CN106468537A - 表面平整度红外线量测设备及其方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种表面平整度红外线量测设备及其方法,其中该方法通过所述的表面平整度红外线量测设备达成,其包括以下步骤:a.通过所述坐标匹配单元将所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器的XY轴与所述待测服务器的XY轴校正在同一平面上;b.通过所述归零单元将所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器进行Z轴归零;以及c.通过所述控制单元控制所述上红外线高度检测器以及下红外线高度检测器根据使用者输入的量测要求以此量测所述待测服务器的上表面和下表面的平整度。藉此,整个量测过程快速,操作简单,量测结果准确且稳定,有效避免人为因素对量测结果的影响。
Description
技术领域
本发明是一种表面平整度红外线量测设备及其方法。
背景技术
目前,为了取得装置(例如,伺服器主机)的待测服务器表面的平整度(Sag & Bow),通常使用数位式量表量测,在量测前需先将Top/Bottom面在横纵间距50mm分别取点,使用量表进行量测,然而采取上述数位式量表具有以下缺点:
1.量测时间冗长:Top/Bottom面须纯手工画量测点,如要量测3台就得画3台,准备太麻烦,且须人工记录数据,数值误差很大,且在移动下一点时,使用拖曳方式移动,如稍碰撞或者是滑出平面,其数值就已跑掉并产生误差;
2.操作不易 : 由于花岗岩平台放置支撑块后设置服务器后,在移动量表时,容易与支撑块碰撞,同时如果服务器较大时,移动时更加困难;
3.人为因素过多: 由于量测操作过程皆为人为量测操作,会因为量测手法问题,数值则会有落差。
有鉴于此,本发明提供一种表面平整度红外线量测设备及其方法,其可解决现有的数位式量测表所产生的技术问题。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种表面平整度红外线量测设备及其方法,其可解决现有的数位式量测表所产生的技术问题。
为达上述目的,本一种表面平整度红外线量测设备,其用于量测一待测服务器的上表面和下表面的平整度,所述待测服务器的上表面和下表面均定义沿着X轴方向和Y轴方向展开,所述待测服务器的高度方向定义为Z轴方向,其包括:
一工作台,其具有一透明桌面以及若干个设置在该透明桌面上的支撑柱用于放置所述待测服务器;
一上红外线高度检测器设于所述工作台的透明桌面的上方;
一下红外线高度检测器设于所述工作台的透明桌面的下方;以及
一监控电脑,其设置一坐标匹配单元、一归零单元、以及一控制单元;其中,所述坐标匹配单元与所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器连接用于将所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器的XY轴与待测服务器的XY轴校正在同一平面上,所述归零单元与所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器连接用于将所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器进行Z轴归零,所述控制单元控制所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器根据使用者输入的量测要求作三维空间移动量测所述待测服务器的上表面和下表面的平整度。
优选地,所述坐标匹配单元接收所述上红外线高度检测器量测的所述待测服务器的上表面的三个角点的坐标值并根据所述三个角点的坐标值将所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器的XY轴与待测服务器的XY轴校正在同一平面上。
优选地,所述上红外线高度检测器通过上驱动机构的驱动作三维空间的移动,所述上驱动机构具有上套筒、上X轴滑轨以及上Y轴滑轨,所述上红外线高度检测器沿着Z轴方向伸缩地设置于所述上套筒上使得其可作Z轴方向的移动,且所述上套筒滑动地设置于上X轴滑轨上用于带动所述上红外线高度器作X轴方向移动,所述上X轴滑轨滑动地设于上Y轴滑轨上,带动所述上红外线高度检测器沿着所述上Y轴滑轨作Y轴方向移动。
优选地,所述下红外线高度检测器通过下驱动机构的驱动作三维空间的移动,所述下驱动机构具有下套筒、下X轴滑轨以及下Y轴滑轨,所述下红外线高度检测器沿着Z轴方向伸缩地设置于所述下套筒上使得其可作Z轴方向的移动,且所述下套筒滑动地设置于所述下X轴滑轨上用于带动所述下红外线高度器作X轴方向移动,所述下X轴滑轨滑动地设于所述上Y轴滑轨上,带动所述下红外线高度检测器沿着所述下Y轴滑轨作Y轴方向移动,借此可实现所述下红外线高度检测器作三维空间的移动。
本发明还提供一种表面平整度红外线量测方法,其上述表面平整度红外线量测设备达成,用于量测一待测服务器的上表面和下表面的平整度,所述表面平整度红外线量测设备包括一工作台、一上红外线高度检测器、一下红外线高度检测器、以及一监控电脑,所述监控电脑其设置一坐标匹配单元、一归零单元、以及一控制单元,所述待测服务器的上表面和下表面均定义沿着X轴方向和Y轴方向展开,所述待测服务器的高度方向定义为Z轴方向,所述表面平整度红外线量测方法包括以下步骤:
a.通过所述坐标匹配单元将所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器的XY轴与所述待测服务器的XY轴校正在同一平面上;
b.通过所述归零单元将所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器进行Z轴归零;以及
c.通过所述控制单元控制所述上红外线高度检测器以及下红外线高度检测器根据使用者输入的量测要求作三维空间移动量测所述待测服务器的上表面和下表面的平整度。
与现有技术相比较,本发明表面平整度红外线量测设备及其方法,通过所述上下红外线高度检测器与监测电脑的配合可根据使用者的量测要求作三维空间移动自动地量测所述待测服务器上下表面的平整度,由此可见,整个量测过程快速,操作简单,量测结果准确且稳定,有效避免人为因素对量测结果的影响。
【附图说明】
图1为本发明一种表面平整度红外线量测设备的立体示意图。
图2为本发明一种表面平整度红外线量测设备的电性连接原理方块示意图。
图3为本发明表面平整度红外线量设备量测待测服务器的所采用的网格的示意图。
图4为本发明表面平整度红外线量设备量测待测服务器的表面平整度示意图。
图5为本发明表面平整度红外线量测方法的流程图。
【具体实施方式】
请参阅图1-2所示,其显示本发明一种表面平整度红外线量测设备,其用于量测一待测服务器2的上表面21和下表面22的平整度,所述待测服务器2的侧边具有凸部23,其中在本实施例中,所述待测服务器的上表面和下表面均定义沿着X轴方向和Y轴方向展开,所述待测服务器的高度方向定义为Z轴方向。所述平整度红外线量测设备1包括一工作台11、一上红外线高度检测器12、一下红外线高度检测器13以及一监控电脑16。
该工作台11具有一透明桌面110以及若干个设置在所述透明桌面110上的支撑柱111用于支撑所述待测服务器2的凸部23以便定位所述待测服务器2。
所述上红外线高度检测器12设于所述工作台11的透明桌面110的上方,用于量测放置于所述支撑柱111的待测服务器2的上表面21的平整度,在本实施例中,所述上红外线高度检测器12通过上驱动机构3的驱动作三维空间的移动,所述上驱动机构3具有上套筒30、上X轴滑轨31以及上Y轴滑轨32,所述上红外线高度检测器12沿着Z轴方向伸缩地设置于所述上套筒30上使得其可作Z轴方向的移动,且所述上套筒30滑动地设置于上X轴滑轨31上用于带动所述上红外线高度器12作X轴方向移动,所述上X轴滑轨31滑动地设于上Y轴滑轨32上,带动所述上红外线高度检测器12沿着所述上Y轴滑轨32作Y轴方向移动,借此可实现所述上红外线高度检测器12作三维空间的移动。
所述下红外线高度检测器13设于所述工作台11的透明桌面110的下方用于量测放置于所述支撑柱111的待测服务器2的下表面22的平整度。所述下红外线高度检测器13通过下驱动机构4的驱动作三维空间的移动,所述下驱动机构4具有下套筒40、下X轴滑轨41以及下Y轴滑轨32,所述下红外线高度检测器13沿着Z轴方向伸缩地设置于所述下套筒40上使得其可作Z轴方向的移动,且所述下套筒40滑动地设置于所述下X轴滑轨41上用于带动所述下红外线高度器13作X轴方向移动,所述下X轴滑轨41滑动地设于所述上Y轴滑轨42上,带动所述下红外线高度检测器13沿着所述下Y轴滑轨42作Y轴方向移动,借此可实现所述下红外线高度检测器13作三维空间的移动。
所述监控电脑16,其设置坐标匹配单元160、归零单元161、以及控制单元162,所述归零单元161与所述坐标匹配单元160以及所述控制单元162连接。所述坐标匹配单元160与所述上红外线高度检测器12以及所述下红外线高度检测器13连接用于将所述上红外线高度检测器12以及所述下红外线高度检测器13的XY轴(未示)与待测服务器2的XY轴校正在同一平面上,在本实施例中,所述坐标匹配单元160接收所述上红外线高度检测器12量测的所述待测服务器2的上表面21的三个角点a、b、c的坐标值并根据所述三个角点a、b、c的坐标值将所述上红外线高度检测器12以及所述下红外线高度检测器13的XY轴(未示)与待测服务器2的XY轴校正在同一平面上,由于待测服务器2的上表面21与下表面22平行,故所述坐标匹配单元160在匹配完上红外线高度传感器12后即可同时匹配下红外线高度检测器13。所述归零单元161进一步与所述上红外线高度检测器12以及所述下红外线高度检测器13连接用于将所述上红外线高度检测器12以及所述下红外线高度检测器13进行Z轴归零,值得注意的是,此处归零的基准为选择到其中一角点a或b或c的高度为基准归零,如此时上红外线高度检测器12量测到角点a的高度为1cm,以1cm归零,则当上红外线高度检测器12到所述待测服务器2的上表面21上的一处的高度为1.01cm,则量测结果显示为0.01cm。在Z轴归零后,所述控制单元162与所述上驱动机构3以及所述下驱动机构4连接用于驱动所述上红外线高度检测器12以及下红外线高度检测器13根据使用者输入的量测要求作三维空间移动量测所述待测服务器2的上表面21和下表面22的平整度,如图3-4所示,其为量测要求为XY轴以50mm为一等分进行量测,所述待测服务器2所需要量测的点为图3所示网格中的交叉点。
请结合参阅图2及图5所示,本发明表面平整度红外线量测方法,其通过图1及图2所述的表面平整度红外线量测设备1达成,用于量测一待测服务器2的上表面21和下表面22的平整度,所述待测服务器的上表面和下表面均定义沿着X轴方向和Y轴方向展开,所述待测服务器的高度方向定义为Z轴方向,其包括以下步骤:
步骤100:通过所述坐标匹配单元160将所述上红外线高度检测器12以及所述下红外线高度检测器13的XY轴(未示)与所述待测服务器2的XY轴校正在同一平面上,在本实施例中,所述坐标匹配单元160接收所述上红外线高度检测器12量测的所述待测服务器2的上表面21的三个角点a、b、c的坐标值并根据所述三个角点a、b、c的坐标值将所述上红外线高度检测器12以及所述下红外线高度检测器13的XY轴(未示)与待测服务器2的XY轴校正在同一平面上,由于待测服务器2的上表面21与下表面22平行,故所述坐标匹配单元160在匹配完上红外线高度传感器12后即可同时匹配下红外线高度检测器13。
步骤200:通过所述归零单元161将所述上红外线高度检测器12以及所述下红外线高度检测器13进行Z轴归零并同时选择所述三个角点a、b、c中的其中一角点作为XY轴的坐标原点,值得注意的是,此处归零的基准为选择到其中一角点a或b或c的高度为基准归零,如此时上红外线高度检测器12量测到角点a的高度为1cm,以1cm归零,则当上红外线高度检测器12到所述待测服务器2的上表面21上的一处的高度为1.01cm,则量测结果显示为0.01cm。
步骤300:通过所述控制单元162控制所述上驱动机构3以及所述下驱动机构4驱动所述上红外线高度检测器12以及下红外线高度检测器13根据使用者输入的量测要求作三维空间移动量测所述待测服务器2的上表面21和下表面22的平整度。
综上所述,上述各实施例及图示仅为本发明之较佳实施例而已,但不能以之限定本发明实施之范围,即大凡依本发明申请专利范围所作之均等变化与修饰,皆应属本发明专利涵盖之范围内。
Claims (6)
1.一种表面平整度红外线量测设备,其用于量测一待测服务器的上表面和下表面的平整度,所述待测服务器的上表面和下表面均定义沿着X轴方向和Y轴方向展开,所述待测服务器的高度方向定义为Z轴方向,其特征在于包括:
一工作台,其具有一透明桌面以及若干个设置在该透明桌面上的支撑柱用于放置所述待测服务器;
一上红外线高度检测器设于所述工作台的透明桌面的上方;
一下红外线高度检测器设于所述工作台的透明桌面的下方;以及
一监控电脑,其设置一坐标匹配单元、一归零单元、以及一控制单元,其中,所述归零单元与所述坐标匹配单元以及所述控制单元连接,所述坐标匹配单元进一步与所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器连接用于将所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器的XY轴与待测服务器的XY轴校正在同一平面上,所述归零单元进一步与所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器连接用于将所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器进行Z轴归零,所述控制单元在Z轴归零后控制所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器根据使用者输入的量测要求作三维空间移动量测所述待测服务器的上表面和下表面的平整度。
2.根据权利要求1所述的表面平整度红外线量测设备,其特征在于,所述坐标匹配单元接收所述上红外线高度检测器量测的所述待测服务器的上表面的三个角点的坐标值并根据所述三个角点的坐标值将所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器的XY轴与待测服务器的XY轴校正在同一平面上。
3.根据权利要求1所述的表面平整度红外线量测设备,其特征在于,所述上红外线高度检测器通过上驱动机构的驱动作三维空间的移动,所述上驱动机构具有上套筒、上X轴滑轨以及上Y轴滑轨,所述上红外线高度检测器沿着Z轴方向伸缩地设置于所述上套筒上使得其可作Z轴方向的移动,且所述上套筒滑动地设置于上X轴滑轨上用于带动所述上红外线高度器作X轴方向移动,所述上X轴滑轨滑动地设于上Y轴滑轨上,带动所述上红外线高度检测器沿着所述上Y轴滑轨作Y轴方向移动。
4.根据权利要求1所述的表面平整度红外线量测设备,其特征在于,所述下红外线高度检测器通过下驱动机构的驱动作三维空间的移动,所述下驱动机构具有下套筒、下X轴滑轨以及下Y轴滑轨,所述下红外线高度检测器沿着Z轴方向伸缩地设置于所述下套筒上使得其可作Z轴方向的移动,且所述下套筒滑动地设置于所述下X轴滑轨上用于带动所述下红外线高度器作X轴方向移动,所述下X轴滑轨滑动地设于所述上Y轴滑轨上,带动所述下红外线高度检测器沿着所述下Y轴滑轨作Y轴方向移动,借此可实现所述下红外线高度检测器作三维空间的移动。
5.一种表面平整度红外线量测方法,其通过权利要求1所述的表面平整度红外线量测设备达成,用于量测一待测服务器的上表面和下表面的平整度,所述表面平整度红外线量测设备包括一工作台、一上红外线高度检测器、一下红外线高度检测器、以及一监控电脑,所述监控电脑其设置一坐标匹配单元、一归零单元、以及一控制单元,所述待测服务器的上表面和下表面均定义沿着X轴方向和Y轴方向展开,所述待测服务器的高度方向定义为Z轴方向,其特征在于,包括以下步骤:
a.通过所述坐标匹配单元将所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器的XY轴与所述待测服务器的XY轴校正在同一平面上;
b.通过所述归零单元将所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器进行Z轴归零;以及
c.通过所述控制单元控制所述上红外线高度检测器以及下红外线高度检测器根据使用者输入的量测要求作三维空间移动量测所述待测服务器的上表面和下表面的平整度。
6.根据权利要求5所述的表面平整度红外线量测设备,其特征在于,所述坐标匹配单元接收所述上红外线高度检测器量测的所述待测服务器的上表面的三个角点的坐标值并根据所述三个角点的坐标值将所述上红外线高度检测器以及所述下红外线高度检测器的XY轴与待测服务器的XY轴校正在同一平面上。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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CN106468537A true CN106468537A (zh) | 2017-03-01 |
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Family
ID=58213725
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
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