CN106680923A - 一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列 - Google Patents
一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106680923A CN106680923A CN201610960820.4A CN201610960820A CN106680923A CN 106680923 A CN106680923 A CN 106680923A CN 201610960820 A CN201610960820 A CN 201610960820A CN 106680923 A CN106680923 A CN 106680923A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- grating
- micro
- layer
- filter
- chip arrays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 25
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 19
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 238000005457 optimization Methods 0.000 claims description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000000954 titration curve Methods 0.000 claims description 3
- 238000000701 chemical imaging Methods 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 abstract 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000000747 cardiac effect Effects 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001471 micro-filtration Methods 0.000 description 1
- 230000035772 mutation Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- MEYZYGMYMLNUHJ-UHFFFAOYSA-N tunicamycin Natural products CC(C)CCCCCCCCCC=CC(=O)NC1C(O)C(O)C(CC(O)C2OC(C(O)C2O)N3C=CC(=O)NC3=O)OC1OC4OC(CO)C(O)C(O)C4NC(=O)C MEYZYGMYMLNUHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/204—Filters in which spectral selection is performed by means of a conductive grid or array, e.g. frequency selective surfaces
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/208—Filters for use with infrared or ultraviolet radiation, e.g. for separating visible light from infrared and/or ultraviolet radiation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列，包括多个呈马赛克形式排列的光栅滤光片，每个光栅滤光片的结构由上到下依次为二维金属光栅层和基底结构层，二维金属光栅层的材料为金，基底结构层的材料为熔融石英；本发明制作工艺简单，光栅多参数的可调性，其可调谐波段范围宽，光谱中心波长准确率高，利用共振效应在工作波长处获得高的透过率，并结合具有高反射性的多层膜系设计结构以达到对旁带的抑制的目的，可实现透过不同中心波长、不同带宽的光栅滤光片，为建立新型光谱成像体制奠定基础，为微小型手持光谱仪及空间高动态多光谱成像提供技术支撑。
Description
【技术领域】
本发明属于微纳器件设计技术领域，具体涉及一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列。
【背景技术】
多光谱滤光片阵列是多光谱成像***中的一个重要组成部分，随着微加工技术和焦平面阵列技术的发展，滤光片阵列的成像光谱方式近年来获得越来越多的关注，微滤光片阵列成像光谱方式不需要分光元件，结构紧凑、稳定性高、体积重量小，是成像光谱技术未来的发展方向，具有高品质、窄带宽的透射性微型滤光片阵列在多光谱成像中尤其具有重要作用。
对于微型多光谱滤光片阵列，基于Fabry-Perot谐振效应的腔式结构的多光谱薄膜型滤光片是其中最常用的，如IEMC公司已经制作了多个波段的多光谱滤光阵列。但是，基于F-P腔的薄膜型滤光片的可调谐波段范围和中心波长受限，主要受平行两层反射镜的有限带宽影响；而且其上下两层反射镜均是由多层薄膜构成，加工工艺复杂，性能不稳定(不同材料不同热膨胀系数)，大大降低光谱曲线的准确性。
【发明内容】
本发明的目的是提供一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列，以解决薄膜型滤光片阵列中透射率低，带宽大，旁带值不好抑制的问题。
本发明采用以下技术方案，一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列，包括多个呈马赛克形式排列的光栅滤光片，每个光栅滤光片的结构由上到下依次为二维金属光栅层和基底结构层，二维金属光栅层的材料为金，基底结构层的材料为熔融石英。
进一步地，每个光栅滤光片均通过调节光栅参数来获取所需的光谱曲线。
进一步地，光栅滤光片调节光栅参数的方法具体通过最优化目标函数min g(P,f,h,h1,Δε)＝Fideal(λmax,Δλ)-f(P,f,h,h1,Δε)实现，其中，Fideal(λmax,Δλ)为理想光谱曲线，f(P,f,h,h1,Δε)为不同光栅参数对应的光谱仿真曲线，P为光栅周期，0＜P＜λ，λ为入射光波长，f为占空比，0＜f＜1，h为基底结构层的厚度，h1为光栅槽深度，h1＞0，Δε为光栅调制系数，λmax为中心波长位置，Δλ为带宽。
进一步地，光栅调制系数Δε通过公式得出，其中，ng为二维金属光栅层的折射率，ns为基底结构层的折射率。
进一步地，占空比f由f＝w/P得出，其中，w为光栅槽的宽度，P为光栅周期。
进一步地，光栅槽的深度h1取值范围为0.05-0.15μm，基底结构层的厚度h取值范围为0.4-0.7μm。
本发明的有益效果是：基于导模共振的光栅型滤光片结构简单，制作工艺简单，可达0.01nm的极窄带宽和极高的衍射效率，共振波长和带宽可控性，线形对称以及在很宽的波长范围内旁带值可以被抑制得很低，光栅多参数的可调性，其可调谐波段范围宽，光谱中心波长准确率高，利用共振效应在工作波长处获得高的透过率，并结合具有高反射性的多层膜系设计结构以达到对旁带的抑制的目的，可实现透过不同中心波长、不同带宽的光栅滤光片，为建立新型光谱成像体制奠定基础，为微小型手持光谱仪及空间高动态多光谱成像提供技术支撑。
【附图说明】
图1为本发明的基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列结构示意图；
图2为图1中的A的放大图；
图3为实施例一中近红外2.0-2.5μm波段内光栅周期对中心波长以及带宽影响图；
图4为实施例一中近红外2.0-2.5μm波段内多光谱滤光片阵列的在固定带宽条件下的光谱曲线图；
图5为实施例二中近红外3.0-3.8μm波段内光栅多光谱滤光片阵列的不同光栅周期对透射光中心波长位置和带宽的影响图；
图6为实施例二中近红外3.0-3.8μm波段内多光谱滤光片阵列的固定带宽条件下的光谱曲线图。
【具体实施方式】
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
实施例一：
本发明公开了一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列，如图1、图2所示，包括多个呈马赛克形式排列的光栅滤光片，图1中由于每个滤光片的参数不相同，所以每个滤光片表现的颜色深度不同，且能获取不同需求的光线，每个光栅滤光片的结构由上到下依次为二维金属光栅层和基底结构层，由于二维金属光栅的结构对称性，透射峰值波长与入射光的偏振方向无关，大大提高了吸光度检测过程中入射光的利用效率。
基于铝和金在近红外波段内的色散性质，二维金属光栅层的材料为金属金；因为熔融石英在近红外波段的高透射率和低折射率，所以基底结构层的材料选为熔融石英。
每个光栅滤光片均通过调节光栅参数来获取所需的光谱曲线，即每个光栅滤光片均通过多变量优化方式来获取其最佳参数，并获取所需光谱曲线。
光栅滤光片调节光栅参数的方法具体通过最优化目标函数min g(P,f,h,h1,Δε)＝Fideal(λmax,Δλ)-f(P,f,h,h1,Δε)，其中，Fideal(λmax,Δλ)为理想光谱曲线，f(P,f,h,h1,Δε)为不同光栅参数对应的光谱仿真曲线，P为光栅周期，0＜P＜λ，λ为入射光波长，f为占空比，且0＜f＜1,，h为基底结构层的厚度，h1为光栅槽深度，h1＞0，Δε为光栅调制系数，λmax为中心波长位置，Δλ为带宽。
占空比f用来调节最大透射波长的半波带宽，且相对于其他可调谐滤光片来说，本申请的滤光片具有结构简单、旁瓣低、半波带宽可调、透过率高、与偏振无关等突出优点，相比于其他的多光谱成像方式，应用本发明的多光谱滤光片阵列，能够实现多光谱快照式成像以及多光谱成像器件的微小化。
光栅调制系数通过公式得出，其中ng为光栅层的折射率，ns为基底结构层的折射率。
占空比f由f＝w/P得出，其中，w为光栅槽的宽度，P为光栅周期。
光栅槽的深度h1取值范围为0.05-0.15μm，基底结构层的厚度h取值范围为0.4-0.7μm。
当入射光在近红外2.0-2.5μm波段内，入射角度为0度，可调节光栅参数：光栅周期P、占空比f、光栅槽深度h1、基底结构层厚度h及光栅调制系数Δε等，来实现在该波段内，不同中心波长、相同窄带宽的光谱曲线的获取。
当光栅周期性结构产生某一衍射波与导波所支持的某一泄漏模相位相匹配时，引起能量重新分布，产生衍射能量的突变。
当选择占空比f为0.82-0.91，h1＝0.05-0.12μm，h＝0.5-0.55μm时，通过多变量最优化目标函数min g(P,f,h,h1,Δε)＝Fideal(λmax,Δλ)-f(P,f,h,h1,Δε)，得出光栅周期参数对中心波长以及带宽的影响图，即图3。
由图2可知，本申请的光栅滤光片阵列可通过调节光栅周期来获取不同中心波长的光谱曲线，且光谱曲线具有窄带宽10-50nm，高透射率90％，低旁带透射小于0.01％等特点。
但是带宽随着周期的变化也在变化，因此，要想获取固定带宽的理想光谱曲线，必须同时调节光栅其他参数，如占空比f、光栅槽深度h1等，由多变量最优化目标函数可知，这些参数对带宽的影响不是单一的递增或者递减，而是相互制约的，如随着占空比f在一定范围内的减少，带宽变大，中心波长向左偏移，通过上述可设计近红外2.0-2.5μm光栅滤光片阵列的光谱曲线图，即图4。
实施例二：
近红外3.0-3.8μm波段内，当光栅周期P为2.1μm-3.0μm，光栅槽深h1为0.06μm-0.15μm，占空比f为0.8-0.92，基底结构层厚度h＝0.4-0.7μm，通过多变量最优化目标函数，可获取光栅周期P对透射率的影响，即对中心波长、带宽的影响，即图5所示。
由图5可知，光栅滤光片的光谱曲线具有窄带宽20-100nm，高透射率96％，低旁带透射小于0.01％等特点，几乎满足理想光谱曲线的要求，但是获取固定带宽的光谱曲线，需要调节其它参数，联合获取最优光谱曲线，如增大占空比f可以减少带宽宽度，却移动了中心波长且降低了中心波长透射率；减小光栅周期P可以增大中心波长的透射率但是中心波长向左移动。因此，通过多变量最优化目标函数，可以获取理想的不同波长中心的光谱曲线，即图6所示。
Claims (6)
1.一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列，其特征在于，包括多个呈马赛克形式排列的光栅滤光片，每个所述光栅滤光片的结构由上到下依次为二维金属光栅层和基底结构层，所述二维金属光栅层的材料为金，所述基底结构层的材料为熔融石英。
2.如权利要求1所述的基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列，其特征在于，每个所述光栅滤光片均通过调节光栅参数来获取所需的光谱曲线。
3.如权利要求2所述的基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列，其特征在于，所述光栅滤光片调节光栅参数的方法具体通过最优化目标函数min g(P,f,h,h1,Δε)＝Fideal(λmax,Δλ)-f(P,f,h,h1,Δε)实现，其中，Fideal(λmax,Δλ)为理想光谱曲线，f(P,f,h,h1,Δε)为不同光栅参数对应的光谱仿真曲线，P为光栅周期，0＜P＜λ，λ为入射光波长，f为占空比，0＜f＜1，h为基底结构层的厚度，h1为光栅槽深度，h1＞0，Δε为光栅调制系数，λmax为中心波长位置，Δλ为带宽。
4.如权利要求3所述的一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列，其特征在于，所述光栅调制系数Δε通过公式得出，其中，ng为二维金属光栅层的折射率，ns为基底结构层的折射率。
5.如权利要求3或4所述的一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列，其特征在于，所述占空比f由f＝w/P得出，其中，w为光栅槽的宽度，P为光栅周期。
6.如权利要求3或4所述的一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列，其特征在于，所述光栅槽的深度h1取值范围为0.05-0.15μm，所述基底结构层的厚度h取值范围为0.4-0.7μm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610960820.4A CN106680923B (zh) | 2016-10-28 | 2016-10-28 | 一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610960820.4A CN106680923B (zh) | 2016-10-28 | 2016-10-28 | 一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106680923A true CN106680923A (zh) | 2017-05-17 |
| CN106680923B CN106680923B (zh) | 2018-11-16 |
Family
ID=58840364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201610960820.4A Active CN106680923B (zh) | 2016-10-28 | 2016-10-28 | 一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106680923B (zh) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109342025A (zh) * | 2018-09-27 | 2019-02-15 | 西北工业大学 | 一种分焦平面红外偏振成像相机偏振透过率测试方法 |
| CN109672828A (zh) * | 2019-01-04 | 2019-04-23 | 深圳英飞拓科技股份有限公司 | 基于光路白平衡的低照度提升装置及低照度提升方法 |
| CN110426784A (zh) * | 2019-07-08 | 2019-11-08 | 武汉大学 | 一种基于微纳光栅阵列及微纳f-p腔结构的双波长滤波器件 |
| CN111141385A (zh) * | 2020-01-02 | 2020-05-12 | 暨南大学 | 窄带透射滤波器及片上光谱分析与成像*** |
| CN112014915A (zh) * | 2019-05-30 | 2020-12-01 | 西北工业大学深圳研究院 | 10-14微米中心波长可调的多层对称二维透射光栅及其制备方法 |
| CN113387318A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-09-14 | 中国科学技术大学 | 一种基于纳米环形阵列的近红外带通滤波器及制备方法 |
| CN114325908A (zh) * | 2022-01-14 | 2022-04-12 | 西北工业大学 | 一种可见/近红外波段多模式微纳光栅阵列排布结构 |
| CN114927536A (zh) * | 2022-06-02 | 2022-08-19 | 广州睿芯微电子有限公司 | 多光谱成像芯片、组件、制备方法及移动终端 |
| CN117310862A (zh) * | 2023-11-30 | 2023-12-29 | 长春理工大学 | 一种红外波段周期性微纳滤光片及其设计方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6144512A (en) * | 1984-02-21 | 2000-11-07 | Lockheed Martin Corporation | Dynamic filter structures |
| GB2480435A (en) * | 2010-05-17 | 2011-11-23 | Selex Comm Ltd | Directional antenna with a leaky wave structure and a high impedance surface arrangement |
| CN102789021A (zh) * | 2012-08-31 | 2012-11-21 | 苏州大学 | 一种反射式彩色滤光片 |
| CN103245996A (zh) * | 2013-05-16 | 2013-08-14 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种阵列式多光谱滤光片及其制作方法 |
| CN103760630A (zh) * | 2014-02-21 | 2014-04-30 | 哈尔滨工业大学 | 亚波长光栅结构红外双波段马赛克阵列滤光片 |
-
2016
- 2016-10-28 CN CN201610960820.4A patent/CN106680923B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6144512A (en) * | 1984-02-21 | 2000-11-07 | Lockheed Martin Corporation | Dynamic filter structures |
| GB2480435A (en) * | 2010-05-17 | 2011-11-23 | Selex Comm Ltd | Directional antenna with a leaky wave structure and a high impedance surface arrangement |
| CN102789021A (zh) * | 2012-08-31 | 2012-11-21 | 苏州大学 | 一种反射式彩色滤光片 |
| CN103245996A (zh) * | 2013-05-16 | 2013-08-14 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种阵列式多光谱滤光片及其制作方法 |
| CN103760630A (zh) * | 2014-02-21 | 2014-04-30 | 哈尔滨工业大学 | 亚波长光栅结构红外双波段马赛克阵列滤光片 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 许恒: "基于微纳米结构减色滤光片的研究", 《中国研究生硕士学位论文》 * |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109342025B (zh) * | 2018-09-27 | 2022-03-29 | 西北工业大学 | 一种分焦平面红外偏振成像相机偏振透过率测试方法 |
| CN109342025A (zh) * | 2018-09-27 | 2019-02-15 | 西北工业大学 | 一种分焦平面红外偏振成像相机偏振透过率测试方法 |
| CN109672828A (zh) * | 2019-01-04 | 2019-04-23 | 深圳英飞拓科技股份有限公司 | 基于光路白平衡的低照度提升装置及低照度提升方法 |
| CN112014915A (zh) * | 2019-05-30 | 2020-12-01 | 西北工业大学深圳研究院 | 10-14微米中心波长可调的多层对称二维透射光栅及其制备方法 |
| CN110426784A (zh) * | 2019-07-08 | 2019-11-08 | 武汉大学 | 一种基于微纳光栅阵列及微纳f-p腔结构的双波长滤波器件 |
| CN111141385A (zh) * | 2020-01-02 | 2020-05-12 | 暨南大学 | 窄带透射滤波器及片上光谱分析与成像*** |
| CN111141385B (zh) * | 2020-01-02 | 2022-05-24 | 暨南大学 | 窄带透射滤波器及片上光谱分析与成像*** |
| CN113387318A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-09-14 | 中国科学技术大学 | 一种基于纳米环形阵列的近红外带通滤波器及制备方法 |
| CN113387318B (zh) * | 2021-06-11 | 2024-02-09 | 中国科学技术大学 | 一种基于纳米环形阵列的近红外带通滤波器及制备方法 |
| CN114325908A (zh) * | 2022-01-14 | 2022-04-12 | 西北工业大学 | 一种可见/近红外波段多模式微纳光栅阵列排布结构 |
| CN114325908B (zh) * | 2022-01-14 | 2023-03-03 | 西北工业大学 | 一种可见/近红外波段多模式微纳光栅阵列排布结构 |
| CN114927536A (zh) * | 2022-06-02 | 2022-08-19 | 广州睿芯微电子有限公司 | 多光谱成像芯片、组件、制备方法及移动终端 |
| CN114927536B (zh) * | 2022-06-02 | 2024-02-23 | 广州睿芯微电子有限公司 | 多光谱成像芯片、组件、制备方法及移动终端 |
| CN117310862A (zh) * | 2023-11-30 | 2023-12-29 | 长春理工大学 | 一种红外波段周期性微纳滤光片及其设计方法 |
| CN117310862B (zh) * | 2023-11-30 | 2024-02-20 | 长春理工大学 | 一种红外波段周期性微纳滤光片及其设计方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN106680923B (zh) | 2018-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106680923A (zh) | 一种基于微纳光栅的多光谱红外滤光片阵列 | |
| US11194082B2 (en) | Ultra-compact, aberration corrected, visible chiral spectrometer with meta-lenses | |
| CN106483594B (zh) | 基于硅超表面和纳米结构金属薄膜的彩色滤光片及应用 | |
| US10790325B2 (en) | Imaging apparatus and image sensor including the same | |
| Ghobadi et al. | Lithography-free planar band-pass reflective color filter using a series connection of cavities | |
| CN110333560B (zh) | 一种基于介质超表面的宽带消色差器件 | |
| Haïdar et al. | Free-standing subwavelength metallic gratings for snapshot multispectral imaging | |
| CN113899451B (zh) | 光谱仪、超表面分光器件 | |
| Chen et al. | Full-color nanorouter for high-resolution imaging | |
| JP2010512544A (ja) | 物質コンポジット中の光制御用の装置及び方法 | |
| JP2007507753A (ja) | 区分空洞波長可変ファブリ・ペロ・フィルタ | |
| CN110687622B (zh) | 一种偏振可调光谱双重差异性响应的完美光学吸波器及其制备方法 | |
| CN114236817B (zh) | 一种基于涡旋光束轨道角动量的多焦点超表面的设计方法 | |
| He et al. | Optical metalenses: fundamentals, dispersion manipulation, and applications | |
| CN112946793A (zh) | 基于介质超表面的偏振非依赖宽带消色差器件 | |
| CN116953923B (zh) | 一种超透镜设计方法及超透镜 | |
| US20230236414A1 (en) | Metasurface optical device, optical apparatus, preparation method for metasurface optical device | |
| Wu et al. | A broadband omnidirectional absorber incorporating plasmonic metasurfaces | |
| CN103460085A (zh) | 一种彩色滤光片 | |
| CN111609930B (zh) | 基于超构表面的大角度分光*** | |
| CN115421223B (zh) | 一种基于抛物线相位超表面的频率色散器件 | |
| CN113568099B (zh) | 基于纳米微腔的可见光分束滤波薄膜及其设计方法 | |
| CN109556716A (zh) | 一种基于衍射效应的成像光谱仪及其超光谱成像方法 | |
| CN113820013A (zh) | 一种基于Fabry–Pérot腔的透射式超构表面多光谱成像仪 | |
| JP7364066B2 (ja) | 撮像素子及び撮像装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |