CN106531667A - 一种高效硅片脱胶装置 - Google Patents

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凌晓国
岳旭
余传江
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Abstract

本发明公开了一种高效硅片脱胶装置，包括固定环形机架、活动环形机架、脱胶支架、第一脱胶槽、第二脱胶槽、滤液槽，所述固定环形机架底部安装有一可转动的活动环形机架，活动环形机架底部安装有5个相互独立的伸缩杆，伸缩杆底部固定有脱胶支架，所述脱胶支架由顶板、竖直立柱、U型框、挡板组成，所述活动环形机架下方设有第一脱胶槽、第二脱胶槽和滤液槽。本发明通过将脱胶支架通过伸缩杆与活动环形机架相连，使得脱胶支架可自动经过第一脱胶槽、第二脱胶槽、滤液槽，使用方便，提高了脱胶效率。

Description

一种高效硅片脱胶装置
【技术领域】
本发明涉及多晶硅生产的技术领域，特别是硅片脱胶槽的技术领域。
【背景技术】
硅片表面的清洁度是影响硅片合格率和电池转换效率的关键因素。为获得洁净度较高的硅片，往往硅片在经过线切割后需要脱胶清洗和精细清洗两个部分。现有的脱胶装置脱胶效果不够理想，脱胶完成后容易产生大量的残留，不利于后面的清洗。
【发明内容】
本发明的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种高效硅片脱胶装置，能够使硅片脱胶效果提高，同时提高脱胶效率。
为实现上述目的，本发明提出了一种高效硅片脱胶装置，包括固定环形机架、活动环形机架、脱胶支架、第一脱胶槽、第二脱胶槽、滤液槽，所述固定环形机架底部安装有一可转动的活动环形机架，活动环形机架底部安装有5个相互独立的伸缩杆，伸缩杆底部固定有脱胶支架，所述脱胶支架由顶板、竖直立柱、U型框、挡板组成，所述顶板底部固定有4根竖直立柱，4根竖直立柱组成一矩形阵列，所述竖直立柱所围区域内自上向下固定有若干水平设置的U型框，U型框截面呈L形，所有U型框的开口端均朝向一侧，所述顶板底部固定有一可拆卸的挡板，挡板位于U型框的开口侧，所述活动环形机架下方设有第一脱胶槽、第二脱胶槽和滤液槽，所述第一脱胶槽底部安装有第一排液管，第一排液管上安装有第一排液阀，所述第一脱胶槽与第二脱胶槽之间有通过第二排液管相连，第二排液管上安装有第二排液阀，所述第一脱胶槽和第二脱胶槽侧壁上均设有若干加热管，所述滤液槽位于第二脱胶槽的一侧，滤液槽侧壁上设有若干吹风口。
作为优选，所述第一脱胶槽、第二脱胶槽和滤液槽均呈圆弧形，第一脱胶槽、第二脱胶槽和滤液槽的弧形圆心与活动环形机架的圆心位于同一竖直轴线上。
作为优选，所述第二脱胶槽与滤液槽共用一个侧壁，第二脱胶槽与滤液槽共用的侧壁上开设有连通孔。
作为优选，所述第一脱胶槽、第二脱胶槽、滤液槽底部均设有支撑脚。
作为优选，所述第二脱胶槽底壁向一侧倾斜，第二排液管的进液端位于第二脱胶槽底壁的最低处，第二排液管的出液端位于第一脱胶槽的中部。
作为优选，所述第一脱胶槽和第二脱胶槽内均设有超声波发生装置。
作为优选，所述所述挡板紧贴两根竖直立柱，挡板通过若干螺栓与竖直立柱相连。
本发明的有益效果：本发明通过将脱胶支架通过伸缩杆与活动环形机架相连，使得脱胶支架可自动经过第一脱胶槽、第二脱胶槽、滤液槽，使用方便，提高了脱胶效率；第二脱胶槽设置在第一脱胶槽的一侧，使得硅片可得到两次脱胶，提高脱胶效果和脱胶效率；第二排液管和连通孔的设置可以有效的提高脱胶液的利用率；吹风口的设置可以有效的将硅片上残留的脱胶液吹干，间接提高了脱胶效果；U型框设置在竖直立柱所围区域内，使得待脱胶的硅片可相互分开，使得硅片可与脱胶液充分接触，提高脱胶效率；挡板的设置可以有效的避免硅片从U型框中滑出，有效的保护了硅片的安全。
本发明的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
【附图说明】
图1是本发明一种高效硅片脱胶装置的主视图；
图2是本发明一种高效硅片脱胶装置的俯视图；
图3是本发明一种高效硅片脱胶装置的脱胶支架主视图；
图4是本发明一种高效硅片脱胶装置的脱胶支架仰视图。
图中：1-第一脱胶槽、2-第二脱胶槽、3-滤液槽、4-固定环形机架、5-脱胶支架、6-顶板、7-竖直立柱、10-第一排液管、11-第一排液阀、15-加热管、16-超声波发生装置、19-支撑脚、20-第二排液管、21-第二排液阀、30-连通孔、31-吹风口、40-活动环形机架、41-伸缩杆、70-U型框、71-挡板、72-螺栓。
【具体实施方式】
参阅图1、图2、图3和图4，本发明一种高效硅片脱胶装置，包括固定环形机架4、活动环形机架40、脱胶支架5、第一脱胶槽1、第二脱胶槽2、滤液槽3，所述固定环形机架4底部安装有一可转动的活动环形机架40，活动环形机架40底部安装有5个相互独立的伸缩杆41，伸缩杆41底部固定有脱胶支架5，所述脱胶支架5由顶板6、竖直立柱7、U型框70、挡板71组成，所述顶板6底部固定有4根竖直立柱7，4根竖直立柱7组成一矩形阵列，所述竖直立柱7所围区域内自上向下固定有若干水平设置的U型框70，U型框70截面呈L形，所有U型框70的开口端均朝向一侧，所述顶板6底部固定有一可拆卸的挡板71，挡板71位于U型框70的开口侧，所述活动环形机架40下方设有第一脱胶槽1、第二脱胶槽2和滤液槽3，所述第一脱胶槽1底部安装有第一排液管10，第一排液管10上安装有第一排液阀11，所述第一脱胶槽1与第二脱胶槽2之间有通过第二排液管20相连，第二排液管20上安装有第二排液阀21，所述第一脱胶槽1和第二脱胶槽2侧壁上均设有若干加热管15，所述滤液槽3位于第二脱胶槽2的一侧，滤液槽3侧壁上设有若干吹风口31，所述第一脱胶槽1、第二脱胶槽2和滤液槽3均呈圆弧形，第一脱胶槽1、第二脱胶槽2和滤液槽3的弧形圆心与活动环形机架40的圆心位于同一竖直轴线上，所述第二脱胶槽2与滤液槽3共用一个侧壁，第二脱胶槽2与滤液槽3共用的侧壁上开设有连通孔30，所述第一脱胶槽1、第二脱胶槽2、滤液槽3底部均设有支撑脚19，所述第二脱胶槽2底壁向一侧倾斜，第二排液管20的进液端位于第二脱胶槽2底壁的最低处，第二排液管20的出液端位于第一脱胶槽1的中部，所述第一脱胶槽1和第二脱胶槽2内均设有超声波发生装置16，所述所述挡板71紧贴两根竖直立柱7，挡板71通过若干螺栓72与竖直立柱7相连。
本发明工作过程：
本发明一种高效硅片脱胶装置在工作过程中硅片装在脱胶支架5内，活动环形机架40带动脱胶支架5依次放入第一脱胶槽1进行第一次脱胶、第二脱胶槽2进行第二次脱胶，然后放入滤液槽3内将硅片上残留的液体吹走，然后活动环形支架40将脱胶支架5移出，卸下挡板71，将硅片取出，然后装入待脱胶的硅片，装上挡板71，5个脱胶支架5每个对应一个步骤，如此往复循环，脱胶效率高，且脱胶效果明显。
上述实施例是对本发明的说明，不是对本发明的限定，任何对本发明简单变换后的方案均属于本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种高效硅片脱胶装置，其特征在于：包括固定环形机架（4）、活动环形机架（40）、脱胶支架（5）、第一脱胶槽（1）、第二脱胶槽（2）、滤液槽（3），所述固定环形机架（4）底部安装有一可转动的活动环形机架（40），活动环形机架（40）底部安装有5个相互独立的伸缩杆（41），伸缩杆（41）底部固定有脱胶支架（5），所述脱胶支架（5）由顶板（6）、竖直立柱（7）、U型框（70）、挡板（71）组成，所述顶板（6）底部固定有4根竖直立柱（7），4根竖直立柱（7）组成一矩形阵列，所述竖直立柱（7）所围区域内自上向下固定有若干水平设置的U型框（70），U型框（70）截面呈L形，所有U型框（70）的开口端均朝向一侧，所述顶板（6）底部固定有一可拆卸的挡板（71），挡板（71）位于U型框（70）的开口侧，所述活动环形机架（40）下方设有第一脱胶槽（1）、第二脱胶槽（2）和滤液槽（3），所述第一脱胶槽（1）底部安装有第一排液管（10），第一排液管（10）上安装有第一排液阀（11），所述第一脱胶槽（1）与第二脱胶槽（2）之间有通过第二排液管（20）相连，第二排液管（20）上安装有第二排液阀（21），所述第一脱胶槽（1）和第二脱胶槽（2）侧壁上均设有若干加热管（15），所述滤液槽（3）位于第二脱胶槽（2）的一侧，滤液槽（3）侧壁上设有若干吹风口（31）。
2.如权利要求1所述的一种高效硅片脱胶装置，其特征在于：所述第一脱胶槽（1）、第二脱胶槽（2）和滤液槽（3）均呈圆弧形，第一脱胶槽（1）、第二脱胶槽（2）和滤液槽（3）的弧形圆心与活动环形机架（40）的圆心位于同一竖直轴线上。
3.如权利要求1所述的一种高效硅片脱胶装置，其特征在于：所述第二脱胶槽（2）与滤液槽（3）共用一个侧壁，第二脱胶槽（2）与滤液槽（3）共用的侧壁上开设有连通孔（30）。
4.如权利要求1所述的一种高效硅片脱胶装置，其特征在于：所述第一脱胶槽（1）、第二脱胶槽（2）、滤液槽（3）底部均设有支撑脚（19）。
5.如权利要求1所述的一种高效硅片脱胶装置，其特征在于：所述第二脱胶槽（2）底壁向一侧倾斜，第二排液管（20）的进液端位于第二脱胶槽（2）底壁的最低处，第二排液管（20）的出液端位于第一脱胶槽（1）的中部。
6.如权利要求1所述的一种高效硅片脱胶装置，其特征在于：所述第一脱胶槽（1）和第二脱胶槽（2）内均设有超声波发生装置（16）。
7.如权利要求1所述的一种高效硅片脱胶装置，其特征在于：所述所述挡板（71）紧贴两根竖直立柱（7），挡板（71）通过若干螺栓（72）与竖直立柱（7）相连。
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