation structure, method for producing the same, and display apparatus
CN111540840A (zh) * 2020-04-28 2020-08-14 昆山国显光电有限公司 显示面板及显示装置
CN111540840B (zh) * 2020-04-28 2022-11-15 昆山国显光电有限公司 显示面板及显示装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106299153A (zh) 一种薄膜封装方法及其结构
JP7048559B2 (ja) ハイブリッドコーティングを有する蛍光体および製造方法
CN106960916A (zh) 一种oled器件的薄膜封装结构及其制备方法
CN106876607B (zh) 一种薄膜封装结构、薄膜封装方法及显示装置
CN106328826A (zh) Oled显示装置及其制作方法
CN107863447B (zh) 制备oled薄膜封装层的方法、oled薄膜封装结构及oled结构
RU2005116679A (ru) Раствор для нанесения полисилазансодержащего покрытия и его применение
CN104576962A (zh) 用于封装敏感器件的装置以及用于制备所述器件的方法
CN107482126A (zh) Oled显示器及其制作方法
CN206451712U (zh) 一种新型柔性amoled显示屏封装结构
EP1743868A3 (en) Sealed semiconductor device with an inorganic bonding layer and method for manufacturing the semiconductor device
CN106981562A (zh) 量子点led封装结构
CN103378229A (zh) 以填胶烧结方式制造选择性成长遮罩的方法
CN109971459A (zh) 经涂覆的发光颗粒、发光转换器元件、光源、照明器以及制造经涂覆的发光颗粒的方法
CN108598278A (zh) 有机发光二极管的封装结构及其制备方法
Park et al. Hybrid multilayered films comprising organic monolayers and inorganic nanolayers for excellent flexible encapsulation films
WO2009077349A9 (en) Process for the preparation of semiconducting layers
US20190051862A1 (en) Display panel and method of manufacturing same
CN106374057A (zh) Oled器件的封装方法
US11552225B2 (en) Phosphor layer for micro-LED applications
CN107921473A (zh) 用于led照明和显示装置的经绝缘体涂覆的量子点
Klepper et al. Atomic layer deposition of organic–inorganic hybrid materials based on unsaturated linear carboxylic acids
CN107819004B (zh) 柔性显示面板及其制造方法、柔性显示器件
CN104201291A (zh) 一种有机电致发光器件及其制备方法
CN108461642A (zh) 一种有机发光二极管器件的薄膜封装构件

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20170718

RJ01 Rejection of invention patent application after publication