CN106814762A - 一种低压状态下炉管检测装置和检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种低压状态下炉管检测装置及检测方法，所述的检测装置包括炉管Tube、气体控制机、多个流量控制器MFC、抽气泵Pump、主阀MV以及压力检测装置，所述气体控制机通过多个管路与炉管Tube连接，每一个管路上设置一个流量控制器MFC，抽气泵Pump通过主管路与炉管Tube连接，主管路上设置有控制抽气泵Pump抽气速率的主阀MV，所述压力检测装置通过管路与炉管Tube连接。本发明在低压炉管的各个管路上分别设置流量控制器MFC、压力检测装置和主阀MV，分别通过检测各管路的气体流量、炉管Tube的压力以及主阀MV的开度，对整个炉管装置中的各种部件的异常状态进行实时检测，由此能够及时判断整个装置是否有无异常。

Description

一种低压状态下炉管检测装置和检测方法

技术领域

本发明涉及炉管检测技术领域，具体涉及一种低压状态下炉管检测装置和检测方法。

背景技术

在低压炉管制程中，压力控制是最重要的环节，与控制压力的相关部件有流量控制器MFC，抽气泵Pump,压力计VG。其分别对应的参数是MFC的进气量，pump的抽气能力，VG的校准能力，任何一个因素有问题都会影响低压炉管制程中的压力控制，从而影响产品。Pump，VG，MFC都有它的生命周期，也会有偶尔异常的时候，所以在维修的过程中需要对其进行更换。然而新旧部件必然会有一定的差异性，只有了解了新旧部件的差异性，才能更好地去判断机台的状态是否正常。

发明内容

本发明提供了一种低压状态下炉管检测装置和检测方法，能够实现对炉管各部件的异常进行检测。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种低压状态下炉管检测装置，包括炉管Tube、气体控制机、多个流量控制器MFC、抽气泵Pump、主阀MV以及压力检测装置，所述气体控制机通过多个管路与炉管Tube连接，每一个管路上设置一个流量控制器MFC，抽气泵Pump通过主管路与炉管Tube连接，主管路上设置有控制抽气泵Pump抽气速率的主阀MV，所述压力检测装置通过管路与Tube连接；

每一个所述流量控制器MFC，用于当气体控制机通过各管路向炉管Tube进气时，实时检测和控制各路管路的气体流量，通过与标准气体流量进行比较来判断流量控制器MFC是否处于正常状态；

所述压力检测装置，用于实时检测炉管Tube内的气体压力值，并通过与标准压力值进行比较判断该压力检测装置是否处于正常状态；

所述抽气泵Pump，用于向炉管Tube中抽入大气，通过比较抽气时主阀MV的开度与标准开度判断该抽气泵Pump是否处于正常状态。

本发明的有益效果为：在整个低压炉管装置上分别设置流量控制器MFC、压力检测装置和主阀MV，分别通过检测各管路的气体流量、炉管Tube的压力值以及主阀MV的开度，对整个装置中的各种部件的异常状态进行实时检测，由此能够及时判断整个装置是否有无异常。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以作如下改进。

进一步的，所述压力检测装置包括压力计VG1和压力计VG2，所述压力计VG1和压力计VG2均通过管路与炉管Tube连接。

进一步的，所述压力计VG1的量程为0-10T，所述压力计VG2的量程为0-1000T。

所述进一步的有益效果为：设置不同量程的两个压力计检测炉管Tube内的压力值，可满足不同的精度要求。

为解决本发明的技术问题，还提供了一种低压状态下炉管检测方法，包括：

S1，当气体控制机通过各管路向炉管Tube进气时，通过设置在管路上的流量控制器MFC实时检测和控制各路管路的气体流量，并通过与标准气体流量进行比较来判断每一个流量控制器MFC是否处于正常状态；

S2，通过与炉管Tube连接的压力检测装置实时检测炉管Tube内的气体压力值，并通过与标准压力值进行比较判断该压力检测装置是否处于正常状态；

S3，当通过抽气泵Pump向炉管Tube中抽入大气时，通过比较抽气时对应的主阀MV的开度与标准开度判断该抽气泵Pump是否处于正常状态。进一步的，所述步骤S1具体包括：

S11，对于每一管路，气体控制机通过该管路向炉管Tube中输送第一预设流量的气体；

S12，设置于该管路上的流量控制器MFC检测管路上的进气流量，并将检测的进气流量与第一预设流量进行比较，根据比较结果判断该流量控制器MFC是否正常。

进一步的，所述步骤S12中根据比较结果判断该流量控制器MFC是否正常具体包括：

计算检测的进气流量与第一预设流量之间的偏差率是否在第一预设范围内，若在，则该流量控制器MFC正常，若不在，则该流量控制器MFC不正常。

进一步的，所述步骤S2具体包括：

逐渐加大单个管路上的进气流量值，压力检测装置实时检测炉管内气体的压力值，通过压力值变化速率与标准变化速率的比较结果判断压力检测装置是否正常。

进一步的，所述步骤S3具体包括：

S31，通过气体控制机向炉管Tube中输送第二预设流量的气体；

S32，通过抽气泵Pump向炉管Tube中抽入大气，使得压力检测装置检测的压力值为预设压力值；

S33，将此时的主阀MV的开度与标准开度进行比较，根据比较结果判断该抽气泵Pump是否正常。

进一步的，所述步骤S33具体包括：

将此时的主阀MV的开度与标准开度进行比较，若主阀MV的开度与标准开度之间的偏差在第二预设范围内，则该抽气泵pump正常，否则，该抽气泵Pump不正常。

附图说明

图1为本发明一实施例的低压状态下炉管检测装置连接结构图；

图2为本发明另一实施例的低压状态下炉管检测方法流程图；

图3为本发明另一实施例中判断流量控制器MFC是否正常的流程图；

图4为本发明另一实施例中判断压力检测装置是否正常的流程图；

图5为本发明另一实施例中判断抽气泵Pump是否正常的流程图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。

参见图1，为本发明一实施例的低压状态下炉管检测装置示意图，炉管检测装置包括炉管Tube、气体控制机、多个流量控制器MFC、抽气泵Pump、主阀MV以及压力检测装置，所述气体控制机通过多个管路与炉管Tube连接，每一个管路上设置一个流量控制器MFC，抽气泵Pump通过主管路与炉管Tube连接，主管路上设置有控制抽气泵Pump抽气速率的主阀MV，所述压力检测装置通过管路与Tube连接。

每一个所述流量控制器MFC，用于当气体控制机通过各管路向炉管Tube进气时，实时检测和控制各路管路的气体流量，通过与标准气体流量进行比较来判断流量控制器MFC是否处于正常状态；

所述压力检测装置，用于实时检测炉管Tube内的气体压力值，并通过与标准压力值进行比较判断该压力检测装置是否处于正常状态；

所述抽气泵Pump，用于向炉管Tube中抽入大气，通过比较抽气时主阀MV的开度与标准开度判断该抽气泵Pump是否处于正常状态。

其中，压力检测装置包括压力计VG1和压力计VG2，所述压力计VG1和压力计VG2均通过管路与炉管Tube连接。本实施例中压力计VG1的量程为0-10T，所述压力计VG2的量程为0-1000T。本实施例提供的低压炉管的制程是在低压状态下反应发生的，压力计VG1和压力计VG2实时检测炉管Tube的压力值，压力计VG1为小量程，压力计VG2为大量程，在低压状态下，压力计VG1比压力计VG2更准确，一旦炉管Tube内的压力值大于压力计VG1的量程时，这个时候炉管Tube内的压力值就需要通过压力计VG2的显示值来读取。本实施例采用不同量程的压力计来检测炉管Tube内的压力值，满足不同的需求和实现不同量程的精度。

参见图2，为本发明另一实施例的低压状态下炉管检测方法流程图，炉管检测方法包括：

S1，当气体控制机通过各管路向炉管Tube进气时，通过设置在管路上的流量控制器实时检测和控制各路管路的气体流量，通过与标准气体流量进行比较来判断每一个流量控制器MFC是否处于正常状态。

S2，通过与炉管Tube连接的压力检测装置实时检测炉管Tube内的气体压力值，并通过与标准压力值进行比较判断该压力检测装置是否处于正常状态；

S3，当通过抽气泵Pump向炉管Tube中抽入大气时，通过比较抽气时对应的主阀MV的开度与标准开度判断该抽气泵Pump是否处于正常状态。

气体控制机可以通过多个管路向炉管Tube中输送气体，由于在工业生产过程中，气体量大，气体的种类也很多，因此设置多个管路，气体控制机可通过每一个管路向炉管Tube中进气。在每一个管路上设置有一个流量控制器MFC，当气体控制机通过管路向炉管Tube进气时，以使炉管Tube内的气体在低压状态下进行反应，设置在管路上的流量控制器MFC实时检测和控制各路管路的气体流量，并将MFC检测的气体流量与标准气体流量进行比较来判断每一个流量控制器MFC是否处于正常状态。

同样的，整个装置上还设置有连接炉管Tube的压力检测装置，用来检测当炉管Tube内的气体在低压状态下发生反应时，炉管Tube内的气体压力值。压力检测装置将检测的炉管Tube内的气体压力值与标准压力值比较判断该压力检测装置是否处于正常状态。

炉管Tube内的气体需要在低压状态下才会反应，因此，不同气体在炉管Tube内反应时，需要抽气泵Pump向炉管Tube中抽入大气，来使得炉管Tube内的气压达到气体的反应气压条件。其中，主阀MV可控制抽气泵Pump向炉管Tube中的抽气速率，而抽气速率的大小可调节炉管Tube中的气压，因此，当通过抽气泵Pump向炉管Tube中抽入大气使炉管Tube内的气压达到气体反应条件时，通过比较抽气时对应的主阀MV的开度与标准开度判断该抽气泵Pump是否处于正常状态。

参见图3，为判断流量控制器MFC是否正常的流程图，包括：

S11，对于每一管路，气体控制机通过该管路向炉管Tube中输送第一预设流量的气体；

S12，设置于该管路上的流量控制器MFC检测管路上的进气流量，并将检测的进气流量与第一预设流量进行比较，根据比较结果判断该流量控制器MFC是否正常。

在判断每一个管路上的流量控制器MFC是否正常的过程中，对于每一个管路，气体控制机通过该管路向炉管Tube中输送第一预定流量的气体，由该管路上的流量控制器MFC检测管路上的进气流量，计算流量控制器MFC检测的进气流量与第一预设流量之间的偏差率是否在第一预设范围内，若在，则该流量控制器MFC正常，若不在，则该流量控制器MFC不正常。比如，气体控制机通过管路向炉管Tube中输送2L的气体，设置在管路上的流量控制器MFC检测到的气体流量值为1.8L，若该MFC的量程为10L，则MFC检测的气体流量值与第一预设流量值之间的偏差率为(1.8-2)/10＝2％，第一预设范围为10％，该偏差率在偏差范围内，因此，该流量控制器MFC正常，若偏差率超过10％，则流量控制器MFC异常，不能再继续使用。参见图4，为判断压力检测装置是否正常的流程图，包括：

S21，逐渐加大单个管路上的进气流量值，压力检测装置实时检测炉管内气体的压力值；

S22，通过压力值变化速率与标准变化速率的比较结果判断压力检测装置是否正常。

在判断压力检测装置是否正常的过程中，通过单个管路上的进气流量值的变化来测试压力检测装置检测的气体压力的变化来判断该压力检测装置是否正常，具体的，气体控制机通过某一管路在一段时间内逐渐加大向炉管Tube的进气流量值，压力检测装置实时检测路管内气体的压力值。在这段时间内，通过压力检测装置检测的炉管Tube内气体的压力值的变化率与标准变化率之间的偏差来判断压力检测装置是否正常。

参见图5，为判断抽气泵Pump是否正常的流程图，包括：

S31，通过气体控制机向炉管Tube中输送第二预设流量的气体；

S32，通过抽气泵Pump向炉管Tube中抽入大气，使得压力检测装置检测的压力值为预设压力值；

S33，将此时的主阀MV的开度与标准开度进行比较，根据比较结果判断该抽气泵Pump是否正常。

在判断抽气泵Pump是否正常的过程中，通过气体控制机向炉管Tube中输送第二预设流量的气体，并且通过主阀MV的控制，抽气泵Pump向炉管Tube抽入大气，使得经过校准后的标准压力检测装置检测的炉管Tubb内的压力值为预设压力值，将此时的主阀MV的开度(即主阀MV的打开角度)与标准开度进行比较，根据比较结果判断该抽气泵Pump是否正常。具体的，将此时的主阀MV的开度与标准开度进行比较，若主阀MV的开度与标准开度之间的偏差在第二预设范围内，则该抽气泵pump正常，否则，该抽气泵Pump不正常。

本发明提供的一种炉管检测装置及检测方法，在整个炉管装置上分别设置流量控制器MFC、压力检测装置和主阀MV，分别通过检测各管路的气体流量、炉管Tube的压力以及主阀MV的开度，对整个装置中的各种部件的异常状态进行实时检测，由此能够及时判断整个装置是否有无异常。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种低压状态下炉管检测装置，其特征在于，包括炉管Tube、气体控制机、多个流量控制器MFC、抽气泵Pump、主阀MV以及压力检测装置，所述气体控制机通过多个管路与炉管Tube连接，每一个管路上设置一个流量控制器MFC，抽气泵Pump通过主管路与炉管Tube连接，主管路上设置有控制抽气泵Pump抽气速率的主阀MV，所述压力检测装置通过管路与Tube连接；

每一个所述流量控制器MFC，用于当气体控制机通过各管路向炉管Tube进气时，实时检测和控制各路管路的气体流量，通过与标准气体流量进行比较来判断流量控制器MFC是否处于正常状态；

所述压力检测装置，用于实时检测炉管Tube内的气体压力值，并通过与标准压力值进行比较判断该压力检测装置是否处于正常状态；

所述抽气泵Pump，用于向炉管Tube中抽入大气，通过比较抽气时主阀MV的开度与标准开度判断该抽气泵Pump是否处于正常状态。

2.如权利要求1所述的一种低压状态下炉管检测装置，其特征在于，所述压力检测装置包括压力计VG1和压力计VG2，所述压力计VG1和压力计VG2均通过管路与炉管Tube连接。

3.如权利要求2所述的一种低压状态下炉管检测装置，其特征在于，所述压力计VG1的量程为0-10T，所述压力计VG2的量程为0-1000T。

4.一种低压状态下炉管检测方法，其特征在于，包括：

S1，当气体控制机通过各管路向炉管Tube进气时，通过设置在管路上的流量控制器MFC实时检测和控制各路管路的气体流量，并通过与标准气体流量进行比较来判断每一个流量控制器MFC是否处于正常状态；

S2，通过与炉管Tube连接的压力检测装置实时检测炉管Tube内的气体压力值，并通过与标准压力值进行比较判断该压力检测装置是否处于正常状态；

S3，当通过抽气泵Pump向炉管Tube中抽入大气时，通过比较抽气时对应的主阀MV的开度与标准开度判断该抽气泵Pump是否处于正常状态。

5.如权利要求4所述的一种低压状态下炉管检测方法，其特征在于，所述步骤S1具体包括：

S11，对于每一管路，气体控制机通过该管路向炉管Tube中输送第一预设流量的气体；

S12，设置于该管路上的流量控制器MFC检测管路上的进气流量，并将检测的进气流量与第一预设流量进行比较，根据比较结果判断该流量控制器MFC是否正常。

6.如权利要求5所述的一种低压状态下炉管检测方法，其特征在于，所述步骤S12中根据比较结果判断该流量控制器MFC是否正常具体包括：

计算检测的进气流量与第一预设流量之间的偏差率是否在第一预设范围内，若在，则该流量控制器MFC正常，若不在，则该流量控制器MFC不正常。

7.如权利要求4所述的一种低压状态下炉管检测方法，其特征在于，所述步骤S2具体包括：

逐渐加大单个管路上的进气流量值，压力检测装置实时检测炉管内气体的压力值，通过压力值变化速率与标准变化速率的比较结果判断压力检测装置是否正常。

8.如权利要求4所述的一种低压状态下炉管检测方法，其特征在于，所述步骤S3具体包括：

S31，通过气体控制机向炉管Tube中输送第二预设流量的气体；

S32，通过抽气泵Pump向炉管Tube中抽入大气，使得压力检测装置检测的压力值为预设压力值；

S33，将此时的主阀MV的开度与标准开度进行比较，根据比较结果判断该抽气泵Pump是否正常。

9.如权利要求8所述的一种低压状态下炉管检测方法，其特征在于，所述步骤S33具体包括：

将此时的主阀MV的开度与标准开度进行比较，若主阀MV的开度与标准开度之间的偏差在第二预设范围内，则该抽气泵pump正常，否则，该抽气泵Pump不正常。