CN106866156A - 一种低介电常数α‑Si3N4多孔陶瓷的制备方法 - Google Patents

一种低介电常数α‑Si3N4多孔陶瓷的制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种低介电常数α‑Si3N4多孔陶瓷的制备方法,按照如下步骤进行:a、以稻壳为原料,制备得到碳硅质前驱体,再添加α‑Si3N4粉体、烧结助剂,组成陶瓷原料;b、将凝胶物质和分散剂分散在去离子水中,与上述陶瓷原料混合,球磨4‑8h后取出,真空除泡10‑30min,形成浆料;然后水浴加热至40‑80℃,使浆料中的凝胶物质完全溶解,其中浆料的固相含量为35‑60%;c、将上述料浆注入预热的模具中,进行注凝成型,脱模干燥,得到坯体;最后烧结自然冷却至室温,即获得低介电常数α‑Si3N4多孔陶瓷。

Description

一种低介电常数α-Si3N4多孔陶瓷的制备方法
技术领域
本发明属于功能陶瓷制备技术领域。涉及结构-功能一体陶瓷的制备方法,具体涉及一种低介电常数α-Si3N4多孔陶瓷的制备方法。
背景技术
氮化硅多孔陶瓷不仅具有良好的高低温综合性能,还具有优秀的电学性能,成为研究热点,已经被广泛应用在航天航空、汽车发动、机械、化工、石油等领域。但是现有的氮化硅多孔陶瓷密度较高,介电常数较大,国内外学者致力于通过制备多孔氮化硅陶瓷的方式,提高氮化硅陶瓷的介电性能。
早在1857年Deville和Wohler就用单质硅与氨或氮气反应合成氮化硅。氮化硅属于较强的无机共价健化合物,研究发现氮化硅有α-Si3N4和β-Si3N4两种晶型。α型晶粒的形状是等轴状,具有较高的硬度;β型晶粒的形状是长柱状,具有较高的断裂韧性和强度。Si3N4由于原子扩散速率较慢,所以一般要加入适量的烧结助剂,形成一定的液相,在烧结高温过程中促进氮化硅多孔陶瓷的制备。在致密化的过程中时常伴随着α相向β相的转变。通过研究发现,α-Si3N4比β-Si3N4的介电常数和介电损耗要低,所以控制α-Si3N4向β-Si3N4的晶型转变,对于制备α-Si3N4基陶瓷材料具有非常大的实用意义。
申请号201510630894.7和201510761777.4制备氮化硅多孔陶瓷,利用有机单体与交联剂在催化作用下发生交联反应,完成注凝成型,可制备高气孔率、孔径均匀的陶瓷制品。申请号201510628862.3将氮化硅粉、烧结助剂粉与有机单体、交联剂混合,进行注凝成型,然后将所得坯体在保护气氛下微波烧结,可制备具有闭合气孔和力学性能较好的陶瓷。但是这些注凝成型中使用的有机单体属于丙烯酰胺体系,属于低毒性的有机物,具有一定危险性。另外只是改进了气孔率等宏观性能,没有研究其电学性能,应用范围不够宽泛。
发明内容
发明目的:针对现有技术中的不足之处,本发明以稻壳为原料制备低介电常数的α-Si3N4多孔陶瓷。本发明不仅可以获得气孔率较高的多孔陶瓷,而且解决了α-Si3N4相多孔陶瓷制备方法复杂的难题。
技术方案:本发明所述的低介电常数α-Si3N4多孔陶瓷的制备方法,按照如下步骤进行:
a、以稻壳为原料,制备得到碳硅质前驱体,再添加α-Si3N4粉体、烧结助剂,组成陶瓷原料;
b、将凝胶物质和分散剂分散在去离子水中,与上述陶瓷原料混合,球磨4-8h后取出,真空除泡10-30min,形成浆料;然后水浴加热至40-80℃,使浆料中的凝胶物质完全溶解,其中浆料的固相含量为35-60%;
c、将上述料浆注入预热的模具中,进行注凝成型,脱模干燥,得到坯体;最后烧结自然冷却至室温,即获得低介电常数α-Si3N4多孔陶瓷。
上述步骤中,所述的陶瓷原料通过如下方法得到:将稻壳清洗,烘干,碳化,粉磨,得到碳硅质前驱体,其中C与SiO2的重量比为0.4~1.2,再与α-Si3N4粉体、烧结助剂混合,得到陶瓷原料;其中碳硅质前驱体、α-Si3N4粉体、烧结助剂的比例为(75~95):(5~20):5。优选成分配比为碳硅质前驱体、α-Si3N4粉体、烧结助剂的比例为85:10:5。
上述步骤中,所述的α-Si3N4粉体,纯度达99.9%,所含α相大于95%,平均粒径为0.6-0.8μm。
上述步骤中,所述的烧结助剂,是由MgO与La2O3、Nd2O3、CeO2或Lu2O3中的任何一种组合而成,比例为2:3。
上述步骤中,所述的凝胶物质为卡拉胶、明胶、果胶或琼脂糖中的任何一种,凝胶物质用量占原料重量的1-2%。
上述步骤中,所述的分散剂为聚丙烯酸铵、聚甲基丙烯酸铵或聚乙二醇中的任何一种,分散剂用量占陶瓷原料重量的0.5-2%。
上述步骤中,所述的注凝成型,首先将成型磨具预热35~75℃,将制备好的料浆倒入加热好的磨具中,降温至凝胶点(25-40℃)并静置10~25min完成原位固化过程。
上述步骤中,所述的干燥,是在烘箱中进行的,坯体于40℃下干燥10h,在50℃下干燥至恒重。
上述步骤中,所述的烧结,将干燥后的坯体置于真空烧结炉,以15℃/min的升温速度快速升温至750℃时,充入氮气,再以2.5℃/min的升温速度升温至1340℃保温3h,最后升温至1400℃保温2h。
有益效果:采用本发明所述的制备方法可获得低介电常数的α-Si3N4多孔陶瓷,介电常数小,小于3,抗弯强度高,大于10MPa,显气孔率为55~72%。该陶瓷材料主晶相为a相氮化硅,在保证一定强度和气孔率的条件下,提高其介电性能,以便应用于航空航天、烟气处理和汽车尾气处理等领域。
本发明采用稻壳为原料,是固体废弃物的有效利用,是变废为宝;烧结温度极大的降低。降低成本,节能环保,减少污染。
本发明采用注凝成型,利用多糖类高分子具有热熔胶特性,在水中加热溶解,冷却时形成凝胶而产生原位固化来实现的。此方法无毒性,环境友好;大分子添加量较少,无需脱脂,干燥后直接烧结;所以成型坯体组分均匀、密度均匀、缺陷少。该工艺制备的生坯强度高,可进行机械再加工,真正实现近尺寸成型。
附图说明
图1为实施例1烧结试样的XRD图
具体实施方式:
以下参照具体的实施例来说明本发明。本领域技术人员能够理解,这些实施例仅用于说明本发明,其不以任何方式限制本发明的范围。
下述实施例中所用的原料、试剂材料等,如无特殊说明,均为市售购买产品。
实施例1
(1)陶瓷原料制备:将稻壳清洗,烘干,粉磨,碳化,得到碳硅质前驱体,其中C与SiO2的重量比为0.7。按重量比,称取85份碳硅质前驱体、10份α-Si3N4粉体、2份MgO与3份La2O3组成陶瓷原料;
(2)浆料制备:将1%卡拉胶和1%聚丙烯酸铵分散在去离子水中,与上述陶瓷原料混合,球磨8h后取出,真空除泡20min,形成浆料;然后水浴加热至65℃,其中浆料的固相含量为45%;
(3)注凝成型:先将成型磨具预热60℃,将制备好的料浆倒入加热好的磨具中,降温至凝胶点30℃并静置20min完成原位固化过程,脱模后坯体于40℃下干燥10h,在50℃下干燥至恒重;
(4)烧成:将干燥后的坯体置于真空烧结炉,以15℃/min的升温速度快速升温至750℃时,充入氮气,再以2.5℃/min的升温速度升温至1340℃保温3h,最后升温至1400℃保温2h。
(5)性能测试:获得低介电常数的α-Si3N4多孔陶瓷,在20℃下介电常数为1.1,抗弯强度13MPa,显气孔率为64%。
实施例2
(1)陶瓷原料制备:将稻壳清洗,烘干,粉磨,碳化,得到碳硅质前驱体,其中C与SiO2的重量比为1.2。按重量比,称取90份碳硅质前驱体、5份α-Si3N4粉体、2份MgO与3份CeO2组成陶瓷原料;
(2)浆料制备:将2%琼脂糖和2%聚丙烯酸铵分散在去离子水中,与上述陶瓷原料混合,球磨8h后取出,真空除泡30min,形成浆料;然后水浴加热至80℃,其中浆料的固相含量为60%;
(3)注凝成型:先将成型磨具预热75℃,将制备好的料浆倒入加热好的磨具中,降温至凝胶点(35℃)并静置25min完成原位固化过程,脱模后坯体于40℃下干燥10h,在50℃下干燥至恒重;
(4)烧成:将干燥后的坯体置于真空烧结炉,以15℃/min的升温速度快速升温至750℃时,充入氮气,再以2.5℃/min的升温速度升温至1340℃保温3h,最后升温至1400℃保温2h。
(5)性能测试:获得低介电常数的α-Si3N4多孔陶瓷,在20℃下介电常数为1.3,抗弯强度11MPa,显气孔率为72%。
实施例3
(1)陶瓷原料制备:将稻壳清洗,烘干,粉磨,碳化,得到碳硅质前驱体,其中C与SiO2的重量比为0.4。按重量比,称取75份碳硅质前驱体、20份α-Si3N4粉体、2份MgO与3份Nd2O3组成陶瓷原料;
(2)浆料制备:将1%明胶和0.5%聚甲基丙烯酸铵分散在去离子水中,与上述陶瓷原料混合,球磨4h后取出,真空除泡10min,形成浆料;然后水浴加热至40℃,其中浆料的固相含量为35%;
(3)注凝成型:先将成型磨具预热35℃,将制备好的料浆倒入加热好的磨具中,降温至凝胶点(25℃)并静置10min完成原位固化过程,脱模后坯体于40℃下干燥10h,在50℃下干燥至恒重;
(4)烧成:将干燥后的坯体置于真空烧结炉,以15℃/min的升温速度快速升温至750℃时,充入氮气,再以2.5℃/min的升温速度升温至1340℃保温3h,最后升温至1400℃保温2h。
(5)性能测试:获得低介电常数的α-Si3N4多孔陶瓷,在20℃下介电常数为2.6,抗弯强度22MPa,显气孔率为55%。
实施例4
(1)陶瓷原料制备:将稻壳清洗,烘干,粉磨,碳化,得到碳硅质前驱体,其中C与SiO2的重量比为1.0。按重量比,称取80份碳硅质前驱体、15份α-Si3N4粉体、2份MgO与3份Lu2O3组成陶瓷原料;
(2)浆料制备:将1.5%果胶和1%聚乙二醇分散在去离子水中,与上述陶瓷原料混合,球磨6h后取出,震动除泡1h,形成浆料;然后水浴加热至70℃,其中浆料的固相含量为55%;
(3)注凝成型:先将成型磨具预热65℃,将制备好的料浆倒入加热好的磨具中,降温至凝胶点(40℃)并静置20min完成原位固化过程,脱模后坯体于40℃下干燥10h,在50℃下干燥至恒重;
(4)烧成:将干燥后的坯体置于真空烧结炉,以15℃/min的升温速度快速升温至750℃时,充入氮气,再以2.5℃/min的升温速度升温至1340℃保温3h,最后升温至1400℃保温2h。
(5)性能测试:获得低介电常数的α-Si3N4多孔陶瓷,在20℃下介电常数为2.2,抗弯强度19MPa,显气孔率为60%。
实施例5
(1)陶瓷原料制备:将稻壳清洗,烘干,粉磨,碳化,得到碳硅质前驱体,其中C与SiO2的重量比为0.9。按重量比,称取90份碳硅质前驱体、5份α-Si3N4粉体、2份MgO与3份CeO2组成陶瓷原料;
(2)浆料制备:将2%卡拉胶和0.8%聚乙二醇分散在去离子水中,与上述陶瓷原料混合,球磨6h后取出,震动除泡2h,形成浆料;然后水浴加热至65℃,其中浆料的固相含量为40%;
(3)注凝成型:先将成型磨具预热60℃,将制备好的料浆倒入加热好的磨具中,降温至凝胶点(30℃)并静置25min完成原位固化过程,脱模后坯体于40℃下干燥10h,在50℃下干燥至恒重h;
(4)烧成:将干燥后的坯体置于真空烧结炉,以15℃/min的升温速度快速升温至750℃时,充入氮气,再以2.5℃/min的升温速度升温至1340℃保温3h,最后升温至1400℃保温2h。
(5)性能测试:获得低介电常数的α-Si3N4多孔陶瓷,在20℃下介电常数为1.8,抗弯强度15MPa,显气孔率为68%。
对比例
(1)原料制备:将稻壳清洗,烘干,粉磨,碳化,得到碳硅质前驱体,其中C与SiO2的重量比为0.7。
(2)混料:按重量比,85份碳硅质前驱体、10份α-Si3N4粉体与5份氧化镧组成陶瓷原料;
(3)成型:陶瓷原料中加入质量分数为10%的聚乙烯醇,占总质量的10%,干压成型;再100℃下干燥1h;
(4)烧成:将干燥后的坯体置于真空烧结炉,以15℃/min的升温速度快速升温至750℃时,充入氮气,再以2.5℃/min的升温速度升温至1340℃保温3h,最后升温至1400℃保温2h。
(5)性能测试:获得低介电常数的α-Si3N4多孔陶瓷,在20℃下介电常数为7,抗弯强度32MPa,显气孔率为44%。

Claims (9)

1.一种低介电常数α-Si3N4多孔陶瓷的制备方法,其特征在于按照如下步骤进行:
a、以稻壳为原料,制得碳硅质前驱体,再添加α-Si3N4粉体、烧结助剂,组成陶瓷原料;
b、将凝胶物质和分散剂分散在去离子水中,与上述陶瓷原料混合,球磨4-8h后取出,真空除泡10-30min或震动除泡1-2h,形成浆料;然后水浴加热至40-80℃,使浆料中的凝胶物质完全溶解,其中浆料的固相含量为35-60%;
c、将上述料浆注入预热的模具中,进行注凝成型,脱模干燥,得到坯体;最后烧结自然冷却至室温,即获得低介电常数α-Si3N4多孔陶瓷。
2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于所述的陶瓷原料通过如下方法得到:将稻壳清洗,烘干,碳化,粉磨,得到碳硅质前驱体,其中C与SiO2的重量比为0.4~1.2,再与α-Si3N4粉体、烧结助剂混合,得到陶瓷原料;其中碳硅质前驱体、α-Si3N4粉体、烧结助剂的比例为(75~95):(5~20):5。
3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于所述的α-Si3N4粉体,纯度达99.9%,所含α相大于95%,平均粒径为0.6-0.8μm。
4.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于所述的烧结助剂,是由MgO与La2O3、Nd2O3、CeO2或Lu2O3中的任何两种组合而成,比例为2:3。
5.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于所述的凝胶物质为卡拉胶、明胶、果胶或琼脂糖中的任何一种,凝胶物质用量占原料重量的1-2%。
6.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于所述的分散剂为聚丙烯酸铵、聚甲基丙烯酸铵或聚乙二醇中的任何一种,分散剂用量占陶瓷原料重量的0.5-2%。
7.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于所述的注凝成型,首先将成型磨具预热35~75℃,将制备好的料浆倒入加热好的磨具中,降温至凝胶点(25-40℃)并静置10~25min完成原位固化过程。
8.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于所述的干燥,是在烘箱中进行的,坯体于40℃下干燥10h,在50℃下干燥至恒重。
9.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于所述的烧结,将干燥后的坯体置于真空烧结炉,以15℃/min的升温速度快速升温至750℃时,充入氮气,再以2.5℃/min的升温速度升温至1340℃保温3h,最后升温至1400℃保温2h。
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