CN106582127B - 一种减薄机的真空过滤***及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种减薄机的真空过滤***及方法，该真空过滤***包括：密封腔体，设有真空接口、气源接口与排液接口，真空接口通过第一管路连接至真空源，第一管路上设有一真空电磁阀；气源接口通过第二管路连接至减薄机的气路终端；通过第三管路与第二管路连通的气源，第三管路上设有一气体电磁阀；与排液接口连接的排液管路，排液管路上设有一液体电磁阀；与真空电磁阀、气体电磁阀以及液体电磁阀电连接的控制装置。在本发明方案中，通过控制真空电磁阀、气体电磁阀以及液体电磁阀的开闭，可使得在气路终端产生的废液进入到密封腔体中，实现气液分离，极大地保证了真空管路的清洁度，解决了因废液进入到真空管路而造成的各零部件损坏的问题。

Description

一种减薄机的真空过滤***及方法

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种减薄机的真空过滤***及方法。

背景技术

在现代半导体专用设备制造过程中，晶圆减薄机在晶圆及各类材料进行磨削的一系列动作过程中，由真空源提供真空用来吸附晶圆及各类材料，由于磨削或者动作过程中需要吸入硅粉、磨粒等颗粒，以及磨削液、水等液体，会通过真空管路、通道、腔体等流向真空源，在流动过程中，会在各零部件上产生积累或者堵塞，长期以往则会造成零部件腐蚀、卡顿、损坏。

然而已有的过滤装置，需要滤芯或者清洗。而且一般情况下，过滤装置处于真空管路的排放端，调压不便，不能有效保护真空管路内的各零部件，最终导致各零部件因损坏而不能有效配合减薄机的动作。

发明内容

为了克服现有技术中因有废液进入到真空管路而造成的各零部件损坏，不能有效配合减薄机的动作的问题，本发明的实施例提供了一种减薄机的真空过滤***及方法。

为了解决上述技术问题，本发明的实施例采用如下技术方案：

依据本发明实施例的一个方面，提供了一种减薄机的真空过滤***，包括：

密封腔体，所述密封腔体上分别设有真空接口、气源接口与排液接口，其中，在竖直方向上，所述真空接口与所述气源接口在所述密封腔体上的高度均高于所述排液接口在所述密封腔体上的高度；

所述真空接口通过第一管路连接至真空源，所述第一管路上设有一真空电磁阀；

所述气源接口通过第二管路连接至减薄机的气路终端；

通过第三管路与所述第二管路连通的气源，所述第三管路上设有一气体电磁阀；

与所述排液接口连接的排液管路，所述排液管路上设有一液体电磁阀；

与所述真空电磁阀、所述气体电磁阀以及所述液体电磁阀电连接的控制装置；

其中，所述控制装置用于：控制所述真空电磁阀打开，所述气体电磁阀与所述液体电磁阀同时关闭，使所述真空源产生的真空通过所述密封腔体达到所述气路终端；以及，当所述气路终端产生的废液通过所述第二管路进入到所述密封腔体时，控制所述液体电磁阀打开，所述真空电磁阀与所述气体电磁阀同时关闭，使废液通过所述排液管路排出，以进行气液分离。

可选地，所述控制装置还用于：控制所述气体电磁阀打开，所述真空电磁阀与所述液体电磁阀同时关闭，使所述气源产生的气体通过所述密封腔体达到所述气路终端，以供所述气路终端使用。

可选地，所述第一管路上设有一真空减压阀，所述真空减压阀设置于所述真空源与所述真空电磁阀之间，或者所述真空减压阀设置于所述真空电磁阀与所述真空接口之间。

可选地，所述第三管路上设有一气体减压阀，所述气体减压阀设置于所述气源与所述气体电磁阀之间，或者所述气体减压阀设置于所述气体电磁阀与所述气源接口之间。

可选地，所述第三管路与所述第二管路连接的末端设有一压力传感器，用于检测所述气路终端内的气体压力值。

可选地，所述真空接口与所述气源接口均设置于所述密封腔体的顶端，所述排液接口设置于所述密封腔体的底端。

可选地，所述真空接口、所述气源接口以及所述排液接口的数量至少为一个，所述第一管路、第二管路、排液管路的数量分别与所述真空接口、所述气源接口以及所述排液接口的数量相同。

可选地，所述真空接口、所述气源接口以及所述排液接口均为快插接口。

可选地，所述气路终端为承片台、清洗台或者真空机械手。

依据本发明实施例的另一个方面，还提供了一种减薄机的真空过滤方法，应用于如上所述的减薄机的真空过滤***，包括：

向真空电磁阀、气体电磁阀以及液体电磁阀发送第一控制信号，控制所述真空电磁阀打开，所述气体电磁阀与所述液体电磁阀同时关闭，使所述真空源产生的真空通过所述密封腔体达到所述气路终端；

当所述气路终端产生的废液通过所述第二管路进入到所述密封腔体时，向所述真空电磁阀、所述气体电磁阀以及所述液体电磁阀发送第二控制信号，控制所述液体电磁阀打开，所述真空电磁阀与所述气体电磁阀同时关闭，使废液通过所述排液管路排出，以进行气液分离。

可选地，所述真空过滤方法还包括：

向所述真空电磁阀、所述气体电磁阀以及所述液体电磁阀发送第三控制信号，控制所述气体电磁阀打开，所述真空电磁阀与所述液体电磁阀同时关闭，使所述气源产生的气体通过所述密封腔体达到所述气路终端，以供所述气路终端使用。

本发明实施例的有益效果是：

在本发明实施例提供的减薄机的真空过滤***中，由于密封腔体分别连接至真空管路、气源管路、气路终端以及排液管路，因此通过控制设置于各管路上的电磁阀的开闭状态，即可使得气路终端的废液进入到该密封腔体中，并通过排液管路进行排放，实现气液分离，确保真空管路中只有气体通过，极大地保证了真空管路的清洁度，解决了现有技术中因废液进入到真空管路而造成的各零部件损坏，不能有效配合减薄机的动作的问题。

附图说明

图1表示本发明实施例中减薄机的真空过滤***的示意图；

图2表示本发明实施例中密封腔体的结构示意图。

其中图中：1、密封腔体；101、真空接口；102、气源接口；103、排液接口；2、真空源；3、真空电磁阀；4、气路终端；5、气源；6、气体电磁阀；7、液体电磁阀；8、真空减压阀；9、气体减压阀；10、压力传感器。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例对本发明进行详细描述。

实施例一

依据本发明实施例的一个方面，提供了一种减薄机的真空过滤***，如图1所示，该真空过滤***包括：

密封腔体1，密封腔体1上分别设有真空接口101、气源接口102与排液接口103，其中，在竖直方向上，真空接口101与气源接口102在密封腔体1上的高度均高于排液接口103在密封腔体1上的高度；

真空接口101通过第一管路连接至真空源2，第一管路上设有一真空电磁阀3；

气源接口102通过第二管路连接至减薄机的气路终端4，一般地，气路终端4为承片台、清洗台或者真空机械手；

通过第三管路与第二管路连通的气源5，第三管路上设有一气体电磁阀6；

与排液接口103连接的排液管路，排液管路上设有一液体电磁阀7；

与真空电磁阀3、气体电磁阀6以及液体电磁阀7电连接的控制装置。

其中，该控制装置用于：控制真空电磁阀3打开，气体电磁阀6与液体电磁阀7同时关闭，使真空源2产生的真空通过密封腔体1达到气路终端4；以及，当气路终端4产生的废液通过第二管路进入到密封腔体1时，控制液体电磁阀7打开，真空电磁阀3与气体电磁阀6同时关闭，使废液通过排液管路排出，以进行气液分离。

在本发明实施例中，当真空电磁阀3打开，气体电磁阀6与液体电磁阀7同时关闭，真空源2产生的真空通过密封腔体1后，可到达气路终端4，此时，第一管路、第二管路以及密封腔体1内均为真空，可将在气路终端4产生的废液吸入到第二管路，并最终落入密封腔体1底部。当气路终端4产生的废液通过第二管路进入到密封腔体1时，控制液体电磁阀7打开时，由于在竖直方向上，真空接口101与气源接口102在密封腔体1上的高度均高于排液接口103在密封腔体1上的高度，因此废液可由排液接口103从排液管路排出。另外，当废液未从密封腔体1排出，可对密封腔体1的底部进一步形成密封，提高了整个真空过滤***的密封稳定性。

具体地，在本发明实施例中，控制装置还用于：控制气体电磁阀6打开，真空电磁阀3与液体电磁阀7同时关闭，此时气源5产生的气体由第三管路进入密封腔体1，并达到气路终端4，此时，第二管路、第三管路以及密封腔体内均充满气体，首先保证了整个真空过滤***的清洁性，另外气源5产生的气体还可供气路终端4使用。

具体地，如图1所示，在本发明实施例中，第一管路上设有一真空减压阀8，用于调整真空源2输出的真空压力。其中，该真空减压阀8可设置于真空源2与真空电磁阀3之间，或者真空减压阀8设置于真空电磁阀3与真空接口101之间。可以理解的是，在本发明实施例中，对于真空减压阀8在第一管路上的位置并不进行具体限定。

具体地，如图1所示，在本发明实施例中，第三管路上设有一气体减压阀9，用于调整气源5输出的气体压力。其中，气体减压阀9设置于气源5与气体电磁阀6之间，或者气体减压阀9设置于气体电磁阀6与气源接口102之间。可以理解的是，在本发明实施例中，对于气体减压阀9在第三管路上的位置并不进行具体限定。

其中，上述真空电磁阀3、气体电磁阀6以及液体电磁阀7的开闭与真空减压阀8以及气体减压阀9的调节均可根据工艺进行调整，可以实现对多种对路中使用的真空管路进行过滤，并通过控制装置统一控制，操作方便。

具体地，如图1所示，在本发明实施例中，第三管路与第二管路连接的末端设有一压力传感器10，用于检测气路终端4内的气体压力值，可使得气路终端4的气体压力保持在适当的工作范围内，并可将气路终端4的气体压力反馈到控制装置，以确保气路终端4达到工艺和使用要求。

具体地，如图2所示，在本发明实施例中，真空接口101与气源接口102均设置于密封腔体1的顶端，排液接口103设置于密封腔体1的底端。可以理解的是，在本发明实施例中，对于真空接口101、气源接口102以及排液接口103在密封腔体1上的位置并不进行具体限定，只要保证在竖直方向上，真空接口101、气源接口102在密封腔体1上的高度高于排液接口103在密封腔体1上的高度即可。

另外，需要说明的是，在本发明实施例中对真空接口101、气源接口102以及排液接口103的数量并不进行具体限定，其中，真空接口101、气源接口102以及排液接口103的数量均至少为一个。用于与真空接口101、气源接口102以及排液接口103连接的第一管路、第二管路、排液管路的数量分别与真空接口101、气源接口102以及排液接口103的数量对应。因此，本发明实施例提供的真空过滤***并不仅仅适用于单独管路***，对于多管路、多气路终端4的复杂管路***也同样适用，只要相应的增加真空接口101、气源接口102以及排液接口103，与之连接的第一管路、第二管路、排液管路以及设置于第一管路、第三管路、排液管路上的电磁阀即可。

具体地，在本发明实施例中，真空接口101、气源接口102以及排液接口103均为快插接口。快插接口是最方便的即插即用的连接方式，并具有体型小优点，在一些气管连接非常不便、困难的空间场合下，更具有一定的优越性。其中，真空接口101、气源接口102以及排液接口103还可为其他水气路接口元件。可以理解的是，在本发明实施例中，对此并不进行具体限定。

综上，通过本发明实施例提供的减薄机的真空过滤***可实现气液分离，确保真空管路中只有气体通过，极大地保证了真空管路的清洁度，解决了现有技术中因废液进入到真空管路而造成的各零部件损坏，不能有效配合减薄机的动作的问题。

实施例二

依据本发明实施例的另一个方面，还提供了一种减薄机的真空过滤方法，应用于如实施例一中的减薄机的真空过滤***，该真空过滤方法包括：

向真空电磁阀3、气体电磁阀6以及液体电磁阀7发送第一控制信号，控制真空电磁阀3打开，气体电磁阀6与液体电磁阀7同时关闭，使真空源2产生的真空通过密封腔体1达到气路终端4，此时，第一管路、第二管路以及密封腔体1内均为真空，可使得在气路终端4产生的废液吸入到第二管路，并最终落入密封腔体1底部，实现气液分离。

当气路终端4产生的废液通过第二管路进入到密封腔体1时，向真空电磁阀3、气体电磁阀6以及液体电磁阀7发送第二控制信号，控制液体电磁阀7打开，真空电磁阀3与气体电磁阀6同时关闭，由于在竖直方向上，真空接口101与气源接口102在密封腔体1上的高度均高于排液接口103在密封腔体1上的高度，因此可使废液通过排液管路排出，确保真空管路中只有气体通过，极大地保证了真空管路的清洁度，解决了现有技术中因废液进入到真空管路而造成的各零部件损坏，不能有效配合减薄机的动作的问题。

具体地，在发明实施例中，还该真空过滤方法还包括：

向真空电磁阀3、气体电磁阀6以及液体电磁阀7发送第三控制信号，控制气体电磁阀6打开，真空电磁阀3与液体电磁阀7同时关闭，使气源5产生的气体通过密封腔体1达到气路终端4，在保证整个真空管路高清洁度的同时，还能够供气路终端4使用。

以上所述的是本发明的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本发明所述的原理前提下还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也在本发明的保护范围内。

Claims (9)

1.一种减薄机的真空过滤***，其特征在于，所述真空过滤***包括：

密封腔体，所述密封腔体上分别设有真空接口、气源接口与排液接口，其中，在竖直方向上，所述真空接口与所述气源接口在所述密封腔体上的高度均高于所述排液接口在所述密封腔体上的高度；

所述真空接口通过第一管路连接至真空源，所述第一管路上设有一真空电磁阀；

所述气源接口通过第二管路连接至减薄机的气路终端；

通过第三管路与所述第二管路连通的气源，所述第三管路上设有一气体电磁阀；

与所述排液接口连接的排液管路，所述排液管路上设有一液体电磁阀；

与所述真空电磁阀、所述气体电磁阀以及所述液体电磁阀电连接的控制装置；

其中，所述控制装置用于：控制所述真空电磁阀打开，所述气体电磁阀与所述液体电磁阀同时关闭，使所述真空源产生的真空通过所述密封腔体达到所述气路终端；以及，当所述气路终端产生的废液通过所述第二管路进入到所述密封腔体时，控制所述液体电磁阀打开，所述真空电磁阀与所述气体电磁阀同时关闭，使废液通过所述排液管路排出，以进行气液分离；

其中，所述控制装置还用于：控制所述气体电磁阀打开，所述真空电磁阀与所述液体电磁阀同时关闭，使所述气源产生的气体通过所述密封腔体达到所述气路终端，以供所述气路终端使用。

2.如权利要求1所述的真空过滤***，其特征在于，所述第一管路上设有一真空减压阀，所述真空减压阀设置于所述真空源与所述真空电磁阀之间，或者所述真空减压阀设置于所述真空电磁阀与所述真空接口之间。

3.如权利要求1所述的真空过滤***，其特征在于，所述第三管路上设有一气体减压阀，所述气体减压阀设置于所述气源与所述气体电磁阀之间，或者所述气体减压阀设置于所述气体电磁阀与所述气源接口之间。

4.如权利要求1所述的真空过滤***，其特征在于，所述第三管路与所述第二管路连接的末端设有一压力传感器，用于检测所述气路终端内的气体压力值。

5.如权利要求1所述的真空过滤***，其特征在于，所述真空接口与所述气源接口均设置于所述密封腔体的顶端，所述排液接口设置于所述密封腔体的底端。

6.如权利要求1所述的真空过滤***，其特征在于，所述真空接口、所述气源接口以及所述排液接口的数量至少为一个，所述第一管路、第二管路、排液管路的数量分别与所述真空接口、所述气源接口以及所述排液接口的数量相同。

7.如权利要求1所述的真空过滤***，其特征在于，所述真空接口、所述气源接口以及所述排液接口均为快插接口。

8.如权利要求1所述的真空过滤***，其特征在于，所述气路终端为承片台、清洗台或者真空机械手。

9.一种减薄机的真空过滤方法，应用于如权利要求1～8任一项所述的减薄机的真空过滤***，其特征在于，所述真空过滤方法包括：

向真空电磁阀、气体电磁阀以及液体电磁阀发送第一控制信号，控制所述真空电磁阀打开，所述气体电磁阀与所述液体电磁阀同时关闭，使所述真空源产生的真空通过所述密封腔体达到所述气路终端；

当所述气路终端产生的废液通过所述第二管路进入到所述密封腔体时，向所述真空电磁阀、所述气体电磁阀以及所述液体电磁阀发送第二控制信号，控制所述液体电磁阀打开，所述真空电磁阀与所述气体电磁阀同时关闭，使废液通过所述排液管路排出，以进行气液分离；

其中，所述真空过滤方法还包括：

向所述真空电磁阀、所述气体电磁阀以及所述液体电磁阀发送第三控制信号，控制所述气体电磁阀打开，所述真空电磁阀与所述液体电磁阀同时关闭，使所述气源产生的气体通过所述密封腔体达到所述气路终端，以供所述气路终端使用。