CN106531660A - 一种用于晶圆烘烤的装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于晶圆烘烤的装置，涉及半导体制造设备技术领域，包括烤箱，还包括延时继电器、温度监测仪、报警器和计算机，所述烤箱内安装有温度传感器，所述温度传感器与温度监测仪相连，所述烤箱通过延时继电器与温度监测仪相连，所述温度监测仪通过总线与计算机相连，所述报警器与温度监测仪相连。本发明用于晶圆烘烤的装置，烤箱内设置多个温度传感器，温度传感器与温度监测仪相连，可以实现多点温度超温自动报警；温度监测仪配合RS485总线或RS232总线接口，把温度数据导入计算机,通过计算机记录每次烘烤的温度曲线，方便以后产品异常的追朔。

Description

一种用于晶圆烘烤的装置
技术领域
本发明涉及半导体制造设备技术领域，特别是涉及一种用于晶圆烘烤的装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。一般是芯片电路设计-晶圆的制造-晶圆的测试-晶圆的切割研磨-芯片的封装-成品芯片的测试。晶圆的测试对该芯片的成本控制尤其重要，晶圆的测试可以将功能缺陷的芯片找出，不进入后期较大成本的封装中，节约了整体的成本。
晶圆烘烤对温度和时间要求非常精确。目前先进的工业烤箱用于晶圆烘烤时有较多缺陷例如：无法监测到烤箱内多区域内的细小温度差；烤箱突然断电,人员发现时不能追溯之前已烘烤的时间及温度；烤箱电压不稳时當有温度超过或者低于设定温度的规格时无法对其做追踪,使得后期芯片异常时烘烤流程无追溯记录。
发明内容
本发明的目的就是为了克服上述现有晶圆烘烤的问题，提供了一种用于晶圆烘烤的装置，该装置烤箱内设置6个温度传感器，温度传感器与温度监测仪相连，可以实现多点温度超温自动报警；温度监测仪配合RS485总线或RS232总线接口，把温度数据导入计算机,通过计算机记录每次烘烤的温度曲线，方便以后产品异常的追朔。
本发明所要求解决的技术问题可以通过以下技术方案来实现：
一种用于晶圆烘烤的装置，包括烤箱，还包括延时继电器、温度监测仪、报警器和计算机，所述烤箱内安装有温度传感器，所述温度传感器与温度监测仪相连，所述烤箱通过延时继电器与温度监测仪相连，所述温度监测仪通过总线与计算机相连，所述报警器与温度监测仪相连。
进一步地，所述温度传感器有6个。
进一步地，所述温度监测仪包括6路数码显示通道。
进一步地，所述6个温度传感器通过RS485总线分别与温度监测仪的6路数码显示通道相连。
进一步地，所述温度监测仪通过RS485总线或RS232总线与计算机相连。
进一步地，所述延时继电器的延时范围为0.1秒到99分钟。
本发明的有益效果：一种用于晶圆烘烤的装置，烤箱内设置6个温度传感器，温度传感器与温度监测仪相连，可以实现多点温度超温自动报警；温度监测仪配合RS485总线或RS232总线接口，把温度数据导入计算机,通过计算机记录每次烘烤的温度曲线，方便以后产品异常的追朔。
附图说明
图1为本发明装置原理框图。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本发明。
具体实施时，结合图1，一种用于晶圆烘烤的装置，包括烤箱、延时继电器、温度监测仪、报警器和计算机。烤箱内安装有温度传感器，温度传感器与温度监测仪相连，烤箱通过延时继电器与温度监测仪相连；温度监测仪通过总线与计算机相连，报警器与温度监测仪相连。
当烤箱的温度达到设定值一段时间后，可以通过延时继电器让温度监测仪开始工作，延时继电器的延时范围可以为0.1秒到99分钟。为了实现烤箱的多点温度监测，能够监测到烤箱内多区域内的细小温度差。在烤箱内设置有6个温度传感器。温度监测仪设有温度值数码显示通道，温度值数码显示通道有6个通道。温度传感器与温度值数码显示通道一一对应，6个温度传感器通过RS485总线分别与温度监测仪的6路数码显示通道相连。温度监测仪通过外接报警器实现多点温度的超温自动报警。
温度监测仪可以通过RS485总线或RS232总线与计算机相连，把温度数据导入计算机，通过计算机记录每次烘烤的温度曲线，一台计算机可以同时控制多台烤箱，方便以后产品异常的追朔。
一种用于晶圆烘烤的装置，烤箱内设置6个温度传感器，温度传感器与温度监测仪相连，可以实现多点温度超温自动报警；温度监测仪配合RS485总线或RS232总线接口，把温度数据导入计算机,通过计算机记录每次烘烤的温度曲线，方便以后产品异常的追朔。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (6)

1.一种用于晶圆烘烤的装置，包括烤箱，其特征在于：还包括延时继电器、温度监测仪、报警器和计算机，所述烤箱内安装有温度传感器，所述温度传感器与温度监测仪相连，所述烤箱通过延时继电器与温度监测仪相连，所述温度监测仪通过总线与计算机相连，所述报警器与温度监测仪相连。
2.按照权利要求1所述的一种用于晶圆烘烤的装置，其特征在于：所述温度传感器有6个。
3.按照权利要求2所述的一种用于晶圆烘烤的装置，其特征在于：所述温度监测仪包括6路数码显示通道。
4.按照权利要求3所述的一种用于晶圆烘烤的装置，其特征在于：所述6个温度传感器通过RS485总线分别与温度监测仪的6路数码显示通道相连。
5.按照权利要求1所述的一种用于晶圆烘烤的装置，其特征在于：所述温度监测仪通过RS485总线或RS232总线与计算机相连。
6.按照权利要求1所述的一种用于晶圆烘烤的装置，其特征在于：所述延时继电器的延时范围为0.1秒到99分钟。
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Applicant before: ANHUI CHAOYUAN SEMICONDUCTOR Co.,Ltd.

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