CN106908004B - 一种基于矢量光场的距离探测***及其应用 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基于矢量光场的距离探测***及其应用,包括矢量光源、反光镜、双透镜、双缝、凸透镜、光电探测器和信号处理***;将双缝设置在初始点位置,将光电探测器设置在待测点位置,所述矢量光源向反光镜发射矢量光,矢量光经反光镜反射后,经双透镜调整光路宽度后,然后射入双缝,产生干涉图样;根据光电探测器测得的光信息获得所述待测物体的距离。该***具有测量精度高,且结构简单,安装方便,价格低廉,适用范围广的特点。

Description

一种基于矢量光场的距离探测***及其应用
技术领域
本发明涉及矢量光测位移领域,尤其涉及一种基于矢量光场的距离探测***及其应用。
背景技术
激光干涉法测位移。这是一种相对测量,它无法测得一个物体离仪器的绝对距离,但可以测得两被测物体的相对距离。它的原理是一台迈克尔逊干涉仪,利用反射镜距离变化时干涉条纹的变化来测量,反射镜从物体A运动到物体B,干涉条纹变化的数量反映了其距离。这种测量要求条件较高,但是可以精确测量,它也是目前所有测量手段中最精确的一种。而矢量光场测位移,是对光学测位移的一项技术革新,使得原来的干涉条纹由一维变为二维,极大的提高了***灵敏度,使得位移测量更加的精确。
发明内容
本发明的目的是在于提供一种利用矢量光场的干涉条纹的距离探测***及其应用,具有测量精度高,且结构简单,安装方便,价格低廉,适用范围广等特点。
本发明通过以下技术方案来实现:一种基于矢量光场的距离探测***,包括矢量光源、反光镜、双透镜、双缝、凸透镜、光电探测器和信号处理***;将双缝设置在初始点位置,将光电探测器设置在待测点位置,所述矢量光源向反光镜发射矢量光,矢量光经反光镜反射后,经双透镜调整光路宽度后,形成半径为ε的光束,然后射入双缝,产生干涉,经凸透镜聚焦后,射入光电探测器,光电探测器测得干涉图样中任一点P的光强I,并输入到信号处理***,信号处理***通过计算获得初始点到待测点之间的距离d=πbx/(λδ),其中,δ=arccos[(I-2)/(2(cos2mθB))],m为拓扑荷数,b为狭缝间距,x为P点到干涉图样中心点的水平距离,θB=arccos(b/(2ε)),λ为矢量光波长。
进一步地,所述的双缝模板为微结构双缝。
进一步地,所述的光电探测器为面阵探测器或线阵探测器,还可以是点阵探测器。
一种距离探测***在直线位移传感中的应用,该应用为,将所述光电探测器与待测物体连接,将所述双缝设置在待测物体直线运动的延长线上,根据光电探测器测得的光信息获得所述待测物体的实时位移。
本发明的有益效果在于:该***具有测量精度高,且结构简单,安装方便,价格低廉,适用范围广的特点。
附图说明
图1为矢量光束通过双缝的演示;
图2为双缝干涉装置示意图;
图3为矢量光束投射原理图;
图4为当初始相位为0,拓扑荷数为1,调控参数为1时的干涉条纹图样。
图中,矢量光源1、反光镜2、双透镜3、双缝4、凸透镜5、光电探测器6、信号处理***7。
具体实施方式
如图3所示,一种基于矢量光场的距离探测***,包括矢量光源1、反光镜2、双透镜3、双缝4、凸透镜5、光电探测器6和信号处理***7;将双缝4设置在初始点位置,将光电探测器6设置在待测点位置,所述矢量光源1向反光镜2发射矢量光,矢量光经反光镜2反射后,经双透镜3调整光路宽度后,形成半径为ε的光束,然后射入双缝4,产生干涉,经凸透镜5聚焦后,射入光电探测器6,干涉条纹的产生通过以下方法实现:
已知任意混合偏振态矢量光场的光场强度公式为:
其中r=(x2+y2)1/2,即为经双透镜3调整光路宽度后的光束半径,r=ε,θ=arctan(y/x),m为拓扑荷数,θ0为矢量光的初始相位,l/r0为矢量光沿径向的偏振态变化快慢参数。ex和ey分别为x方向和y方向上的单位矢量,A0表示振幅,在接下来的推算中,我们认为A位于光束截面上任意一点均为恒定值。r表示在狭缝所在的xy平面上,笛卡尔坐标系中原点到考察点的距离。θ为光束横截面所在的极坐标系的方位角。如图1所示,在xy平面上存在AB两条狭缝,狭缝之间的距离为b,同时AB狭缝到原点的距离相同,并且相互平行,与x轴垂直,狭缝宽度为a。当由公式所表示的单色混合偏振态矢量光场通过两条狭缝后,可以等效为两个次级线光源,最后在平行于xy平面后的观测平面上进行叠加。我们取d为狭缝到观测平面的距离。假设狭缝的宽度足够小且长度无限,此外狭缝间距b的尺度与缝到观测平面的距离d相比也足够小。
分解矢量光场进行理论计算:
将混合偏振态矢量光场分解为x与y方向的两个分量偏振光,彼此相对独立。表达式分别写作
Ex(θ)=cos[mθ+2πl(r/r0)+θ0]
Ey(θ)=sin[mθ+2πl(r/r0)+θ0]
当光束到达AB狭缝时,光束可以看成是如图1所示,从图中可以看出,只有恰好位于狭缝所在位置的光线才可以通过狭缝。狭缝AB关于y轴对称,因此位于两狭缝上y坐标值相同的两个点所对应原点的方位角分别为θA与θB。我们可以发现θA与θB互为补角关系,即θA=π-θB。当分解的x与y方向的偏振光场通过AB狭缝时,其表达式可以写为:
可以分别写出x方向偏振态分量以及y方向偏振态分量在干涉后的光强表达式Ix与Iy。首先我们令
则Ix与Iy的光强表达式可以简化写为:
其中δ为通过AB两狭缝光束之间的相位差。在杨氏双缝干涉实验中,如图3-2所示,设入射光源的初相位为φ0(t),它是一个随机产生的量,考察位置P处分别接收来自(QAP)与(QBP)两个光扰动的相位分别写为:
则相位差为
总的干涉强度公式为
I(x,y)=Ix(x,y)+Iy(x,y)=2+2cos(2mθB)cosδ
δ=2πbx/(λd)
其中d是双缝所在平面到光电传感器所在平面的距离,也就是我们所需要测量的距离。
即d=2πbx/(λδ)。
下面通过以下实验验证本发明所述方法的可靠性:
设置试验距离5cm、20cm、1m,按照图3所示的布置方式布置矢量光源1、反光镜2、双透镜3、双缝4、凸透镜5、光电探测器6和信号处理***7;将双缝4设置在初始点位置,将光电探测器6设置在待测点位置,所述矢量光源1向反光镜2发射矢量光,矢量光经反光镜2反射后,经双透镜3调整光路宽度后,形成半径为ε的光束,然后射入双缝4,产生干涉,经凸透镜5聚焦后,射入光电探测器6,光电探测器6测得干涉图样中任一点P的光强I,并输入到信号处理***7,信号处理***7通过计算获得初始点到待测点之间的距离d=2πbx/(λδ),其中,δ=arccos[(I-2)/(2(cos2mθB))];
m为拓扑荷数,b为狭缝间距,x为P点到干涉图样中心点的水平距离,θB=arccos(b/(2ε)),λ为矢量光波长。
三个测量距离的结果输出如下表所示:
设定距离 5cm 20cm 1m
测量结果 5.002cm 19.998cm 100.003cm
本发明还提供上述距离探测***在直线位移传感中的应用,该应用为,将所述光电探测器7与待测物体连接,将所述双缝4设置在待测物体直线运动的延长线上,根据光电探测器7测得的光信息获得所述待测物体的实时位移。

Claims (4)

1.一种基于矢量光场的距离探测***,其特征在于,包括矢量光源(1)、反光镜(2)、双透镜(3)、双缝(4)、凸透镜(5)、光电探测器(6)和信号处理***(7);将双缝(4)设置在初始点位置,将光电探测器(6)设置在待测点位置,所述矢量光源(1)向反光镜(2)发射矢量光,矢量光经反光镜(2)反射后,经双透镜(3)调整光路宽度后,形成半径为ε的光束,然后射入双缝(4),产生干涉,经凸透镜(5)聚焦后,射入光电探测器(6),光电探测器(6)测得干涉图样中任一点P的光强I,并输入到信号处理***(7),信号处理***(7)通过计算获得初始点到待测点之间的距离d=2πbx/(λδ),其中,δ=arccos[(I-2)/(2(cos2mθB))];
m为拓扑荷数,b为狭缝间距,x为P点到干涉图样中心点的水平距离,θB=arccos(b/(2ε)),λ为矢量光波长;
在探测直线位移时,将所述光电探测器与待测物体连接,将所述双缝设置在待测物体直线运动的延长线上,根据光电探测器测得的光信息获得所述待测物体的实时位移。
2.根据权利要求1所述的距离探测***,其特征在于,所述的双缝(4)为微结构双缝。
3.根据权利要求1所述的距离探测***,其特征在于,所述的光电探测器(6)为面阵探测器或线阵探测器,或是点阵探测器。
4.一种权利要求1所述距离探测***在直线位移传感中的使用方法,其特征在于,该方法为,将所述光电探测器(6)与待测物体连接,将所述双缝(4)设置在待测物体直线运动的延长线上,根据光电探测器(6)测得的光信息获得所述待测物体的实时位移。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109375397B (zh) * 2018-12-12 2021-04-30 浙江理工大学 一种基于矢量涡旋光束的正交圆偏振光的测距***
CN109557679B (zh) * 2019-01-07 2020-10-27 浙江理工大学 一种基于径向偏振变化的矢量光束的线偏振光生成装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101458211A (zh) * 2007-12-12 2009-06-17 中国科学院高能物理研究所 多缝滤波双缝干涉仪
CN101846553A (zh) * 2010-03-30 2010-09-29 北京理工大学 一种利用双缝干涉法测量偏振态的装置及方法
CN102607435A (zh) * 2012-03-27 2012-07-25 黑龙江工程学院 利用双缝干涉法测量光学薄膜厚度的装置及方法
CN203687880U (zh) * 2014-01-20 2014-07-02 浙江大学 一种光学位移测量***
CN104034268A (zh) * 2014-07-01 2014-09-10 西安工业大学 双缝干涉条纹解码光谱共焦位移传感器及其位移测量方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101458211A (zh) * 2007-12-12 2009-06-17 中国科学院高能物理研究所 多缝滤波双缝干涉仪
CN101846553A (zh) * 2010-03-30 2010-09-29 北京理工大学 一种利用双缝干涉法测量偏振态的装置及方法
CN102607435A (zh) * 2012-03-27 2012-07-25 黑龙江工程学院 利用双缝干涉法测量光学薄膜厚度的装置及方法
CN203687880U (zh) * 2014-01-20 2014-07-02 浙江大学 一种光学位移测量***
CN104034268A (zh) * 2014-07-01 2014-09-10 西安工业大学 双缝干涉条纹解码光谱共焦位移传感器及其位移测量方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
The Two-slit Interference of Vector Optical Fields with Radially-variant Polarization;Tengyue Gao等;《Progress In Electromagnetic Research Symposium》;20160811;正文第2节,图1
Young’s two-slit interference of vector light fields;Yongnan Li等;《OPTICS LETTERS》;20120601;第37卷(第11期);第1790-1792页

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