CN106909179A - 一种大型无尘室压差监测与调整方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种大型无尘室压差监测与调整方法,包括以下步骤：(1)总线敷设，按照常规工艺对总线进行敷设；(2)压差测试点位置的选择，(3)安装导压管，(4)压差传感器及数据采集器的安装，(5)计算机处理进行数值比对；(6)在进行压差调整与控制前的检查后，根据压差显示、超差报警控制***调整相关电动或手动风阀开度。通过压差传感器实现了测量数据的同步实时传输，极大的加快了测量的相应速度。同一洁净单元内按工艺需求设置测量点位置，确保气流体符合工艺需求。多个区域的压差数据传输至计算机，通过计算比较，直观反映了各区域压差情况。
Description
技术领域
本发明涉及电机技术领域，具体为一种大型无尘室压差监测与调整方法。
背景技术
压差控制在净化空调***中是一个非常重要的环节。只有通过对净化区域的压差进行控制，保证合理的气流组织，才能达到净化和工艺的要求。而压差的监测是压差控制的基础，压差测定的稳定性和相应速度又关系到压差控制的及时与准确。
洁净厂房压差目前普遍采用便携式微压差计、电子压差计等进行测定，具有直观、方便的特点。但是也存在着测定时间长、重复性差(测定位置变化)、测定数据不能即时反馈等；同步性差等缺点。特别大型洁净厂房，其压差的调整与控制周期显得特别长，监测与调整控制不能同步进行。
发明内容
本发明的目的在于提供一种为了强化大型洁净厂房压差测量(监测)和压差调整(控制)的同步性、协调性，缩短其调试周期，引入压差传感器进行测量(监测)并进行数据传输、采用计算机技术进行计算对比，具有各洁净单元的压差显示、超差报警功能，并为压差人工调试(控制)或自动控制调试提供辅助。，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种大型无尘室压差监测与调整方法,包括以下步骤：
(1)总线敷设，按照常规工艺对总线进行敷设；
(2)压差测试点位置的选择，根据送回风口位置,选择气流相对稳定,瞬间波动影响较小的位置,使取压点相对稳定地反映房间的真实压差，测管口应设在无尘室内没有气流影响的地方，测管口平面应与气流方向平行；
(3)安装导压管，按照常规工艺对导压管进行敷设，减少导压管长度，缩短路径，避免导压管弯曲度过小，造成瘪管，影响检测结果；
(4)压差传感器及数据采集器的安装，在对压差传感器及数据采集器进行校准后进行安装，压差测量时采用便携式微压差计进行对比校正；
(5)计算机处理进行数值比对；
(6)在进行压差调整与控制前的检查后，根据压差显示、超差报警控制***调整相关电动或手动风阀开度。
优选的，无尘室内洁净区保持正压，洁净室内的空气是由高洁净区流向低洁净区或由洁净区流向非洁净区；相邻不同等级的无尘室之间静压差不低于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不小于10Pa，洁净区与室外的压差，不小于12Pa。
优选的，步骤(6)中压差调整与控制前的检查包括气密性检查和风***检查；
气密性检查各小无尘室相对于其他无尘室或非洁净区之间的气密性，包括无尘室天地墙之间的接缝、各种管线桥架穿无尘室天地墙的接缝、无尘室天地墙与结构柱之间的接缝、无尘室墙及天花本身之间的接缝、门窗及检修孔与墙天花之间的接缝以及所有不允许过风的孔洞，均要气密完好
风***检查首先检查所有FFU是否能正常运行，测定其风量是否能达到额定风量；检查所有空调新风，阀门及变频风机开到最大时测定其每支新风管最大新风量是否满足设计要求，如有无尘室采用循环风空调箱，则需检查其最大送回风风量是否能满足图纸设计要求；检查新风***各调节阀能否自由调节，调节各泄压阀其压差值使之符合先前确定的静压差要求，检查所有动态时会正常运行的排风***，测定其排风量是否已达到最排风量；
以上检查如有不满足要求，则需分析原因，采取相应措施使之正常后才能进行压差调整。
优选的，步骤(6)中压差调整与控制在静态或动态下进行；
调整所有新风***的风量，包含新风机组之变频电机，新风***的所有风阀，各个小无尘室之间送风用的风阀，使之风量达到最大值；
压差测定及调整合格后，用红漆在所有新风阀上作标记，并将阀门位置固定，不得随意变动。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明通过压差传感器实现了测量数据的同步实时传输，极大的加快了测量的相应速度。同一洁净单元内按工艺需求设置测量点位置，确保气流体符合工艺需求。多个区域的压差数据传输至计算机，通过计算比较，直观反映了各区域压差情况。无论采用手动调试或自动控制，能即时反映压差变化情况，并通过反复调试，满足设计及工艺要求。传输与控制部分采用二总线制，投入费用低。洁净室内的测试口可密封，可定期重复使用进行测试，并且调试结束后，可将压差控制器拆除，接入压差表，充分利用了资源。
附图说明
图1为本发明的工艺流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，本发明提供一种技术方案：一种大型无尘室压差监测与调整方法,包括以下步骤：
(1)总线敷设，按照常规工艺对总线进行敷设；
(2)压差测试点位置的选择，根据送回风口位置,选择气流相对稳定,瞬间波动影响较小的位置,使取压点相对稳定地反映房间的真实压差，测管口应设在无尘室内没有气流影响的地方，测管口平面应与气流方向平行；
(3)安装导压管，按照常规工艺对导压管进行敷设，减少导压管长度，缩短路径，避免导压管弯曲度过小，造成瘪管，影响检测结果；
(4)安装压差传感器及数据采集器，在对压差传感器及数据采集器进行校准后进行安装，压差测量时采用便携式微压差计进行对比校正；
(5)计算机处理进行数值比对；
(6)在进行压差调整与控制前的检查后，根据压差显示、超差报警控制***调整相关电动或手动风阀开度。
无尘室内洁净区保持正压，洁净室内的空气是由高洁净区流向低洁净区或由洁净区流向非洁净区；相邻不同等级的无尘室之间静压差不低于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不小于10Pa，洁净区与室外的压差，不小于12Pa。静压设定值的选取,应从保证洁净度及节能两方面考虑。由于规范中只给出了要求静压差的下限值,而无上限要求,因而***的风量设计往往考虑控制中的波动因素,设计压差值易选取过大。如相邻级别不同的洁净间之间,以10Pa为控制基准(考虑干扰因素引起的滞后调节),则最高级别房间的压差设定值相对室外可达40Pa以上。为了可靠,有可能将设定值选的更高。其结果是，静压过高，加大了无尘室内洁净空气的泄漏量，为保证高压差就需要更多的新风量，造成了不必要的浪费。但如过低的选取无尘室静压值，由于其压差较小，降低了无尘室静压的抗干扰能力，给无尘室洁净度带来很大的风险，有可能会降低产品的合格率，给生产造成更大的损失。有实际经验资料表明,不同等级的洁净室之间、洁净区与非洁净区之间的静压差保持在2.94Pa以上，洁净区与室外之间的压差保持在4.9Pa以上，即可保证洁净室不受外界空气的污染,其洁净度也是可以保证的。因此,必须根据无尘室的实际情况(主要是可能出现的干扰源情况及洁净度等级需求)，合理选择不同等级洁净室之间及其与非洁净室之间的压差值,既满足洁净度的可靠性、稳定性,同时避免不必要的浪费。一个大型的无尘室，根据生产工艺的需求不同，往往由十几甚至几十个洁净等级不一的小无尘室组成，如南京中电熊猫6.5代液晶面板生产线，就是一个特大型的无尘室，其大大小小的洁净等级不一的小无尘室就有几百个，气流组织错综复杂，确定好各个小无尘室的静压，是保证其气流组织符合生产工艺需求的第一步。
步骤(6)中压差调整与控制前的检查包括气密性检查和风***检查；气密性检查各小无尘室相对于其他无尘室或非洁净区之间的气密性，包括无尘室天地墙之间的接缝、各种管线桥架穿无尘室天地墙的接缝、无尘室天地墙与结构柱之间的接缝、无尘室墙及天花本身之间的接缝、门窗及检修孔与墙天花之间的接缝以及所有不允许过风的孔洞，均要气密完好。确定各个小无尘室的静压，须先确定局部区域内最低等级小无尘室(假设为A类无尘室，往往A类无尘室不只一个)的静压(一般比非洁净区高10Pa左右)，然后再确定与之相邻的所有小无尘室(暂定为B类无尘室)的静压(至少比A类高5Pa)，确定好B类无尘室静压后，再确定与B类无尘室相邻的无尘室(暂定为C类无尘室)的静压，C类无尘室其洁净等级应比B高，则其静压要高出5Pa，如比B低，则该小无尘室应为A类，其静压要比B类低5Pa，如果相邻两小无尘室洁净等级相同，则按图纸设计时的气流流向，其气流流出端的小无尘室静压要低5Pa，如此类推，直至所有小无尘室的静压确定完为止。以此方法确定无尘室静压，有可能一个小无尘室会有两个或更多个静压，为确保气流流向符合工艺需求，则该小无尘室静压以最高值为依据进行调试。
风***检查首先检查所有FFU是否能正常运行，测定其风量是否能达到额定风量；检查所有空调新风，阀门及变频风机开到最大时测定其每支新风管最大新风量是否满足设计要求，如有无尘室采用循环风空调箱，则需检查其最大送回风风量是否能满足图纸设计要求；检查新风***各调节阀能否自由调节，调节各泄压阀其压差值使之符合先前确定的静压差要求，检查所有动态时会正常运行的排风***，测定其排风量是否已达到最排风量；
以上检查如有不满足要求，则需分析原因，采取相应措施使之正常后才能进行压差调整。
压差调整与控制一般在静态或动态下进行，此时FFU已全部运行，制程排气***已全部已在最大排风量状态下运行，空调新风也已运行多时。
首先调整所有新风***的风量，包含新风机组之变频电机，新风***的所有风阀，各个小无尘室之间送风用的风阀，使之风量达到最大值。
确认所有A类无尘室的门均处于关闭状态，再从计算机监控中心观察各个A类小无尘室之静压，或实地用便携式压差计测量，一般此时A类无尘室静压均高于按5.4.3确定的设定值(否则便是无尘室气密性很差，其漏风量很大或新风风量没达到设计要求)，此时调小该小无尘室之新风阀门，或相邻无尘室送入该无尘室的风阀，使之静压比设定值略大0～2Pa左右。
A类小无尘室静压调整完毕后，从监控中心观察各个B类小无尘室之静压，一般此时B类小无尘室之静压也均高于5.4.3中设定值，此时调小B类小无尘室之新风阀门或新风机组变频电机之频率，或相邻小无尘室送入该无尘室的风阀，使之静压维持在比设定值略高0～2Pa，此时再从监控中心观察A类小无尘室之静压，如其静压低于设定值，则略为同时加大A、B类无尘室之新风或送风阀门开度或变频电机之频率，使A、B类小无尘室之静压均比设定值略高0～2Pa。C类小无尘室静压的调整同B类，只是初调完毕后要同时从监控中心观察A、B类小无尘室之静压，如其静压低于设定值，则略为同时加大A、B、C类小无尘室之新风阀开度或新风机组之变频电机频率，使A、B、C类小无尘室之静压均比设定值高0～2Pa。以此类推，直到所有小无尘室之静压均略大于设定值0～2Pa为止。
压差测定及调整合格后，用红漆在所有新风阀上作标记，并将阀门位置固定，不得随意变动。若选用自动控制，则将以上需手动调节之风阀均换成VAV(变风量调节单元)或比例式电动风阀，当监控中心收到现场传感器测得的数据信号后，即与标准值对比，并发出指令无级调节相应VAV或比例式电动风阀开度，改变新风量，从而调节其静压。使用VAV自动控制无尘室静压效率很高，能及时同步调节新风量，保证无尘室静压的稳定性，但由于VAV造价较高，所以其一次性投入成本较大，所以相比较而言，电动风阀由于其价格低廉，则在工程实践中应用较多。每次从监控中心观察各小无尘室静压时均需确认，调试区域内无尘室的门均已处于关闭状态。
为避免无尘室内正压过大，影响生产，特别是液晶电子厂房，正压过大时会引起液晶破片，必须在相邻无尘室之间的隔墙上安装余压阀。由于生产工艺的需求，相邻无尘室之间存在不可关闭的开口时，还必须测量开口处的风速及风向，其风速及风向应符合设计要求。调试完成后，必须测试所有调节风阀的风量，分析其数据并与设计风量相比较，反过来验证无尘室的气密性，以避免因气密性差引起的能源浪费。
与传统监测及控制方法相比，该工法采用了二总线制传输与控制，电脑分析采集数据，大大减少人工，提高了效率，节省了调试时间和费用。采用本技术，能明显缩短大型无尘室静压调试的周期，满足了电子厂房工期短，生产任务紧的需求，为电子生产企业早日进军市场创造了条件。提高了企业施工技术水平，降低了企业的施工成本，企业的竞争优势得到了加强。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (4)
1.一种大型无尘室压差监测与调整方法,其特征在于：包括以下步骤：
(1)总线敷设，按照常规工艺对总线进行敷设；
(2)压差测试点位置的选择，根据送回风口位置,选择气流相对稳定,瞬间波动影响较小的位置,使取压点相对稳定地反映房间的真实压差，测管口应设在无尘室内没有气流影响的地方，测管口平面应与气流方向平行；
(3)安装导压管，按照常规工艺对导压管进行敷设，减少导压管长度，缩短路径，避免导压管弯曲度过小，造成瘪管，影响检测结果；
(4)压差传感器及数据采集器的安装，在对压差传感器及数据采集器进行校准后进行安装，压差测量时采用便携式微压差计进行对比校正；
(5)计算机处理进行数值比对；
(6)在进行压差调整与控制前的检查后，根据压差显示、超差报警控制***调整相关电动或手动风阀开度。
2.根据权利要求1所述的一种大型无尘室压差监测与调整方法，其特征在于：所述无尘室内洁净区保持正压，洁净室内的空气是由高洁净区流向低洁净区或由洁净区流向非洁净区；相邻不同等级的无尘室之间静压差不低于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不小于10Pa，洁净区与室外的压差，不小于12Pa。
3.根据权利要求1所述的一种大型无尘室压差监测与调整方法，其特征在于：所述步骤(6)中压差调整与控制前的检查包括气密性检查和风***检查；
所述气密性检查各小无尘室相对于其他无尘室或非洁净区之间的气密性，包括无尘室天地墙之间的接缝、各种管线桥架穿无尘室天地墙的接缝、无尘室天地墙与结构柱之间的接缝、无尘室墙及天花本身之间的接缝、门窗及检修孔与墙天花之间的接缝以及所有不允许过风的孔洞，均要气密完好
所述风***检查首先检查所有FFU是否能正常运行，测定其风量是否能达到额定风量；检查所有空调新风，阀门及变频风机开到最大时测定其每支新风管最大新风量是否满足设计要求，如有无尘室采用循环风空调箱，则需检查其最大送回风风量是否能满足图纸设计要求；检查新风***各调节阀能否自由调节，调节各泄压阀其压差值使之符合先前确定的静压差要求，检查所有动态时会正常运行的排风***，测定其排风量是否已达到最排风量；
以上检查如有不满足要求，则需分析原因，采取相应措施使之正常后才能进行压差调整。
4.根据权利要求1所述的一种大型无尘室压差监测与调整方法，其特征在于：所述步骤(6)中压差调整与控制在静态或动态下进行；
调整所有新风***的风量，包含新风机组之变频电机，新风***的所有风阀，各个小无尘室之间送风用的风阀，使之风量达到最大值；压差测定及调整合格后，用红漆在所有新风阀上作标记，并将阀门位置固定，不得随意变动。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20170630 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |