CN106600088A - 一种用于提升生产能力的***和用于提升生产能力的方法 - Google Patents
一种用于提升生产能力的***和用于提升生产能力的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106600088A CN106600088A CN201510672882.0A CN201510672882A CN106600088A CN 106600088 A CN106600088 A CN 106600088A CN 201510672882 A CN201510672882 A CN 201510672882A CN 106600088 A CN106600088 A CN 106600088A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- board
- production capacity
- level
- failure
- inline
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 77
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 title abstract 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 208000032368 Device malfunction Diseases 0.000 description 1
- 206010044565 Tremor Diseases 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q10/00—Administration; Management
- G06Q10/06—Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
- G06Q10/063—Operations research, analysis or management
- G06Q10/0637—Strategic management or analysis, e.g. setting a goal or target of an organisation; Planning actions based on goals; Analysis or evaluation of effectiveness of goals
- G06Q10/06375—Prediction of business process outcome or impact based on a proposed change
Landscapes
- Business, Economics & Management (AREA)
- Human Resources & Organizations (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Strategic Management (AREA)
- Educational Administration (AREA)
- Economics (AREA)
- Entrepreneurship & Innovation (AREA)
- Development Economics (AREA)
- Game Theory and Decision Science (AREA)
- Marketing (AREA)
- Operations Research (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Tourism & Hospitality (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Business, Economics & Management (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
本发明提供了一种用于提升生产能力的***和用于提升生产能力的方法。所述***包括：分析模型模块，用于收集机台部件的历史故障数据和内联数据，以建立所述机台部件的故障与所述内联数据的预测模型；以及生产预测模块，用于通过所述预测模型来预测所述机台的生产能力水平，并且安排所述机台的优先顺序。该***可以及时发现机台部件故障并采取改善措施，从而提升生产能力水平并降低故障风险。该用于提升生产能力的方法同样具有上述优点。
Description
技术领域
本发明涉及半导体生产领域，具体而言涉及一种用于提升生产能力的***和用于提升生产能力的方法。
背景技术
目前工厂以内联监视器(inline monitor)来监测工厂的生产能力(Cpk)。然而,当机台部件发生故障或表现不稳定,往往造成生产能力下降,甚至会伴随大量产品报废(OOC/OOS)的风险。
机台的部件故障(alarm)常影响其生产能力不稳定,然而,现在的生产模式只在于当生产能力不好时,才对机台采取改善措施,如此往往不够及时且风险可能扩大。
当前只在机台生产能力不好或报废时，才针对机台采取改善措施,不够及时且风险可能扩大。目前各工厂只有针对机台处方(recipe)参数进行预测调机的***(自动处理控制，Automatic Process Control，APC***)来改善生产能力；但对于机台部件不稳或频繁故障所导致生产能力下降,却没有有效的预防及改善***,常等到Cpk不好了,才发现是机台部件不稳定所造成,为时已晚。
因此，需要提供一种用于提升生产能力的***和用于提升生产能力的方法，以至少部分地解决上面提到的问题。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提出一种用于提升生产能力的***和用于提升生产能力的方法，其可以及时发现机台部件故障并采取改善措施，从而提升生产能力水平并降低故障风险。
本发明的一个实施例提供一种用于提升生产能力的***，所述***包括：分析模型模块，用于收集机台部件的历史故障数据和内联数据，以建立所述机台部件的故障与所述内联数据的预测模型；以及生产预测模块，用于通过所述预测模型来预测所述机台的生产能力水平，并且安排所述机台的优先顺序。
示例性地，所述分析模型模块还用于建立故障数据库与产品内联监视数据库，并且定义生产站点与对应的内联监视器。
示例性地，所述分析模型模块还用于定义所述站点机台的故障以及综合故障水平，所述综合故障水平等于各故障水平的总和。
示例性地，所述分析模型模块还用于获取所述综合故障水平与生产能力水平的预测模型，并且通过领导多数来修正所述模型。
示例性地，所述***还包括机台改善模块，用于对生产能力不好的机台进行改善。
本发明的另一实施例提供一种提升生产能力的方法，所述方法包括：步骤S101：收集机台部件的历史故障数据和内联数据，以建立所述机台部件的故障与所述内联数据的预测模型；以及步骤S102：用于通过所述预测模型来预测所述机台的生产能力水平，并且安排所述机台的优先顺序。
示例性地，在所述步骤S101中，建立故障数据库与产品内联监视数据库，并且定义生产站点与对应的内联监视器。
示例性地，在所述步骤S101中，定义所述站点机台的故障以及综合故障水平，所述综合故障水平等于各故障水平的总和。
示例性地，在所述步骤S101中，获取所述综合故障水平与生产能力水平的预测模型，并且通过领导多数来修正所述模型。
示例性地，在所述步骤S102之后还包括步骤S103：对生产能力不好的机台进行改善。
本发明的用于提升生产能力的***可以及时发现机台部件故障并采取改善措施，从而提升生产能力水平并降低故障风险。该用于提升生产能力的方法同样具有上述优点。
附图说明
本发明的下列附图在此作为本发明的一部分用于理解本发明。附图中示出了本发明的实施例及其描述，用来解释本发明的原理。
附图中：
图1为本发明实施例的生产关键阶段流的示意图；
图2为本发明实施例的用于提升生产能力的***的示意图；
图3为本发明实施例的预测模型的示意图；
图4为本发明实施例的黄金路径的示意图；以及
图5为本发明实施例的机台改善的示意图。
具体实施方式
在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本发明更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本发明可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
应当理解的是，本发明能够以不同形式实施，而不应当解释为局限于这里提出的实施例。相反地，提供这些实施例将使公开彻底和完全，并且将本发明的范围完全地传递给本领域技术人员。在附图中，为了清楚，层和区的尺寸以及相对尺寸可能被夸大。自始至终相同附图标记表示相同的元件。
在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本发明的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。
为了彻底理解本发明，将在下列的描述中提出详细的步骤以及详细的结构，以便阐释本发明的技术方案。本发明的较佳实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本发明还可以具有其他实施方式。
本发明的一个实施例提供本发明的用于提升生产能力的***。该***可以及时发现机台部件故障并采取改善措施，从而提升生产能力水平并降低故障风险。
下面，参照图1至图5来具体描述本发明的实施例的一种用于提升生产能力的***。其中，图1为本发明实施例的生产关键阶段流的示意图。图2为本发明实施例的用于提升生产能力的***的示意图。图3为本发明实施例的预测模型的示意图。图4为本发明实施例的黄金路径(golden path)的示意图。图5为本发明实施例的机台改善的示意图。
本发明的一个实施例提供一种用于提升生产能力的***，所述***包括：分析模型模块，用于收集机台部件的历史故障数据和内联数据，以建立所述机台部件的故障与所述内联数据的预测模型；以及生产预测模块，用于通过所述预测模型来预测所述机台的生产能力水平，并且安排所述机台的优先顺序。参见图1，分析模型模组进行故障/内联监视器数据收集与机台部件故障/生产能力关系预测模型建立，而生产预测模组进行生产能力水平判断与生产机台优先顺序安排。
示例性地，所述分析模型模块还用于建立故障数据库与产品内联监视数据库，并且定义生产站点与对应的内联监视器。示例性地，分析模型模组，建立部件的“故障数据库”(工具故障数据库，Tool alarmdatabase)与“产品量测数据库”(晶圆内联监视数据库，Wafer inlinemonitor database)，并且定义关键生产站点(例如，金属沉积，金属照相，金属刻蚀等)与对应的内联监视器(金属THK,ADI CD,AEI CD等)。
示例性地，所述分析模型模块还用于定义所述站点机台的故障以及综合故障水平，所述综合故障水平等于各故障水平的总和。示例性地，该分析模型模块定义各站点机台的关键故障，并且定义“综合故障水平(ppm)”＝“各关键故障ppm总和”。
示例性地，所述分析模型模块还用于获取所述综合故障水平与生产能力水平的预测模型，并且通过领导多数(leading lots)来修正所述模型。示例性地，分析模块分析历史关键故障数据和内联数据,得到“综合故障水平”与对应的“生产能力水平”的关系预测模型,并同过领导多数来修正模型。
示例性地，如图3所示，分析模块根据历史机台故障数据与晶圆数据分析来定义出机台“综合故障水平(ppm)”与对应的“生产能力水平”关系模型，并且反馈到生产分派***。其中，综合故障水平为每个机台各部件关键故障ppm的总和。示例性地，还可自行定义综合故障水平。
示例性地，该生产预测模块将预测模型定义在分派***里，分派***收到数据库反馈的各机台即时综合故障水平(ppm)后，通过模型来预测各机台的生产能力水平，并安排各站点生产机台优先顺序，让后续产品先过生产能力好的机台，避免机台部件不稳造成Cpk下降。示例性地，如图4所示，根据即时“综合故障水平”数据，分派***模型预测机台生产能力水平，并安排各站点生产机台优先顺序，让后续产品先过生产能力好的机台，以此来改善生产能力。
示例性地，所述***还包括机台改善模块，用于对生产能力不好的机台进行改善。该机台改善模组及时要求机台改善措施。示例性地，当预测结果出现生产能力不好的机台时，分派***反馈该机台的信息到PM***(工具ID，综合故障水平，可能影响的生产能力水平等)，由PM***来要求停机及对应的机台部件改善措施，避免风险扩大，增加黄金路径可运行机台的数量。如图5所示，通过改善措施，可以避免机台风险扩大，及时改善各机台,增加黄金路径可运行的机台数量。
本发明的用于提升生产能力的***可以及时发现机台部件故障并采取改善措施，从而提升生产能力水平并降低故障风险。
接下来，参照图2说明本发明实施例的提升生产力的流程。
如图2所示，所述方法包括：步骤S101：收集机台部件的历史故障数据和内联数据，以建立所述机台部件的故障与所述内联数据的预测模型(对应1至4)；以及步骤S102：用于通过所述预测模型来预测所述机台的生产能力水平，并且安排所述机台的优先顺序(对应5)。
示例性地，在所述步骤S101中，建立故障数据库与产品内联监视数据库，并且定义生产站点与对应的内联监视器(对应1)。
示例性地，在所述步骤S101中，定义所述站点机台的故障以及综合故障水平，所述综合故障水平等于各故障水平的总和(对应2)。
示例性地，在所述步骤S101中，获取所述综合故障水平与生产能力水平的预测模型，并且通过领导多数来修正所述模型(对应3至4)。
示例性地，在所述步骤S102之后还包括步骤S103：对生产能力不好的机台进行改善(对应6至7)。
本发明的用于提升生产能力的方法可以及时发现机台部件故障并采取改善措施，从而提升生产能力水平并降低故障风险。
本发明实施例的各个模块可以以硬件实现，或者以在一个或者多个处理器上运行的软件模块实现，或者以它们的组合实现。本领域的技术人员应当理解，可以在实践中使用微处理器或者数字信号处理器(DSP)来实现根据本发明实施例的用于提升生产力的***中的一些或者全部部件的一些或者全部功能。本发明还可以实现为用于执行这里所描述的方法的一部分或者全部的设备或者装置程序(例如，计算机程序和计算机程序产品)。这样的实现本发明的程序可以存储在计算机可读介质上，或者可以具有一个或者多个信号的形式。这样的信号可以从因特网网站上下载得到，或者在存储载体上提供，或者以任何其他形式提供。
本发明已经通过上述实施例进行了说明，但应当理解的是，上述实施例只是用于举例和说明的目的，而非意在将本发明限制于所描述的实施例范围内。此外本领域技术人员可以理解的是，本发明并不局限于上述实施例，根据本发明的教导还可以做出更多种的变型和修改，这些变型和修改均落在本发明所要求保护的范围以内。本发明的保护范围由附属的权利要求书及其等效范围所界定。
Claims (10)
1.一种用于提升生产能力的***，其特征在于，所述***包括：
分析模型模块，用于收集机台部件的历史故障数据和内联数据，以建立所述机台部件的故障与所述内联数据的预测模型；以及
生产预测模块，用于通过所述预测模型来预测所述机台的生产能力水平，并且安排所述机台的优先顺序。
2.如权利要求1所述的用于提升生产能力的***，其特征在于，所述分析模型模块还用于建立故障数据库与产品内联监视数据库，并且定义生产站点与对应的内联监视器。
3.如权利要求1所述的用于提升生产能力的***，其特征在于，所述分析模型模块还用于定义所述站点机台的故障以及综合故障水平，所述综合故障水平等于各故障水平的总和。
4.如权利要求3所述的提升生产能力的***，其特征在于，所述分析模型模块还用于获取所述综合故障水平与生产能力水平的预测模型，并且通过领导多数来修正所述模型。
5.如权利要求1至4中任一项所述的提升生产能力的***，其特征在于，所述***还包括机台改善模块，用于对生产能力不好的机台进行改善。
6.一种用于提升生产能力的方法，其特征在于，所述方法包括：
步骤S101：收集机台部件的历史故障数据和内联数据，以建立所述机台部件的故障与所述内联数据的预测模型；以及
步骤S102：用于通过所述预测模型来预测所述机台的生产能力水平，并且安排所述机台的优先顺序。
7.如权利要求6所述的用于提升生产能力的方法，其特征在于，在所述步骤S101中，建立故障数据库与产品内联监视数据库，并且定义生产站点与对应的内联监视器。
8.如权利要求6所述的用于提升生产能力的方法，其特征在于，在所述步骤S101中，定义所述站点机台的故障以及综合故障水平，所述综合故障水平等于各故障水平的总和。
9.如权利要求8所述的用于提升生产能力的方法，其特征在于，在所述步骤S101中，获取所述综合故障水平与生产能力水平的预测模型，并且通过领导多数来修正所述模型。
10.如权利要求6至9中任一项所述的用于提升生产能力的方法，其特征在于，在所述步骤S102之后还包括步骤S103：对生产能力不好的机台进行改善。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510672882.0A CN106600088A (zh) | 2015-10-16 | 2015-10-16 | 一种用于提升生产能力的***和用于提升生产能力的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510672882.0A CN106600088A (zh) | 2015-10-16 | 2015-10-16 | 一种用于提升生产能力的***和用于提升生产能力的方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106600088A true CN106600088A (zh) | 2017-04-26 |
Family
ID=58553750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510672882.0A Pending CN106600088A (zh) | 2015-10-16 | 2015-10-16 | 一种用于提升生产能力的***和用于提升生产能力的方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106600088A (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110378503A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-10-25 | 天津京东深拓机器人科技有限公司 | 预测多层穿梭货架生产能力的方法和装置 |
| CN111891687A (zh) * | 2020-07-29 | 2020-11-06 | 惠科股份有限公司 | 一种货物的搬运方法和搬运*** |
| CN114742332A (zh) * | 2022-06-13 | 2022-07-12 | 合肥新晶集成电路有限公司 | 生产力分析方法及生产力分析*** |
| CN116862299A (zh) * | 2023-07-05 | 2023-10-10 | 杭州意博科技有限公司 | 一种用于智慧工厂的数据处理***和数据处理方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102193836A (zh) * | 2011-04-18 | 2011-09-21 | 电子科技大学 | 机电设备的动态预防性维护方法 |
| CN104636826A (zh) * | 2015-01-27 | 2015-05-20 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种炼油化工设备可靠性及维护策略的优化方法 |
-
2015
- 2015-10-16 CN CN201510672882.0A patent/CN106600088A/zh active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102193836A (zh) * | 2011-04-18 | 2011-09-21 | 电子科技大学 | 机电设备的动态预防性维护方法 |
| CN104636826A (zh) * | 2015-01-27 | 2015-05-20 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种炼油化工设备可靠性及维护策略的优化方法 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110378503A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-10-25 | 天津京东深拓机器人科技有限公司 | 预测多层穿梭货架生产能力的方法和装置 |
| CN110378503B (zh) * | 2018-11-21 | 2022-06-07 | 北京京东乾石科技有限公司 | 预测多层穿梭货架生产能力的方法和装置 |
| CN111891687A (zh) * | 2020-07-29 | 2020-11-06 | 惠科股份有限公司 | 一种货物的搬运方法和搬运*** |
| CN111891687B (zh) * | 2020-07-29 | 2021-09-10 | 惠科股份有限公司 | 一种货物的搬运方法和搬运*** |
| CN114742332A (zh) * | 2022-06-13 | 2022-07-12 | 合肥新晶集成电路有限公司 | 生产力分析方法及生产力分析*** |
| CN114742332B (zh) * | 2022-06-13 | 2022-09-13 | 合肥新晶集成电路有限公司 | 生产力分析方法及生产力分析*** |
| CN116862299A (zh) * | 2023-07-05 | 2023-10-10 | 杭州意博科技有限公司 | 一种用于智慧工厂的数据处理***和数据处理方法 |
| CN116862299B (zh) * | 2023-07-05 | 2024-02-23 | 杭州意博科技有限公司 | 一种用于智慧工厂的数据处理***和数据处理方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4878085B2 (ja) | 製造工程のための管理方法 | |
| KR101582960B1 (ko) | 장비 엔지니어링 시스템을 제어하기 위한 수율 예측 피드백 | |
| TWI509550B (zh) | 在虛擬量測中使用適應性預測演算法及決定何時使用適應性預測演算法之方法及設備 | |
| JP5294875B2 (ja) | クラスタ装置のための自動状態推定システム、およびこれを動作させる方法 | |
| TWI463334B (zh) | 標的裝置的基底預測保養方法與其電腦程式產品 | |
| CN106600088A (zh) | 一种用于提升生产能力的***和用于提升生产能力的方法 | |
| JP5872561B2 (ja) | 予測型逐次計算装置 | |
| Moyne et al. | Yield management enhanced advanced process control system (YMeAPC)—Part I: Description and case study of feedback for optimized multiprocess control | |
| US20190064253A1 (en) | Semiconductor yield prediction | |
| WO2006041543A1 (en) | Method and system for dynamically adjusting metrology sampling based upon available metrology capacity | |
| CN108038599A (zh) | 一种基于检测间隔的预防性维护周期多目标控制方法 | |
| CN103064380B (zh) | 具有多台工艺设备的制造***的派工方法 | |
| CN114551271A (zh) | 监测机台运行状况的方法及装置、存储介质及电子设备 | |
| CN105912437A (zh) | 控制装置的故障预测*** | |
| Chien et al. | A novel approach to hedge and compensate the critical dimension variation of the developed-and-etched circuit patterns for yield enhancement in semiconductor manufacturing | |
| US8170704B2 (en) | Method and system for automatic generation of throughput models for semiconductor tools | |
| US7257502B1 (en) | Determining metrology sampling decisions based on fabrication simulation | |
| TW202347062A (zh) | 用於半導體廠房中之等待時間預測之方法 | |
| JP7466197B2 (ja) | 異常解析装置、製造システム、異常解析方法及びプログラム | |
| Purdy | Dynamic, weight-based sampling algorithm | |
| CN102955363B (zh) | 光学临近效应修正在线监控的方法 | |
| CN100508113C (zh) | 蚀刻设备在线故障诊断的方法 | |
| TW531823B (en) | Multi-variable monitoring method for semiconductor processing | |
| CN106600003A (zh) | 一种用于机台保养的***和用于机台保养的方法 | |
| WO2023188914A1 (ja) | 情報処理方法及び情報処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20170426 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |